JP2022123004A - 追加の回転軸を有する回転インデクサ - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2018年1月10日出願の、「ROTATIONAL INDEXER WITH ADDITIONAL ROTATIONAL AXES」と題する米国出願第15/867,599号の優先権の利益を主張し、上記の出願は、あらゆる目的のために参照により本明細書に組み込まれる。
本発明は、たとえば、以下のような態様で実現することもできる。
(1)適用例1:
マルチステーション半導体処理チャンバ内のステーション間でウエハを搬送するための装置であって、
前記装置は、
回転インデクサであって、複数のウエハが前記回転インデクサ上に載置されて前記回転インデクサが作動されたとき、円形経路に沿って等距離に離れた場所の間で前記複数のウエハを同時に移動させるための回転インデクサを備え、
前記回転インデクサは、
ベースと、
第1のモータと、
第2のモータと、
第1のハブと、
N個のインデクサアームアセンブリであって、各インデクサアームアセンブリは、a)ウエハ支持体、およびb)前記第1のハブと固定接続された近位端と、前記ウエハ支持体と回転可能に接続された遠位端とを有するインデクサアームを含むN個のインデクサアームアセンブリと、
作動機構と
を含み、
前記第1のモータは、前記第1のハブの中心軸を中心に、前記ベースに対して前記第1のハブを回転させるように構成され、
前記第2のモータは、前記作動機構に回転入力を提供するように構成され、
Nは、2以上の整数であり、
各ウエハ支持体は、そのウエハ支持体の回転軸を中心に、前記対応するインデクサアームアセンブリの前記インデクサアームに対して回転するように構成され、
各ウエハ支持体の前記回転軸は、前記ウエハ支持体が前記ウエハを支持しているときに前記ウエハのうち対応する1つのウエハの中心を通過するように位置し、
前記作動機構は、前記作動機構が作動するように前記第2のモータの回転を伴わずに前記第1のモータが回転すること、前記第1のモータの回転を伴わずに前記第2のモータが回転すること、または前記第1のモータおよび前記第2のモータが回転することに応じて、前記インデクサアームの前記ウエハ支持体を、前記ウエハ支持体の前記対応する回転軸を中心に、前記インデクサアームに対して、同じ量だけ同じ回転方向に同時に回転させるように構成される
装置。
(2)適用例2:
適用例1の装置であって、
前記作動機構は、前記第2のモータによる作動に応じて前記第1のハブの前記中心軸を中心に回転するように構成される第2のハブを含み、
各インデクサアームアセンブリは、第1の回転可能なインターフェースによって前記第2のハブと回転可能に接続される近位端と、第2の回転可能なインターフェースによってそのインデクサアームアセンブリの前記ウエハ支持体と回転可能に接続される遠位端とを有するタイロッドをさらに含み、前記作動機構およびインデクサアームアセンブリは、前記中心軸を中心とした前記第1のハブと前記第2のハブとの間の相対回転により前記タイロッドが前記中心軸に対して略放射状に並進するように構成されており、それによって各タイロッドは、そのタイロッドが回転可能に接続される前記ウエハ支持体が、そのウエハ支持体の前記回転軸を中心に、前記インデクサアームに対して回転するように前記ウエハ支持体を回転させる、装置。
(3)適用例3:
適用例2の装置であって、
前記第1のハブおよび前記第2のハブは、第1の相対回転位置から第2の相対回転位置へと互いに対して回転可能であるように構成される、装置。
(4)適用例4:
適用例2の装置であって、
前記インデクサアーム、前記タイロッド、および前記ウエハ支持体は、セラミック材料で作製される、装置。
(5)適用例5:
適用例4の装置であって、
各インデクサアームアセンブリは、そのインデクサアームアセンブリの前記ウエハ支持体をそのインデクサアームアセンブリの前記インデクサアームと回転可能に接続する第3の回転可能なインターフェースを含み、
前記第1の回転可能なインターフェース、前記第2の回転可能なインターフェース、および前記第3の回転可能なインターフェースは、全てセラミックボールベアリングである、装置。
(6)適用例6:
適用例3の装置であって、
4つのインデクサアームアセンブリが存在し、
前記ウエハ支持体の各々は、前記第1のハブおよび前記第2のハブが前記第1の相対回転位置にあるとき、前記第1のハブに対して第3の相対回転位置にあり、
前記ウエハ支持体の各々は、前記第1のハブおよび前記第2のハブが前記第2の相対回転位置にあるとき、前記第1のハブに対して第4の相対回転位置にあり、
前記第3の相対回転位置および前記第4の相対回転位置は、互いに90°位相がずれている、装置。
(7)適用例7:
適用例6の装置であって、
前記第1のハブと前記第2のハブとの間の相対回転運動を90°から95°に制限するように構成される停止機構をさらに備える、装置。
(8)適用例8:
適用例6の装置であって、
各タイロッドの前記近位端の最上面が、そのタイロッドの前記第1の回転可能なインターフェースの真上に存在し、
各第1の回転可能なインターフェースは、最も近い他の第1の回転可能なインターフェースから第1の距離だけ水平方向に離間され、
各タイロッドは、そのタイロッドの前記第1の回転可能なインターフェースの回転中心からの第1の長手方向距離と、そのタイロッドの前記第1の回転可能なインターフェースの前記回転中心からの第2の長手方向距離との間に延びるオフセット領域を含み、
前記第1の長手方向距離は前記第1の距離よりも小さく、前記第2の長手方向距離は前記第1の距離よりも大きく、
各タイロッドの前記オフセット領域の最下面は、隣接するインデクサアームアセンブリからの前記タイロッドの前記遠位端の前記最上面よりも高く、それによって前記第1のハブおよび前記第2のハブが前記第1の相対回転位置にあるとき、前記隣接するインデクサアームアセンブリからの前記タイロッドの前記遠位端がそのタイロッドの下を通過することを可能にする、装置。
(9)適用例9:
適用例3の装置であって、
前記ウエハ支持体の各々は、前記第1のハブおよび前記第2のハブが前記第1の相対回転位置にあるとき、前記第1のハブに対して第3の相対回転位置にあり、
前記ウエハ支持体の各々は、前記第1のハブおよび前記第2のハブが前記第2の相対回転位置にあるとき、前記第1のハブに対して第4の相対回転位置にあり、
前記第3の相対回転位置および前記第4の相対回転位置は、互いに360°/N位相がずれている、装置。
(10)適用例10:
適用例1の装置であって、
前記ハブは、各インデクサアームアセンブリのための個別の装着インターフェースを含み、
各装着インターフェースは、張力調整可能なインターフェースと、前記張力調整可能なインターフェースの周りに配置された3つの円錐状凹部とを含み、
各円錐状凹部内には球体が入れ込まれ、
各インデクサアームは、
前記張力調整可能なインターフェースが通過して突出する開口と、
前記開口に対して外向きに放射状に延びる3つの溝であって、前記対応する装着インターフェースの各球体は、そのインデクサアームの対応する溝にも入り込み、前記張力調整可能なインターフェースは各々、前記インデクサアームの対応する1つと前記装着インターフェースの対応する1つとの間で前記球体を圧縮するように構成される3つの溝と
を含む、装置。
(11)適用例11:
適用例10の装置であって、
各インデクサアームに関連付けられた前記張力調整可能なインターフェースは、ねじ付き構成要素とばねとを備え、前記ねじ付き構成要素を締め付けて張力をかけたときに、前記各インデクサアームとそのインデクサアームを前記第1のハブと接続する前記装着インターフェースとの間に配置された前記球体に対してそのインデクサアームを圧縮するように、前記ばねが構成されている、装置。
(12)適用例12:
適用例1の装置であって、
前記第1のモータおよび前記第2のモータを収容し、第1のハブ回転インターフェースを介して前記第1のハブを支持するモータハウジングと、
z軸駆動システムであって、前記z軸駆動システムの作動に応じて垂直方向軸に沿って前記モータハウジングを並進させるように構成されたz軸駆動システムと
をさらに備える、装置。
(13)適用例13:
適用例1の装置と、
N個の処理ステーションを有する半導体処理チャンバハウジングと
を備え、
各処理ステーションは、半導体ウエハを支持するように構成された台座を含み、
前記装置は、前記半導体処理チャンバハウジング内で、台座間で半導体ウエハを搬送するように構成される、
システム。
(14)適用例14:
適用例13のシステムであって、
前記処理ステーションは、堆積動作、エッチング動作、硬化動作、および熱処理動作からなる群から選択される半導体処理動作を実施するように構成される、システム。
(15)適用例15:
適用例13のシステムであって、
メモリおよび1つまたは複数のプロセッサを有するコントローラをさらに備え、
前記メモリおよび前記1つまたは複数のプロセッサは、通信可能に接続され、
前記1つまたは複数のプロセッサは、前記第1のモータおよび前記第2のモータを制御するように構成され、
前記メモリは、前記1つまたは複数のプロセッサを制御して、前記第1のモータ、前記第2のモータ、ならびに前記第1のモータおよび前記第2のモータの両方のうち1つまたは複数を選択的に作動させて、前記第1のハブおよび前記インデクサアームアセンブリの回転、前記第1のハブと前記作動機構との間の第1の相対回転運動、および、前記第1のハブと前記作動機構との間の第2の相対回転運動を引き起こすコンピュータ実行可能命令を記憶するものであり、
前記第1のハブおよび前記インデクサアームアセンブリの前記回転は、各ウエハ支持体が前記処理ステーションの対応する1つから前記処理ステーションの隣接する処理ステーションに移動するような回転であり、
前記第1のハブと前記作動機構との間の前記第1の相対回転運動は、処理ステーション間での移動中、または前記ウエハ支持体が各処理ステーションにある間、または処理ステーション間での移動中と前記ウエハ支持体が各処理ステーションにある間の両方において、各ウエハ支持体がそのウエハ支持体の前記回転軸を中心に、前記第1のハブに対して第1の方向に第1の量だけ回転するような相対回転運動であり、
前記第1のハブと前記作動機構との間の前記第2の相対回転運動は、処理ステーション間での移動中、または前記ウエハ支持体が各処理ステーションにある間、または処理ステーション間での移動中と前記ウエハ支持体が各処理ステーションにある間の両方において、各ウエハ支持体がそのウエハ支持体の前記回転軸を中心に、前記第1のハブに対して前記第1の方向と反対の第2の方向に第1の量だけ回転するような相対回転運動である、
システム。
(16)適用例16:
適用例15のシステムであって、
N=4であり、前記メモリは、前記1つまたは複数のプロセッサを制御して、前記第2のハブが静止している間に前記第1のモータによって前記第1のハブを前記第1の方向に90°回転させるためのさらなるコンピュータ実行可能命令を記憶する、システム。
(17)適用例17:
半導体処理装置におけるウエハ取扱方法であって、
a)複数のウエハを、対応する複数のウエハ支持体を有するインデクサを使用して対応する複数の台座からピックアップすることであって、各ウエハ支持体は前記インデクサのインデクサアームの遠位端に回転可能に装着され、各インデクサアームは前記インデクサのハブに固定装着され、前記ウエハは前記ウエハ支持体によって支持されることと、
b)第1の回転軸を中心に前記ハブおよび前記インデクサアームを回転させ、各ウエハ支持体を前記各台座上の位置から前記各台座に隣接する台座上の位置に移動させることと、
c)(b)の後に前記ウエハを前記台座上に載置することと、
d)(a)と(c)との間に、前記ウエハ支持体をウエハ支持体の回転軸を中心に前記インデクサアームに対して回転させることであって、前記ウエハが前記ウエハ支持体によって支持されるとき、各ウエハ支持体の前記回転軸が、そのウエハ支持体によって支持された前記ウエハの中心を通過することと
を含む、方法。
(18)適用例18:
適用例17の方法であって、
前記インデクサは4つのインデクサアームを有し、(b)は前記ハブおよび前記インデクサアームを90°回転させることを含み、(d)は前記ウエハ支持体を前記インデクサアームに対して90°回転させることを含む、方法。
(19)適用例19:
適用例11の装置であって、
各インデクサアームについて、
前記対応する開口は、前記インデクサアームの前記遠位端に位置し、
前記インデクサアームは、前記対応する装着インターフェースによって前記第1のハブと固定接続され、
各装着インターフェースは、a)前記対応するインデクサアームおよび前記第1のハブが互いに直接摺接することなく異なる量だけ熱膨張できるように、および、b)前記対応するインデクサアームが前記第1のハブに対してある位置に固定保持され、その固定保持が少なくとも部分的に、前記対応する装着インターフェースの前記張力調整可能なインターフェースの前記ねじ付き構成要素および前記ばねによって前記インデクサアームに加えられる前記圧縮によるものであるように、前記対応するインデクサアームを前記第1のハブと固定接続する、
装置。
(20)適用例20:
適用例17の方法であって、
各インデクサアームが、a)前記対応するインデクサアームおよび前記ハブが互いに直接摺接することなく異なる量だけ熱膨張できるように、および、b)前記対応するインデクサアームが前記ハブに対してある位置に固定保持され、その固定保持が少なくとも部分的に、前記対応する装着インターフェースの張力調整可能なインターフェースのねじ付き構成要素およびばねによって前記インデクサアームに加えられる圧縮によるものであるように、装着インターフェースによって前記インデクサの前記ハブに固定装着される、方法。
Claims (20)
- マルチステーション半導体処理チャンバ内のステーション間でウエハを搬送するための装置であって、
前記装置は、
回転インデクサであって、複数のウエハが前記回転インデクサ上に載置されて前記回転インデクサが作動されたとき、円形経路に沿って等距離に離れた場所の間で前記複数のウエハを同時に移動させるための回転インデクサを備え、
前記回転インデクサは、
ベースと、
第1のモータと、
第2のモータと、
第1のハブと、
N個のインデクサアームアセンブリであって、各インデクサアームアセンブリは、a)ウエハ支持体、およびb)前記第1のハブと固定接続された近位端と、前記ウエハ支持体と回転可能に接続された遠位端とを有するインデクサアームを含むN個のインデクサアームアセンブリと、
作動機構と
を含み、
前記第1のモータは、前記第1のハブの中心軸を中心に、前記ベースに対して前記第1のハブを回転させるように構成され、
前記第2のモータは、前記作動機構に回転入力を提供するように構成され、
Nは、2以上の整数であり、
各ウエハ支持体は、そのウエハ支持体の回転軸を中心に、前記対応するインデクサアームアセンブリの前記インデクサアームに対して回転するように構成され、
各ウエハ支持体の前記回転軸は、前記ウエハ支持体が前記ウエハを支持しているときに前記ウエハのうち対応する1つのウエハの中心を通過するように位置し、
前記作動機構は、前記作動機構が作動するように前記第2のモータの回転を伴わずに前記第1のモータが回転すること、前記第1のモータの回転を伴わずに前記第2のモータが回転すること、または前記第1のモータおよび前記第2のモータが回転することに応じて、前記インデクサアームの前記ウエハ支持体を、前記ウエハ支持体の前記対応する回転軸を中心に、前記インデクサアームに対して、同じ量だけ同じ回転方向に同時に回転させるように構成される
装置。 - 請求項1に記載の装置であって、
前記作動機構は、前記第2のモータによる作動に応じて前記第1のハブの前記中心軸を中心に回転するように構成される第2のハブを含み、
各インデクサアームアセンブリは、第1の回転可能なインターフェースによって前記第2のハブと回転可能に接続される近位端と、第2の回転可能なインターフェースによってそのインデクサアームアセンブリの前記ウエハ支持体と回転可能に接続される遠位端とを有するタイロッドをさらに含み、前記作動機構およびインデクサアームアセンブリは、前記中心軸を中心とした前記第1のハブと前記第2のハブとの間の相対回転により前記タイロッドが前記中心軸に対して略放射状に並進するように構成されており、それによって各タイロッドは、そのタイロッドが回転可能に接続される前記ウエハ支持体が、そのウエハ支持体の前記回転軸を中心に、前記インデクサアームに対して回転するように前記ウエハ支持体を回転させる、装置。 - 請求項2に記載の装置であって、
前記第1のハブおよび前記第2のハブは、第1の相対回転位置から第2の相対回転位置へと互いに対して回転可能であるように構成される、装置。 - 請求項2に記載の装置であって、
前記インデクサアーム、前記タイロッド、および前記ウエハ支持体は、セラミック材料で作製される、装置。 - 請求項4に記載の装置であって、
各インデクサアームアセンブリは、そのインデクサアームアセンブリの前記ウエハ支持体をそのインデクサアームアセンブリの前記インデクサアームと回転可能に接続する第3の回転可能なインターフェースを含み、
前記第1の回転可能なインターフェース、前記第2の回転可能なインターフェース、および前記第3の回転可能なインターフェースは、全てセラミックボールベアリングである、装置。 - 請求項3に記載の装置であって、
4つのインデクサアームアセンブリが存在し、
前記ウエハ支持体の各々は、前記第1のハブおよび前記第2のハブが前記第1の相対回転位置にあるとき、前記第1のハブに対して第3の相対回転位置にあり、
前記ウエハ支持体の各々は、前記第1のハブおよび前記第2のハブが前記第2の相対回転位置にあるとき、前記第1のハブに対して第4の相対回転位置にあり、
前記第3の相対回転位置および前記第4の相対回転位置は、互いに90°位相がずれている、装置。 - 請求項6に記載の装置であって、
前記第1のハブと前記第2のハブとの間の相対回転運動を90°から95°に制限するように構成される停止機構をさらに備える、装置。 - 請求項6に記載の装置であって、
各タイロッドの前記近位端の最上面が、そのタイロッドの前記第1の回転可能なインターフェースの真上に存在し、
各第1の回転可能なインターフェースは、最も近い他の第1の回転可能なインターフェースから第1の距離だけ水平方向に離間され、
各タイロッドは、そのタイロッドの前記第1の回転可能なインターフェースの回転中心からの第1の長手方向距離と、そのタイロッドの前記第1の回転可能なインターフェースの前記回転中心からの第2の長手方向距離との間に延びるオフセット領域を含み、
前記第1の長手方向距離は前記第1の距離よりも小さく、前記第2の長手方向距離は前記第1の距離よりも大きく、
各タイロッドの前記オフセット領域の最下面は、隣接するインデクサアームアセンブリからの前記タイロッドの前記遠位端の前記最上面よりも高く、それによって前記第1のハブおよび前記第2のハブが前記第1の相対回転位置にあるとき、前記隣接するインデクサアームアセンブリからの前記タイロッドの前記遠位端がそのタイロッドの下を通過することを可能にする、装置。 - 請求項3に記載の装置であって、
前記ウエハ支持体の各々は、前記第1のハブおよび前記第2のハブが前記第1の相対回転位置にあるとき、前記第1のハブに対して第3の相対回転位置にあり、
前記ウエハ支持体の各々は、前記第1のハブおよび前記第2のハブが前記第2の相対回転位置にあるとき、前記第1のハブに対して第4の相対回転位置にあり、
前記第3の相対回転位置および前記第4の相対回転位置は、互いに360°/N位相がずれている、装置。 - 請求項1に記載の装置であって、
前記ハブは、各インデクサアームアセンブリのための個別の装着インターフェースを含み、
各装着インターフェースは、張力調整可能なインターフェースと、前記張力調整可能なインターフェースの周りに配置された3つの円錐状凹部とを含み、
各円錐状凹部内には球体が入れ込まれ、
各インデクサアームは、
前記張力調整可能なインターフェースが通過して突出する開口と、
前記開口に対して外向きに放射状に延びる3つの溝であって、前記対応する装着インターフェースの各球体は、そのインデクサアームの対応する溝にも入り込み、前記張力調整可能なインターフェースは各々、前記インデクサアームの対応する1つと前記装着インターフェースの対応する1つとの間で前記球体を圧縮するように構成される3つの溝と
を含む、装置。 - 請求項10に記載の装置であって、
各インデクサアームに関連付けられた前記張力調整可能なインターフェースは、ねじ付き構成要素とばねとを備え、前記ねじ付き構成要素を締め付けて張力をかけたときに、前記各インデクサアームとそのインデクサアームを前記第1のハブと接続する前記装着インターフェースとの間に配置された前記球体に対してそのインデクサアームを圧縮するように、前記ばねが構成されている、装置。 - 請求項1に記載の装置であって、
前記第1のモータおよび前記第2のモータを収容し、第1のハブ回転インターフェースを介して前記第1のハブを支持するモータハウジングと、
z軸駆動システムであって、前記z軸駆動システムの作動に応じて垂直方向軸に沿って前記モータハウジングを並進させるように構成されたz軸駆動システムと
をさらに備える、装置。 - 請求項1に記載の装置と、
N個の処理ステーションを有する半導体処理チャンバハウジングと
を備え、
各処理ステーションは、半導体ウエハを支持するように構成された台座を含み、
前記装置は、前記半導体処理チャンバハウジング内で、台座間で半導体ウエハを搬送するように構成される、
システム。 - 請求項13に記載のシステムであって、
前記処理ステーションは、堆積動作、エッチング動作、硬化動作、および熱処理動作からなる群から選択される半導体処理動作を実施するように構成される、システム。 - 請求項13に記載のシステムであって、
メモリおよび1つまたは複数のプロセッサを有するコントローラをさらに備え、
前記メモリおよび前記1つまたは複数のプロセッサは、通信可能に接続され、
前記1つまたは複数のプロセッサは、前記第1のモータおよび前記第2のモータを制御するように構成され、
前記メモリは、前記1つまたは複数のプロセッサを制御して、前記第1のモータ、前記第2のモータ、ならびに前記第1のモータおよび前記第2のモータの両方のうち1つまたは複数を選択的に作動させて、前記第1のハブおよび前記インデクサアームアセンブリの回転、前記第1のハブと前記作動機構との間の第1の相対回転運動、および、前記第1のハブと前記作動機構との間の第2の相対回転運動を引き起こすコンピュータ実行可能命令を記憶するものであり、
前記第1のハブおよび前記インデクサアームアセンブリの前記回転は、各ウエハ支持体が前記処理ステーションの対応する1つから前記処理ステーションの隣接する処理ステーションに移動するような回転であり、
前記第1のハブと前記作動機構との間の前記第1の相対回転運動は、処理ステーション間での移動中、または前記ウエハ支持体が各処理ステーションにある間、または処理ステーション間での移動中と前記ウエハ支持体が各処理ステーションにある間の両方において、各ウエハ支持体がそのウエハ支持体の前記回転軸を中心に、前記第1のハブに対して第1の方向に第1の量だけ回転するような相対回転運動であり、
前記第1のハブと前記作動機構との間の前記第2の相対回転運動は、処理ステーション間での移動中、または前記ウエハ支持体が各処理ステーションにある間、または処理ステーション間での移動中と前記ウエハ支持体が各処理ステーションにある間の両方において、各ウエハ支持体がそのウエハ支持体の前記回転軸を中心に、前記第1のハブに対して前記第1の方向と反対の第2の方向に第1の量だけ回転するような相対回転運動である、
システム。 - 請求項15に記載のシステムであって、
N=4であり、前記メモリは、前記1つまたは複数のプロセッサを制御して、前記第2のハブが静止している間に前記第1のモータによって前記第1のハブを前記第1の方向に90°回転させるためのさらなるコンピュータ実行可能命令を記憶する、システム。 - 半導体処理装置におけるウエハ取扱方法であって、
a)複数のウエハを、対応する複数のウエハ支持体を有するインデクサを使用して対応する複数の台座からピックアップすることであって、各ウエハ支持体は前記インデクサのインデクサアームの遠位端に回転可能に装着され、各インデクサアームは前記インデクサのハブに固定装着され、前記ウエハは前記ウエハ支持体によって支持されることと、
b)第1の回転軸を中心に前記ハブおよび前記インデクサアームを回転させ、各ウエハ支持体を前記各台座上の位置から前記各台座に隣接する台座上の位置に移動させることと、
c)(b)の後に前記ウエハを前記台座上に載置することと、
d)(a)と(c)との間に、前記ウエハ支持体をウエハ支持体の回転軸を中心に前記インデクサアームに対して回転させることであって、前記ウエハが前記ウエハ支持体によって支持されるとき、各ウエハ支持体の前記回転軸が、そのウエハ支持体によって支持された前記ウエハの中心を通過することと
を含む、方法。 - 請求項17に記載の方法であって、
前記インデクサは4つのインデクサアームを有し、(b)は前記ハブおよび前記インデクサアームを90°回転させることを含み、(d)は前記ウエハ支持体を前記インデクサアームに対して90°回転させることを含む、方法。 - 請求項11に記載の装置であって、
各インデクサアームについて、
前記対応する開口は、前記インデクサアームの前記遠位端に位置し、
前記インデクサアームは、前記対応する装着インターフェースによって前記第1のハブと固定接続され、
各装着インターフェースは、a)前記対応するインデクサアームおよび前記第1のハブが互いに直接摺接することなく異なる量だけ熱膨張できるように、および、b)前記対応するインデクサアームが前記第1のハブに対してある位置に固定保持され、その固定保持が少なくとも部分的に、前記対応する装着インターフェースの前記張力調整可能なインターフェースの前記ねじ付き構成要素および前記ばねによって前記インデクサアームに加えられる前記圧縮によるものであるように、前記対応するインデクサアームを前記第1のハブと固定接続する、
装置。 - 請求項17に記載の方法であって、
各インデクサアームが、a)前記対応するインデクサアームおよび前記ハブが互いに直接摺接することなく異なる量だけ熱膨張できるように、および、b)前記対応するインデクサアームが前記ハブに対してある位置に固定保持され、その固定保持が少なくとも部分的に、前記対応する装着インターフェースの張力調整可能なインターフェースのねじ付き構成要素およびばねによって前記インデクサアームに加えられる圧縮によるものであるように、装着インターフェースによって前記インデクサの前記ハブに固定装着される、方法。
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