JP2001287187A - 搬送装置 - Google Patents

搬送装置

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JP2001287187A
JP2001287187A JP2000106611A JP2000106611A JP2001287187A JP 2001287187 A JP2001287187 A JP 2001287187A JP 2000106611 A JP2000106611 A JP 2000106611A JP 2000106611 A JP2000106611 A JP 2000106611A JP 2001287187 A JP2001287187 A JP 2001287187A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送装置の搬送速度を速くする。 【解決手段】 搬送装置1は、ロボット3の上部アーム
6の先端の手首に取付けられ、第1アーム10、第2ア
ーム11および保持手段12から構成される。第1アー
ム10の基端部は、ロボット3の手首7に設けられる回
転連結部8に取付けられる。第2アーム11の基端部
は、第1アーム10の先端部に回転可能に連結される。
保持手段12は、第2アーム11の先端部に回転可能に
取付けられる。回転連結部8はは第1アーム10を第1
の回転方向に回転する。第2アーム11および保持手段
12は第1アームの回転に連動し、第2アーム11が第
1の回転方向とは反対方向である第2の回転方向に回転
し、保持手段12が第1の回転方向に回転する。これに
よって、第1アーム10を一方側から第1の回転方向に
180°回転することによって、ワークWを反転させる
ことなく、一方側から他方側に搬送することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワークを搬送する
搬送装置に関し、とくにロボットの手首に取付けられて
使用する搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】たとえばプレス機間でワークを搬送する
場合、プレス機間にロボットを設置し、ロボットでワー
クを搬送する。このとき、プレス機間の間隔が大きい場
合には、ロボットの手首に搬送装置を取付け、搬送装置
とロボットのアームの動きとでワークを搬送する。この
ような搬送装置の従来技術の一例が実開平4−4239
0号公報「物品搬送装置」に開示される。
【0003】この従来技術の搬送装置は、スライダー
と、ワークを吸着して保持し、スライダーに沿って走行
する保持手段を有する。ワークを搬送するには、まず、
ロボットで搬送装置を一方のプレス機側に移動させ、ス
ライダーの一方側端部配置される保持手段で一方のプレ
ス機のワークを吸着保持しする。次に、ワークを保持し
た保持手段をスライダーの他方側端部までスライドさせ
るとともに、ロボットで搬送装置を他方のプレス機側に
移動させる。そして、ワークが他方側のプレス機に達す
ると、保持手段による吸着保持を解除する。このように
して、搬送距離が長い場合でもワークを搬送することが
できる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の搬送装
置では、スクリューねじを用いて保持手段をスライドさ
せて搬送させるので、搬送速度が遅いといった問題を有
する。本発明の目的は、搬送速度の速い搬送装置を提供
することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の本発明
は、一方側に伸張した状態から収縮し、前記一方側とは
反対側の他方側まで伸張可能なリンク機構と、前記リン
ク機構の先端部に設けられ、被搬送物を着脱可能に保持
する保持手段とを有しリンク機構を伸縮させ、保持手段
を一方側と他方側との間で往復動させて被搬送物を搬送
することを特徴とする搬送装置である。
【0006】本発明に従えば、伸縮して一方側と他方側
との間で往復動するリンク機構を用いることによって、
スクリューねじを用いる従来の搬送装置に比べて格段に
速く搬送することができる。
【0007】請求項2記載の本発明は、被搬送物の搬送
経路が直線であることを特徴とする。本発明に従えば、
直線状に往復動して搬送することによって、たとえばア
ームを揺動させる場合と異なり、被搬送物に遠心力が作
用せず、また最短の搬送経路とすることができる。
【0008】請求項3記載の本発明の前記リンク機構
は、第1アームと、第1アームを、第1アームの基端部
を回転中心として回転駆動する駆動源と、基端部が、第
1アームの先端部に回転可能に連結され、第1アームの
回転に連動して回転し、先端側に前記保持手段が設けら
れる第2アームとを有し、第1アームが、予め定める第
1の回転方向に回転すると、これに連動して第2アーム
が、前記第1の回転方向とは反対方向の第2の回転方向
に回転して、第1アームの基端部に関して一方側から他
方側に保持手段が移動することを特徴とする。
【0009】本発明に従えば、リンク機構は第1アーム
と第2アームとを有し、たとえば第1アームの基端部が
ロボットの手首に取付けられる。第2アームは、第1ア
ームの先端部に基端部が回転可能に取付けられ、第2ア
ームの先端部に保持手段が設けられる。プレス機間でワ
ークを搬送する場合には、この搬送装置を有するロボッ
トを一対のプレス機間に設置する。
【0010】一方のプレス機から他方のプレス機までワ
ークを搬送するには、第1アームと第2アームとを開い
てリンク機構を一方側に伸張させ、第1アームの先端部
に設けられる保持手段を一方のプレス機まで伸ばしてワ
ークを保持する。そして、駆動源で、第1アームを第1
の回転方向に回転させる。すると、第1アームの先端部
に取付けられる第2アームが、第1アームの回転に連動
し、前記第1の回転方向とは反対方向の第2の回転方向
に回転してリンク機構が収縮し、ワークが他方側に移動
し始める。中央部では第1アームと第2アームとが重な
り、完全に収縮する。
【0011】さらに第1アームが第1の回転方向へ回転
すると、これに連動して第2アームもさらに回転し、リ
ンク機構は他方側に伸張し、ワークは他方側のプレス機
に到達する。ここで、保持手段による保持状態を解除し
て、ワークの搬送作業が完了する。保持手段を再び一方
のプレス機側に伸ばすには、第1アームを第2の方向に
回転させる。すると、リンク機構が収縮して一方側まで
伸び、一方のプレス機のワークを保持することができ
る。このような動作を繰返し、保持手段を一方のプレス
機と他方のプレス機との間で往復動させて、ワークのプ
レス機間搬送を行うことができる。
【0012】請求項4記載の本発明は、前記第2アーム
と保持手段との間に介在され、基端部が、第2アームの
先端部に回転可能に連結され、先端側に保持手段が設け
られる第3アームを有し、第2アームが、基端部を回転
中心として前記第2の回転方向に回転すると、これに連
動して前記第3アームが、基端部を回転中心として前記
第1の回転方向に回転することを特徴とする。
【0013】本発明に従えば、搬送装置は第1〜第3ア
ームを有し、第3アームの先端側に保持手段が設けられ
る構成であるので、収縮したときのリンク機構の長さに
比して、伸張したときのリンク機構の長さを長くするこ
とができ、長い距離を搬送することができる。
【0014】請求項5記載の本発明は、前記第3アーム
と保持手段との間に介在され、基端部が、第3アームの
先端部に回転可能に連結され、先端側に保持手段が設け
られる第4アームを有し、第3アームが、基端部を回転
中心として前記第1の回転方向に回転すると、これに連
動して前記第4アームが、基端部を回転中心として前記
第2の回転方向に回転することを特徴とする。
【0015】本発明に従えば、リンク機構は第1〜第4
アームを有し、大略的にW字状に構成され、収縮したと
きのリンク機構の長さに比して、伸張させたときのリン
ク機構の長さをさらに長くすることができ、これによっ
てさらに長い距離を搬送することが可能となる。
【0016】請求項6記載の本発明は、第1アームの回
転が、ベルトによって第1アーム以外のアームに伝達さ
れることを特徴とする。
【0017】本発明に従えば、たとえばタイミングベル
トと歯車とを用いて第1アームの回転を第2アームに伝
達し、これによって第1アームの回転に連動して第2ア
ームを回転させることができる。第3〜第4アームを用
いる場合も同様に、さらにタイミングベルトと歯車とを
設けることによって、第1アームの回転を伝達すること
ができる。
【0018】請求項7記載の本発明は、基端部が、第1
アームの基端部に回転可能に連結される第3アームと、
基端部が、第3アームの先端部に回転可能に連結され、
先端部が、第2アームの先端部側に回転可能に連結され
る第4アームとを有することを特徴とする。
【0019】本発明に従えば、第3アームの基端部は第
1アームの基端部に連結され、第4アームの基端部は第
3アームの先端部に連結され、第4アームの先端部に第
2アームの先端部とともに保持手段が設けられる。つま
り、第1アームと第4アームとがほぼ平行に配置され、
第2アームと第4アームとがほぼ平行に配置され、第1
〜第4アームでひし形のリンク機構が構成される。した
がって、第1アームと第2アームとを一方側に伸ばすと
ともに、第3アームおよび第4アームを一方側に伸ばす
ことによって、リンク機構を、一方側のプレス機側へ伸
ばすことができる。
【0020】ワークを他方側へ搬送するには、第1アー
ムを第1の回転方向に回転させるとともに、第3アーム
を第2の回転方向に回転させる。するとリンク機構が収
縮し、保持手段で保持されるワークが他方側に移動し始
める。そして中央で完全に収縮し、さらに回転させるこ
とによって、リンク機構が他方側に伸張し、ワークが他
方側のプレス機まで搬送される。
【0021】請求項8記載の本発明は、一方側で保持し
たときの被搬送物の向きと、他方側まで搬送したときの
被搬送物の向きとが同じになるように、第1アームの回
転に連動して保持手段を回転させることを特徴とする。
【0022】本発明に従えば、一方側から他方側へ、被
搬送物の向きを変えずに搬送することができるので、プ
レス機間搬送に好適である。
【0023】請求項9記載の本発明のリンク機構は、ロ
ボットの手首に取付けられることを特徴とする。
【0024】本発明に従えば、上述した各搬送装置を、
たとえば多関節形ロボットの手首に取付けることによっ
て、搬送装置の伸縮距離だけでなく、ロボットのアーム
の揺動によっても搬送され、搬送距離をさらに長くする
ことができる。
【0025】
【発明の実施の形態】図1は本発明の実施の一形態であ
る搬送装置1を備えるロボットシステム2を示す側面図
であり、図2はその平面図である。搬送装置1は、ロボ
ット3の手首7に取付けられ、一対のプレス機20,2
1間でワークWを搬送するのに用いられる。
【0026】ロボット3は6軸垂直多関節形ロボットで
あり、床に固定される基台4、下部アーム5、上部アー
ム6および手首7を有する。下部アーム5は、下端部が
鉛直な第1軸J1まわりに旋回可能に基台4に取付けら
れるとともに、水平な第2軸J2まわりに前後回転可能
に基台4に設けられる。下部アーム5の上端部には上部
アーム6の基端部が、水平な第3軸J3まわりに上下に
回転可能に取付けられる。上部アーム6の先端部に取付
けられる手首7は、上部アーム6の軸線に平行な第4軸
J4まわりに回転可能に取付けられるとともに、上部ア
ーム6の軸線に垂直な第5軸J5まわりに回転可能に取
付けられる。そしてこの手首7に、回転連結部8を介し
て搬送装置1が回転可能に取付けられる。
【0027】回転連結部8は、サーボモータから成る回
転駆動源M7を有し、手首7の第6軸J6と同軸の第7
軸J7まわりに回転可能に搬送装置1を手首7に取付け
る。ロボット3の各関節軸J1〜J6および第7軸J7
は、それぞれ個別にサーボモータによって回転駆動され
る。
【0028】搬送装置1は、第1アーム10および第2
アーム11から成るリンク機構9と、第2アーム11の
先端部に設けられる保持手段12とから構成され、第1
アーム10の基端部10aに前記回転連結部8が設けら
れ、第1アーム10は、第7軸J7まわりに回転可能に
ロボット3に支持される。第2アーム11は、第1アー
ム10と同じ長さであり、基端部11aが、第1アーム
10の先端部10bに、前記第7軸J7に平行な回転軸
線A1まわりに回転可能に取付けられ、第2アーム11
の先端部11bに保持手段12が取付けられる。保持手
段12は、複数の吸盤13を有し、これらの吸盤13で
ワークWを着脱可能に保持する。
【0029】ロボットシステム2のロボット3は2つの
プレス機20,21の中央に設置され、一方(図2の左
方)のプレス機20から他方(図2の右方)のプレス機
21にワークWを搬送する。ロボット3は、第7軸J7
が垂直となるように搬送装置1をほぼ水平に保持し、一
方のプレス機20側にリンク機構9を伸ばして、ワーク
Wを保持し、リンク機構9を収縮し、他方側に伸張させ
て他方のプレス機21にワークWを搬送する。搬送完了
後、リンク機構9を再び一方側に伸ばし、前述した搬送
動作を繰り返す。このように往復動して、図2に示すよ
うに、一対のプレス機20,21間を結ぶ直線である搬
送経路Lに沿ってワークWを搬送することができる。
【0030】次に、図3を参照してこのロボットシステ
ム2の搬送動作をさらに詳しく説明する。
【0031】まず一方のプレス機20に配置されるワー
クWを保持するために、図3(1)に示すように、一方
のワーク20側までリンク機構9を伸ばす。このとき、
リンク機構9は、ワークWの搬送経路Lに沿って第1ア
ーム10と第2アーム11とが直線状に伸びている。こ
のようにリンク機構9を伸張させたときに、第2アーム
11の先端に設けられる保持手段12が、一方のプレス
機20のワークWを保持できるように、搬送装置1を保
持するロボット3の上部アーム6を一方(図3の左方)
側に傾ける。
【0032】この状態で、保持手段12の各吸盤13で
ワークWを吸着保持し、第1アーム10を、基端部10
aの第7軸J7を中心として第1の回転方向(図3にお
いて時計回り)へ回転させると、これに連動して第2ア
ーム11が基端部11aの回転軸線A1を中心として前
記第1の回転方向とは反対方向である第2の回転方向
(図3において反反時計回り)へ回転し、図3(2)に
示すようにリンク機構9が折りたたまれ収縮し、ワーク
Wが他方(図3の右方)に移動し始める。このようにし
てリンク機構9を収縮させるとともに、ロボット3によ
って上部アーム6を一方側へ回転させて、搬送装置1を
搬送経路Lに沿って平行移動させる。
【0033】さらに第1アームを第1の方向に回転させ
ると、図3(3)に示すように、ワークWがプレス機2
0,21間の中央に達する。このとき、リンク機構9が
完全に収縮し、リンク機構9の第1アーム10と第2ア
ーム11とが重なる。このとき、搬送装置1はワークW
の搬送経路Lに垂直となり、またワークWは第1アーム
10の基端部10aの真下に配置される。
【0034】引続き第1アーム10を第1の回転方向へ
回転させるとともに、第2アーム11を第2の回転方向
へ回転させることによって、図3(4)に示すように、
リンク機構9が他方側に伸び始め、(5)に示すよう
に、第1アーム10および第2アーム11が直線状に伸
びたとき、第2アームの先端部に保持されるワークWが
他方側のプレス機21に達する。ここで、保持手段12
による吸着保持を解除することによって、他方側のプレ
ス機21にワークWが載置される。
【0035】このようにして、第1アーム10を一方側
から180°回転させて、一方側へ向けて伸ばしていた
リンク機構9を収縮させ、他方側へ伸張させることがで
き、一方から他方へワークWを搬送することができる。
保持手段12を一方側のプレス機20に戻すには、第1
アーム10を今度は第2の回転方向に180°回転させ
る。これによって、リンク機構9が中央で収縮し、さら
に一方側に向けて伸張する。このようにして、第1アー
ム10を一方側と他方側との間で180°往復回転させ
ることによって、ワークWのプレス機間搬送を行うこと
ができる。この第1アームの180°の往復回転は、ロ
ボット3の手首7によって行う。
【0036】また搬送時に、第1アーム10の基端部1
0aが、ワークWの直線搬送経路Lに沿って往復移動す
るように、ロボット3は、手首7を搬送経路Lに沿って
直線移動させる。
【0037】図3の(1)から(3)で第1アーム10
が第1の回転方向に90°回転する間に、第2アーム1
1は第2の回転方向に180°回転する。つまり、第1
アーム10の回転角度をθとしたとき、第2アーム11
の回転角度は−2θとなり、一方側から他方側へ第1ア
ーム10が180°回転する間に第2アーム11は反対
方向に360°回転することになる。この第2アーム1
1の回転は、第1アーム10の回転に連動して回転す
る。
【0038】次に、連動して回転する第1アーム10と
第2アーム11との内部機構について説明する。図4
は、搬送装置1の内部機構を示す平面図であり、図5は
その側面図である。
【0039】第1アーム10は中空の第1アーム本体2
2を有し、回転連結部8を介して手首7に連結される。
この第1アーム本体22の内部で、基端部10a側に、
手首7の軸線J6と同軸の第7軸J7を回転軸線とする
第1太陽歯車25が設けられる。この第1太陽歯車25
は、回転連結部8のサーボモータM7によって回転駆動
される。第1アーム本体22の先端部10bには、前記
第7軸J7に平行な回転軸線A1まわりに回転自在に軸
支される第1遊星歯車26が設けられ、第1太陽歯車2
5から第1遊星歯車26間にわたってタイミングベルト
27が巻掛けられる。第1遊星歯車26は、軸受け28
によって第1アーム本体22に回転自在に軸支されると
ともに、第2アーム11の基端部11aが固定され、第
1遊星歯車26と一体となって第2アーム11が回転す
る。
【0040】前述したように、手首7で第1アーム10
が180°回転駆動するが、回転連結部8のサーボモー
タM7は、この手首7による第1アーム10の回転を打
ち消すように第1太陽歯車25を回転させる。つまり、
手首7が第1の回転方向に180°回転するとき、第1
太陽歯車25を第1の回転方向とは反対方向の第2の回
転方向に180°回転させ、いわば第1太陽歯車25を
回転させず、固定的に保持する。
【0041】第1太陽歯車25から第1遊星歯車26に
わたってタイミングベルト27が巻掛けられているの
で、図4に示すように、歯車25を固定した状態で、第
1アーム10を第1の回転方向(図4の紙面で時計回
り)に回転させると、タイミングベルト26が図4の矢
符に示すように回転し、これによって第1遊星歯車26
が第2の回転方向(反時計まわり)に回転する。前述し
たように、第1遊星歯車26と第2アーム11とは固定
されており、一体となって回転するので、第1アーム1
0を第1の回転方向に回転駆動させることによって、第
1遊星歯車26とともに第2アーム11を第2の回転方
向に連動して回転させることができる。
【0042】図4に示すように、第1太陽歯車25は第
1遊星歯車26よりも大きく、第1太陽歯車25の歯数
をNとすると、第1遊星歯車26の歯数はN/2であ
る。したがって、第1アーム10を180°回転させる
と第1遊星歯車26は360°回転する。つまり、第1
アーム10を第1の回転方向に180°回転させること
によって、第2アーム11を第2の回転方向に360°
回転させることができる。このようにして、図3で示し
たように、第1アーム10を一方側から他方側へ180
°回転させると、これに連動して第2アーム11が反対
方向に360°回転し、一方側から他方側へワークWを
搬送することができる。また、第1アーム10の長さと
第2アームの長さはどちらも同じWであるので、第1ア
ーム10を180°回転させることによって、第2アー
ム11の先端に保持するワークWを直線状に移動させる
ことができる。
【0043】図6は、本発明の他の実施形態の搬送装置
の動作を示す図である。この実施の形態では上述した実
施形態の搬送装置1と動作のみが異なる。すなわち、図
3で示したように、搬送装置1はロボット3に対して外
側に折りたたまれるのに対し、図6に示すように搬送装
置では内側に折りたたまれる。
【0044】すなわち、一方側から他方側へワークWを
搬送するとき、第1アーム10は反反時計回りに回転
し、第2アーム11は、時計回りに回転する。この場合
でも中間部では、図6(3)に示すように、第1アーム
10と第2アーム11とが重なるように折りたたまれ、
ロボット3の上部アーム6と搬送装置30とが搬送経路
Lに対して垂直となるように一直線状に配置される。そ
の後、さらに第1アーム10を反時計回りに回転させ、
搬送装置30を他方側へ伸ばしてワークWを搬送する。
【0045】図7は、本発明の他の実施の形態の搬送装
置35の動作を示す図である。図3または図6に示す前
述した搬送装置では、一方のプレス機20から他方のプ
レス機21に搬送させる間に、ワークWが180°反転
するが、本実施形態の搬送装置35では、図7に示すよ
うにワークWが反転しない。これは、第2アーム11の
先端部に設けられる保持手段12が、第7軸J7に平行
な回転軸線A2まわりに回転可能に設けられ、第1アー
ム10、第2アーム11の回転に連動して保持手段12
が回転することによる。
【0046】さらに詳しく説明すると、図7(1)に示
すように、一方のプレス機20側へ搬送装置35を伸ば
し、保持手段12でワークWを保持したのち、第1アー
ム10が第1の回転方向(図7において時計回り)に回
転し、第2アーム11が第2の回転方向(図7において
反時計回り)に回転するとともに、保持手段12が、第
1の方向(図7において時計回り)に回転する。このよ
うに回転させることによって、ワークWが、保持した状
態と同じ向きを維持して移動し始める。
【0047】さらに第1アーム10を第1の方向に回転
させると、図7(2)に示す状態を経て、図7(3)に
示すようにプレス機20,21間の中央部で搬送装置3
5は折りたたまれる。このとき、搬送経路に垂直にロボ
ット3の上部アーム6、搬送装置35の第1アーム10
および第2アーム11が折り重なる。
【0048】さらに第1アーム10を第1の方向に回転
させることによって、ワークWの向きを同じ向きに維持
した状態で、搬送装置35は他方側に伸びる。このよう
にして、図7(4)の状態を経て、第1アーム10と第
2アーム11とを一直線になるまで伸ばし、ワークWを
他方のプレス機21まで搬送させる。図7(5)に示す
ように、搬送完了後のワークWの向きは、(1)に示す
搬送開始時のワークWの向きと同じである。このよう
に、搬送装置35では第1および第2アーム10,11
の回転動作に連動して保持手段12を回転させることに
よって、搬送時に常にワークWの向きを一定に保持し、
ワークWを反転させることなく一方側から他方側へ搬送
することができる。
【0049】一方側から他方側へワークWを搬送すると
き、第1アーム10が第1の回転方向(時計回り)に回
転し、第2アーム11が第1アーム10に対して、第2
の回転方向(反時計回り)に360°回転する。このと
き図7の(1)〜(5)から判るように、保持手段12
は、第2のアーム11に対して第1の回転方向(時計回
り)に180°回転する。つまり、第1アーム10の回
転角度をθとすると、第2アーム11の回転角度は−2
θとなり、保持手段12の回転角度はθとなる。次に、
このような第1アーム10の回転に連動して回転する第
2アーム11および保持手段12の回転機構について説
明する。
【0050】図8は、搬送装置35の内部機構を示す平
面図であり、図9はその側面図である。第1アーム10
に連動して動く第2アーム11に関しては、前述した搬
送装置1と同様の機構である。すなわち、第1アーム本
体22の基端部に設けられる第1太陽歯車25、第1ア
ーム本体22の先端部に設けられ、第2アーム11と一
体に回転する第1遊星歯車26、およびこれらの歯車2
5,26にわたって巻掛けられるタイミングベルト27
によって、第1アーム10を回転させることによって第
2アーム11が回転する。
【0051】保持手段12の回転もこれと同様の機構を
用いる。すなわち、中空の第2アーム本体39の基端部
に第2太陽歯車36を設け、先端部に第2遊星歯車37
を設け、これらにタイミングベルト38を巻きかける。
図10に示すように、第2太陽歯車36は、第1アーム
本体22に固定的に連結され、第1アーム10と一体に
回転する。第1遊星歯車26と第2太陽歯車36は回転
軸線A1を共通にもつが、図10に示すように、第1遊
星歯車26は、軸34を介して第2アーム本体39に固
定的に接続され、第2アーム11と一体に回転軸線A1
まわりに回転するが、第2太陽歯車36は、第1アーム
本体22に固定的に接続され、第1アーム10と一体と
なる。第2遊星歯車37は、第2アーム11本体の先端
部11aで、回転軸線A1に平行な回転軸線A2まわり
に回転自在に、第2アーム本体39に軸支される。
【0052】図7(1)〜(5)から分かるように、第
1アーム10が第1の回転方向に180°回転する間
に、第2アーム11は、第1アーム10に対して第2の
回転方向に360°回転する。つまり、第2アーム11
に対して、第1アーム10が相対的に、360°第1の
回転方向に回転することになる。前述したように、第2
太陽歯車36は第1アーム10に固定されているので、
第2アーム11に対して、第1アーム10が第1の回転
方向に360°回転すると、第2太陽歯車36も第2ア
ーム11、つまり第2アーム本体39に対して第1の回
転方向に360°回転する。
【0053】この第2太陽歯車36から第2遊星歯車3
7にわたってタイミングベルト38が巻き掛けられてい
るので、第2遊星歯車37も、第1の回転方向に回転す
る。保持手段12は、この第2遊星歯車37に固定的に
連結され、第2遊星歯車37とともに回転する。第2太
陽歯車36の歯数は、第2遊星歯車37の歯数の1/2
であるので、保持手段12の回転角度は、第2遊太陽歯
車36回転角度の1/2となり、第1アーム10を18
0°回転させると、保持手段12も180°回転する。
【0054】このようにして、回転連結部8のサーボモ
ータM7によって第1アーム10を第1の回転方向に角
度θ回転させると、第2アーム11が第2の回転方向に
角度2θ回転し、保持手段12が、第1の回転方向に角
度θ回転する。このように、第1アーム10、第2アー
ム11および保持手段12を連動させて回転させること
によって、ワークWをつねに一定の方向として搬送する
ことができる。
【0055】また、図搬送装置35は図7に示すように
ロボット3の外側に折りたたむように構成したけれど
も、図11に示すように、ロボット3の内側に折りたた
むように構成してもよい。
【0056】図12は本発明のさらに他の形態の搬送装
置40の内部機構を示す平面図であり、図13はその側
面図である。本実施形態の搬送装置40は、第1および
第2アーム10,11に加えさらに第3アーム41,第
4アーム42を設けたことを特徴とする。第1〜第4ア
ーム10,11,41,42は、それぞれ同じ長さWを
有する。
【0057】第3アーム41の基端部は、第2アーム1
1の先端部の回転軸線A2まわりに回転自在に連結さ
れ、第4アーム42の基端部は、第3アーム41の先端
部に、前記回転軸線A2に平行な回転軸線A3まわりに
回転自在に連結され、第4アーム42の先端部には、前
記回転軸線A3に平行な回転軸線A4まわりに回転自在
に保持手段12が取付けられ、図12に示すように略M
字状に連結される。
【0058】第3および第4アーム41,42も第1お
よび第2アーム10,11と同様に内部にそれぞれ第
3、第4太陽歯車43,45、第3、第4遊星歯車4
4,46およびこれらに巻掛けられるタイミングベルト
47,48を有し、第1アーム10の回転に連動して第
2、第3、第4アーム11,41,42および保持手段
12が回転する。
【0059】ワークWを搬送するには、第1〜第4アー
ム10,11,41,42を一直線上に一方側のプレス
機20に伸ばし、保持手段12でワークWを保持し、第
1アーム10を第1の回転方向(図12で時計回り)に
回転させる。すると、これに連動して第2アーム11が
第2の回転方向(反時計回り)に回転し、これに連動し
て第3アーム41が第1の回転方向(時計回り)に回転
し、これに連動して第4アーム42が第2の回転方向
(反時計回り)に回転し、これに連動して保持手段12
が第1の回転方向(反時計回り)に回転する。このよう
にして、搬送装置40が収縮し、一対のプレス機20,
21の中央部で搬送装置40が完全に折りたたまれ、さ
らに第1アーム10を第1の方向に回転させると、第1
〜第4アーム10,11,41,42が他方側に一直線
状に伸び、ワークWを他方のプレス機21まで搬送する
ことができる。このようにして、ワークWを反転させる
ことなく搬送することが可能である。
【0060】また、搬送装置40では折りたたんだとき
の反装置の長さがWであるのに対し、伸ばしたときの搬
送装置の長さが4Wとなり、搬送装置40のみで一方か
ら他方へ8Wの距離を搬送することができる。また図1
2,13で示す搬送装置40では、搬送装置40をM字
状とし、ロボット3の上部アーム6側に外側に折りたた
んだけれども、これと反対にW字状とし、上部アーム6
の内側に折りたたむように構成してもよい。
【0061】図14は、本発明の実施のさらに他の形態
である搬送装置50の構成を示す平面図である。搬送装
置50のリンク機構53は、第1〜第3アーム10,5
1,52を有し、第1および第3アーム10,52の長
さはWであるのに対し、第2アーム51の長さは2Wで
ある。第2アーム51の基端部は第1アーム10の先端
部に回転可能に取付けられ、第3アーム52の基端部は
第2アーム51の先端部に回転可能に取付けられ、第3
アーム52の先端部に保持手段12が回転可能に取付け
られる。これらの第1〜第3アーム10,51,52お
よび保持手段12も前述と同様に第1アーム10の回転
に連動して回転する。
【0062】したがって、第1〜第3アーム10,5
1,52を直線上に一方側に伸ばし、ワークWを保持し
た状態で第1アーム10を第1の回転方向に回転させて
搬送装置50を折りたたみ、さらに第1アーム10を第
1の回転方向に回転させて他方側まで搬送装置50を伸
ばすことによって、ワークWを反転させることなく搬送
することができる。この搬送装置50では、第2のアー
ム51の長さを2Wとすることで、3つのアーム10,
51,52のみで前述したM字状の搬送装置と同じ8W
の距離を搬送することができる。また、第1アーム10
をロボット3の上部アーム6に対して外側に回転させる
場合に限らず、内側に回転させるように構成してもよ
い。
【0063】上述した各実施形態ではタイミングベルト
と歯車とによって第1アーム10の回転を他のアームお
よび保持手段に伝達するように構成したが、このような
方法に限らず、たとえばチェーンとスプロケットホイー
ル、または歯車列によって回転を伝達するように構成し
てもよい。
【0064】図15は、本発明の実施のさらに他の形態
の搬送装置60の構成を示す平面図である。搬送装置6
0のリンク機構68は、4つの第1〜第4アーム61〜
64を有し、第1アーム61の基端部は、ロボット3の
手首7に取付けられる回転連結部8の下に回転可能に連
結され、第3アーム63の基端部も回転連結部8の下に
回転可能に取付けられる。第1アーム61の先端部の下
に第2アーム62の基端部が回転可能に取付けられ、第
3アーム63の先端部の下に第4アーム64の基端部が
回転可能に取付けられ、第2アーム62および第4アー
ム54の先端部の下に連結部材67を介して保持手段1
2が取り付けらる。第2アーム62の先端部と連結部材
67とは回転可能に連結され、第4アーム64の先端と
連結部材67とは、第3アーム63の先端とは異なる位
置で連結部材67に回転可能に連結される。保持手段1
2はこの連結部材67の下に固定される。
【0065】第1〜第4アーム61〜64はそれぞれ同
じ長さWを有し、第1アーム61と第4アーム64とが
平行に配置され、第2アーム62と第3アーム63とが
平行に配置され、これらによってひし形のリンク機構6
8が構成される。
【0066】第2アーム62と第4アーム64の先端部
には、それぞれ歯車65,66が固定され、互いに噛合
している。
【0067】一方側のプレス機20のワークWを保持す
るには、第1および第3アーム61,63を一方側に向
ける。すると、第2アーム62が第1アーム61と一直
線となり、第4アーム64が第3アーム63と一直線と
なり、リンク機構9は一方側のプレス機20に向けて伸
びる。他方側のプレス機21へワークWを搬送するに
は、第1アーム61を第1の回転方向へ、第3アーム6
3を第2の方向へ回転させ、リンク機構68を収縮させ
る。すると、ワークWが他方側に移動し始める。
【0068】ワークWが第1および第3アーム62,6
3の基端部の下を通過するとき、第1アーム61の下に
第2アーム62が重なり、第3アーム63の下に第4ア
ーム64が重なり、第1および第3アーム61,63の
基端部の下にワークWが配置される。さらに、第1アー
ム61を第1の回転方向(時計回り)に回転させると、
ワークWがさらに他方側へ搬送され、第1アーム61と
第2アーム62および第3アーム63と第4アーム64
とが一直線になって伸びると、ワークWが他方側のプレ
ス機21まで搬送される。
【0069】保持手段12は、前述したように、第2ア
ーム62および第4アーム64の先端部に連結部材67
を介して連結され、第2アーム62の先端部と第3アー
ム63の先端部とは異なる位置で連結部材67に連結さ
れるので、搬送中は連結部材67の向きが一定である。
したがって、この連結部材67に固定される保持手段1
2の向きも一定であり、これによって、ワークWを反転
させることなく、搬送することが可能である。
【0070】図16は、本発明のさらに他の実施の形態
である搬送装置70の構成を示す平面図である。搬送装
置70は、大略的な構成は図15に示す搬送装置60に
類似し、第1〜第4アーム71〜74によってひし形の
リンク機構75が構成されるが、各アーム71〜74が
それぞれ平行クランク機構から成る。すなわち、第1ア
ーム71は第1〜第4リンク81〜84から構成され、
第2アーム72は第1アーム71のリンク84を共通に
持つ4つのリンク84〜87から構成され、第3アーム
73は、第1アーム71のリンク81を共通に持つ4つ
のリンク81,89〜91から構成され、第4アーム7
4は、第3アームのリンク91および第2アームのリン
ク87を共通に持つ4つのリンク87,91〜93から
構成され、保持手段12は、第2アーム72と第4アー
ム74の共通のリンク87の下に取付けられる。
【0071】第1アーム71を第2の方向(反時計回
り)に一方側から下方側へ回転させることによって、ワ
ークWを反転させることなく一方のプレス機20から他
方のプレス機21に搬送することができる。
【0072】図17は、本発明のさらに他の実施形態の
搬送装置100を示す平面図である。この搬送装置10
0は、図12で説明したM字状の搬送装置40に類似
し、4つのアーム101〜104から成るリンク機構1
05を有するが、本実施形態では、各アーム101〜1
04は、図16で示した搬送装置70と同様に、それぞ
れ平行クランク機構から成る。また、第1アーム101
のリンク106と第2アーム102のリンク107と第
3アーム103のリンク108と第4アーム104のリ
ンク109内に、搬送装置40と同様に、歯車とタイミ
ングベルトが内蔵される。これによって、搬送装置40
と同様にリンク機構105は伸縮して、ワークWを反転
させることなく、搬送することができる。また、この搬
送装置100は、図17に示すようにM字状に限らず、
これとは対称のW字状であってもよい。
【0073】図18は、本発明のさらに他の実施の形態
の搬送装置110を示す平面図である。この搬送装置1
11は、図14に示す搬送装置50に類似し、3つのア
ーム111〜113から成るリンク機構114を有する
が、各アーム111〜113は前述した搬送装置100
と同様に、それぞれ平行クランク機構からなる。また、
第1アーム111のリンク115と、第2アーム112
のリンク116と、第3アーム113のリンク117内
にはそれぞれ歯車とタイミングベルトが内蔵され、搬送
装置50と同様に動作する。これによって、搬送装置1
10のリンク機構114も伸縮し、ワークWを反転させ
ることなく搬送することができる。
【0074】図19は、本発明のさらに他の実施形態の
搬送装置120を示す平面図である。この搬送装置12
0は、第1〜第6アーム121〜126からなるリンク
機構127を有する。第1ア―ム121と第4アーム1
24は基端部が回転連結部8の下に回転可能に取付けら
れ、第2アーム122の基端部は、第1アーム121の
先端部の下に回転可能に取付けられ、第5アーム125
は、第4アーム124の先端部の下に回転可能に取付け
られ、第3アーム123は、第2アーム122の先端部
の下に回転可能に取付けられ、第6アーム126は、第
5アーム125の先端部の下に回転可能に取付けられ、
第3アーム123の先端部と第6アーム126の下に連
結部材127が回転可能に取付けられ、この連結部材1
27の下に保持手段12が固定される。
【0075】第3アーム123の先端部と第6アーム1
26の先端部には互いに噛合する歯車128,129が
固定されており、リンク機構127を伸縮させ、ワーク
Wを一方側から他方側に移動させることができる。
【0076】第2アーム122と第5アーム125は、
それぞれ中央部で互いに回転自在に連結される。図20
は、第2アーム122と第5アーム125との連結状態
を示す斜視図である。なお、図解の便宜のため、第2ア
ーム122を、図19および図20で斜線を施して示
す。第2アーム122は、上第2アーム122bと下第
2アーム122aとから構成され、これらが中央部で連
結される。そして、第5アームも同様に、上第5アーム
125bと下第5アーム125aとから構成され、これ
らが中央部で上下に連結されて固定され一体となる。一
対の第2アーム122a、122bは、この第5アーム
125の連結部を上下に挟み、第5アーム125の内部
で連結されて一体となっている。
【0077】図19から分かるように、ワークWを一方
側から他方側に移動させるとき、中央で第2アーム12
2と第5アーム125とが重なり、他方側では交差の向
きが逆となる。第2アーム122と第5アーム125と
が重なるとき、上第5アーム125bの下を下第2アー
ム122aが通過し、上第2アーム122bの下を下第
5アーム125aが通過する。これによって、各アーム
121〜126が干渉することなくワークWを一方側か
ら他方側に搬送することができる。
【0078】また、図20に示すように、第2アーム1
22と第5アーム125との連結部では、それぞれ上下
方向に半分に切り欠かれている。この切欠きによって、
ワークWの移動中に第2アーム122と第5アーム12
5とが互いに干渉することが防がれる。
【0079】図21は本発明のさらに他の実施の形態の
搬送装置130を示す平面図である。この搬送装置13
0は、図19示す搬送装置120に類似し、第1アーム
131〜第6アーム136から構成されるリンク機構を
有するが、各アーム131〜136はそれぞれ平行クラ
ンク機構からなる。したがって、第2アーム132のリ
ンク132a,132bと第5アーム135のリンク1
35a,135bとは図20で示したように、中央部で
上下に分かれて連結される。
【0080】また、第1アーム132のリンク131
a,131bと、第2アーム132a,132bとはリ
ンク140aを介して連結される。図22に示されるよ
うに、第2アーム132a,132bの端部は上下に半
分に切りかかれており、リンク140aは、この切りか
かれた部分に設けられる。これによって、ワークW搬送
中に、リンク140aが第5アーム135の各リンク1
35a,135bに干渉することが防がれる。このよう
な構成は、第2アーム132と第3アーム133との連
結部のリンク140d、第4アーム134と第5アーム
135との連結部のリンク140b、第5アーム135
と第6アーム136との連結部のリンク140cにおい
ても同様である。
【0081】図23は、第3アーム133のリンク13
3a,133bと第6アームのリンク136a,136
bとの連結部を示す斜視図である。図に示すように、第
3アーム133のリンク133aの先端部と第6アーム
のリンク136aの先端部はそれぞれ上下に半分に切り
かかれ、この切りかかれた部分にリンク141が連結さ
れる。これによって、ワークW搬送時にリンク133a
とリンク136bとが干渉することが防がれる。リンク
133bとリンク136bとの連結も同様である。そし
て、これらの連結部の下にリンク141が連結され、こ
のリンク141の下には保持手段12が固定される。こ
のような搬送装置130のリンク機構を伸縮させ、ワー
クWを一方側から他方側へ搬送することができる。
【0082】上述した各実施形態では各搬送装置はロボ
ットの手首に取付ける構成としたが、本発明はこのよう
な形態に限らず、たとえば第1アームの基端部を床に対
して固定的に保持し、搬送装置のみで搬送するように構
成してもよい。また、保持手段は上述したような吸着保
持に限らず、ハンドなどを用いて把持するように構成し
てもよい。
【0083】
【発明の効果】以上のように本発明の搬送装置は、リン
ク機構を伸縮させ、一方側と他方側との間で往復動させ
て被搬送物を搬送するので、スクリューねじを用いてス
ライドさせる従来の搬送装置に比べて、格段に速く搬送
することができる。
【0084】またリンク機構は、第1アームと、第1ア
ームの先端部に回転可能に設けられ、第1アームの第1
の回転方向に連動して、第1の回転方向とは反対方向で
ある第2の回転方向に回転する第2アームとを有し、第
2アームの先端に被搬送物を保持する保持手段を設け、
第1アームを第1の回転方向に一方側から他方側へ回転
することによって、被搬送物を直線状に搬送することが
できる。
【0085】また、アームの回転に連動して保持手段も
回転するように構成することによって、被搬送物を反転
させることなく搬送することが可能である。
【0086】第3アーム、またさらに第4アームを設け
ることによって、搬送距離を長くすることができる。
【0087】また、各アームをたとえばタイミングベル
トと歯車とを用いて連動して回転するように構成するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の一形態である搬送装置1を用い
るロボットシステム2を示す側面図である。
【図2】ロボットシステム2の平面図である。
【図3】搬送装置1による搬送過程を示す図である。
【図4】搬送装置1の内部機構を示す平面図である。
【図5】搬送装置1の内部機構を示す側面図である。
【図6】搬送装置1の他の形態の搬送過程を示す図であ
る。
【図7】搬送装置35の搬送過程を示す図である。
【図8】搬送装置35の内部機構を示す平面図である。
【図9】搬送装置35の内部機構を示す側面図である。
【図10】搬送装置35の第1遊星歯車26、第2太陽
歯車36近傍を示す断面図である。
【図11】搬送装置35の他の形態の搬送過程を示す図
である。
【図12】搬送装置40の内部機構を示す平面図であ
る。
【図13】搬送装置11の内部機構を示す側面図であ
る。
【図14】搬送装置50の構成を示す平面図である。
【図15】搬送装置60の構成を示す平面図である。
【図16】搬送装置70の構成を示す平面図である。
【図17】本発明のさらに他の実施の形態の搬送装置1
00を示す平面図である。
【図18】本発明のさらに他の実施の形態の搬送装置1
10を示す平面図である。
【図19】本発明のさらに他の実施の形態の搬送装置1
20を示す平面図である。
【図20】第2アーム122と第5アーム125との連
結状態を示す斜視図である。
【図21】本発明のさらに他の実施の形態の搬送装置1
30を示す平面図である。
【図22】第1アーム131a,131bと第2アーム
132a,132bとの連結状態を示す斜視図である。
【図23】第3アーム133a,133bと第6アーム
136a,136bとの連結状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
1,35,40,50,60,70,100,110,
120,130, 搬送装置 2 ロボットシステム 3 ロボット 8 回転連結部 9,53,68,75,105 リンク機構 10,61,71,101,111,121,131
第1アーム 11,51,62,72,102,112,122,1
32 第2アーム 12 保持手段 41,52,41,63,73,103,113,12
3,133 第3アーム 42,42,64,74,104,124,134,
第4アーム

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一方側に伸張した状態から収縮し、前記
    一方側とは反対側の他方側まで伸張可能なリンク機構
    と、 前記リンク機構の先端部に設けられ、被搬送物を着脱可
    能に保持する保持手段とを有し、 リンク機構を伸縮させ、保持手段を一方側と他方側との
    間で往復動させて被搬送物を搬送することを特徴とする
    搬送装置。
  2. 【請求項2】 被搬送物の搬送経路が直線であることを
    特徴とする請求項1記載の搬送装置。
  3. 【請求項3】 前記リンク機構は、第1アームと、 第1アームを、第1アームの基端部を回転中心として回
    転駆動する駆動源と、 基端部が、第1アームの先端部に回転可能に連結され、
    第1アームの回転に連動して回転し、先端側に前記保持
    手段が設けられる第2アームとを有し、 第1アームが、予め定める第1の回転方向に回転する
    と、これに連動して第2アームが、前記第1の回転方向
    とは反対方向の第2の回転方向に回転して、第1アーム
    の基端部に関して一方側から他方側に保持手段が移動す
    ることを特徴とする請求項1または2記載の搬送装置。
  4. 【請求項4】 前記第2アームと保持手段との間に介在
    され、基端部が、第2アームの先端部に回転可能に連結
    され、先端側に保持手段が設けられる第3アームを有
    し、 第2アームが、基端部を回転中心として前記第2の回転
    方向に回転すると、これに連動して前記第3アームが、
    基端部を回転中心として前記第1の回転方向に回転する
    ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の
    搬送装置。
  5. 【請求項5】 前記第3アームと保持手段との間に介在
    され、基端部が、第3アームの先端部に回転可能に連結
    され、先端側に保持手段が設けられる第4アームを有
    し、 第3アームが、基端部を回転中心として前記第1の回転
    方向に回転すると、これに連動して前記第4アームが、
    基端部を回転中心として前記第2の回転方向に回転する
    ことを特徴とする請求項4記載の搬送装置。
  6. 【請求項6】 第1アームの回転が、ベルトによって第
    1アーム以外のアームに伝達されることを特徴とする請
    求項3〜5のいずれか1つに記載の搬送装置。
  7. 【請求項7】 基端部が、第1アームの基端部に回転可
    能に連結される第3アームと、 基端部が、第3アームの先端部に回転可能に連結され、
    先端部が、第2アームの先端部側に回転可能に連結され
    る第4アームとを有することを特徴とする請求項3記載
    の搬送装置。
  8. 【請求項8】 一方側で保持したときの被搬送物の向き
    と、他方側まで搬送したときの被搬送物の向きとが同じ
    になるように、第1アームの回転に連動して保持手段を
    回転させることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1
    つに記載の搬送装置。
  9. 【請求項9】 前記リンク機構は、ロボットの手首に取
    付けられることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1
    つに記載の搬送装置。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007118175A (ja) * 2005-09-27 2007-05-17 Yaskawa Electric Corp 搬送システム
JP2007276025A (ja) * 2006-04-04 2007-10-25 Yaskawa Electric Corp 多関節ロボット
JP2008254138A (ja) * 2007-04-06 2008-10-23 Yaskawa Electric Corp 多関節ロボット
JP2009095940A (ja) * 2007-10-17 2009-05-07 Yaskawa Electric Corp ワーク搬送ロボットおよび搬送方法
JP2016190295A (ja) * 2015-03-31 2016-11-10 セイコーエプソン株式会社 ロボットシステム
JP2019182596A (ja) * 2018-04-10 2019-10-24 株式会社東芝 物品反転送出装置、物品反転送出システム
JP2021510237A (ja) * 2018-01-10 2021-04-15 ラム リサーチ コーポレーションLam Research Corporation 追加の回転軸を有する回転インデクサ

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007118175A (ja) * 2005-09-27 2007-05-17 Yaskawa Electric Corp 搬送システム
JP2007276025A (ja) * 2006-04-04 2007-10-25 Yaskawa Electric Corp 多関節ロボット
JP4761054B2 (ja) * 2006-04-04 2011-08-31 株式会社安川電機 多関節ロボット
JP2008254138A (ja) * 2007-04-06 2008-10-23 Yaskawa Electric Corp 多関節ロボット
JP2009095940A (ja) * 2007-10-17 2009-05-07 Yaskawa Electric Corp ワーク搬送ロボットおよび搬送方法
JP2016190295A (ja) * 2015-03-31 2016-11-10 セイコーエプソン株式会社 ロボットシステム
JP2022123004A (ja) * 2018-01-10 2022-08-23 ラム リサーチ コーポレーション 追加の回転軸を有する回転インデクサ
JP2021510237A (ja) * 2018-01-10 2021-04-15 ラム リサーチ コーポレーションLam Research Corporation 追加の回転軸を有する回転インデクサ
JP7096540B2 (ja) 2018-01-10 2022-07-06 ラム リサーチ コーポレーション 追加の回転軸を有する回転インデクサ
US11482436B2 (en) 2018-01-10 2022-10-25 Lam Research Corporation Rotational indexer with additional rotational axes
JP7303926B2 (ja) 2018-01-10 2023-07-05 ラム リサーチ コーポレーション 追加の回転軸を有する回転インデクサ
US11699610B2 (en) 2018-01-10 2023-07-11 Lam Research Corporation Rotational indexer with additional rotational axes
JP2019182596A (ja) * 2018-04-10 2019-10-24 株式会社東芝 物品反転送出装置、物品反転送出システム

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