KR20200103532A - 물품 반송 설비 - Google Patents

물품 반송 설비 Download PDF

Info

Publication number
KR20200103532A
KR20200103532A KR1020200002514A KR20200002514A KR20200103532A KR 20200103532 A KR20200103532 A KR 20200103532A KR 1020200002514 A KR1020200002514 A KR 1020200002514A KR 20200002514 A KR20200002514 A KR 20200002514A KR 20200103532 A KR20200103532 A KR 20200103532A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
article
transport vehicle
article transport
unit
exhaust
Prior art date
Application number
KR1020200002514A
Other languages
English (en)
Inventor
다카후미 후마
Original Assignee
가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 다이후쿠 filed Critical 가부시키가이샤 다이후쿠
Publication of KR20200103532A publication Critical patent/KR20200103532A/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0407—Storage devices mechanical using stacker cranes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61D—BODY DETAILS OR KINDS OF RAILWAY VEHICLES
    • B61D27/00—Heating, cooling, ventilating, or air-conditioning
    • B61D27/009—Means for ventilating only
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61D—BODY DETAILS OR KINDS OF RAILWAY VEHICLES
    • B61D3/00—Wagons or vans
    • B61D3/16—Wagons or vans adapted for carrying special loads
    • B61D3/20—Wagons or vans adapted for carrying special loads for forwarding containers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/70—Suction grids; Strainers; Dust separation; Cleaning
    • F04D29/701—Suction grids; Strainers; Dust separation; Cleaning especially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/703—Suction grids; Strainers; Dust separation; Cleaning especially adapted for elastic fluid pumps specially for fans, e.g. fan guards
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

본 발명은, 제조 비용을 낮게 억제하면서 청정실이 오염 또는 손상되는 것을 억제할 수 있는 물품 반송 설비를 실현하고자 한 것으로서, 청정실 내를 주행하는 제1 물품 반송차와 제2 물품 반송차(2)를 구비하고, 제1 물품 반송차는, 제1 수용실과 제1 흡기부와 제1 배기부를 구비하고, 제2 물품 반송차(2)는, 제1 물품보다 먼지의 발생량이 많은 제2 물품(W2)을 수용하는 제2 수용실(51)과, 외부의 기체를 제2 수용실(51)로 흡기하는 제2 흡기부(52)와, 제2 수용실(51)의 기체를 외부로 배기하는 제2 배기부(53)를 구비하고, 제2 흡기부(52)는, 외부로부터 제2 수용실(51)을 향해 송풍하는 제2 송풍부(54)를 구비하고, 제2 배기부(53)는, 제2 수용실(51)로부터 외부를 향해 송풍하는 제3 송풍부(56)와 배기용 필터부(57)를 구비하고, 제3 송풍부(56)의 단위 시간당의 송풍량이, 제2 송풍부(54)의 단위 시간당의 송풍량보다 많다.

Description

물품 반송 설비{ARTICLE TRANSPORT FACILITY}
본 발명은, 청정실 내를 주행하는 물품 반송차(article transport vehicle)를 구비한 물품 반송 설비(article transport facility)에 관한 것이다.
이와 같은 물품 반송 설비로서, 예를 들면, 일본 공개특허 제2008-168982호 공보(특허문헌 1)에 기재된 것이 알려져 있다. 이하, 배경 기술의 설명에 있어서, 괄호 쓰기의 부호 또는 명칭은, 선행 기술 문헌에서의 부호 또는 명칭으로 한다. 이 특허문헌 1에 기재된 물품 반송 설비의 물품 반송차[판형체 반송차(1)]는, 물품[물품 유지체(11)]을 수용하는 수용실[수용 공간(12)]과, 물품 반송차의 외부의 기체(氣體)를 수용실로 흡기하는 흡기부와, 수용실의 기체를 물품 반송차의 외부로 배기하는 배기부를 구비하고 있다. 특허문헌 1에 기재된 기술에서는, 흡기부에, 물품 반송차의 외부로부터 수용실을 향해 송풍하는 팬 필터 유닛(fan filter unit)을 구비하여, 정화된 공기가 수용실을 통기하도록 하고, 물품(상세하게는, 용기에 수용되어 있는 판형 물품)에 먼지가 부착되는 것을 방지하고 있다.
일본 공개특허 제2008-168982호 공보
상기한 물품 반송차가, 전술한 물품(이하, 제1 물품이라고 함)보다 먼지의 발생량이 많은 물품(이하, 제2 물품이라고 함)을 반송하는 경우, 이 제2 물품으로부터 발생한 먼지가 배기부로부터 물품 반송차의 외부로 배기되므로, 청정실이 오염 또는 손상될 가능성이 있다. 따라서, 배기부에, 이 배기부를 통과하는 기체에 포함된 먼지를 감소시키는 필터부를 구비하여, 배기부로부터 물품 반송차의 외부에 먼지가 배출되는 양을 감소시키는 것을 생각할 수 있다. 그러나, 물품 반송 설비를 주행하는 모든 물품 반송차에서의 배기부에 필터부를 구비하면, 물품 반송 설비의 제조 비용이 높아지는 문제가 있다.
따라서, 제조 비용을 낮게 억제하면서 청정실이 오염 또는 손상되는 것을 억제할 수 있는 물품 반송 설비의 실현이 요구된다.
상기 문제점을 해결하기 위해, 물품 반송 설비의 특징적 구성은, 청정실 내를 주행하는 제1 물품 반송차와 제2 물품 반송차를 구비하고, 상기 제1 물품 반송차는, 제1 물품을 수용하는 제1 수용실과, 상기 제1 물품 반송차의 외부의 기체를 상기 제1 수용실로 흡기하는 제1 흡기부와, 상기 제1 수용실의 기체를 상기 제1 물품 반송차의 외부로 배기하는 제1 배기부를 구비하고, 상기 제1 흡기부는, 상기 제1 물품 반송차의 외부로부터 상기 제1 수용실을 향해 송풍하는 제1 송풍부를 구비하고, 상기 제2 물품 반송차는, 상기 제1 물품보다 먼지의 발생량이 많은 제2 물품을 수용하는 제2 수용실과, 상기 제2 물품 반송차의 외부의 기체를 상기 제2 수용실로 흡기하는 제2 흡기부와, 상기 제2 수용실의 기체를 상기 제2 물품 반송차의 외부로 배기하는 제2 배기부를 구비하고, 상기 제2 흡기부는, 상기 제2 물품 반송차의 외부로부터 상기 제2 수용실을 향해 송풍하는 제2 송풍부를 구비하고, 상기 제2 배기부는, 상기 제2 수용실로부터 상기 제2 물품 반송차의 외부를 향해 송풍하는 제3 송풍부와, 상기 제2 배기부를 통과하는 기체로부터 먼지를 감소시키는 배기용 필터부를 구비하고, 상기 제3 송풍부의 단위 시간당의 송풍량이, 상기 제2 송풍부의 단위 시간당의 송풍량보다 많은 점에 있다.
이 특징적 구성에 의하면, 제1 물품 반송차에서는, 제1 흡기부에 의해 제1 수용실에 흡기된 기체가 제1 배기부로부터 배기된다. 이로써, 제1 수용실을 기체가 통기하여, 제1 수용실에 수용되어 있는 제1 물품의 주위를 기체가 유동(流動)함으로써, 제1 물품에 먼지가 부착되는 것을 억제할 수 있다. 그리고, 제1 물품은 먼지의 발생량이 비교적 적기 때문에, 제1 수용실의 기체를 그대로 제1 물품 반송차의 외부로 배기했다고 해도 청정실의 청정도는 쉽게 저하되지 않는다. 그러므로, 제1 물품 반송차의 제1 배기부에 필터부를 구비하지 않아도 되고, 제1 물품 반송차의 제조 비용을 낮게 억제할 수 있다.
또한, 제2 물품 반송차에서는, 제2 흡기부에 의해 제2 수용실에 흡기된 기체가 제2 배기부로부터 배기된다. 이로써, 제2 수용실을 기체가 통기하여, 제2 수용실에 수용되어 있는 제2 물품의 주위에 기체가 유동함으로써, 제2 물품에 먼지가 부착되는 것을 억제할 수 있다. 그런데, 제2 물품은 먼지의 발생량이 비교적 많기 때문에, 제2 수용실의 기체를 그대로 제2 물품 반송차의 외부로 배기한 경우에 청정실의 청정도가 저하하기 쉽다. 따라서, 제2 물품 반송차의 제2 배기부에 배기용 필터부를 구비함으로써, 청정실에 배출되는 먼지를 억제할 수 있어, 청정실의 청정도가 저하되는 것을 억제할 수 있다.
이와 같이, 먼지의 발생이 비교적 적은 제1 물품을 반송하는 제1 물품 반송차에 대해서는, 제1 배기부에 필터부를 구비하지 않고, 먼지의 발생이 비교적 많은 제2 물품을 반송하는 제2 물품 반송차에 대해서는, 제2 배기부에 배기용 필터부를 구비함으로써, 물품 반송 설비의 제조 비용을 낮게 억제하면서 청정실의 청정도가 저하되는 것을 억제할 수 있다.
도 1은 물품 반송 설비의 평면도
도 2는 물품 반송 설비의 일부를 나타낸 측면도
도 3은 제1 물품의 사시도
도 4는 포위 벽체 및 기류 생성부를 나타낸 정면도
도 5는 제1 물품 반송차의 종단 측면도
도 6은 제2 물품 반송차의 종단 측면도
1. 실시형태
물품 반송 설비의 실시형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비(100)는, 제1 물품 반송차(1)와 제2 물품 반송차(2)와 자동 창고(3)와 처리 장치(4)와 세정 장치(5)와 이송탑재 장치(6)를 구비하고 있다. 제1 물품 반송차(1)는, 제1 물품(W1)을 반송하고, 제2 물품 반송차(2)는, 제1 물품(W1)보다 먼지의 발생량이 많은 제2 물품(W2)을 반송한다. 본 실시형태에서는, 제2 물품 반송차(2)는, 제1 물품 반송차(1)가 주행하는 주행 경로(travelling path)(L)를 주행한다. 즉, 제1 물품 반송차(1)와 제2 물품 반송차(2)는 같은 주행 경로(L)를 주행한다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비(100)가 설치되는 청정실(R)의 천정부(ceiling portion)에는, 제진(除塵) 송풍 장치(8)가 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 제진 송풍 장치(8)는, 팬(fan)과 필터부를 하우징(housing)에 내장하여 유닛화된 팬 필터 유닛(이하, FFU라고 약함)을 복수 설치하여 구성되어 있다. 또한, 물품 반송 설비(100)가 설치되는 청정실(R)의 바닥부에는, 상하 방향 Z으로 관통하는 통기공이 복수 형성된 그레이팅(grating) 바닥(9)이 설치되어 있다. 그리고, 제진 송풍 장치(8)에 의해 청정실(R)에 흡기된 청정된 공기는, 천정측으로부터 바닥측으로 유동하여 그레이팅 바닥(9)으로부터 배기된다. 이와 같이, 청정실(R)에는, 천정측으로부터 바닥측을 향해 공기가 하방향으로 유동하는 다운플로우(downflow)가 형성되어 있다. 제1 물품 반송차(1) 및 제2 물품 반송차(2)가 주행하는 주행 경로(L)는 청정실(R) 내로 설정되어 있고, 제1 물품 반송차(1) 및 제2 물품 반송차(2)는, 청정실(R) 내를 주행한다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 복수 개의 판형체(W)를 수용한 용기(C)를 제1 물품(W1) 및 제2 물품(W2)이라고 하고 있다. 상세하게는, 복수 개의 포토마스크를 수용한 용기(C)를 제1 물품(W1) 및 제2 물품(W2)이라고 하고 있다. 처리 장치(4)는, 판형체(W)를 사용하여 처리를 행하는 장치이다. 세정 장치(5)는, 용기(C) 및 판형체(W)를 세정하는 장치이다. 본 실시형태에서는, 세정 장치(5)로 세정한 후, 처리 장치(4)에서 사용하기 전의 물품을 제1 물품(W1)이라고 하고, 처리 장치(4)에서 사용한 후, 세정 장치(5)와 세정하기 전의 물품을 제2 물품(W2)이라고 하고 있다. 제1 물품(W1)은, 세정 장치(5)에 의해 세정됨으로써 부착되어 있는 먼지가 감소하고 있다. 이에 대하여, 제2 물품(W2)은, 처리 장치(4)에서 사용됨으로써 먼지가 부착되어 있고, 부착되어 있는 먼지의 수가 비교적 많다. 그러므로, 제2 물품(W2)을, 제1 물품(W1)보다 먼지의 발생량이 많은 물품으로 하고 있다.
다음에, 제1 물품(W1)에 대하여 설명한다. 그리고, 제1 물품(W1)을 설명하는데 있어서, 도 5에 나타낸 바와 같이, 제1 물품(W1)이 제1 물품 반송차(1)나 제2 물품 반송차(2)에 수용되어 있는 상태를 참조하여 설명한다. 그리고, 제1 물품(W1)은, 상황의 변화에 따라 제2 물품(W2)이 되는 것이며, 제1 물품(W1)과 제2 물품(W2)은 동일하게 구성되어 있으므로, 제2 물품(W2)에 대한 설명은 생략한다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 제1 물품(W1)의 용기(C)는, 판형의 천정판(11)과, 복수의 판형의 바닥판(12)과, 복수의 연결체(13)와, 판형체(W)를 지지하는 복수의 지지체(14)로 형성되어 있다. 천정판(11) 및 바닥판(12)의 각각에는, 상하 방향 Z로 관통하는 관통공(15)이 형성되어 있다. 복수의 연결체(13)은, 천정판(11)과 바닥판(12)을 연결하는 상태로 구비되어 있고, 용기(C)의 측벽을 형성하고 있다. 용기(C)는, 전후 방향 X로 서로 간격을 둔 상태로 구비된 한 쌍의 지지체(14)에 지지한 상태로 판형체(W)를 수용한다. 용기(C)는, 한 쌍의 지지체(14)를 상하 방향 Z로 배열되는 상태로 복수 조(組) 구비함으로써, 복수 개의 판형체(W)를 상하 방향 Z로 서로 간격을 둔 상태로 수용 가능하게 구성되어 있다. 또한, 도시는 생략하지만, 판형체(W)는 상하 방향 Z로 관통하는 부분을 가지는 형상으로 형성되어 있다.
용기(C)의 천정판(11) 및 바닥판(12)에 관통공(15)이 형성되어 있고 또한 판형체(W)가 상하 방향 Z과 관통하는 부분을 가지는 형상으로 형성되어 있으므로, 제1 물품(W1)에는, 상하 방향 Z로 연통되는 상하 연통부(17)가 형성되어 있다. 이와 같이, 제1 물품(W1)은, 상하 연통부(17)를 구비하고 있고, 공기를 상하 방향 Z로 통기 가능하게 구성되어 있다. 그리고, 상하 연통부(17)는, 상하 방향 Z로 연통되는 연통부에 상당한다.
또한, 용기(C)의 연결체(13)가 서로 이격되는 상태로 설치되고, 또한 용기(C)가 판형체(W)를 상하 방향 Z로 서로 이격되는 상태로 수용함으로써, 용기(C)[제1 물품(W1)]에는, 전후 방향 X로 연통되는 전후 연통부(16)가 형성되어 있다. 이와 같이, 제1 물품(W1)은, 전후 연통부(16)를 구비하고 있고, 공기를 전후 방향 X로 통기 가능하게 구성되어 있다. 그리고, 전후 연통부(16)와 상하 연통부(17)는 서로 연통되어 있다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 자동 창고(3)은, 제1 물품(W1) 또는 제2 물품(W2)을 반송하는 스태커 크레인(stacker crane)(21)과, 제1 물품(W1) 또는 제2 물품(W2)을 수용하는 수용부를 복수 구비한 물품 수용 선반(22)과, 자동 창고(3)에 입고(入庫)되는 제2 물품(W2)이나 자동 창고(3)로부터 출고되는 제1 물품(W1)을 반송하는 입출고(入出庫) 장치(23)를 구비하고 있다. 스태커 크레인(21)은, 입출고 장치(23)가 배치되는 설정 위치 P1로부터 물품 수용 선반(22)에 제2 물품(W2)을 반송하고 또한 물품 수용 선반(22)으로부터 세정 장치(5)로 제2 물품(W2)을 반송한다. 또한, 스태커 크레인(21)은, 세정 장치(5)로부터 물품 수용 선반(22)에 제1 물품(W1)을 반송하고 또한 물품 수용 선반(22)으로부터 입출고 장치(23)가 배치되는 설정 위치 P1으로 제1 물품(W1)을 반송한다. 입출고 장치(23)는, 입출고 장치(23)에 대응하는 위치에 정지하고 있는 제2 물품 반송차(2)로부터 설정 위치 P1으로 제2 물품(W2)을 반송하고, 설정 위치 P1으로부터 입출고 장치(23)에 대응하는 위치에 정지하고 있는 제1 물품 반송차(1)에 제1 물품(W1)을 반송한다.
이송탑재 장치(6)는, 이송탑재 장치(6)에 대응하는 위치에 정지하고 있는 제1 물품 반송차(1)로부터 처리 장치(4)로 제1 물품(W1)을 이송탑재하고, 처리 장치(4)로부터 이송탑재 장치(6)에 대응하는 위치에 정지하고 있는 제2 물품 반송차(2)로 제2 물품(W2)을 이송탑재(transfer)한다. 또한, 도 2에 나타낸 바와 같이, 이송탑재 장치(6)가 제1 물품(W1)이나 제2 물품(W2)을 이송탑재(移載; transfer) 가능한 위치에, 제1 물품(W1)을 수용하는 제1 수용부(24)와 제2 물품(W2)을 수용하는 제2 수용부(25)가 구비되어 있다. 본 실시형태에서는, 제1 수용부(24) 및 제2 수용부(25)는, 상하 방향 Z를 따르는 상하 방향에서 볼 때, 주행 경로(L)를 에워싸는 포위 벽체(31)와 중첩되는 위치에 설치되어 있다. 이들 제1 수용부(24) 및 제2 수용부(25)는, 포위 벽체(31)에 대하여 하방측에 간격을 둔 상태로, 포위 벽체(31)의 아래쪽에 설치되어 있다. 이들 제1 수용부(24)나 제2 수용부(25)는 버퍼용의 수용부로서 사용되고 있다. 그리고, 본 실시형태에 있어서, 2개의 부재의 배치에 관하여, 「특정 방향에서 볼 때 중첩되는」이란, 그 시선(視線) 방향에 평행한 가상(假想) 직선을 상기 가상 직선과 직교하는 각각의 방향으로 이동시킨 경우에, 상기 가상 직선이 2개의 부재의 양쪽에 교차하는 영역이 작아도 일부에 존재하는 것을 가리킨다.
물품 반송 설비(100)에서는, 세정 장치(5)에 의해 세정된 제1 물품(W1)은, 자동 창고(3), 제1 물품 반송차(1), 및 이송탑재 장치(6)에 의해 처리 장치(4)로 반송되고, 처리 장치(4)에 의해 사용된 제2 물품(W2)은, 이송탑재 장치(6), 제2 물품 반송차(2), 및 자동 창고(3)에 의해, 세정 장치(5)로 반송된다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비(100)는, 주행 경로(L)를 에워싸는 포위 벽체(31)와,포위 벽체(31)에 의해 에워싸여 있는 내부 공간(S)에 위쪽으로부터 아래쪽을 향하는 기류를 생성하는 기류 생성부(32)를 더 구비하고 있다. 그리고, 주행 경로(L)가 설정되어 있는 영역(제1 물품 반송차(1)나 제2 물품 반송차(2)가 주행하는 영역)과 자동 창고(3)가 설치되어 있는 영역과 이송탑재 장치(6)이 설치되어 있는 영역과는 포위 벽체(31) 등의 벽체에 의해 구획되어 있고, 각각의 영역에서의 공기의 유동이 규제되어 있다.
기류 생성부(32)는, 포위 벽체(31)의 상부에 설치된 벽체 흡기부(33)와, 포위 벽체(31)의 하부에 설치된 벽체 배기부(34)를 구비하고 있다. 벽체 흡기부(33)는, 내부 공간(S)을 주행하는 제1 물품 반송차(1)나 제2 물품 반송차(2)에 대하여 상방 측으로 설치되어 있다. 벽체 배기부(34)는, 내부 공간(S)을 주행하는 제1 물품 반송차(1)나 제2 물품 반송차(2)에 대하여 하방측 및 좌우 방향 Y의 양측에 설치되어 있다.
벽체 흡기부(33)는, 내부 공간(S)의 상부에 있어서, 포위 벽체(31)의 외부의 공기를 흡기한다. 본 실시형태에서는, 벽체 흡기부(33)는, 포위 벽체(31)의 외부로부터 내부 공간(S)의 상부를 향해 아래쪽으로 공기를 송풍하는 상부 송풍부(35)와,벽체 흡기부(33)를 통기하는 공기로부터 먼지를 감소시키는 상부 필터부(36)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 벽체 흡기부(33)는, 포위 벽체(31)의 상부에 설치된 복수의 FFU에 의해 구성되어 있다. 이 포위 벽체(31)의 상부에 설치된 복수의 FFU가, 상부 송풍부(35) 및 상부 필터부(36)를 구비하고 있다.
벽체 배기부(34)는, 내부 공간(S)의 하부의 공기를 포위 벽체(31)의 외부로 배기한다. 본 실시형태에서는, 벽체 배기부(34)는, 내부 공간(S)의 하부로부터 포위 벽체(31)의 외부를 향해 아래쪽에 송풍하는 하부 송풍부(37)와, 벽체 배기부(34)를 통기하는 공기로부터 먼지를 감소시키는 하부 필터부(38)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 벽체 배기부(34)는, 포위 벽체(31)의 하부에 설치된 복수의 FFU를 구비하고 있다. 이 포위 벽체(31)의 하부에 설치된 FFU가, 하부 송풍부(37) 및 하부 필터부(38)를 구비하고 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 벽체 배기부(34)는, 내부 공간(S)의 하부와 포위 벽체(31)의 외부를 연통시키는 연통공(39)을 구비하고 있다. 도시한 예에서는, 연통공(39)는, 포위 벽체(31)의 바닥부 및 측벽부에 설치되어 있다. 그리고, 상부 송풍부(35)의 단위 시간당의 송풍량은, 하부 송풍부(37)의 단위 시간당의 송풍량보다 많다. 그러므로, 내부 공간(S)는, 포위 벽체(31)의 외부에 대하여 양압(陽壓)으로 되어 있고, 포위 벽체(31)의 하부에 설치된 FFU를 통해 포위 벽체(31)의 외부를 향해 배기되는 것에 더하여, 내부 공간(S)의 하부의 공기가 연통공(39)을 통해 포위 벽체(31)의 외부를 향해 배기되도록 되어 있다. 이와 같이, 기류 생성부(32)는, 내부 공간(S)의 하부로부터 포위 벽체(31)의 외부를 향해 아래쪽으로 공기를 송풍하는 하부 송풍부(37)를 구비하고 있다. 이 하부 송풍부(37)는, 벽체용 송풍부에 상당한다.
다음에, 제1 물품 반송차(1) 및 제2 물품 반송차(2)에 대하여 설명한다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 제1 물품 반송차(1)는, 제1 물품(W1)을 수용하는 제1 수용실(41)와, 제1 물품 반송차(1)의 외부의 공기를 제1 수용실(41)에 흡기하는 제1 흡기부(42)와, 제1 수용실(41)의 공기를 제1 물품 반송차(1)의 외부로 배기하는 제1 배기부(43)와, 제1 수용실(41)을 에워싸는 제1 하우징(47)을 구비하고 있다.
제1 흡기부(42)는, 제1 물품 반송차(1)의 외부로부터 제1 수용실(41)을 향해 송풍하는 제1 송풍부(44)와, 제1 흡기부(42)를 통과하는 공기로부터 먼지를 감소시키는 제1 필터부(45)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 제1 흡기부(42)는, 제1 하우징(47)의 전부(前部)에 설치된 FFU에 의해 구성되어 있다. 이 제1 하우징(47)의 전부에 설치된 FFU가, 제1 송풍부(44) 및 제1 필터부(45)를 구비하고 있다. 제1 흡기부(42)는, 제1 수용실(41)에 수용되어 있는 제1 물품(W1)의 전단보다 전방측 X1에 설치되어 있고, 제1 물품 반송차(1)의 전방으로부터 공기를 흡기한다. 제1 흡기부(42)는, 제1 수용실(41)에 수용되어 있는 제1 물품(W1)에 대하여 전후 방향 X를 따라 본 전후 방향에서 볼 때 중첩되는 영역에 형성되어 있다. 본 실시형태에서는, 제1 송풍부(44) 및 제1 필터부(45)의 양쪽이, 제1 수용실(41)에 수용되어 있는 제1 물품(W1)에 대하여 전후 방향에서 볼 때 중첩되도록 설치되어 있다.
제1 배기부(43)는, 제1 수용실(41)의 하부와 제1 하우징(47)의 외부를 연통시키는 다공형의 제1 연통부(46)를 구비하고 있다. 도시한 예에서는, 제1 연통부(46)는, 제1 하우징(47)의 바닥부에 설치되어 있다. 제1 배기부(43)는, 제1 수용실(41)에 수용되어 있는 제1 물품(W1)의 하단(下端)보다 하방측에 설치되어 있고, 제1 물품 반송차(1)의 아래쪽을 향해 공기를 배기한다. 그리고, 본 실시형태에서는, 제1 배기부(43)는, 송풍부나 필터부를 구비하고 있지 않다. 제1 배기부(43)는, 제1 수용실(41)에 수용되어 있는 제1 물품(W1)에 대하여 상하 방향에서 볼 때 중첩되는 영역에 형성되어 있다. 본 실시형태에서는, 제1 연통부(46)를 구성하는 복수의 구멍 중 적어도 일부가, 제1 수용실(41)에 수용되어 있는 제1 물품(W1)에 대하여 상하 방향에서 볼 때 중첩되도록 설치되어 있다.
제1 물품 반송차(1)가 제1 흡기부(42)에 의해 제1 수용실(41)에 공기를 흡기함으로써, 제1 수용실(41)은 제1 물품 반송차(1)의 외부에 대하여 양압으로 되어 있다. 그러므로, 제1 수용실(41)을 에워싸는 제1 하우징(47)에 간극이 있었던 경우라도, 이 간극으로부터는 제1 수용실(41)로부터 제1 물품 반송차(1)의 외부로 공기가 배기되게 되므로, 제1 물품 반송차(1)의 외부의 공기가 제1 필터부(45)를 통하지 않고 제1 수용실(41)에 들어가는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 제1 수용실(41)의 청정도를 높게 유지하기 쉽다.
제2 물품 반송차(2)는, 제2 물품(W2)을 수용하는 제2 수용실(51)과, 제2 물품 반송차(2)의 외부의 공기를 제2 수용실(51)에 흡기하는 제2 흡기부(52)와, 제2 수용실(51)의 공기를 제2 물품 반송차(2)의 외부로 배기하는 제2 배기부(53)와, 제2 수용실(51)을 에워싸는 제2 하우징(58)을 구비하고 있다.
제2 흡기부(52)는, 제2 물품 반송차(2)의 외부로부터 제2 수용실(51)을 향해 송풍하는 제2 송풍부(54)와, 제2 흡기부(52)를 통과하는 공기로부터 먼지를 감소시키는 제2 필터부(55)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 제2 흡기부(52)는, 제2 하우징(58)의 전부에 설치된 FFU에 의해 구성되어 있다. 이 제2 하우징(58)의 전부에 설치된 FFU가, 제2 송풍부(54) 및 제2 필터부(55)를 구비하고 있다. 제2 흡기부(52)는, 제2 수용실(51)에 수용되어 있는 제2 물품(W2)의 전단보다 전방측 X1에 설치되어 있고, 제2 물품 반송차(2)의 전방으로부터 공기를 흡기한다. 제2 흡기부(52)는, 제2 수용실(51)에 수용되어 있는 제2 물품(W2)에 대하여 전후 방향에서 볼 때 중첩되는 영역에 형성되어 있다. 본 실시형태에서는, 제2 송풍부(54) 및 제2 필터부(55)의 양쪽이, 제2 수용실(51)에 수용되어 있는 제2 물품(W2)에 대하여 전후 방향에서 볼 때 중첩되도록 설치되어 있다.
제2 배기부(53)는, 제2 수용실(51)로부터 제2 물품 반송차(2)의 외부를 향해 송풍하는 제3 송풍부(56)와, 제2 배기부(53)를 통과하는 공기로부터 먼지를 감소시키는 제3 필터부(57)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 제2 배기부(53)는, 제2 물품 반송차(2)의 후부(後部)에 설치된 FFU에 의해 구성되어 있다. 이 제2 물품 반송차(2)의 후부에 설치된 FFU가, 제3 송풍부(56) 및 제3 필터부(57)를 구비하고 있다. 제2 배기부(53)는, 제2 수용실(51)에 수용되어 있는 제2 물품(W2)보다 후단(後端)보다 후방측 X2에 설치되어 있고, 제2 물품 반송차(2)의 후방을 향해 공기를 배기한다. 제2 배기부(53)는, 제2 수용실(51)에 수용되어 있는 제2 물품(W2)에 대하여 전후 방향에서 볼 때 중첩되는 영역에 형성되어 있다. 본 실시형태에서는, 제3 송풍부(56) 및 제3 필터부(57)의 양쪽이, 제2 수용실(51)에 수용되어 있는 제2 물품(W2)에 대하여 전후 방향에서 볼 때 중첩되도록 설치되어 있다.
제3 송풍부(56)의 단위 시간당의 송풍량은, 제2 송풍부(54)의 단위 시간당의 송풍량보다 많다. 본 실시형태에서는, 제3 송풍부(56)의 팬의 회전 속도를, 제2 송풍부(54)의 팬의 회전 속도보다 빠르게 함으로써, 제3 송풍부(56)의 단위 시간당의 송풍량을, 제2 송풍부(54)의 단위 시간당의 송풍량보다 많이 하고 있다. 이로써, 제2 수용실(51)은 제2 물품 반송차(2)의 외부에 대하여 음압으로 되어 있다. 그러므로, 제2 수용실(51)을 에워싸는 제2 하우징(58)에 간극이 있었던 경우라도, 이 간극으로부터는 제2 물품 반송차(2)의 외부로부터 제2 수용실(51)에 공기가 흡기 되게 되므로, 제2 수용실(51)의 공기가 제3 필터부(57)를 통하지 않고 제2 물품 반송차(2)의 외부에 나오는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 제2 물품 반송차(2)의 외부가 쉽게 오염 또는 손상되지 않는다.
2. 그 외의 실시형태
다음에, 물품 반송 설비의 그 외의 실시형태에 대하여 설명한다.
(1) 상기한 실시형태에서는, 제1 흡기부(42)는, 제1 물품 반송차(1)의 전방으로부터 공기를 흡기하는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 제1 흡기부(42)를, 제1 물품 반송차(1)의 위쪽으로부터 공기를 흡기하는 구성으로 해도 된다. 또는, 제1 흡기부(42)를, 옆쪽 등, 전방 및 위쪽 이외로부터 공기를 흡기하는 구성으로 해도 된다.
(2) 상기한 실시형태에서는, 제1 배기부(43)는, 송풍부나 필터부를 구비하지 않고, 제1 물품 반송차(1)의 아래쪽으로 공기를 배기하는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 제1 배기부(43)에, 송풍부와 필터부 중 어느 한쪽만을 구비하거나, 또는 송풍부와 필터부와의 양쪽을 구비하는 구성으로 해도 된다. 또한, 제1 배기부(43)을, 제1 물품 반송차(1)의 후방에 공기를 배기하는 구성으로 해도 된다. 또는, 제1 배기부(43)을, 옆쪽 등, 아래쪽 및 후방 이외로 공기를 배기하는 구성으로 해도 된다.
(3) 상기한 실시형태에서는, 제2 흡기부(52)는, 제2 송풍부(54)와 제2 필터부(55)를 구비하고, 제2 물품 반송차(2)의 전방으로부터 공기를 흡기하는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 제2 흡기부(52)를, 제2 송풍부(54)와 제2 필터부(55) 중의 제2 송풍부(54)만을 구비하는 구성으로 해도 된다. 또한, 제2 흡기부(52)를, 제2 물품 반송차(2)의 위쪽으로부터 공기를 흡기하는 구성으로 해도 된다. 또는, 제2 흡기부(52)를, 옆쪽 등, 전방 및 위쪽 이외로부터 공기를 흡기하는 구성으로 해도 된다.
(4) 상기한 실시형태에서는, 제2 배기부(53)는, 제2 물품 반송차(2)의 후방을 향해 공기를 배기하는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 제2 배기부(53)을, 제2 물품 반송차(2)의 아래쪽으로 공기를 배기하는 구성으로 해도 된다. 또는, 제2 배기부(53)을, 옆쪽 등, 후방 및 아래쪽 이외로 공기를 배기하는 구성으로 해도 된다.
(5) 상기한 실시형태에서는, 제1 물품 반송차(1)와 제2 물품 반송차(2)가 같은 주행 경로(L)를 주행하는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 제1 물품 반송차(1)와 제2 물품 반송차(2)가 상이한 주행 경로(L)를 주행하는 구성으로 해도 된다.
(6) 상기한 실시형태에서는, 주행 경로(L)를 에워싸는 포위 벽체(31)를 구비하는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 주행 경로(L)가 포위 벽체(31)로 에워싸고 있지 않은 구성으로 해도 된다.
(7) 상기한 실시형태에서는, 제1 물품(W1)이나 제2 물품(W2)를, 포토마스크를 수용한 용기(C)로 하는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 제1 물품(W1) 및 제2 물품(W2)의 한쪽 또는 양쪽을, 웨이퍼를 수용한 FOUP로 하는 구성으로 해도 되고, 또한 액정용의 유리 기판을 수용한 용기(C)로 하는 구성으로 해도 된다.
(8) 상기한 실시형태에서는, 제1 물품(W1)이 처리 장치(4)에서 사용하기 전의 물품이며, 제2 물품(W2)이 처리 장치(4)에서 사용한 후의 물품인 경우의 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 제1 물품(W1)이 물품 반송 설비 내만으로 반송되는 물품이며, 제2 물품(W2)이 물품 반송 설비의 외부로부터 물품 반송 설비로 반송되어 온 물품이라도 된다. 또는, 제1 물품(W1)과 제2 물품(W2)이 상이한 재질로 구성된 부재를 구비하고, 제2 물품(W2)가, 제1 물품(W1)이 구비하는 부재보다 먼지를 발생시키기 쉬운 재질의 부재를 포함하는 것이라도 된다.
(9) 상기한 실시형태에서는, 기체를, 공기로 하는 구성을 예로 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 기체를, 질소의 함유율이 높은 불활성 기체 등으로 해도 된다.
(10) 그리고, 전술한 각각의 실시형태에서 개시된 구성은, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시된 구성과 조합시켜 적용할 수도 있다. 그 외의 구성에 관해서도, 본 명세서에 있어서 개시된 실시형태는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않는다. 따라서, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서, 적절히, 각종 개변(改變; modification)을 행할 수 있다.
3. 상기 실시형태의 개요
이하, 상기에 있어서 설명한 물품 반송 설비의 개요에 대하여 설명한다.
물품 반송 설비는, 청정실 내를 주행하는 제1 물품 반송차와 제2 물품 반송차를 구비하고,
상기 제1 물품 반송차는, 제1 물품을 수용하는 제1 수용실과, 상기 제1 물품 반송차의 외부의 기체를 상기 제1 수용실로 흡기하는 제1 흡기부와, 상기 제1 수용실의 기체를 상기 제1 물품 반송차의 외부로 배기하는 제1 배기부를 구비하고, 상기 제1 흡기부는, 상기 제1 물품 반송차의 외부로부터 상기 제1 수용실을 향해 송풍하는 제1 송풍부를 구비하고, 상기 제2 물품 반송차는, 상기 제1 물품보다 먼지의 발생량이 많은 제2 물품을 수용하는 제2 수용실과, 상기 제2 물품 반송차의 외부의 기체를 상기 제2 수용실로 흡기하는 제2 흡기부와, 상기 제2 수용실의 기체를 상기 제2 물품 반송차의 외부로 배기하는 제2 배기부를 구비하고, 상기 제2 흡기부는, 상기 제2 물품 반송차의 외부로부터 상기 제2 수용실을 향해 송풍하는 제2 송풍부를 구비하고, 상기 제2 배기부는, 상기 제2 수용실로부터 상기 제2 물품 반송차의 외부를 향해 송풍하는 제3 송풍부와, 상기 제2 배기부를 통과하는 기체로부터 먼지를 감소시키는 배기용 필터부를 구비하고, 상기 제3 송풍부의 단위 시간당의 송풍량이, 상기 제2 송풍부의 단위 시간당의 송풍량보다 많다.
본 구성에 의하면, 제1 물품 반송차에서는, 제1 흡기부에 의해 제1 수용실에 흡기된 기체가 제1 배기부로부터 배기된다. 이로써, 제1 수용실을 기체가 통기하여, 제1 수용실에 수용되어 있는 제1 물품의 주위를 기체가 유동함으로써, 제1 물품에 먼지가 부착되는 것을 억제할 수 있다. 그리고, 제1 물품은 먼지의 발생량이 비교적 적기 때문에, 제1 수용실의 기체를 그대로 제1 물품 반송차의 외부로 배기했다고 해도 청정실의 청정도는 쉽게 저하되지 않는다. 그러므로, 제1 물품 반송차의 제1 배기부에 필터부를 구비하지 않아도 되고, 제1 물품 반송차의 제조 비용을 낮게 억제할 수 있다.
또한, 제2 물품 반송차에서는, 제2 흡기부에 의해 제2 수용실에 흡기된 기체가 제2 배기부로부터 배기된다. 이로써, 제2 수용실을 기체가 통기하여, 제2 수용실에 수용되어 있는 제2 물품의 주위에 기체가 유동함으로써, 제2 물품에 먼지가 부착되는 것을 억제할 수 있다. 그런데, 제2 물품은 먼지의 발생량이 비교적 많기 때문에, 제2 수용실의 기체를 그대로 제2 물품 반송차의 외부로 배기한 경우에 청정실의 청정도가 저하하기 쉽다. 따라서, 제2 물품 반송차의 제2 배기부에 배기용 필터부를 구비함으로써, 청정실에 배출되는 먼지를 억제할 수 있어, 청정실의 청정도가 저하되는 것을 억제할 수 있다.
이와 같이, 먼지의 발생이 비교적 적은 제1 물품을 반송하는 제1 물품 반송차에 대해서는, 제1 배기부에 필터부를 구비하지 않고, 먼지의 발생이 비교적 많은 제2 물품을 반송하는 제2 물품 반송차에 대해서는, 제2 배기부에 배기용 필터부를 구비함으로써, 물품 반송 설비의 제조 비용을 낮게 억제하면서 청정실의 청정도가 저하되는 것을 억제할 수 있다.
여기서, 상기 제1 흡기부는, 상기 제1 송풍부에 더하여, 상기 제1 흡기부를 통과하는 기체로부터 먼지를 감소시키는 제1 필터부를 더 구비하고 있으므로, 바람직하다.
본 구성에 의하면, 제1 물품 반송차의 외부로부터 제1 수용실에 진입하는 먼지가 감소하므로, 제1 수용실에 수용되어 있는 제1 물품이 먼지에 의해 쉽게 오염 또는 손상되지 않는다. 또한, 제1 흡기부에 의해 제1 수용실에 기체를 흡기함으로써, 제1 수용실은 제1 물품 반송차(1)의 외부에 대하여 양압으로 된다. 그러므로, 제1 수용실을 에워싸는 제1 물품 반송차의 하우징에 간극이 있었던 경우라도, 이 간극으로부터는 제1 수용실로부터 제1 물품 반송차의 외부로 공기가 배기되게 되므로, 제1 물품 반송차의 외부의 공기가 제1 필터부를 통하지 않고 제1 수용실에 들어가는 것을 억제할 수 있다.
또한, 상기 제2 흡기부는, 상기 제2 송풍부에 더하여, 상기 제2 흡기부를 통과하는 기체로부터 먼지를 감소시키는 제2 필터부를 더 구비하고 있으므로, 바람직하다.
본 구성에 의하면, 제2 물품 반송차의 외부로부터 제2 수용실에 진입하는 먼지가 감소하므로, 제2 수용실에 수용되어 있는 제2 물품이 먼지에 의해 쉽게 오염 또는 손상되지 않는다. 또한, 제2 흡기부와 마찬가지로, 제1 흡기부에, 제1 송풍부에 더하여 제1 필터부를 구비한 경우에는, 제2 물품 반송차의 제2 흡기부를, 제1 물품 반송차의 제1 흡기부에 유용하는 것도 가능해지고, 제1 물품 반송차의 제조 비용을 낮게 억제할 수 있다.
또한, 상기 제1 물품 반송차가 주행하는 주행 경로를 에워싸는 포위 벽체와, 상기 포위 벽체에 의해 에워싸여 있는 내부 공간에 위쪽으로부터 아래쪽을 향하는 기류를 생성하는 기류 생성부를 더 구비하고, 상기 기류 생성부는, 상기 내부 공간의 하부로부터 상기 포위 벽체의 외부를 향해 아래쪽에 기체를 송풍하는 벽체용 송풍부를 구비하고, 상기 제1 배기부는, 상기 제1 물품 반송차의 아래쪽을 향해 기체를 배기하는 것이 바람직하다.
본 구성에 의하면, 제1 배기부로부터 내부 공간에 배기한 기체는, 그 내부 공간에 생성되어 있는 기류에 의해 아래쪽으로 흐르고, 벽체용 송풍부에 의해 포위 벽체의 외부로 배기된다. 그러므로, 제1 배기부로부터 배기한 기체가 내부 공간에 거의 머물지 않아, 내부 공간의 청정도가 저하되는 것을 억제할 수 있다.
또한, 상기 제1 물품은, 상하 방향으로 연통되는 연통부를 구비하고, 상기 제1 배기부는, 상기 제1 수용실에 수용되어 있는 상기 제1 물품에 대하여 상하 방향을 따르는 상하 방향에서 볼 때 중첩되는 영역에 형성되어 있는 것이 바람직하다.
본 구성에 의하면, 제1 수용실의 기체는, 제1 물품의 연통부를 위쪽으로부터 아래쪽으로 통기한 후, 제1 배기부로부터 배기되기 용이해진다. 따라서, 제1 수용실에 수용되어 있는 제1 물품의 주위를 기체가 유동하기 용이해져, 제1 물품에 먼지가 부착되는 것을 더욱 억제할 수 있다.
또한, 상기 제2 흡기부는, 상기 제2 물품 반송차의 전방으로부터 기체를 흡기하여, 상기 제2 배기부는, 상기 제2 물품 반송차의 후방을 향해 기체를 배기하는 것이 바람직하다.
본 구성에 의하면, 제2 흡기부에 의해 제2 물품 반송차의 전방으로부터 제2 수용실에 흡기된 기체는, 그대로 후방측으로 유동하고, 제2 배기부에 의해 제2 수용실로부터 제2 물품 반송차의 후방을 향해 배기된다. 이와 같이, 기체를 전방으로부터 흡기하여 후방으로 배기시킴으로써, 제2 흡기부로부터 제2 배기부를 향해 제2 수용실 내에서 기체를 유동시키기 쉽게 할 수 있다.
[산업 상의 이용 가능성]
본 개시에 관한 기술은, 물품 반송차를 구비한 물품 반송 설비에 이용할 수 있다.
1: 제1 물품 반송차
2: 제2 물품 반송차
17: 상하 연통부(연통부)
31: 포위 벽체
32: 기류 생성부
37: 하부 송풍부(벽체용 송풍부)
41: 제1 수용실
42: 제1 흡기부
43: 제1 배기부
44: 제1 송풍부
45: 제1 필터부
51: 제2 수용실
52: 제2 흡기부
53: 제2 배기부
54: 제2 송풍부
55: 제2 필터부
56: 제3 송풍부
57: 제3 필터부(배기용 필터부)
100: 물품 반송 설비
R: 청정실
W1: 제1 물품
W2: 제2 물품

Claims (6)

  1. 청정실 내를 주행하는 제1 물품 반송차(article transport vehicle)와 제2 물품 반송차를 구비한 물품 반송 설비로서,
    상기 제1 물품 반송차는, 제1 물품을 수용하는 제1 수용실과, 상기 제1 물품 반송차의 외부의 기체(氣體)를 상기 제1 수용실로 흡기하는 제1 흡기부와, 상기 제1 수용실의 기체를 상기 제1 물품 반송차의 외부로 배기하는 제1 배기부를 구비하고,
    상기 제1 흡기부는, 상기 제1 물품 반송차의 외부로부터 상기 제1 수용실을 향해 송풍하는 제1 송풍부를 구비하고,
    상기 제2 물품 반송차는, 상기 제1 물품보다 먼지의 발생량이 많은 제2 물품을 수용하는 제2 수용실과, 상기 제2 물품 반송차의 외부의 기체를 상기 제2 수용실로 흡기하는 제2 흡기부와, 상기 제2 수용실의 기체를 상기 제2 물품 반송차의 외부로 배기하는 제2 배기부를 구비하고,
    상기 제2 흡기부는, 상기 제2 물품 반송차의 외부로부터 상기 제2 수용실을 향해 송풍하는 제2 송풍부를 구비하고,
    상기 제2 배기부는, 상기 제2 수용실로부터 상기 제2 물품 반송차의 외부를 향해 송풍하는 제3 송풍부와, 상기 제2 배기부를 통과하는 기체로부터 먼지를 감소시키는 배기용 필터부를 구비하고,
    상기 제3 송풍부의 단위 시간당의 송풍량이, 상기 제2 송풍부의 단위 시간당의 송풍량보다 많은,
    물품 반송 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 흡기부는, 상기 제1 송풍부에 더하여, 상기 제1 흡기부를 통과하는 기체로부터 먼지를 감소시키는 제1 필터부를 더 구비하고 있는, 물품 반송 설비.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제2 흡기부는, 상기 제2 송풍부에 더하여, 상기 제2 흡기부를 통과하는 기체로부터 먼지를 감소시키는 제2 필터부를 더 구비하고 있는, 물품 반송 설비.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1 물품 반송차가 주행하는 주행 경로(travelling path)를 에워싸는 포위 벽체와, 상기 포위 벽체에 의해 에워싸여 있는 내부 공간에 위쪽으로부터 아래쪽을 향하는 기류를 생성하는 기류 생성부를 더 구비하고,
    상기 기류 생성부는, 상기 내부 공간의 하부로부터 상기 포위 벽체의 외부를 향해 아래쪽으로 기체를 송풍하는 벽체용 송풍부를 구비하고,
    상기 제1 배기부는, 상기 제1 물품 반송차의 아래쪽을 향해 기체를 배기하는, 물품 반송 설비.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 물품은, 상하 방향으로 연통되는 연통부를 구비하고,
    상기 제1 배기부는, 상기 제1 수용실에 수용되어 있는 상기 제1 물품에 대하여 상하 방향을 따르는 상하 방향에서 볼 때 중첩되는 영역에 형성되어 있는, 물품 반송 설비.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 흡기부는, 상기 제2 물품 반송차의 전방으로부터 기체를 흡기하고,
    상기 제2 배기부는, 상기 제2 물품 반송차의 후방을 향해 기체를 배기하는, 물품 반송 설비.
KR1020200002514A 2019-02-25 2020-01-08 물품 반송 설비 KR20200103532A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019031804A JP7115356B2 (ja) 2019-02-25 2019-02-25 物品搬送設備
JPJP-P-2019-031804 2019-02-25

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20200103532A true KR20200103532A (ko) 2020-09-02

Family

ID=72197678

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200002514A KR20200103532A (ko) 2019-02-25 2020-01-08 물품 반송 설비

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP7115356B2 (ko)
KR (1) KR20200103532A (ko)
CN (1) CN111605937B (ko)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008168982A (ja) 2007-01-10 2008-07-24 Daifuku Co Ltd 板状物品用搬送車

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09260226A (ja) * 1996-03-21 1997-10-03 Hitachi Ltd 半導体製造システム
JPH09289243A (ja) * 1996-04-22 1997-11-04 Zetetsuku Kk 半導体ウェハキャリア用ストッカー
JP3673327B2 (ja) * 1996-06-07 2005-07-20 日立機電工業株式会社 無人搬送車におけるダスト侵入防止装置
JP4326784B2 (ja) * 2002-11-11 2009-09-09 株式会社半導体エネルギー研究所 生産システム
JP6786976B2 (ja) * 2016-09-09 2020-11-18 株式会社ダイフク 物品搬送設備

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008168982A (ja) 2007-01-10 2008-07-24 Daifuku Co Ltd 板状物品用搬送車

Also Published As

Publication number Publication date
JP2020132407A (ja) 2020-08-31
CN111605937B (zh) 2022-12-27
CN111605937A (zh) 2020-09-01
JP7115356B2 (ja) 2022-08-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102357510B1 (ko) 격납 유닛, 반송 장치, 및 기판 처리 시스템
KR102053489B1 (ko) 클램프 장치 및 이것을 이용한 기판 반입출 장치, 및 기판 처리 장치
JP5562759B2 (ja) 基板処理装置
KR20030022688A (ko) 클린 룸용의 물품 보관 설비
JP2018174259A (ja) ロボット搬送装置
TW201812962A (zh) 容器收納設備
KR100687008B1 (ko) 파티클을 효과적으로 흡입 배출할 수 있는 기판 반송 장치
KR20200103532A (ko) 물품 반송 설비
JP2004039760A (ja) 搬送車、製造装置及び搬送システム
JP2004269214A (ja) 浄化空気通風式の保管設備
JP4212713B2 (ja) 搬送装置
JP2012089645A (ja) 物品搬送車
JP5125291B2 (ja) 薄板処理装置及びクリーン薄板処理システム
KR102652346B1 (ko) 이에프이엠
JP2007045606A (ja) 搬送台車
JP6601360B2 (ja) 物品搬送設備
JPH11199007A (ja) カセットの搬送方法及び処理設備
JP2009126677A (ja) 搬送装置
JP7127573B2 (ja) 物品搬送設備
JP4067703B2 (ja) 搬送台車
JP7277813B2 (ja) 搬送システム及び容器開閉装置
JPS62116349A (ja) 搬送装置
KR100562017B1 (ko) 기판 반송 장치
JP2009126631A (ja) 保管倉庫設備
JP2000142417A (ja) 搬送車

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal