CN111605937A - 物品输送设备 - Google Patents

物品输送设备 Download PDF

Info

Publication number
CN111605937A
CN111605937A CN202010116627.9A CN202010116627A CN111605937A CN 111605937 A CN111605937 A CN 111605937A CN 202010116627 A CN202010116627 A CN 202010116627A CN 111605937 A CN111605937 A CN 111605937A
Authority
CN
China
Prior art keywords
article
transport vehicle
article transport
air
unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202010116627.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN111605937B (zh
Inventor
夫马贵史
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daifuku Co Ltd
Original Assignee
Daifuku Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daifuku Co Ltd filed Critical Daifuku Co Ltd
Publication of CN111605937A publication Critical patent/CN111605937A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN111605937B publication Critical patent/CN111605937B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0407—Storage devices mechanical using stacker cranes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61D—BODY DETAILS OR KINDS OF RAILWAY VEHICLES
    • B61D27/00—Heating, cooling, ventilating, or air-conditioning
    • B61D27/009—Means for ventilating only
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61D—BODY DETAILS OR KINDS OF RAILWAY VEHICLES
    • B61D3/00—Wagons or vans
    • B61D3/16—Wagons or vans adapted for carrying special loads
    • B61D3/20—Wagons or vans adapted for carrying special loads for forwarding containers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/70—Suction grids; Strainers; Dust separation; Cleaning
    • F04D29/701—Suction grids; Strainers; Dust separation; Cleaning especially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/703—Suction grids; Strainers; Dust separation; Cleaning especially adapted for elastic fluid pumps specially for fans, e.g. fan guards
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

实现能够在将制造成本抑制得较低的同时抑制洁净室被污损的物品输送设备。具备在洁净室内行驶的第1物品输送车和第2物品输送车（2）；第1物品输送车具备第1收容室、第1吸气部和第1排气部；第2物品输送车具备收容灰尘的产生量比第1物品多的第2物品（W2）的第2收容室（51）、将外部的气体向第2收容室吸入的第2吸气部（52）、以及将第2收容室的气体向外部排出的第2排气部（53）；第2吸气部（52）具备从外部朝向第2收容室送风的第2送风部（54）；第2排气部（53）具备从第2收容室（51）朝向外部送风的第3送风部（56）和排气用过滤器部（57）；第3送风部（56）的每单位时间的送风量比第2送风部（54）的每单位时间的送风量多。

Description

物品输送设备
技术领域
本发明涉及具备在洁净室内行驶的物品输送车的物品输送设备。
背景技术
作为这样的物品输送设备，例如已知有在日本特开2008－168982号公报（专利文献1）中记载的设备。以下，在背景技术的说明中，标有括号的附图标记或名称为现有技术文献中的附图标记或名称。该专利文献1所记载的物品输送设备的物品输送车（板状体输送车1）具备收容物品（物品保持体11）的收容室（收容空间12）、将物品输送车的外部的气体向收容室吸入的吸气部、以及将收容室的气体向物品输送车的外部排出的排气部。在专利文献1所记载的技术中，在吸气部具备从物品输送车的外部朝向收容室送风的风机过滤单元，使被净化后的空气在收容室中通过，防止灰尘附着于物品（详细地讲，是收容于容器的板状物品）。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2008－168982号公报。
发明内容
发明要解决的课题
在上述的物品输送车输送灰尘的产生量比上述物品（以下，称作第1物品）多的物品（以下，称作第2物品）的情况下，从该第2物品产生的灰尘被从排气部向物品输送车的外部排出，所以洁净室有可能被污损。所以，可以考虑在排气部具备使经过该排气部的气体中含有的灰尘减少的过滤器部，使灰尘被从排气部向物品输送车的外部排出的量减少。但是，如果在使物品输送设备行驶的全部的物品输送车的排气部具备过滤器部，则有物品输送设备的制造成本变高的问题。
所以，希望实现能够在将制造成本抑制为较低的同时抑制洁净室被污损的物品输送设备。
用来解决课题的手段
鉴于上述的物品输送设备的特征结构在于，具备在洁净室内行驶的第1物品输送车和第2物品输送车；前述第1物品输送车具备收容第1物品的第1收容室、将前述第1物品输送车的外部的气体向前述第1收容室吸入的第1吸气部、以及将前述第1收容室的气体向前述第1物品输送车的外部排出的第1排气部；前述第1吸气部具备从前述第1物品输送车的外部朝向前述第1收容室送风的第1送风部；前述第2物品输送车具备收容灰尘的产生量比前述第1物品多的第2物品的第2收容室、将前述第2物品输送车的外部的气体向前述第2收容室吸入的第2吸气部、以及将前述第2收容室的气体向前述第2物品输送车的外部排出的第2排气部；前述第2吸气部具备从前述第2物品输送车的外部朝向前述第2收容室送风的第2送风部；前述第2排气部具备从前述第2收容室朝向前述第2物品输送车的外部送风的第3送风部、以及从经过前述第2排气部的气体使灰尘减少的排气用过滤器部；前述第3送风部的每单位时间的送风量比前述第2送风部的每单位时间的送风量多。
根据该特征结构，在第1物品输送车中，将由第1吸气部吸入到第1收容室的气体从第1排气部排出。由此，气体在第1收容室中通过，通过气体在收容于第1收容室的第1物品的周围流动，能够抑制灰尘附着到第1物品。并且，由于第1物品灰尘的产生量比较少，所以即使将第1收容室的气体原样排出到第1物品输送车的外部，洁净室的洁净度也不易下降。因此，也可以在第1物品输送车的第1排气部不具备过滤器部，能够将第1物品输送车的制造成本抑制为较低。
此外，在第2物品输送车中，将由第2吸气部吸入到第2收容室的气体从第2排气部排出。由此，气体在第2收容室中通过，通过气体在收容于第2收容室的第2物品的周围流动，能够抑制灰尘附着到第2物品。可是，由于第2物品灰尘的产生量比较多，所以在将第2收容室的气体原样排出到第2物品输送车的外部的情况下洁净室的洁净度容易下降。所以，通过在第2物品输送车的第2排气部具备排气用过滤器部，能够抑制被向洁净室排出的灰尘，能够抑制洁净室的洁净度下降。
这样，通过关于输送灰尘的产生比较少的第1物品的第1物品输送车，在第1排气部不具备过滤器部，关于输送灰尘的产生比较多的第2物品的第2物品输送车，在第2排气部具备排气用过滤器部，能够在将物品输送设备的制造成本抑制为较低的同时抑制洁净室的洁净度下降。
附图说明
图1是物品输送设备的俯视图。
图2是表示物品输送设备的一部分的侧视图。
图3是第1物品的立体图。
图4是表示包围壁体及气流生成部的主视图。
图5是第1物品输送车的纵剖侧视图。
图6是第2物品输送车的纵剖侧视图。
具体实施方式
1.实施方式
基于附图对物品输送设备的实施方式进行说明。
如图1所示，物品输送设备100具备第1物品输送车1、第2物品输送车2、自动仓库3、处理装置4、清洗装置5和移载装置6。第1物品输送车1输送第1物品W1，第2物品输送车2输送灰尘的产生量比第1物品W1多的第2物品W2。在本实施方式中，第2物品输送车2在第1物品输送车1行驶的行驶路径L行驶。即，第1物品输送车1和第2物品输送车2在相同的行驶路径L行驶。
如图2所示，在物品输送设备100被设置的洁净室R的顶棚部，设置有除尘送风装置8。在本实施方式中，除尘送风装置8设置多个将风扇和过滤器部装入到箱体中而单元化的风机过滤单元（以下，简称作FFU）而构成。此外，在物品输送设备100被设置的洁净室R的地板部，设置有形成了多个沿上下方向Z贯通的通气孔的格栅地板9。并且，被除尘送风装置8吸入到洁净室R中的清洁的空气从顶棚侧向地板侧流动，被从格栅地板9排出。这样，在洁净室R，形成空气从顶棚侧朝向地板侧朝下流动的下降流。第1物品输送车1及第2物品输送车2行驶的行驶路径L被设定在洁净室R内，第1物品输送车1及第2物品输送车2在洁净室R内行驶。
如图3所示，在本实施方式中，将收容着多片板状体W的容器C设为第1物品W1及第2物品W2。详细地讲，将收容着多片光掩模的容器C设为第1物品W1及第2物品W2。处理装置4是使用板状体W进行处理的装置。清洗装置5是将容器C及板状体W清洗的装置。在本实施方式中，将由清洗装置5清洗后、由处理装置4使用前的物品设为第1物品W1，将由处理装置4使用后、由清洗装置5清洗前的物品设为第2物品W2。第1物品W1通过被清洗装置5清洗而附着的灰尘减少。相对于此，第2物品W2通过被处理装置4使用而灰尘附着，附着的灰尘的数量比较多。因此，将第2物品W2设为灰尘的产生量比第1物品W1多的物品。
接着，对第1物品W1进行说明。另外，当说明第1物品W1时，如图5所示，基于第1物品W1被收容于第1物品输送车1或第2物品输送车2的状态进行说明。另外，第1物品W1通过状况的变化而成为第2物品W2，由于第1物品W1和第2物品W2被同样地构成，所以关于第2物品W2的说明省略。
如图3所示，第1物品W1的容器C由板状的顶板11、多个板状的底板12、多个连结体13和支承板状体W的多个支承体14形成。在顶板11及底板12的各自，形成有沿上下方向Z贯通的贯通孔15。多个连结体13以将顶板11与底板12连结的状态装备，形成容器C的侧壁。容器C以支承在一对支承体14的状态收容板状体W，所述一对支承体14以在前后方向X上相互隔开间隔的状态装备。容器C通过在沿上下方向Z排列的状态下具备多组的一对支承体14，构成为，能够将多片板状体W以沿上下方向Z相互隔开间隔的状态收容。此外，虽然图示省略，但板状体W被形成为具有沿上下方向Z贯通的部分的形状。
通过在容器C的顶板11及底板12形成贯通孔15，并且将板状体W形成为具有沿上下方向Z贯通的部分的形状，在第1物品W1形成在上下方向Z上连通的上下连通部17。这样，第1物品W1具备上下连通部17，构成为能够使空气沿上下方向Z通过。另外，上下连通部17相当于在上下方向Z上连通的连通部。
此外，通过将容器C的连结体13以相互离开的状态设置，并且容器C将板状体W以沿上下方向Z相互离开的状态收容，在容器C（第1物品W1）形成在前后方向X上连通的前后连通部16。这样，第1物品W1具备前后连通部16，构成为能够使空气沿前后方向X通过。另外，前后连通部16与上下连通部17相互连通。
如图1所示，自动仓库3具备输送第1物品W1或第2物品W2的堆垛起重机21、具备多个收容第1物品W1或第2物品W2的收容部的物品收容搁架22、以及对向自动仓库3入库的第2物品W2及从自动仓库3出库的第1物品W1进行输送的入出库装置23。堆垛起重机21将第2物品W2从入出库装置23被配置的设定位置P1向物品收容搁架22输送，并且将第2物品W2从物品收容搁架22向清洗装置5输送。此外，堆垛起重机21将第1物品W1从清洗装置5向物品收容搁架22输送，并将第1物品W1从物品收容搁架22向入出库装置23被配置的设定位置P1输送。入出库装置23将第2物品W2从停止在与入出库装置23对应的位置的第2物品输送车2向设定位置P1输送，将第1物品W1从设定位置P1向停止在与入出库装置23对应的位置的第1物品输送车1输送。
移载装置6将第1物品W1从停止在与移载装置6对应的位置的第1物品输送车1向处理装置4移载，将第2物品W2从处理装置4向停止在与移载装置6对应的位置的第2物品输送车2移载。此外，如图2所示，在移载装置6能够将第1物品W1及第2物品W2移载的位置，具备收容第1物品W1的第1收容部24和收容第2物品W2的第2收容部25。在本实施方式中，第1收容部24及第2收容部25设置于在沿着上下方向Z的上下方向观察时与将行驶路径L包围的包围壁体31重叠的位置。这些第1收容部24及第2收容部25以相对于包围壁体31在下方侧隔开间隔的状态被设置在包围壁体31的下方。这些第1收容部24及第2收容部25被作为缓冲用的收容部使用。另外，在本实施方式中，关于两个部件的配置，所谓的“在特定方向上观察时重叠”，是指在使与其视线方向平行的假想直线沿与该假想直线正交的各方向移动的情况下，至少在一部分存在该假想直线与两个部件的两者相交的区域。
在物品输送设备100中，由清洗装置5清洗后的第1物品W1被自动仓库3、第1物品输送车1及移载装置6向处理装置4输送，由处理装置4使用过的第2物品W2被移载装置6、第2物品输送车2及自动仓库3向清洗装置5输送。
如图4所示，物品输送设备100还具备将行驶路径L包围的包围壁体31、和在由包围壁体31包围的内部空间S生成从上方朝向下方的气流的气流生成部32。另外，设定有行驶路径L的区域（第1物品输送车1或第2物品输送车2行驶的区域）、设置有自动仓库3的区域和设置有移载装置6的区域被包围壁体31等壁体区划，限制了空气在各区域的流动。
气流生成部32具备设置在包围壁体31的上部的壁体吸气部33和设置在包围壁体31的下部的壁体排气部34。壁体吸气部33相对于在内部空间S中行驶的第1物品输送车1及第2物品输送车2设置在上方侧。壁体排气部34相对于在内部空间S中行驶的第1物品输送车1及第2物品输送车2设置在下方侧及左右方向Y的两侧。
壁体吸气部33在内部空间S的上部将包围壁体31的外部的空气吸入。在本实施方式中，壁体吸气部33具备将空气从包围壁体31的外部朝向内部空间S的上部向下方给送的上部送风部35、和从在壁体吸气部33中通过的空气使灰尘减少的上部过滤器部36。在本实施方式中，壁体吸气部33由设置在包围壁体31的上部的多个FFU构成。设置在该包围壁体31的上部的多个FFU具备上部送风部35及上部过滤器部36。
壁体排气部34将内部空间S的下部的空气向包围壁体31的外部排出。在本实施方式中，壁体排气部34具备从内部空间S的下部朝向包围壁体31的外部向下方送风的下部送风部37、和从在壁体排气部34中通过的空气使灰尘减少的下部过滤器部38。在本实施方式中，壁体排气部34具备设置在包围壁体31的下部的多个FFU。设置在该包围壁体31的下部的FFU具备下部送风部37及下部过滤器部38。进而，在本实施方式中，壁体排气部34具备将内部空间S的下部与包围壁体31的外部连通的连通孔39。在图示的例子中，连通孔39设置在包围壁体31的底部及侧壁部。并且，上部送风部35的每单位时间的送风量比下部送风部37的每单位时间的送风量多。因此，内部空间S相对于包围壁体31的外部成为正压，除了经过设置在包围壁体31的下部的FFU而被朝向包围壁体31的外部排气以外，内部空间S的下部的空气经过连通孔39被朝向包围壁体31的外部排出。这样，气流生成部32具备将空气从内部空间S的下部朝向包围壁体31的外部向下方给送的下部送风部37。该下部送风部37相当于壁体用送风部。
接着，对第1物品输送车1及第2物品输送车2进行说明。如图5所示，第1物品输送车1具备收容第1物品W1的第1收容室41、将第1物品输送车1的外部的空气向第1收容室41吸入的第1吸气部42、将第1收容室41的空气向第1物品输送车1的外部排出的第1排气部43和将第1收容室41包围的第1箱体47。
第1吸气部42具备从第1物品输送车1的外部朝向第1收容室41送风的第1送风部44、以及从经过第1吸气部42的空气使灰尘减少的第1过滤器部45。在本实施方式中，第1吸气部42由设置在第1箱体47的前部的FFU构成。设置在该第1箱体47的前部的FFU具备第1送风部44及第1过滤器部45。第1吸气部42设置在比收容于第1收容室41的第1物品W1的前端靠前方侧X1，将空气从第1物品输送车1的前方吸入。第1吸气部42形成在相对于收容于第1收容室41的第1物品W1在沿着前后方向X看的前后方向观察时重叠的区域。在本实施方式中，设置为，使第1送风部44及第1过滤器部45的两者相对于收容于第1收容室41的第1物品W1在前后方向观察时重叠。
第1排气部43具备将第1收容室41的下部与第1箱体47的外部连通的多孔状的第1连通部46。在图示的例子中，第1连通部46设置在第1箱体47的底部。第1排气部43被设置在比收容于第1收容室41的第1物品W1的下端靠下方侧，将空气朝向第1物品输送车1的下方排出。另外，在本实施方式中，第1排气部43不具备送风部及过滤器部。第1排气部43形成在相对于收容于第1收容室41的第1物品W1在上下方向观察时重叠的区域。在本实施方式中，设置为，构成第1连通部46的多个孔的至少一部分相对于收容于第1收容室41的第1物品W1在上下方向观察时重叠。
通过第1物品输送车1借助第1吸气部42将空气向第1收容室41吸入，第1收容室41相对于第1物品输送车1的外部成为正压。因此，即使是在包围第1收容室41的第1箱体47有间隙的情况，也将空气从第1收容室41自该间隙向第1物品输送车1的外部排出，所以能够抑制第1物品输送车1的外部的空气不经过第1过滤器部45而向第1收容室41进入。因而，容易将第1收容室41的洁净度维持得较高。
第2物品输送车2具备收容第2物品W2的第2收容室51、将第2物品输送车2的外部的空气向第2收容室51吸入的第2吸气部52、将第2收容室51的空气向第2物品输送车2的外部排出的第2排气部53、以及将第2收容室51包围的第2箱体58。
第2吸气部52具备从第2物品输送车2的外部朝向第2收容室51送风的第2送风部54、以及从经过第2吸气部52的空气使灰尘减少的第2过滤器部55。在本实施方式中，第2吸气部52由设置在第2箱体58的前部的FFU构成。设置在该第2箱体58的前部的FFU具备第2送风部54及第2过滤器部55。第2吸气部52被设置在比收容于第2收容室51的第2物品W2的前端靠前方侧X1，将空气从第2物品输送车2的前方吸入。第2吸气部52形成在相对于收容于第2收容室51的第2物品W2在前后方向观察时重叠的区域。在本实施方式中，设置为，使第2送风部54及第2过滤器部55的两者相对于收容于第2收容室51的第2物品W2在前后方向观察时重叠。
第2排气部53具备从第2收容室51朝向第2物品输送车2的外部送风的第3送风部56、以及从经过第2排气部53的空气使灰尘减少的第3过滤器部57。在本实施方式中，第2排气部53由设置在第2物品输送车2的后部的FFU构成。设置在该第2物品输送车2的后部的FFU具备第3送风部56及第3过滤器部57。第2排气部53被设置在比收容于第2收容室51的第2物品W2的后端靠后方侧X2，将空气朝向第2物品输送车2的后方排出。第2排气部53形成在相对于收容于第2收容室51的第2物品W2在前后方向观察时重叠的区域。在本实施方式中，设置为，使第3送风部56及第3过滤器部57的两者相对于收容于第2收容室51的第2物品W2在前后方向观察时重叠。
第3送风部56的每单位时间的送风量比第2送风部54的每单位时间的送风量多。在本实施方式中，通过使第3送风部56的风扇的旋转速度比第2送风部54的风扇的旋转速度快，使第3送风部56的每单位时间的送风量比第2送风部54的每单位时间的送风量多。由此，第2收容室51相对于第2物品输送车2的外部成为负压。因此，即使是在包围第2收容室51的第2箱体58有间隙的情况，也将空气从第2物品输送车2的外部自该间隙向第2收容室51吸入，所以能够抑制第2收容室51的空气不经过第3过滤器部57而向第2物品输送车2的外部放出。因而，第2物品输送车2的外部不易被污损。
2.其他实施方式
接着，对物品输送设备的其他实施方式进行说明。
（1）在上述实施方式中，以第1吸气部42从第1物品输送车1的前方将空气吸入的结构为例进行了说明。但是，并不限定于这样的结构。例如，也可以将第1吸气部42做成从第1物品输送车1的上方将空气吸入的结构。或者，也可以将第1吸气部42做成从横侧方等前方及上方以外将空气吸入的结构。
（2）在上述实施方式中，以第1排气部43不具备送风部及过滤器部而将空气向第1物品输送车1的下方排出的结构为例进行了说明。但是，并不限定于这样的结构。例如，也可以做成在第1排气部43仅具备送风部和过滤器部中的某一方、或具备送风部和过滤器部的两者的结构。此外，也可以将第1排气部43做成将空气向第1物品输送车1的后方排出的结构。或者，也可以将第1排气部43做成将空气向横侧方等下方及后方以外排出的结构。
（3）在上述实施方式中，以第2吸气部52具备第2送风部54和第2过滤器部55、从第2物品输送车2的前方将空气吸入的结构为例进行了说明。但是，并不限定于这样的结构。例如，也可以将第2吸气部52做成仅具备第2送风部54和第2过滤器部55中的第2送风部54的结构。此外，也可以将第2吸气部52做成从第2物品输送车2的上方将空气吸入的结构。或者，也可以将第2吸气部52做成从横侧方等前方及上方以外将空气吸入的结构。
（4）在上述实施方式中，以第2排气部53将空气朝向第2物品输送车2的后方排出的结构为例进行了说明。但是，并不限定于这样的结构。例如，也可以将第2排气部53做成将空气向第2物品输送车2的下方排出的结构。或者，也可以将第2排气部53做成将空气向横侧方等后方及下方以外排出的结构。
（5）在上述实施方式中，以第1物品输送车1和第2物品输送车2在相同的行驶路径L行驶的结构为例进行了说明。但是，并不限定于这样的结构。例如，也可以做成第1物品输送车1和第2物品输送车2在不同的行驶路径L行驶的结构。
（6）在上述实施方式中，以具备将行驶路径L包围的包围壁体31的结构为例进行了说明。但是，并不限定于这样的结构。例如，也可以做成行驶路径L不被包围壁体31包围的结构。
（7）在上述实施方式中，以将第1物品W1及第2物品W2设为收容着光掩模的容器C的结构为例进行了说明。但是，并不限定于这样的结构。例如，也可以做成将第1物品W1及第2物品W2的一方或两者设为收容着晶片的FOUP的结构，此外，也可以做成设为收容着液晶用的玻璃基板的容器C的结构。
（8）在上述实施方式中，对第1物品W1是由处理装置4使用前的物品、第2物品W2是由处理装置4使用后的物品的情况下的例子进行了说明。但是，并不限定于这样的结构。例如，也可以第1物品W1是仅在物品输送设备内被输送的物品、第2物品W2是被从物品输送设备的外部输送到物品输送设备的物品。或者，也可以是，第1物品W1和第2物品W2具备由不同的材质构成的部件，第2物品W2包括比第1物品W1具备的部件容易产生灰尘的材质的部件。
（9）在上述的实施方式中，以将气体设为空气的结构为例进行了说明。但是，并不限定于这样的结构。例如，也可以将气体设为氮的含有率较高的非活性气体等。
（10）另外，在上述的各实施方式中公开的结构只要不发生矛盾，也可以与在其他的实施方式中公开的结构组合而应用。关于其他的结构，在本说明书中公开的实施方式也在全部的方面都只不过是单纯的例示。因而，能够在不脱离本公开的主旨的范围内适当进行各种改变。
3.上述实施方式的概要
以下，对在上述中说明的物品输送设备的概要进行说明。
物品输送设备具备在洁净室内行驶的第1物品输送车和第2物品输送车；前述第1物品输送车具备收容第1物品的第1收容室、将前述第1物品输送车的外部的气体向前述第1收容室吸入的第1吸气部、以及将前述第1收容室的气体向前述第1物品输送车的外部排出的第1排气部；前述第1吸气部具备从前述第1物品输送车的外部朝向前述第1收容室送风的第1送风部；前述第2物品输送车具备收容灰尘的产生量比前述第1物品多的第2物品的第2收容室、将前述第2物品输送车的外部的气体向前述第2收容室吸入的第2吸气部、以及将前述第2收容室的气体向前述第2物品输送车的外部排出的第2排气部；前述第2吸气部具备从前述第2物品输送车的外部朝向前述第2收容室送风的第2送风部；前述第2排气部具备从前述第2收容室朝向前述第2物品输送车的外部送风的第3送风部、以及从经过前述第2排气部的气体使灰尘减少的排气用过滤器部；前述第3送风部的每单位时间的送风量比前述第2送风部的每单位时间的送风量多。
根据本结构，在第1物品输送车中，将由第1吸气部吸入到第1收容室的气体从第1排气部排出。由此，气体在第1收容室中通过，通过气体在收容于第1收容室的第1物品的周围流动，能够抑制灰尘附着到第1物品。并且，由于第1物品灰尘的产生量比较少，所以即使将第1收容室的气体原样排出到第1物品输送车的外部，洁净室的洁净度也不易下降。因此，也可以在第1物品输送车的第1排气部不具备过滤器部，能够将第1物品输送车的制造成本抑制为较低。
此外，在第2物品输送车中，将由第2吸气部吸入到第2收容室的气体从第2排气部排出。由此，气体在第2收容室中通过，通过气体在收容于第2收容室的第2物品的周围流动，能够抑制灰尘附着到第2物品。可是，由于第2物品灰尘的产生量比较多，所以在将第2收容室的气体原样排出到第2物品输送车的外部的情况下洁净室的洁净度容易下降。所以，通过在第2物品输送车的第2排气部具备排气用过滤器部，能够抑制被向洁净室排出的灰尘，能够抑制洁净室的洁净度下降。
这样，通过关于输送灰尘的产生比较少的第1物品的第1物品输送车，在第1排气部不具备过滤器部，关于输送灰尘的产生比较多的第2物品的第2物品输送车，在第2排气部具备排气用过滤器部，能够在将物品输送设备的制造成本抑制为较低的同时抑制洁净室的洁净度下降。
这里，优选的是，前述第1吸气部除了前述第1送风部以外，还具备从经过前述第1吸气部的气体使灰尘减少的第1过滤器部。
根据本结构，由于从第1物品输送车的外部进入第1收容室的灰尘减少，所以收容于第1收容室的第1物品不易被灰尘污损。此外，通过由第1吸气部将气体向第1收容室吸入，第1收容室相对于第1物品输送车1的外部成为正压。因此，即使是在将第1收容室包围的第1物品输送车的箱体有间隙的情况，也从该间隙将空气从第1收容室向第1物品输送车的外部排出，所以能够抑制第1物品输送车的外部的空气不经过第1过滤器部而进入第1收容室。
此外，优选的是，前述第2吸气部除了前述第2送风部以外，还具备从经过前述第2吸气部的气体使灰尘减少的第2过滤器部。
根据本结构，由于从第2物品输送车的外部进入第2收容室的灰尘减少，所以收容于第2收容室的第2物品不易被灰尘污损。此外，在与第2吸气部同样，在第1吸气部除了第1送风部以外还具备第1过滤器部的情况下，也能够将第2物品输送车的第2吸气部挪用作第1物品输送车的第1吸气部，能够将第1物品输送车的制造成本抑制为较低。
此外，优选的是，还具备将前述第1物品输送车行驶的行驶路径包围的包围壁体、和在由前述包围壁体包围的内部空间生成从上方朝向下方的气流的气流生成部；前述气流生成部具备将气体从前述内部空间的下部朝向前述包围壁体的外部向下方输送的壁体用送风部；前述第1排气部将气体朝向前述第1物品输送车的下方排出。
根据本结构，被从第1排气部排出到内部空间的气体借助在该内部空间生成的气流而向下方流动，借助壁体用送风部而向包围壁体的外部排出。因此，从第1排气部排出的气体不易停留在内部空间，能够抑制内部空间的洁净度下降。
此外，优选的是，前述第1物品具备在上下方向上连通的连通部；前述第1排气部形成在相对于收容于前述第1收容室的前述第1物品在沿着上下方向的上下方向观察时重叠的区域。
根据本结构，第1收容室的气体在第1物品的连通部中从上方向下方通过后，容易被从第1排气部排出。由此，气体容易在收容于第1收容室的第1物品的周围流动，能够进一步抑制灰尘附着到第1物品。
此外，优选的是，前述第2吸气部将气体从前述第2物品输送车的前方吸入；前述第2排气部将气体朝向前述第2物品输送车的后方排出。
根据本结构，被第2吸气部从第2物品输送车的前方吸入到第2收容室的气体原样向后侧流动，被第2排气部从第2收容室朝向第2物品输送车的后方排出。这样，通过将气体从前方吸入并向后方排出，能够使气体容易地从第2吸气部朝向第2排气部在第2收容室内流动。
产业上的可利用性
有关本公开的技术能够用于具备物品输送车的物品输送设备。
附图标记说明
1：第1物品输送车
2：第2物品输送车
17：上下连通部（连通部）
31：包围壁体
32：气流生成部
37：下部送风部（壁体用送风部）
41：第1收容室
42：第1吸气部
43：第1排气部
44：第1送风部
45：第1过滤器部
51：第2收容室
52：第2吸气部
53：第2排气部
54：第2送风部
55：第2过滤器部
56：第3送风部
57：第3过滤器部（排气用过滤器部）
100：物品输送设备
R：洁净室
W1：第1物品
W2：第2物品。

Claims (6)

1.一种物品输送设备，具备在洁净室内行驶的第1物品输送车和第2物品输送车，其特征在于，
前述第1物品输送车具备收容第1物品的第1收容室、将前述第1物品输送车的外部的气体向前述第1收容室吸入的第1吸气部、以及将前述第1收容室的气体向前述第1物品输送车的外部排出的第1排气部；
前述第1吸气部具备从前述第1物品输送车的外部朝向前述第1收容室送风的第1送风部；
前述第2物品输送车具备收容灰尘的产生量比前述第1物品多的第2物品的第2收容室、将前述第2物品输送车的外部的气体向前述第2收容室吸入的第2吸气部、以及将前述第2收容室的气体向前述第2物品输送车的外部排出的第2排气部；
前述第2吸气部具备从前述第2物品输送车的外部朝向前述第2收容室送风的第2送风部；
前述第2排气部具备从前述第2收容室朝向前述第2物品输送车的外部送风的第3送风部、以及从经过前述第2排气部的气体使灰尘减少的排气用过滤器部；
前述第3送风部的每单位时间的送风量比前述第2送风部的每单位时间的送风量多。
2.如权利要求1所述的物品输送设备，其特征在于，
前述第1吸气部除了前述第1送风部以外，还具备从经过前述第1吸气部的气体使灰尘减少的第1过滤器部。
3.如权利要求1或2所述的物品输送设备，其特征在于，
前述第2吸气部除了前述第2送风部以外，还具备从经过前述第2吸气部的气体使灰尘减少的第2过滤器部。
4.如权利要求1～3中任一项所述的物品输送设备，其特征在于，
还具备将前述第1物品输送车行驶的行驶路径包围的包围壁体、和在由前述包围壁体包围的内部空间生成从上方朝向下方的气流的气流生成部；
前述气流生成部具备将气体从前述内部空间的下部朝向前述包围壁体的外部向下方输送的壁体用送风部；
前述第1排气部将气体朝向前述第1物品输送车的下方排出。
5.如权利要求4所述的物品输送设备，其特征在于，
前述第1物品具备在上下方向上连通的连通部；
前述第1排气部形成在相对于收容于前述第1收容室的前述第1物品在沿着上下方向的上下方向观察时重叠的区域。
6.如权利要求1～5中任一项所述的物品输送设备，其特征在于，
前述第2吸气部将气体从前述第2物品输送车的前方吸入；
前述第2排气部将气体朝向前述第2物品输送车的后方排出。
CN202010116627.9A 2019-02-25 2020-02-25 物品输送设备 Active CN111605937B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019031804A JP7115356B2 (ja) 2019-02-25 2019-02-25 物品搬送設備
JP2019-031804 2019-02-25

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN111605937A true CN111605937A (zh) 2020-09-01
CN111605937B CN111605937B (zh) 2022-12-27

Family

ID=72197678

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010116627.9A Active CN111605937B (zh) 2019-02-25 2020-02-25 物品输送设备

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP7115356B2 (zh)
KR (1) KR20200103532A (zh)
CN (1) CN111605937B (zh)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09260226A (ja) * 1996-03-21 1997-10-03 Hitachi Ltd 半導体製造システム
JPH09289243A (ja) * 1996-04-22 1997-11-04 Zetetsuku Kk 半導体ウェハキャリア用ストッカー
JPH09323652A (ja) * 1996-06-07 1997-12-16 Hitachi Kiden Kogyo Ltd 無人搬送車におけるダスト侵入防止装置
US20040093108A1 (en) * 2002-11-11 2004-05-13 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Automatic material handling system, production system for semiconductor device, and production management method for semiconductor device
JP2008168982A (ja) * 2007-01-10 2008-07-24 Daifuku Co Ltd 板状物品用搬送車
CN107804637A (zh) * 2016-09-09 2018-03-16 株式会社大福 物品搬运设备

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09260226A (ja) * 1996-03-21 1997-10-03 Hitachi Ltd 半導体製造システム
JPH09289243A (ja) * 1996-04-22 1997-11-04 Zetetsuku Kk 半導体ウェハキャリア用ストッカー
JPH09323652A (ja) * 1996-06-07 1997-12-16 Hitachi Kiden Kogyo Ltd 無人搬送車におけるダスト侵入防止装置
US20040093108A1 (en) * 2002-11-11 2004-05-13 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Automatic material handling system, production system for semiconductor device, and production management method for semiconductor device
JP2008168982A (ja) * 2007-01-10 2008-07-24 Daifuku Co Ltd 板状物品用搬送車
CN107804637A (zh) * 2016-09-09 2018-03-16 株式会社大福 物品搬运设备

Also Published As

Publication number Publication date
KR20200103532A (ko) 2020-09-02
JP7115356B2 (ja) 2022-08-09
CN111605937B (zh) 2022-12-27
JP2020132407A (ja) 2020-08-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5562759B2 (ja) 基板処理装置
JP6963179B2 (ja) Ｅｆｅｍ
KR20090064587A (ko) 기판 보관고
KR20240041902A (ko) 이에프이엠
CN111605937B (zh) 物品输送设备
JP4161273B2 (ja) 搬送装置
JP2014201449A (ja) ガラス板搬送装置及びガラス板搬送方法
JP2004269214A (ja) 浄化空気通風式の保管設備
JP2005089049A (ja) 搬送システム
JP4780401B2 (ja) クリーンルーム用の物品保管設備
TW200920668A (en) Vertical circulation conveying facility
JP4212713B2 (ja) 搬送装置
JP2012089645A (ja) 物品搬送車
JP6601360B2 (ja) 物品搬送設備
JP2003081405A (ja) 浄化空気通風式の保管設備
JP2004331395A5 (zh)
JP2004331395A (ja) 板状体搬送装置
JP7277813B2 (ja) 搬送システム及び容器開閉装置
JP7093318B2 (ja) 物品保管設備
JP7127573B2 (ja) 物品搬送設備
JP2013020836A (ja) 大気圧プラズマ処理システム
JP3673327B2 (ja) 無人搬送車におけるダスト侵入防止装置
TW201314139A (zh) 清淨氣體送風單元
JP2007335525A (ja) 物品搬送用ポッド
JPH07283088A (ja) 処理装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant