JPH062075Y2 - 送り装置 - Google Patents
送り装置Info
- Publication number
- JPH062075Y2 JPH062075Y2 JP1987010649U JP1064987U JPH062075Y2 JP H062075 Y2 JPH062075 Y2 JP H062075Y2 JP 1987010649 U JP1987010649 U JP 1987010649U JP 1064987 U JP1064987 U JP 1064987U JP H062075 Y2 JPH062075 Y2 JP H062075Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- box
- moving body
- shaped support
- suction
- suction pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Transmission Devices (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この考案は、箱形支持体内に断面コ字状の移動体を直線
移動可能に支承するとともに、該移動体のコ字の両端部
を前記箱形支持体の表面に形成した前記直線移動方向の
２本の開放部に臨ませ、該開放部に臨んだ前記移動体の
前記両端部を被送り部材の取付部とした送り装置に係
り、特にクリーンルーム内で使用して有効な装置に関す
るものである。
移動可能に支承するとともに、該移動体のコ字の両端部
を前記箱形支持体の表面に形成した前記直線移動方向の
２本の開放部に臨ませ、該開放部に臨んだ前記移動体の
前記両端部を被送り部材の取付部とした送り装置に係
り、特にクリーンルーム内で使用して有効な装置に関す
るものである。
（従来技術） 前述のような送り装置は産業用ロボットなどによく利用
されている。ところで前記送り装置をクリーンルームで
使用するにあたり、前記移動体が直線移動するごとに前
記箱形支持体と前記移動体との間でエアのポンピングを
発生することになって、そのエアがほこりとともに前記
２本の開放部（とりわけ前記直線移動方向両端付近）か
ら放出され、クリーンルームの設定クリーン度を維持す
ることが難しくなる。
されている。ところで前記送り装置をクリーンルームで
使用するにあたり、前記移動体が直線移動するごとに前
記箱形支持体と前記移動体との間でエアのポンピングを
発生することになって、そのエアがほこりとともに前記
２本の開放部（とりわけ前記直線移動方向両端付近）か
ら放出され、クリーンルームの設定クリーン度を維持す
ることが難しくなる。
そこで前記開放部を囲むようにして前記箱形支持体の上
面にエアの吸込管を取り付けるとともに、前記開放部に
面する前記吸込管の側壁に多数の吸込孔を前記直線移動
方向に間隔を有して設け、そして該吸込管の一端（前記
直線移動方向の一端）の吸引ポンプを配管接続すること
により、箱形支持体内で発生したほこりを強制吸引する
ようにし、クリーンルーム内の汚染を防止するようにし
た装置が提案されている。
面にエアの吸込管を取り付けるとともに、前記開放部に
面する前記吸込管の側壁に多数の吸込孔を前記直線移動
方向に間隔を有して設け、そして該吸込管の一端（前記
直線移動方向の一端）の吸引ポンプを配管接続すること
により、箱形支持体内で発生したほこりを強制吸引する
ようにし、クリーンルーム内の汚染を防止するようにし
た装置が提案されている。
しかしながらこのような装置にあっては、吸込管が箱形
支持体の上面に突設されるため、それだけ前記移動体に
取り付けられる前記被送り部材の高さが高くなってしま
う。
支持体の上面に突設されるため、それだけ前記移動体に
取り付けられる前記被送り部材の高さが高くなってしま
う。
また前記吸込管には前記直線移動方向全体にわたって前
記吸込孔が多数開口されており、移動体の移動に伴う前
記開放部からのエア吸出量が特に直線移動方向両端付近
で大となるという実情が考慮されていないため、ほとん
ど役立たない吸込孔が多く、吸引ポンプの容量を大とし
なければならない。
記吸込孔が多数開口されており、移動体の移動に伴う前
記開放部からのエア吸出量が特に直線移動方向両端付近
で大となるという実情が考慮されていないため、ほとん
ど役立たない吸込孔が多く、吸引ポンプの容量を大とし
なければならない。
しかも吸込管の一端からエア吸引するため、これに近い
吸引孔から十分エア吸引されるが、遠隔した吸引孔から
は十分はエア吸引されない。
吸引孔から十分エア吸引されるが、遠隔した吸引孔から
は十分はエア吸引されない。
従って移動体の前記一端へ向けての移動時には前記開放
部からのエア吹出しはほとんどないが、他端へ向けての
移動時にはエア吹出しを抑えることが難しい。
部からのエア吹出しはほとんどないが、他端へ向けての
移動時にはエア吹出しを抑えることが難しい。
（解決しようとする課題） この考案は前述事情に鑑みてなされたものであり、前記
移動体に取り付けられる被送り部材の高さに影響を及ぼ
さないようにするとともに、移動体の移動方向にかかわ
らず無駄なくエア吸引を行い得て、前記箱形支持体内で
発生したほこりを開放部から吹き出さないようにした送
り装置を提供せんとするものである。
移動体に取り付けられる被送り部材の高さに影響を及ぼ
さないようにするとともに、移動体の移動方向にかかわ
らず無駄なくエア吸引を行い得て、前記箱形支持体内で
発生したほこりを開放部から吹き出さないようにした送
り装置を提供せんとするものである。
（課題を解決するための手段） この考案送り装置は、両端のみを吸込口として開口、中
間部を吸引ポンプに配管した吸込管を、前記移動体の直
線移動方向に沿って前記箱形支持体にかつ前記移動体の
側方に設けるとともに、前記吸込管の両端開口を前記箱
形支持体内における前記移動体の移動領域外（前記箱形
支持体の両端付近）に存在させたことを特徴とするもの
である。
間部を吸引ポンプに配管した吸込管を、前記移動体の直
線移動方向に沿って前記箱形支持体にかつ前記移動体の
側方に設けるとともに、前記吸込管の両端開口を前記箱
形支持体内における前記移動体の移動領域外（前記箱形
支持体の両端付近）に存在させたことを特徴とするもの
である。
（作用） 前記吸込管を前記箱形支持体にかつ前記移動体の側方に
設けることにより前記移動体に取り付けられる被送り部
材の高さに悪影響を及ぼさない。また前記吸込管は両端
のみを吸込口として開口し、中間部に吸引ポンプを配管
接続していること、および該吸込管の開口部（吸込口）
を前記移動体の移動領域外（前記箱形支持体の両端付
近）に存在させているので、エアの吹出しは前記開放部
の前記直線移動方向両端付近が特に大であるが、前記移
動体の移動により発生するエアのポンピングを完全に吸
収でき、よって前記箱形支持体に設けた開放部からのほ
こりの放出可能性はない。
設けることにより前記移動体に取り付けられる被送り部
材の高さに悪影響を及ぼさない。また前記吸込管は両端
のみを吸込口として開口し、中間部に吸引ポンプを配管
接続していること、および該吸込管の開口部（吸込口）
を前記移動体の移動領域外（前記箱形支持体の両端付
近）に存在させているので、エアの吹出しは前記開放部
の前記直線移動方向両端付近が特に大であるが、前記移
動体の移動により発生するエアのポンピングを完全に吸
収でき、よって前記箱形支持体に設けた開放部からのほ
こりの放出可能性はない。
（実施例） なおこの実施例では直角座標のクリーンロボットのベー
スを箱形支持体として説明するが、この考案をこの実施
の形態に限定するものではない。
スを箱形支持体として説明するが、この考案をこの実施
の形態に限定するものではない。
１は、Ｘ方向を長手方向とした箱形支持体であり、前記
クリーンロボットのベースである。ベース１の上面には
Ｘ方向に２本の開放部１ａ，１ａが設けられている。ベ
ース１内にはＸ方向に２本のレールが施設されている。
クリーンロボットのベースである。ベース１の上面には
Ｘ方向に２本の開放部１ａ，１ａが設けられている。ベ
ース１内にはＸ方向に２本のレールが施設されている。
３は、ベース１内においてレール２に支承され、Ｘ方向
に直線移動自在の移動体である。また移動体３は上に開
いた略コ字状に形成され、その両上端部３ａ，３ａが被
送り部材Ｔの取付部として開放部１ａ，１ａに臨んでい
る。さらに移動体３の下部３ｂにはボールスクリュー４
のナット部材４ａが固設され、このナット部材４ａはベ
ース１に回転自在に支承５，６したボールスクリュー４
の軸４ｂと螺合している。さらにはまたベース１内に固
設したフレーム１ｂには動力装置Ｍが取付けられ、その
動力はプーリとタイミングベルトとからなる公知の伝達
手段７を介して軸４ｂを回転可能である。
に直線移動自在の移動体である。また移動体３は上に開
いた略コ字状に形成され、その両上端部３ａ，３ａが被
送り部材Ｔの取付部として開放部１ａ，１ａに臨んでい
る。さらに移動体３の下部３ｂにはボールスクリュー４
のナット部材４ａが固設され、このナット部材４ａはベ
ース１に回転自在に支承５，６したボールスクリュー４
の軸４ｂと螺合している。さらにはまたベース１内に固
設したフレーム１ｂには動力装置Ｍが取付けられ、その
動力はプーリとタイミングベルトとからなる公知の伝達
手段７を介して軸４ｂを回転可能である。
その結果、移動体３の断面積が小さいため、移動体３の
Ｘ方向移動によるエアのポンピングを小さく抑えること
ができ開放部１ａからのエアの吹上げが少なく、クリー
ンルームへのほこりなどの飛散防止に有効となる。
Ｘ方向移動によるエアのポンピングを小さく抑えること
ができ開放部１ａからのエアの吹上げが少なく、クリー
ンルームへのほこりなどの飛散防止に有効となる。
なお支承６は第４図のように構成されている。すなわち
一端を閉じた筒形の支承部材６ａは図示していないがベ
ース１に横向きに固設され、その支承部材６ａによりベ
アリング６ｂを介して軸４ｂを支承している。また支承
部材６ａの開放側とベアリング６ｂとの間にはシール材
６ｃが挿入され、ベアリング６ｂから発生するほこり、
油蒸気がベース１内へ放出されないように考慮されてい
る。
一端を閉じた筒形の支承部材６ａは図示していないがベ
ース１に横向きに固設され、その支承部材６ａによりベ
アリング６ｂを介して軸４ｂを支承している。また支承
部材６ａの開放側とベアリング６ｂとの間にはシール材
６ｃが挿入され、ベアリング６ｂから発生するほこり、
油蒸気がベース１内へ放出されないように考慮されてい
る。
また支承５も支承６と同様の構成、機能を有するもので
あるので、その説明は省略する。
あるので、その説明は省略する。
さらに伝達手段７は第３図のようにフレーム１ｂとカバ
ー１ｃにより密閉状態で囲まれている。これにより動力
装置Ｍ、伝達手段７から発生するほころなども１内へ放
出されないように考慮されている。
ー１ｃにより密閉状態で囲まれている。これにより動力
装置Ｍ、伝達手段７から発生するほころなども１内へ放
出されないように考慮されている。
さらには移動体３の下部３ｂの両面には、第５図のよう
にナット部材４ａを閉塞するごとく板８，８が取付けら
れている。なお軸４ｂと板８，８との間隙は極小に設定
されている。そして移動体３にはナット部材４ａと板８
との間から通路３ｃが形成され、この通路３ｃは吸引ポ
ンプ９に接続され、さらにはクリーンルームの外部また
はクリーンルームの高性能フィルターの上流側へ開放さ
れている。これによりボールスクリュー４から発生する
ほこりなどがベース１内へ放出されないように考慮され
ている。
にナット部材４ａを閉塞するごとく板８，８が取付けら
れている。なお軸４ｂと板８，８との間隙は極小に設定
されている。そして移動体３にはナット部材４ａと板８
との間から通路３ｃが形成され、この通路３ｃは吸引ポ
ンプ９に接続され、さらにはクリーンルームの外部また
はクリーンルームの高性能フィルターの上流側へ開放さ
れている。これによりボールスクリュー４から発生する
ほこりなどがベース１内へ放出されないように考慮され
ている。
１０は、ベース１と移動体３との間に水平屈曲自在に取
付けたケーブル、配管の支持具である。
付けたケーブル、配管の支持具である。
１１は、ベース１内にかつ移動体３の側方にＸ方向に設
けられ、その両端のみがベース１両端近辺すなわち移動
体３の移動領域外において吸込口として開口１１ａ，１
１ａした吸込管である。吸込管１１はその中間において
接続管１２に接続され、さらに吸引ポンプ１３に接続さ
れ、さらにはクリーンルームの外部またはクリーンルー
ムの高性能のフィルターの上流側へ開放される。この結
果、移動体３がＸ方向両端位置に接近すればする程、ベ
ース１の端壁との間にはさまれたエアが圧縮され、開放
部１ａの特にＸ方向両端付近から吹上げようとするが、
そのエアはＸ方向両端の開口部１１ａから吸込管１１に
より吸引されるため、開放部１ａからのエアの吹上げが
抑えられ、クリーンルームへのほこりなどの飛散防止と
なる。
けられ、その両端のみがベース１両端近辺すなわち移動
体３の移動領域外において吸込口として開口１１ａ，１
１ａした吸込管である。吸込管１１はその中間において
接続管１２に接続され、さらに吸引ポンプ１３に接続さ
れ、さらにはクリーンルームの外部またはクリーンルー
ムの高性能のフィルターの上流側へ開放される。この結
果、移動体３がＸ方向両端位置に接近すればする程、ベ
ース１の端壁との間にはさまれたエアが圧縮され、開放
部１ａの特にＸ方向両端付近から吹上げようとするが、
そのエアはＸ方向両端の開口部１１ａから吸込管１１に
より吸引されるため、開放部１ａからのエアの吹上げが
抑えられ、クリーンルームへのほこりなどの飛散防止と
なる。
前述説明は実施例であり、例えば吸引ポンプ９、１３
は、吸引ブロアのほか真空ポンプでもよい。その他各構
成の均等物との置換もこの考案の技術範囲に含まれる。
は、吸引ブロアのほか真空ポンプでもよい。その他各構
成の均等物との置換もこの考案の技術範囲に含まれる。
（考案の効果） この考案は前述したように、吸込管１１は箱形支持体１
にかつ移動体３の側方にＸ方向に沿って取り付けている
ので、移動体３に取り付けられる被送り部材の高さに吸
込管１１が悪影響を及ぼすことはない。また箱形支持体
１内における移動体３の移動領域外に吸込管１１の開口
部１１ａ，１１ａを存在させたので、移動体３のストロ
ークエンド付近において特に大きく発生するエアのポン
ピングを容易に吸収することができる。よって小型の吸
引ポンプのクリーンルームへのほこりの飛散防止に極め
て効果がある。
にかつ移動体３の側方にＸ方向に沿って取り付けている
ので、移動体３に取り付けられる被送り部材の高さに吸
込管１１が悪影響を及ぼすことはない。また箱形支持体
１内における移動体３の移動領域外に吸込管１１の開口
部１１ａ，１１ａを存在させたので、移動体３のストロ
ークエンド付近において特に大きく発生するエアのポン
ピングを容易に吸収することができる。よって小型の吸
引ポンプのクリーンルームへのほこりの飛散防止に極め
て効果がある。
図はいずれもこの考案の実施例を示し、第１図は横断平
面図、第２図は第１図のII−II断面矢視図、第３図は動
力装置付近の縦断面図、第４図はボールスクリューの軸
支承部分の断面図、第５図はボールスクリューのナット
部材付近の断面図、第６図は一部省略平面図である。 Ｔ…被送り部材、１…箱形支持体、１ａ…開放部、２…
レール、３…移動体、３ａ…移動体３の両端部（被送り
部材Ｔの取付部）、３ｃ…通路、４…ボールスクリュ
ー、４ａ…ナット部分、４ｂ…軸、５、６…ボールスク
リュー４の軸４ｂの支承部、８…板、９…吸引ポンプ、
１１…吸引管、１１ａ…開口、１３…吸引ポンプ。
面図、第２図は第１図のII−II断面矢視図、第３図は動
力装置付近の縦断面図、第４図はボールスクリューの軸
支承部分の断面図、第５図はボールスクリューのナット
部材付近の断面図、第６図は一部省略平面図である。 Ｔ…被送り部材、１…箱形支持体、１ａ…開放部、２…
レール、３…移動体、３ａ…移動体３の両端部（被送り
部材Ｔの取付部）、３ｃ…通路、４…ボールスクリュ
ー、４ａ…ナット部分、４ｂ…軸、５、６…ボールスク
リュー４の軸４ｂの支承部、８…板、９…吸引ポンプ、
１１…吸引管、１１ａ…開口、１３…吸引ポンプ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−33889（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−50682（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】箱形支持体内に断面コ字状の移動体を直線
移動可能に支承するとともに、該移動体のコ字の両端部
を前記箱形支持体の表面に形成した前記直線移動方向の
２本の開放部に臨ませ、該開放部に臨んだ前記移動体の
前記両端部を被送り部材の取付部とした送り装置におい
て、両端のみを吸込口として開口、中間部を吸引ポンプ
に配管した吸込管を、前記直線移動方向に沿って前記箱
形支持体にかつ前記移動体の側方に設けるとともに、該
吸込管の両端開口を前記箱形支持体内における前記移動
体の移動領域外に存在させたことを特徴とする、前記送
り装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987010649U JPH062075Y2 (ja) | 1987-01-27 | 1987-01-27 | 送り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987010649U JPH062075Y2 (ja) | 1987-01-27 | 1987-01-27 | 送り装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63118452U JPS63118452U (ja) | 1988-07-30 |
| JPH062075Y2 true JPH062075Y2 (ja) | 1994-01-19 |
Family
ID=30797139
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987010649U Expired - Lifetime JPH062075Y2 (ja) | 1987-01-27 | 1987-01-27 | 送り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH062075Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6133889A (ja) * | 1984-07-26 | 1986-02-17 | 松下電器産業株式会社 | 工業用ロボツト |
| JPS6150682U (ja) * | 1984-09-05 | 1986-04-05 |
-
1987
- 1987-01-27 JP JP1987010649U patent/JPH062075Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63118452U (ja) | 1988-07-30 |
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