JPH0310478B2 - - Google Patents

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JPH0310478B2
JPH0310478B2 JP59155852A JP15585284A JPH0310478B2 JP H0310478 B2 JPH0310478 B2 JP H0310478B2 JP 59155852 A JP59155852 A JP 59155852A JP 15585284 A JP15585284 A JP 15585284A JP H0310478 B2 JPH0310478 B2 JP H0310478B2
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JP
Japan
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air
dust
robot
exhaust
outside air
Prior art date
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Application number
JP59155852A
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English (en)
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JPS6133890A (ja
Inventor
Haruo Tada
Akira Nakada
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Priority to EP85109242A priority patent/EP0169554B1/en
Priority to US06/759,436 priority patent/US4697978A/en
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0075—Means for protecting the manipulator from its environment or vice versa
    • B25J19/0079—Means for protecting the manipulator from its environment or vice versa using an internal pressure system
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J17/00—Joints
    • B25J17/02—Wrist joints
    • B25J17/0241—One-dimensional joints

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 最近、半導体製造工場や光学部品組立工場等に
おいては、粒子径が0.5μ〜0.1μ、又はそれ以下の
粒子径の微粒子の存在が、製品の品質や歩留りを
左右する要因になつてきている。
その中で、人間の存在自体が無塵埃化の大きな
障害となつており、省人化、ロボツト化を今後進
めていかなければならなくなつている。
そこで本発明は、精密製品製造工場等、空気中
の塵埃を極度に嫌う場所で使用する、塵埃無発生
ロボツトに関するものである。
従来例の構成とその問題点 従来の塵埃飛散防止装置は第１図にその具体構
成を示すように、工業用ロボツト１における塵埃
発生部分となる関節部１ａに、蛇腹式のカバー２
をかぶせることによつて、ロボツト１の前記斯る
場所から発生する塵埃が外部に出るのを防いでい
た。
しかし、この方法では蛇腹式のカバー２の伸縮
によつて、カバー２自体がポンプの役目を果し、
カバー２とロボツト１のすきまから空気と共に塵
埃が漏れる問題や、ロボツト１の関節に大きなカ
バー２をかぶせるため、ロボツト１のコンパクト
性が失なわれるという問題があつた。また、ロボ
ツト１の修理や保守の際にはカバー２を取りはず
す必要があり、修理、保守がやりにくくなるとい
う問題があつた。
また、蛇腹式のカバーを用いずに塵埃の飛散を
防ぐ方法として、ロボツトの構造上でロボツト内
部を外気と完全に遮断する方法が考えられるが、
ロボツトの回転部、摺動部等の可動部における完
全な密閉は事実上困難であり、また可動部自体が
塵埃の発生源にもなるため、塵埃の飛散を防ぐこ
とは難しい。
発明の目的 本発明は、上記従来の欠点を解消するものであ
り、コンパクトな構成でありながら、ロボツトか
ら出る塵埃の飛散をほぼ完全に防止するロボツト
を提供することを目的とするものである。
発明の構成 本発明は、塵埃発生部をおおう外装部と、塵埃
発生部と外気とをつなぐ空気通路と、空気通路に
設けた空気絞り部と、空気絞り部をとおつて外気
から空気を吸引し他所へ排気する排気流路とから
構成されており、コンパクトにロボツトから発生
する塵埃の飛散を防ぐことができ、また保守修理
の容易なロボツトを提供するものである。
実施例の説明 以下本発明の一実施例を第２〜３図にもとづい
て説明する。
第２図は本発明の実施例における工業用ロボツ
トの全体図、第３図は、上記工業用ロボツトを構
成する一関節の機構図である。
第２図において、３は旋回関節、４は上腕曲げ
関節、５は前腕曲げ関節、６は前腕回転関節、７
は手首曲げ・回転関節、８は作業用ハンドを示
す。また、９はロボツト本体と真空ポンプ等の排
気装置（図示せず）とをつなぐ排気管、１０，１
１，１２，１３は、各関節間をつなぐ排気パイプ
を示す。
第３図は、曲げ関節の機構図で、１４はエンコ
ーダ付サーボモーター、１５は減速機、１６は固
定アングル、１７は従動アングル、１８，１９は
従動アングルと固定アングルを相対的に回転自在
に支持する軸受、２０，２１はスラストベアリン
グ、２２はサーボモータ１４をおおうカバーであ
る。この関節で主な塵埃発生部は、サーボモータ
１４、減速機１５、軸受１８，１９、スラストベ
アリング２０，２１である。これら塵埃発生部と
外気とを結ぶ空気通路が２３，２４である。２
５，２６は空気通路２３，２４の途中に設けられ
た非接触ラビリンス型シール等の空気絞り部、２
７，２８は空気絞り部近くに開口部２９，３０を
もつ排気路、３１，３２は排気コネクタ、３３，
３４は排気パイプである。そして開口部２９，３
０、排気路２７，２８、排気コネクタ３１，３
２、排気パイプ３３，３４で排気流路を構成して
いる。
以上のように構成された工業用ロボツトについ
て、以下その動作を説明する。
まず、ロボツトにおける塵埃は主に、歯車のか
み合い部、軸受、モータのブラシ等の可動部から
発生するが、本実施例では、サーボモータ１４、
減速機１５、軸受１８，１９、スラストベアリン
グ２０，２１が主たる塵埃発生部である。これら
塵埃発生部は固定アングル１６、従動アングル１
７、カバー２２によつておおわれており、発生し
た塵埃は軸受１８，１９を通つて、空気通路２
３，２４に出てくる。一方ロボツト本体に設けら
れた排気パイプ３１，３２より空気を排気するこ
とにより、空気絞り部２５，２６内側の空気は排
気流路をとおつて塵埃とともに排気されるととも
に、空気絞り部は常に外気から内部へ空気を吸い
込もうとする。このとき、狭いギヤツプで構成さ
れた空気絞り部２５，２６で空気を絞ることによ
つて、空気の流れを阻外する方向に働かせること
により、内部空間を負圧にでき、その結果、内部
から外気へ塵埃を出さない機構を構成できる。
他の関節についても同様にして、塵埃発生部と
外気との空気通路に空気絞り部を設け、その空気
絞り部付近より排気することにより、塵埃の外部
への飛散を防止することができる。
また各関節で吸入された塵埃を含む空気は、排
気パイプ１０，１１，１２，１３を通じ、排気管
９をとおつて、真空ポンプ等により吸引、除去さ
れる。
従つて、本実施例のロボツトからは、塵埃は飛
散することなく、クリーンルーム内においても安
心して使用することが可能となる。
また、ロボツト本体を構成する各関節の空気通
路から、それぞれ均一に排気するために、本実施
例では、空気絞り部のフイン先端のすきまと、フ
インの数を調整することにより、空気絞り部で、
内側から外側への空気の逆流が発生しない、信頼
性の高い塵埃無発生ロボツトを実現している。
また、本実施例では、多関節型ロボツトを例に
説明したが、例えば直交型ロボツトの様な直線移
動部においても、小さな間隙をもつ空気絞り部と
排気流路を構成することにより、高性能な塵埃無
発生ロボツトを具現することができる。
発明の効果 このように本発明は、塵埃発生部をおおう外装
部と塵埃発生部と外気とを結ぶ空気通路と、この
空気通路内に設置された空気絞り部と、空気絞り
部をとおつて内側へ外気を吸引し他所へ排気する
排気流路との構成により、前記空気絞り部で内部
の空気を外部へ飛散させないようにして、塵埃の
飛散を防止しており、高性能かつ信頼性の高い塵
埃無発生ロボツトをコンパクトに具現しており、
その効果は大なるものがある。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来の塵埃飛散防止対策を施した工業
用ロボツトの外観図、第２図は本発明の一実施例
における工業用ロボツトの全体外観図、第３図は
第２図における一関節の断面図である。 ３…旋回関節、４…上腕曲げ関節、５…前腕曲
げ関節、６…前腕回転関節、７…手首曲げ・回転
関節、９…排気管、１０，１１，１２，１３…排
気パイプ、１４…サーボモータ、１５…減速機、
１６…固定アングル、１７…従動アングル、１
８，１９…軸受、２０，２１…スラストベアリン
グ、２３，２４…空気通路、２５，２６…空気絞
り部、２７，２８…排気路、２９，３０…開口
部、３１，３２…排気コネクタ、３３，３４…排
気パイプ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ 回転・直進運動を行なう工業用ロボツトにお
    いて、一部を残して外気と遮断するように塵埃発
    生可能な構成体（以下塵埃発生部という）をおお
    う外装部と、この塵埃発生部と外気とをつなぐよ
    うに構成された空気通路と、前記空気通路内にあ
    つて、塵埃発生部と外気とを隔離するように設け
    られた狭いギヤツプを有する空気絞り部と、この
    空気絞り部をとおつて外気から塵埃発生部側へ空
    気を通過させ前記空気絞り部の内側又は前記空気
    絞り部に設けた開口部から吸入し他所へ排気する
    排気通路とをもつ工業用ロボツト。
JP15585284A 1984-07-26 1984-07-26 工業用ロボツト Granted JPS6133890A (ja)

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JP15585284A JPS6133890A (ja) 1984-07-26 1984-07-26 工業用ロボツト
KR1019850005118A KR890003257B1 (ko) 1984-07-26 1985-07-18 공업용 로보트
DE8585109242T DE3578535D1 (de) 1984-07-26 1985-07-23 Industrieroboter.
EP85109242A EP0169554B1 (en) 1984-07-26 1985-07-23 Industrial robot
US06/759,436 US4697978A (en) 1984-07-26 1985-07-26 Industrial robot

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JPS6133890A JPS6133890A (ja) 1986-02-17
JPH0310478B2 true JPH0310478B2 (ja) 1991-02-13

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