JP2007045606A - 搬送台車 - Google Patents
搬送台車 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007045606A JP2007045606A JP2005233660A JP2005233660A JP2007045606A JP 2007045606 A JP2007045606 A JP 2007045606A JP 2005233660 A JP2005233660 A JP 2005233660A JP 2005233660 A JP2005233660 A JP 2005233660A JP 2007045606 A JP2007045606 A JP 2007045606A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- carriage
- outlet
- cart
- transport
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
Abstract
【解決手段】走行路1にグレーチング1aが形成されたクリーンルーム内を走行する搬送台車10において、搬送物を載置する搬送物載置部12が設けられた台車本体11と、前記台車本体11の下面11bの外縁に開口された吹き出し口20と、前記吹き出し口20から台車本体11中心部に向けて斜下方に空気を排出して前記走行路1の上面に空気を吹き付ける排風機構2とを具備してなるものである。前記排風機構2は、前記吹き出し口20と連通されて前記台車本体11の外縁に沿って設けられた通風ダクト21と、該通風ダクト21を介して吹き出し口20まで空気を送風する軸流ファン22とを具備してなる。
【選択図】図1
Description
図1は本発明の一実施例に係る搬送台車の全体的な構成を示した正面図、図2は同じく図1の底面図、図3は台車本体の底面に開口された吹き出し口近辺の拡大底面図、図4は吹き出し口及び風向調節部材の縦断面図、図5は通風ダクト内の空気が吹き出し口から排出されるまでの送風経路を表す図である。
以下、図1において、搬送台車10の前後方向を図中水平矢印の方向(X方向)とし、搬送台車10はX方向に走行駆動可能に構成されている。
図1に示すように、搬送台車10は、搬送物を載置した状態で、クリーンルームの床面に形成された走行路1に沿って走行駆動される無人搬送車である。すなわち、搬送台車10は、内部又は外部に設けられた制御装置によって、搬送物の受け渡しが行われる位置まで自動走行して、図示せぬ移載装置によって搬送台車10とプロセス装置との間で搬送物が移載される。
本実施例では、搬送台車として無軌道の無人搬送台車に適用した一例について説明したが、搬送台車としてはこの構成に限定するものではなく、天井部や床面に設けられた軌道に沿って走行される有軌道の搬送台車にも適用することができ、また有人搬送台車であってもよい。
1a グレーチング
2 排風機構
10 搬送台車
11 台車本体
12 搬送物載置部
20 吹き出し口
21 通風ダクト
21a 水平ダクト
21b 鉛直ダクト
22 軸流ファン
Claims (3)
- 走行路に多数の排風孔が形成されたクリーンルーム内を走行する搬送台車において、搬送物を載置する搬送物載置部が設けられた台車本体と、前記台車本体の下面の外縁に開口された吹き出し口と、前記吹き出し口から台車本体中心部に向けて斜下方に空気を排出して前記走行路の上面に空気を吹き付ける排風手段とを具備してなることを特徴とする搬送台車。
- 前記排風手段は、前記吹き出し口と連通されて前記台車本体の外縁に沿って設けられた通風ダクトと、該通風ダクトを介して吹き出し口まで空気を送風する送風機とを具備してなることを特徴とする請求項1に記載の搬送台車。
- 前記排風手段は、前記吹き出し口から排出される空気の流速が、前記台車本体の走行速度よりも大きいことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の搬送台車。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005233660A JP4715383B2 (ja) | 2005-08-11 | 2005-08-11 | 搬送台車 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005233660A JP4715383B2 (ja) | 2005-08-11 | 2005-08-11 | 搬送台車 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007045606A true JP2007045606A (ja) | 2007-02-22 |
JP4715383B2 JP4715383B2 (ja) | 2011-07-06 |
Family
ID=37848764
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005233660A Expired - Fee Related JP4715383B2 (ja) | 2005-08-11 | 2005-08-11 | 搬送台車 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4715383B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009147163A (ja) * | 2007-12-14 | 2009-07-02 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 搬送台車 |
KR20160082542A (ko) | 2013-12-26 | 2016-07-08 | 니뽄 다바코 산교 가부시키가이샤 | 담배 재료의 제조 방법 및 그 제조 방법에 의해 제조된 담배 재료 |
CN109263480A (zh) * | 2016-08-03 | 2019-01-25 | 邹立新 | 磁力轨道及其运输系统 |
JP2019161120A (ja) * | 2018-03-15 | 2019-09-19 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | Efem |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11171337A (ja) * | 1997-12-11 | 1999-06-29 | Toyota Autom Loom Works Ltd | クリーン有軌道台車 |
JPH11322068A (ja) * | 1998-05-11 | 1999-11-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 無人搬送車の気流制御装置 |
JP2000277582A (ja) * | 1999-03-24 | 2000-10-06 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | 搬送台車 |
-
2005
- 2005-08-11 JP JP2005233660A patent/JP4715383B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11171337A (ja) * | 1997-12-11 | 1999-06-29 | Toyota Autom Loom Works Ltd | クリーン有軌道台車 |
JPH11322068A (ja) * | 1998-05-11 | 1999-11-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 無人搬送車の気流制御装置 |
JP2000277582A (ja) * | 1999-03-24 | 2000-10-06 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | 搬送台車 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009147163A (ja) * | 2007-12-14 | 2009-07-02 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 搬送台車 |
KR20160082542A (ko) | 2013-12-26 | 2016-07-08 | 니뽄 다바코 산교 가부시키가이샤 | 담배 재료의 제조 방법 및 그 제조 방법에 의해 제조된 담배 재료 |
CN109263480A (zh) * | 2016-08-03 | 2019-01-25 | 邹立新 | 磁力轨道及其运输系统 |
JP2019161120A (ja) * | 2018-03-15 | 2019-09-19 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | Efem |
JP7140960B2 (ja) | 2018-03-15 | 2022-09-22 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | Efem |
JP7417023B2 (ja) | 2018-03-15 | 2024-01-18 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | Efem |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4715383B2 (ja) | 2011-07-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4756372B2 (ja) | 基板処理方法 | |
JP4807579B2 (ja) | 基板収納設備及び基板処理設備 | |
JP4715383B2 (ja) | 搬送台車 | |
JP2008075945A (ja) | 局所清浄化装置 | |
JP2022136426A (ja) | 清掃装置 | |
JP3882139B2 (ja) | クリーン搬送車 | |
JP2007230748A (ja) | 物品保管庫及びクリーンルーム用の物品保管設備 | |
JP3818434B2 (ja) | 浄化空気通風式の保管設備 | |
JP4780401B2 (ja) | クリーンルーム用の物品保管設備 | |
JP5233212B2 (ja) | クリーン搬送システム | |
JP2004269214A (ja) | 浄化空気通風式の保管設備 | |
JP2009206245A (ja) | 走行輪発塵防止装置及び走行輪発塵防止方法 | |
JP4067703B2 (ja) | 搬送台車 | |
JP4251279B2 (ja) | 板状体搬送装置 | |
JP3861534B2 (ja) | クリーンルーム用無人搬送車 | |
JP2008168982A (ja) | 板状物品用搬送車 | |
JP2009147163A (ja) | 搬送台車 | |
JP4186129B2 (ja) | 板状体搬送装置 | |
JP2004331395A5 (ja) | ||
JP2012089645A (ja) | 物品搬送車 | |
JP2009126677A (ja) | 搬送装置 | |
CA2702526C (en) | Storage configuration with predeterminable storage atmosphere | |
JPH1179318A (ja) | 自動倉庫 | |
JPH11322068A (ja) | 無人搬送車の気流制御装置 | |
JP4214468B2 (ja) | 搬送装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080617 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110217 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110301 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110314 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140408 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |