JPH09289243A - 半導体ウェハキャリア用ストッカー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 占有面積が小さく、大きさ・形状が異なるウ
ェハーキャリアも保管可能で、かつその方向変換も可能
な半導体ウェハキャリア用ストッカーを提供すること。 【解決手段】 鉛直軸の周りに回動可能であり、且つ鉛
直方向に長い枠体１及びその枠体１が格納された箱状体
２を一体的に昇降させる箱状体昇降装置３，枠体１に取
付けられ枠体１内の鉛直方向複数段のウェハキャリア９
を側方から把持するキャリア把持装置４，枠体１を鉛直
軸の周りに回動させることにより、キャリア把持装置４
に把持された鉛直方向複数段のウェハキャリア９の方向
を一斉に変換するキャリア方向変換装置５，フィルター
を通して清浄化されたクリーンエアを箱状体２内の上方
から下方に通し、繰り返し循環させるクリーンエア循環
装置６，を備えたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェハキャ
リア用ストッカー、すなわち複数のウェハキャリアに格
納された多数枚のウェハをクリーンな雰囲気の状態で保
管するウェハ保管装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ウェハ作業室では、作業台よりも
下方は多数のダストが浮遊しており、ダストの汚染を受
け易いため、それを避けるためウェハが格納されたウェ
ハキャリア９は、ダストの少ない作業台上面よりも高所
に保持される必要があり、例えば図９に示すように、高
さが床面から８５０ミリ以上の段差を有する複数の保持
面１１が直線的に配置され、且つ方向変換及び搬送用の
首振りロボット（水平多関節ロボット）２０が付設され
たウェハキャリア保持台１０が用いられている。ここ
で、首振りロボット２０は昇降用のエレベーター２１の
上にセットされている。

【０００３】その他、複数個のウェハキャリアが回転可
能な円形の保持面に周方向に配列保持されていて（図示
省略）、所定位置に回された任意のウェハキャリアが首
振りロボットにより方向変換されると共に、ウェハ作業
台へ搬送されるよう構成されたものが用いられている。
なお、通常は、上記ウェハキャリア保持台に移される前
に、ウェハキャリアは時間待ちのために、離れた位置又
は別室に設けられた棚段付きの大規模のウェハキャリア
保管庫（図示省略）に保管される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記、
キャリア保持台では、ウェハキャリアが略平面的に保持
されるため、ウェハキャリア保持数が少ない割に占有面
積が大きくなると言う欠点がある。特に前者はウェハキ
ャリアが直線的に配置されるため、１基のロボットでは
せいぜい５個のウェハキャリアしか取り扱えない。また
後者は円形で回転可能であると言う点で前者よりも優れ
ているが、やはり平面的に保持されるため、ウェハキャ
リア保持数が少ない割に占有面積が大きいと言う欠点は
解消されておらず、またウェハキャリアの向きの変換が
人手又はロボットに依存していると言う欠点がある。

【０００５】そこで本発明は、上記した従来技術の欠点
を除くためになされたものであって、その目的とすると
ころは、特に従来タブーとされた、ウェハ作業台よりも
低い位置を含め、鉛直方向に立体的にウェハキャリアが
保持され、ウェハ作業室に配置可能に占有面積が小さ
く、しかも大きさ・形状が異なるウェハキャリアも保管
可能で、ウェハキャリアの向きの変換が容易な半導体ウ
ェハキャリア用ストッカーを提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達するため
に、本発明の１番目の半導体ウェハキャリア用ストッカ
ーは、鉛直軸の周りに回動可能であり、且つ鉛直方向に
長い枠体（１）並びにその枠体（１）が格納された箱状
体（２）を一体的に昇降させる箱状体昇降装置（３）
と，枠体（１）に取付けられ、枠体（１）内の鉛直方向
複数段のウェハキャリア（９）を側方から把持するキャ
リア把持装置（４）と，枠体（１）を鉛直軸の周りに回
動させることにより、キャリア把持装置（４）に把持さ
れた鉛直方向複数段のウェハキャリア（９）の方向を一
斉に変換するキャリア方向変換装置（５）と，フィルタ
ーを通して清浄化されたクリーンエアを箱状体（２）内
の上方から下方に通し、繰り返し循環させるクリーンエ
ア循環装置（６），を備えたものである（請求項１）。

【０００７】また、本発明の２番目の半導体ウェハキャ
リア用ストッカーは、請求項１に記載の発明の構成に、
枠体（１）の両側に取付けられ、且つキャリア回動用モ
ーター（７ｑ）に駆動されて回動する鉛直方向複数段の
プーリー群（７ｗ，７ｓ，７ｔ），及びそのプーリー群
（７ｗ，７ｓ，７ｔ）に張架された共通の環状のベルト
（７ｘ）により、キャリア把持装置（４）を回動させて
把持されたウェハキャリア（９）を水平軸の周りに一斉
に回動させるキャリア回動装置（７）を加えたものであ
る（請求項２）。

【０００８】さらに、本発明の３番目の半導体ウェハキ
ャリア用ストッカーは、請求項１又は／及び請求項２に
記載の発明の構成に、箱状体（２）に鉛直方向複数段設
けられた、水平軸の周りに回動され、上下に折曲げられ
ることにより開閉される複数段の扉（２ｂ）の各上扉片
（２ｃ）の内面両側部に取付けられた軸受部（８ａ，８
ｂ，８ｐ又は８ｑ）の上昇を箱状体（２）の上昇に抗し
て抑制乃至停止させる軸上昇抑制機構（８ｅ），及び上
昇を抑制された軸受部（８ａ，８ｂ，８ｐ又は８ｑ）
が、上昇する箱状体（２）とは相対的に鉛直線上を下降
するよう、軸受部（８ａ，８ｂ，８ｐ又は８ｑ）を案内
する鉛直ガイド（８ｋ），よりなる、複数段の扉（２
ｂ）のそれぞれを任意に開閉することが可能な扉開閉装
置（８）を加えたものである（請求項３）。

【０００９】なお、上記の課題を解決するための手段に
記載された括弧内の記号は図面及び後述する発明の実施
の形態に記載された記号に対応するものである。

【００１０】請求項１に記載の発明によれば、半導体ウ
ェハキャリア用ストッカー内に保管されたウェハキャリ
アの取出しに当って、作業員は次のように操作すればよ
い。すなわち、全ての扉が閉じられた状態で、ファンを
起動し、箱状体内の圧力を僅かにプラス圧にし、クリー
ンエアを常に循環させておけば、箱状体内はクリーンに
保持されるため、ウェハキャリアを床に近い定位置に保
管可能である。また、箱状体昇降装置を起動し、取出し
予定のウェハキャリアの高さがダストの比較的少ない高
さ（例えば８５０ミリ以上）になるよう箱状体を上昇さ
せることが出来、ダストによる汚染の少ない雰囲気でウ
ェハキャリアの取出し装入が可能である。

【００１１】次にウェハキャリアが開口から取出し可能
な向きに把持されていない場合は、キャリア方向変換装
置を起動し、枠体を鉛直軸の周りに回動すれば、ウェハ
キャリアを所望の方向に向けることが出来、対象の扉を
開けば、首振りロボットにより取出し可能である。しか
も、枠体には棚はなくキャリア把持部材によってウェハ
キャリアは支持されるため上下のキャリア把持部材の間
隔を変化させることにより、大きさ・形状の異なるウェ
ハキャリアを把持することができる。

【００１２】また、請求項２に記載の発明によれば、請
求項１の発明の作用効果に加えて、取出し時、ウェハキ
ャリアを水平軸の周りに回動する必要がある場合は、キ
ャリア回動用モーターを起動し、プーリー群をベルトを
介して回動させれば、キャリア把持部材を水平軸の周り
に所望の角度一斉に回動することが可能である。

【００１３】また、請求項３に記載の発明によれば、請
求項１，請求項２の発明の作用効果に加えて、さらに、
箱状体昇降装置により箱状体を僅かに上昇させると、鉛
直ガイドに案内された軸受部が軸上昇抑制機構によって
鉛直線上を相対的に引下げられ、上扉片を下方に引張
り、それによって、上扉片が前方に折れ曲り、扉が上下
に折畳まれ、開けられる。

【００１４】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態例について図
面を参照して説明する。それぞれ図１は本発明の実施の
形態例に係わる半導体ウェハキャリア用ストッカーを示
す縦断面図、図２は図１の外観斜視図、図３は半導体ウ
ェハキャリア用ストッカーのキャリア把持装置・キャリ
ア回動装置の要部側面図、図４は図３のＡ−Ａ線断面
図、図５は半導体ウェハキャリア用ストッカーの扉開閉
装置の側面図、図６は図５の扉開閉装置の平面図であ
る。図７は別の扉開閉装置の平面図である。図８は図６
及び図７の扉開閉装置に付設するショックアブゾーバー
の正面図である。

【００１５】本発明の実施の形態例に係わる半導体ウェ
ハキャリア用ストッカーの主たる構成を挙げると、鉛直
軸の周りに回動可能であり、且つ鉛直方向に長い枠体１
及びその枠体１が格納された箱状体２を一体的に昇降さ
せる箱状体昇降装置３、枠体１に取付けられ、鉛直方向
複数段のウェハキャリア９を側方から把持するキャリア
把持装置４、枠体１を鉛直軸の周りに回動させることに
より、キャリア把持装置４に把持された鉛直方向複数段
のウェハキャリア９の方向を一斉に変換するキャリア方
向変換装置５、フィルターを通して清浄化されたクリー
ンエアを箱状体２内を上方から下方に通し、繰り返し循
環させるクリーンエア循環装置６、を備えている。

【００１６】上記構成に加えて、さらに枠体１にキャリ
ア把持装置４と一体に取付けられ、キャリア把持装置４
に把持された鉛直方向複数段のウェハキャリア９を水平
軸の周りに回動させるキャリア回動装置７、及び各ウェ
ハキャリア９に対応して箱状体２に設けられた複数段の
扉２ｂのそれぞれを任意に開閉することが可能な扉開閉
装置８，を備えている。

【００１７】各部について詳細説明する。先ず枠体１
は、その内側に、鉛直方向複数段（図では５段）のウェ
ハキャリア９を把持・回動可能な鉛直方向に長い直方体
状の空間を有する。また、枠体１の上下端は、箱状体１
内を上方から下方に通過するクリーンエアが枠体１の内
側をも通過可能に最大限開放されている。さらに枠体１
の少なくとも扉２ｂに相対する側（隣合う２つの側面）
も、内側に保持されたウェハキャリア９が扉２ｂから出
し入れ可能に最大限開放されている。従って各稜に配さ
れた４本の鉛直骨部材１ａ、４本の鉛直骨部材１ａ間を
連結する上下８本の水平骨部材１ｂ、及び枠体１に取付
けられる各装置に必要な最小限の部材のみよりなる。

【００１８】次に枠体１が格納された箱状体２は、水平
断面が略正方形であり、図２に示すように、隣り合う２
つの側面の各側面には、枠体１の内側に把持され、回動
する各ウェハキャリア９の出し入れに必要な鉛直方向複
数段の開口２ａが開けられ、その各開口２ａには水平軸
の周りに回動され、上下に折曲げられることにより開閉
される扉２ｂが設けられている。

【００１９】箱状体昇降装置３は、床上に置かれた支持
台３ａ、その支持台３ａ上に設けられた昇降用モーター
３ｂにより駆動されて回転する少なくとも一本のネジ柱
３ｃ、及びそのネジ柱３ｃに螺着された、箱状体２を支
える少なくとも１個の支持部材３ｄを，備えている。な
お、支持台３ａの下面には移動可能にキャスターＣが取
付けられると共に、キャスターＣを固定するストッパー
Ｓが設けられている。昇降用モーター３ｂとしては、支
持部材３ｄが任意の高さで停止可能なステッピングモー
ターが好ましい。また、支持部材３ｄとしては、図１に
示すように、箱状体２をそれぞれ下から支えるもの、側
面を支持するもの等、鉛直方向に２個設けられることが
好ましい。さらに、ネジ柱３ｃとしては、支持部材３ｄ
に対して円滑に回転するボールネジが好ましく、またそ
の露出を避けるため、カバーで覆われることが好まし
い。

【００２０】キャリア把持装置４は、枠体１の各側面に
取付けられた複数段のシリンダー４ｂ、及びその各シリ
ンダー４ｂに駆動されて水平方向に進退するキャリア把
持部材４ｃを備えている。キャリア方向変換装置５は、
箱状体２を下から支える支持部材３ｄの下面に方向変換
用モーター５ａが固定され、その方向変換用モーター５
ａの軸５ｂが支持部材３ｄ、箱状体２の底板を貫通して
鉛直に伸びており、その軸５ｂの上端に枠体１の下面中
央に固定された枠体支え板１ｐが直結されている。クリ
ーンエア循環装置６は、箱状体２の上方に設けられた、
箱状体２にエアを吹込むファン６ａ、箱状体２の下端部
とファン６ａとに連結され、箱状体２の外側に設けられ
たエアダクト６ｂ、及びファン６ａと箱状体２の上端
部、最上段のウェハキャリア９の上方との間に設けられ
た、ダストを除去するフィルター６ｃを，備えている。

【００２１】キャリア回動装置７は、枠体１の下端部中
央に設けられたキャリア回動用モーター７ｑ、そのキャ
リア回動用モーター７ｑの左右各端から水平に伸びる軸
７ｒの先端に直結された下方主プーリー７ｓ、枠体１の
左右の各側面のキャリア把持部材４ｃに同軸に直結され
た複数段の副プーリー７ｔ、枠体１の左右の各側面、各
副プーリー７ｔを挟んで上下前後にそれぞれ水平軸の周
りに回動可能に取付けられた４個の押えローラー７ｕ、
枠体１の各側面、最上段の副プーリー７ｔの上方に回動
可能に取付けられた上方主プーリー７ｗ、及び主プーリ
ー７ｓ，７ｗに張架されると共に、各段の副プーリー７
ｔ、上下前後の４個の押えローラー７ｕにそれぞれ当接
する環状のベルト７ｘを備えている。

【００２２】さらに詳細に説明すると、相対する前後の
押えローラー７ｕ，７ｕ間の面間隔は、主プーリー７
ｓ，７ｗの径よりも狭められている。また、ベルト７ｘ
の前側部分、後側部分は、それぞれ各段の各副プーリー
７ｔの前後面に掛けられる共に、各副プーリー７ｔの上
方（及び下方）前後の押えローラー７ｕ，７ｕの相対す
る側（内側）の面に掛けられている。それによって、ベ
ルト７ｘの前側部分、後側部分は、その間隔が各段の各
副プーリー７ｔの上下方で狭められ、副プーリー７ｔの
前後面に押え付けられるため、各副プーリー７ｔの前後
面に対する摩擦力が増大し、副プーリー７ｔ・ベルト７
ｘ間の滑りが防止されることになる。

【００２３】扉開閉装置８は次のように構成される。図
５に示すように、各ウェハキャリア９に対応して箱状体
１に設けられた長方形板状の各開口２ａの下端縁には、
上扉片２ｃと下扉片２ｄとが上水平ヒンジ２ｆを介して
上下に折畳み可能に結合され、扉２ｂ（下扉片２ｄ）の
下端が下水平ヒンジ２ｇを介して開口２ａま下端縁に回
動可能に取付けられている。

【００２４】各上扉片２ｃの内面両側部には箱状体２の
側面に平行且つ水平な軸８ａを相対的に回動可能に支持
する軸受８ｂが取付けられている。また図６及び図７に
示すように、箱状体２の内側コーナー部には、箱状体昇
降装置３により上昇する箱状体２に伴われて任意の扉２
ｂが開かれるよう、その扉２ｂに対応する軸８ａの上昇
を抑制乃至停止する軸上昇抑制機構８ｅが設けられてい
る。さらに、箱状体２の内面には、上昇を抑制された各
軸８ａが、上昇する箱状体１とは相対的に鉛直線上を下
降するよう、その軸８ａに回動不能に固定されたスライ
ダー８ｑ又は回動可能に外嵌されたコロ８ｐを案内する
断面コの字状の鉛直ガイド８ｋが扉２ｂ両側部に２個づ
つ設けられている。この軸受８ｂ，軸８ａ，スライダー
８ｑ又はコロ８ｐとで軸受部が構成されている。

【００２５】さらに具体的に説明すると、上記軸上昇抑
制機構８ｅは、各軸８ａの先端に取付けられ、略「く」
の字状に折り曲げられ先端部分が軸８ａに対して傾いた
掛止部８ｆ、掛止部８ｆに先端部が挿通され、掛止され
る掛止ピン８ｇ、及びその掛止ピン８ｇを進退・脱着さ
せるシリンダー８ｈを備えている。なお図７に示すよう
に、コロ８ｐが軸８ａに回動可能に外嵌されている場合
は、略「く」の字状に折り曲げられ先端部分が傾いた掛
止部８ｆが常に水平に保たれるよう、別に掛止部８ｆの
基端に、鉛直ガイド８ｋに設けられた鉛直溝８ｍにより
案内される回り止め滑り子８ｎが結合される必要があ
る。

【００２６】その他、軸上昇抑制機構８ｅは支持台３ａ
に立設されていて、箱状体２、箱状体昇降装置３の干渉
を受けないよう、箱状体２、支持部材３ｄを貫通してい
る。同様に鉛直ガイド８ｋも支持台３ａに立設され、箱
状体２、支持部材３ｄを貫通している。また、掛止ピン
８ｇが抜かれると、開かれた扉２ｂが自動的に閉じるよ
う、箱状体２の内面、扉２ｂの上方部分と軸８ａとの間
にスプリング８ｓが張着されており、その扉２ｂが急に
閉じるときのショックを緩和するために、図９に示すよ
うに、ショックアブゾーバー８ｔが設けられている。

【００２７】作用について説明すると、本発明の半導体
ウェハキャリア用ストッカーに保管されたウェハキャリ
ア９を取出すに当って、作業員は次のように操作する。
すなわち、全扉２ｂが閉じられた状態で、ファン６ａを
起動し、箱状体２内の圧力を僅かにプラス圧にして、ク
リーンエアを常に循環させておく。そして箱状体昇降装
置３の昇降用モーター３ｂを起動し、支持部材３ｄを上
昇させる方向にネジ柱３ｃを回転させ、取出し対象のウ
ェハキャリア９の高さが所定の高さ以上（例えば８５０
ミリ以上）になるよう箱状体２を上昇させる。

【００２８】次にウェハキャリア９が開口２ａから取出
し可能な向きに把持されていない場合は、方向変換用モ
ーター５ａを起動し、枠体１を鉛直軸の周りに回転し、
ウェハキャリア９を所望の方向に向ける。また、ウェハ
キャリア９を水平軸の周りに回動する必要がある場合
は、キャリア回動用モーター７ｑを起動し、下方主プー
リー７ｓ，７ｓを回動させ、張架されたベルト７ｘ，７
ｘ、副プーリー７ｔ，７ｔを介してキャリア把持部材４
ｃ，４ｃを所望の角度回動させることができる。

【００２９】さらに搬送用の首振りロボットを開口２ａ
前に待機させた状態で、扉開閉装置８のシリンダー８ｈ
を起動し、掛止ピン８ｇを前進させて、その先端を掛止
部８ｆに挿通、掛止する。箱状体昇降装置３の昇降用モ
ータ３ｂを起動し、箱状体２を僅かに上昇させると、鉛
直ガイド８ｋに案内された軸８ａが鉛直線上を相対的に
引下げられ、軸受８ｂを介して結合された上扉片２ｃを
下方に引張り、それによって、上扉片２ｃが前方に折れ
曲ると共に、上扉片２ｃに上水平ヒンジ２ｆを介して連
結され、且つ開口２ａの下端縁に下水平ヒンジ２ｇに連
結された下扉片２ｄが後方に折れ曲り、扉２ｂが上下に
折畳まれ、開けられる。

【００３０】開けられた開口２ａに首振りロボットの腕
の先端を挿入、ウェハキャリア９を保持させると共に、
キャリア把持装置４のシリンダー４ｂ，４ｂにより、キ
ャリア把持部材４ｃ，４ｃを後退させ、ウェハキャリア
９をキャリア把持部材４ｃ，４ｃから開放すれば、ウェ
ハキャリア９を外側へ取出し可能である。最後に、開け
られた扉２ｂは、シリンダー８ｈにより掛止ピン８ｇを
後退させて、その先端を掛止部８ｆから抜けば、上方扉
片２ｃはスプリング８ｓにより引張られて、引上げら
れ、閉じられる。なお、箱状体２を引下げることによっ
ても、扉２ｂは閉じられる。また、ウェハキャリア９の
挿入に当っては、上記取出しの逆順とは順序が若干異な
る点はあるが、略同様に実施すればよい。

【００３１】

【発明の効果】以上のとおり請求項１に記載の発明によ
れば、従来例では保管が不可能であったウェハ作業台よ
りも低い位置を含め、鉛直方向に立体的にウェハキャリ
アが保持され、占有面積が小さく、ウェハ作業室に任意
の場所に配置可能になった。しかも従来例では不可能で
あった大きさ・形状が異なるウェハキャリアの保管、ウ
ェハキャリアの鉛直軸の周りの向きの変換も可能になっ
た。

【００３２】請求項２に記載の発明によれば、請求項１
の発明の作用効果に加えて、従来例では不可能であった
ウェハキャリアの水平軸周りの回動が可能になった。

【００３３】請求項３に記載の発明によれば、請求項２
の発明の作用効果に加えて、箱状体の扉の開閉が人手に
よらず、箱状体昇降装置３による箱状体の昇降に付随し
た自動的に行われるようになり、省力化された。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係わる、半導体ウェハキ
ャリア用ストッカーを示す縦断面図である。

【図２】図１の外観斜視図である。

【図３】本発明の実施の形態に係わる、半導体ウェハキ
ャリア用ストッカーのキャリア把持装置・キャリア回動
装置の要部側面図である。

【図４】図３のＡ−Ａ線断面図である。

【図５】本発明の実施の形態に係わる、半導体ウェハキ
ャリア用ストッカーの扉開閉装置の側面図である。

【図６】図５の扉開閉装置の平面図である。

【図７】別の扉開閉装置の平面図である。

【図８】図６及び図７の扉開閉装置に付設するショック
アブゾーバーの正面図である。

【図９】従来例を示し、（ａ）はその正面図，（ｂ）は
その平面図である。

【符号の説明】

１ 枠体 ２ 箱状体 ２ａ 開口 ２ｂ 扉 ２ｃ 上扉片 ２ｄ 下扉片 ２ｆ 上水平ヒンジ ２ｇ 下水平ヒンジ ３ 箱状体昇降装置 ３ａ 支持台 ３ｂ 昇降用モーター ３ｃ ネジ柱 ３ｄ 支持部材 ４ キャリア把持装置 ４ｂ シリンダー ４ｃ キャリア把持部材 ５ キャリア方向変換装置 ５ａ 方向変換用モーター ５ｂ 軸 ６ クリーンエア循環装置 ６ａ ファン ６ｂ エアダクト ６ｃ フィルター ７ キャリア回動装置 ７ｑ キャリア回動用モーター ７ｒ 軸 ７ｓ 下方主プーリー ７ｔ 副プーリー ７ｕ 押えローラー ７ｗ 上方主プーリー ７ｘ ベルト ８ 扉開閉装置 ８ａ 軸 ８ｂ 軸受 ８ｅ 軸上昇抑制機構 ８ｆ 掛止部 ８ｇ 掛止ピン ８ｈ シリンダー ８ｋ 鉛直ガイド ８ｍ 鉛直溝 ８ｎ 回り止め滑り子 ８ｐ コロ ８ｑ スライダー ８ｓ スプリング ８ｔ ショックアブゾーバー ９ ウェハキャリア

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】鉛直軸の周りに回動可能であり、且つ鉛直
   方向に長い枠体及びその枠体が格納された箱状体を一体
   的に昇降させる箱状体昇降装置と，前記枠体に取付けら
   れ、枠体内の鉛直方向複数段のウェハキャリアを側方か
   ら把持するキャリア把持装置と，枠体を鉛直軸の周りに
   回動させることにより、該キャリア把持装置に把持され
   た鉛直方向複数段のウェハキャリアの方向を一斉に変換
   するキャリア方向変換装置と，フィルターを通して清浄
   化されたクリーンエアを箱状体内の上方から下方に通
   し、繰り返し循環させるクリーンエア循環装置，を備え
   たことを特徴とする半導体ウェハキャリア用ストッカ
   ー。
2. 【請求項２】前記枠体の両側に取付けられ、且つキャリ
   ア回動用モーターに駆動されて回動する鉛直方向複数段
   のプーリー群と，及びそのプーリー群に張架された共通
   の環状のベルトにより、前記キャリア把持装置を回動さ
   せて把持されたウェハキャリアを水平軸の周りに一斉に
   回動させるキャリア回動装置と，を更に備えたことを特
   徴とする請求項１に記載の半導体ウェハキャリア用スト
   ッカー。
3. 【請求項３】前記箱状体に鉛直方向複数段設けられた、
   水平軸の周りに回動され、上下に折曲げられることによ
   り開閉される複数段の扉の各上扉片の内面両側部に取付
   けられた軸受部の上昇を箱状体の上昇に抗して抑制乃至
   停止させる軸上昇抑制機構と，及び上昇を抑制された軸
   受部が、上昇する箱状体とは相対的に鉛直線上を下降す
   るよう、軸受部を案内する鉛直ガイド，よりなる、複数
   段の扉のそれぞれを任意に開閉することが可能な扉開閉
   装置と，を備えたことを特徴とする請求項１又は請求項
   ２に記載の半導体ウェハキャリア用ストッカー。