JPH058062Y2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH058062Y2
JPH058062Y2 JP1987078290U JP7829087U JPH058062Y2 JP H058062 Y2 JPH058062 Y2 JP H058062Y2 JP 1987078290 U JP1987078290 U JP 1987078290U JP 7829087 U JP7829087 U JP 7829087U JP H058062 Y2 JPH058062 Y2 JP H058062Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
box
moving body
ball screw
movable body
shaped support
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP1987078290U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS63119521U (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP1987078290U priority Critical patent/JPH058062Y2/ja
Publication of JPS63119521U publication Critical patent/JPS63119521U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH058062Y2 publication Critical patent/JPH058062Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Ventilation (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この考案は、箱形支持体内に断面コ字状の移動
体を直線移動可能に支承するとともに、該移動体
のコ字の両端部を前記箱形支持体の表面に形成し
た前記直線移動方向の開放部に臨ませ、該開放部
に臨んだ前記移動体の前記両端部を被送り部材の
取付部とした送り装置に係り、特にその外型寸法
を極力小とするべくしたものに関する。
(従来技術) 前述のような送り装置は産業用ロボツトなどに
よく利用されている。ところで一般的に前記送り
装置の移動体は、箱形支持体内に施設したレール
に支持され、かつ動力装置(電動機)に連結した
ボールスクリユーを介して直線移動可能に構成さ
れている。この動力装置は前記箱形支持体の外側
に取付けられることもあるが、一般的には外側へ
の突起物は好ましくないため内蔵されることが多
い。この場合前記動力装置は前記移動体と干渉し
ない位置に配置しなければならず、自ずと該移動
体の動作領域からはずれた位置に取付けられ、そ
の分送り装置の全体寸法が大きくなつていた。
(解決しようとする課題) この考案は、送り装置の前記動力装置を前記箱
形支持体に内蔵しながらも、全体寸法を従来より
も小さくすることを目的とする。
(課題を解決するための手段) この考案送り装置は、移動体はそのコ字の外側
部を2本のレールで支持するとともに、該両レー
ルで挟まれた前記外側部をボールスクリユーで螺
合し、また該ボールスクリユーを駆動する動力装
置は、該ボールスクリユーの軸心とはオフセツト
して前記箱形支持体内に取付けるとともに伝達手
段を介して接続し、しかも前記移動体が一方端に
移動されたとき、前記動力装置が該移動体のコ字
の内側空間部に存在するようにしたものである。
(作用) 前記動力装置により前記移動体を該動力装置に
向けて接近移動させると、動力装置は移動体のコ
字の内側空間部に挿入された状態となる。よつて
前記移動体は、そのストロークを前記箱形支持体
のほぼ全長に亘つて有効利用でき、しかも送り装
置全体の外側寸法も前記動力装置の分小さくでき
る。
(実施例) なおこの実施例では直角座標のクリーンロボツ
トのベースを箱形支持体として説明するが、この
考案をこの実施の形態に限定するものではない。
1は、X方向を長手方向とした箱形支持体であ
り、前記クリーンロボツトのベースである。ベー
ス1の上面にはX方向に2本の開放部1a,1a
が設けられている。ベース1内にはX方向に2本
のレールが施設されている。
3は、ベース1内においてレール2に支承さ
れ、X方向に直線移動自在の移動体である。また
移動体3は上に開いた略コ字状に形成され、その
両上端部3a,3aが被送り部材Tの取付部とし
て開放部1a,1aに臨んでいる。さらに移動体
3の下部3bはボールスクリユー4のナツト部材
4aの取付部材として形成され、このナツト部材
4aはベース1に回転自在に支承5,6したボー
ルスクリユー4の軸4bと螺合している。すなわ
ち取付部材3bには貫通穴3cが設けられ、この
貫通穴3cにナツト部材4aが挿入されて固定さ
れている。さらにはまたベース1内に固設したフ
レーム1bには動力装置Mが取付けられ、その動
力はプーリとタイミングベルトとからなる公知の
伝達手段7を介して軸4bを回転可能である。す
なわち動力装置Mは軸4bの軸心からオフセツト
した位置に配設され、しかも移動体3が動力装置
Mに接近移動した際、動力装置Mが移動体3のコ
字の内側空間に挿入されるような位置に配置され
ている。
なお支承6は第4図のように構成されている。
すなわち一端を閉じた筒形の支承部材6aは図示
していないがベース1に横向きに固設され、その
支承部材6aによりベアリング6bを介して軸4
bを支承している。また支承部材6aの開放側と
ベアリング6bとの間にはシール材6cが挿入さ
れ、ベアリング6bから発生するほこり、油蒸気
がベース1内へ放出されないように考慮されてい
る。
また支承5も支承6と同様の構成、機能を有す
るものであるので、その説明は省略する。
さらに伝達手段7は第3図のようにフレーム1
bとカバー1cにより密閉状態で囲まれている。
これにより動力装置M、伝達手段7から発生する
ほこりなどもベース1内へ放出されないように考
慮されている。
さらには取付部材3bの両側には、第5図のよ
うにナツト部材4aを閉塞するごとく仕切板8,
8が取付けられている。なお軸4bと仕切板8,
8との間隙は極小に設定されている。また取付部
材3bにはナツト部材4aと仕切板8とではさま
れた貫通穴3cの空間を外部に連通させる通路3
dが形成され、この通路3dは吸引装置9(吸引
ブロア)に接続され、さらにはクリーンルームの
外部またはクリーンルームの高性能フイルターの
上流側へ開放されている。これによりボールスク
リユー4から発生するほこりなどがベース1内へ
放出されないように考慮されている。
10は、ベース1と移動体3との間に水平屈曲
自在に取付けたケーブル、配管の支持具である。
11は、ベース1内にX方向に設けられ、その
両端開口部11a,11aをベース1両端近辺に
臨ませた吸込管である。吸込管11はその中間に
おいて接続管12に接続され、さらに吸引装置1
3(吸引ブロア)に接続され、さらにはクリーン
ルームの外部またはクリーンルームの高性能フイ
ルターの上流側へ開放される。
従つてこの送り装置は、外部にほこり放散しな
いようになされており、しかも動力装置Mにより
伝達手段7およびボールスクリユウー4を介して
移動体3を第1図において右方向へ移動させた場
合、移動体3は動力装置Mと干渉せず、動力装置
Mが移動体3のコ字の内側空間部に挿入されたよ
うな状態となるものである。
(効果) この考案は前述したとおりであるから、動力装
置Mを箱形支持体1に内蔵しながらも、移動体3
と動力装置Mとが干渉することなく、移動体3の
ストロークを箱形支持体1のほぼ全長に亘つて有
効利用でき、しかも送り装置全体の外側寸法を動
力装置Mの分小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
図はいずれもこの考案の実施例を示し、第1図
は横断平面図、第2図は第1図の−断面矢視
図、第3図は動力装置付近の縦断面図、第4図は
ボールスクリユーの軸支承部分の断面図、第5図
はボールスクリユーのナツト部材付近の断面図、
第6図は一部省略平面図である。 T……被送り部材、1……箱形支持体、1a…
…開放部、3……移動体、4……ボールスクリユ
ー、7……伝達手段、11……吸引管、11a…
…開口部、13……吸引装置、M……動力装置。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 箱形支持体内に断面コ字状の移動体を直線移動
    可能に支承するとともに、該移動体のコ字の両端
    部を前記箱形支持体の表面に形成した前記直線移
    動方向の開放部に臨ませ、該開放部に臨んだ前記
    移動体の前記両端部を被送り部材の取付部とした
    送り装置において、 前記移動体は、そのコ字の外側部を2本のレー
    ルで支持するとともに、該両レールで挟まれた前
    記外側部をボールスクリユーで螺合し、 また該ボールスクリユーを駆動する動力装置
    は、該ボールスクルユーの軸心とはオフセツトし
    て前記箱形支持体内に取付けるとともに伝達手段
    を介して接続し、しかも前記移動体が一方端に移
    動されたとき、前記動力装置が該移動体のコ字の
    内側空間部に存在し得るべくしたことを特徴とす
    る、前記送り装置。
JP1987078290U 1987-05-25 1987-05-25 Expired - Lifetime JPH058062Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1987078290U JPH058062Y2 (ja) 1987-05-25 1987-05-25

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1987078290U JPH058062Y2 (ja) 1987-05-25 1987-05-25

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63119521U JPS63119521U (ja) 1988-08-02
JPH058062Y2 true JPH058062Y2 (ja) 1993-03-01

Family

ID=30927091

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1987078290U Expired - Lifetime JPH058062Y2 (ja) 1987-05-25 1987-05-25

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH058062Y2 (ja)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61117094A (ja) * 1984-11-08 1986-06-04 松下電器産業株式会社 工業用ロボツト
JPS61214995A (ja) * 1985-03-20 1986-09-24 ダイキン工業株式会社 無塵室用作業ロボツト

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61117094A (ja) * 1984-11-08 1986-06-04 松下電器産業株式会社 工業用ロボツト
JPS61214995A (ja) * 1985-03-20 1986-09-24 ダイキン工業株式会社 無塵室用作業ロボツト

Also Published As

Publication number Publication date
JPS63119521U (ja) 1988-08-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7562595B2 (en) Dust proof sliding device
JPH058062Y2 (ja)
JP2002206530A (ja) スライド装置のシール構造
US7066649B2 (en) Actuator
US5380246A (en) Dust suction apparatus
JP3985307B2 (ja) 案内支持装置
JPH062075Y2 (ja) 送り装置
JP2005236218A (ja) 半導体ウエハの搬送ロボット、及びそれを備えた処理装置
JPS58202207A (ja) 移送装置
JPH02253039A (ja) ボールねじ移動機構のクリーン化機構
JPH0437742Y2 (ja)
JPS61192490A (ja) クリ−ンル−ム用ロボツトのア−ム構造
JP2583597Y2 (ja) ローダーアームの直線運動用ころがり軸受の防塵装置
JP2000220884A (ja) 給気ダンパ
JPH0752445Y2 (ja) ベルト伝達機ハウジング
JPH10217165A (ja) 直線移動型ロボット
JPS61203291A (ja) クリ−ンル−ム用ロボツト
JPS61192492A (ja) クリ−ンル−ム用ロボツト
JPH11347862A (ja) 直動ユニット
JPS62124896A (ja) 産業用ロボツト
JPS6145168A (ja) 直動形アクチユエ−タ
JPH0448481U (ja)
JPH03196991A (ja) ロボット
JPH04294997A (ja) 直動機構の防塵装置
JPH0513477B2 (ja)