JPH11171337A - クリーン有軌道台車 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は液晶工場や半導体工場等に設置され
るクリーン室に使用される移動体において、移動体内で
発生した塵がクリーン室に広がることを防止するもので
ある。 【解決手段】 グレーチングの床上で使用することを前
提とした有軌道台車において、台車１１の駆動輪１３と
１５の制動による塵は、駆動モータ１７、１８内の収集
ファンによって風向制御板１９、２０に送られ、風向制
御板１９、２０で風向が変えられ、それぞれの風の流れ
２３、２４に沿って塵は台車１１の中央下部に設置され
た送風ファン２１に送られ、送風ファン２１により送風
された塵はフィルタ２２を通過することで除去される。
このように構成することで、台車１１からクリーン室内
に拡散することを防止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶工場や半導体
工場等の塵やごみを嫌う設備に設置されるクリーン室に
おいて、有軌道台車等の移動体に関する。

【０００２】

【従来の技術】今日、液晶工場や半導体工場等において
は、クリーン室を使用し、塵の微粒子等が液晶や半導体
の製造に悪影響を与えないようにしている。したがっ
て、上述のようなクリーン室においては、液晶材料や半
導体材料、又は製造中の液晶や半導体装置等を運搬する
移動体も塵を発生しない構造であることが要求される。

【０００３】ここで、図５はクリーン室に使用される従
来の移動体として、例えば有軌道台車の例を説明する図
である。同図において、台車１はクリーン室に敷設され
た軌道２上を走行し、台車１には不図示の液晶や半導体
装置が載せられている。台車１の移動は、台車１に設け
られた駆動輪３、４を駆動モータ５及び６によって回動
し、例えば台車１を矢印Ａ方向に移動する。尚、同図に
示す７、８は走行輪であり、上述の駆動輪３、４の駆動
に従って従動する。

【０００４】また一方クリーン室については、高いクリ
ーン度を達成するために、フィルターを通過して浄化さ
れた空気流がクリーン室の天井全体がら一様に（均等
に）送風され、そしてグレーチングと呼ばれる網目状で
通風可能な床の全面から排気される。これにより常に清
浄な空気が室内鉛直方向にダウンフローし、空気中の塵
埃を流し出して室内の浄化を行うといったシステムが採
用されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
クリーン室に使用される移動体（有軌道台車）では、台
車１を所定の位置に停止させるためブレーキを使用する
が、ブレーキの使用によって塵が発生する。この塵は駆
動モータ５及び６を冷却するために設けられた駆動モー
タ５及び６内の冷却ファンにより吸い込まれ（以下、モ
ータ内の塵を収集するため収集ファンとも呼ぶ）、同図
に示すように、駆動モータ５及び６の反負荷側へ吹き出
される。したがって、台車１内に塵の微粒子がまき散ら
されることになる。そして、塵は台車１の下部からクリ
ーン室内に拡散する。

【０００６】しかし、前述のように、クリーン室内は一
定のクリーン度に保つ必要がある。したがって、台車１
から発生する塵をクリーン室に拡散させない必要があ
る。しかし、フィルタによる塵の除去にもある程度の限
界があり、さらにクリーン室中に排出した場合上述のダ
ウンフローに乱流を発生させて発塵の原因を生む結果と
なっていた。

【０００７】本発明は上記課題を解決するため、クリー
ン室に使用される移動体において、移動体の中央下部に
送風ファン及びフィルタを設け、グレーチングの床面に
向けて直接排塵することにより移動体内で発生した塵が
クリーン室に広がることを防止するものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】先ず、本発明は床面がグ
レーチングであるクリーン室内において、グレーチング
床面上で走行する移動体に適用されることが前提とな
る。

【０００９】そして請求項１の発明によれば、クリーン
室で使用される移動体の駆動輪を駆動する駆動モータ
と、前記移動体の車輪に設けられた制動部と、前記駆動
モータに設置して該制動部の制動によって発生する塵を
収集する収集ファンと、前記移動体の中央下部に設けら
れ、前記収集ファンによって収集された塵を下方に向け
て送風する送風ファンと、該送風ファンにより送風され
る塵を含んだ風から塵のみを除去するフィルタとを有す
るクリーン室に使用される移動体を提供することによっ
て達成できる。

【００１０】ここで、上記フィルタはクリーン度クラス
１００００〜１００程度のクリーン室でよく使用される
ＨＥＰＡフィルタであり、移動体内の塵を外部に放出す
ることを防止する。したがって、例えばブレーキの操作
で発生した塵を確実に除去し、クリーン室に排出するこ
とがない。尚、上記フィルタはＨＥＰＡフィルタに限ら
ず、更に高性能のフィルタであってもよい。

【００１１】請求項２の記載は、請求項１記載の発明に
おいて、前記制動部が、例えば前記駆動輪に設けられて
いる構成である。すなわち、本例の移動体には駆動輪を
駆動するためのモータが設けられ、当該モータには冷却
兼用となる収集ファンが設けられており、この収集ファ
ンによって制動部で発生したブレーキによる塵を送風フ
ィルタに送り、塵を吸収除去する構成である。

【００１２】請求項３の記載は、請求項１又は２の記載
において、前記制動部から発生して前記収集ファンで収
集される塵を前記送風ファンに送る風向制御板を有する
構成である。

【００１３】請求項４の記載は、請求項３の記載におい
て、前記風向制御板が前記各駆動モータの収集ファンの
風下に配置され、それぞれが台車中央下部に位置する前
記送風ファンに向けて塵を送るよう設置されている構成
である。

【００１４】請求項５の記載は、請求項３又は４の記載
において、前記風向制御板が前記台車中央下部に位置す
る送風ファンの上方に配置されている構成である。ここ
で、上記請求項３、４及び５の記載において、風向制御
板は塵を含む風の流れを送風ファン及びフィルタ配設方
向に変換する。したがって、この風向制御板によって塵
を含む風の流れは効率よくフィルタに送られ、塵を効率
よく除去できる。

【００１５】本発明の最も特徴とする点は、主に機能す
るフィルタ及び送風ファンから構成されるフィルタユニ
ットが移動体の本体中央下部に下向きに設置されている
構成であり、このように構成することによりグレーチン
グの床面に向けて直接塵を含む風を排出することにな
り、このためほとんど移動体外部に塵埃を拡散させるこ
となく、またクリーン室内のダウンフローに対して乱流
を発生させることなく効率よく排塵が行えることにな
る。そしてこれは移動体の走行方向に影響されることな
く排塵の効率を維持できることが可能となる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を用いて詳細に説明する。 ＜第１の実施形態例＞図２は、第１の実施形態を説明す
る移動体として、例えば有軌道台車の例を説明する斜視
図である。

【００１７】同図において、有軌道台車（以下、台車と
いう）１はクリーン室内に配設され、レール２上を移動
する。台車１０には荷台９が設けられ、荷台９には液晶
材料や半導体材料が載せられ、目的の場所まで運ばれ
る。また、図３は上記台車１０の正面図であり、台車１
０の下部に設けられた車輪（駆動輪）１３、車輪１４が
レール１２上を回転駆動する。

【００１８】図１は、上記外観構成の台車１０の内部構
成を説明する図である。同図において、１７は駆動輪１
３を駆動する駆動モータであり、例えば汎用の誘導モー
タで構成されている。また、１８も同様の構成の駆動モ
ータであり、駆動輪１５を駆動する。具体的には、駆動
モータ１７、１８の回転軸１３ａ、１５ａが各々対応す
る駆動輪１３、１５の回転軸に直結され、駆動モータ１
７、１８の回転力が各々の駆動輪１３、１５に伝達さ
れ、台車１１を移動する。

【００１９】一方、駆動輪１３には不図示の制動機構
（ブレーキ）が設けられ、台車１１を所定位置に停止す
る。このブレーキは、例えば、ディスク形式やドラム形
式のブレーキで構成されている。また、前述の駆動モー
タ１７、１８内には、モータを冷却するための冷却ファ
ン（以下、収集ファン）が設けられ、その収集ファンの
出力は反負荷側、すなわち駆動輪１３及び１５が取り付
けられていない側に排出される。また、上述の駆動モー
タ１７内の収集ファンの出力が排出される方向には風向
制御板１９が配置されている。この風向制御板１９の配
置角度は、収集ファンからの出力（風の流れ）が後述す
る送風ファン２１及びフィルタ２２の設置方向に向かう
角度に設定されている。

【００２０】また、同様に駆動モータ１８内の収集ファ
ンの出力が排出される方向にも風向制御板２０が配置さ
れ、この風向制御板２０の配置角度も収集ファンからの
出力（風の流れ）が後述する送風ファン２１及びフィル
タ２２の設置方向に向かう角度に設定されている。

【００２１】さらに、台車１１の中央下部には、送風フ
ァン２１とフィルタ２２が配設されている。送風ファン
２１は上述の風向制御板１９及び２０で方向変換された
風の流れを収集し、フィルタ２２に送る。フィルタ２２
はＨＥＰＡフィルタで構成され、送風ファン２１から送
られてくる流れに含まれる塵を吸収し、除去する。尚、
本例で使用するフィルタ２２はＨＥＰＡフィルタであ
り、例えばクリーン度が１００００から１００程度のク
リーン室に使用されるフィルタである。

【００２２】次に、本例による塵の除去処理について説
明する。先ず、クリーン室内で台車１１に、例えば半導
体装置を載せレール１２上を運搬する。この間、不図示
の制御回路からの指示によって台車１１は、例えば移
動、停止を繰り返す。この時、駆動輪１３、１５の制動
部から塵が発生し、この塵は前述の駆動モータ１７及び
１８内の収集ファンによって風向制御板１９及び２０に
送られ、風向制御板１９で方向変換された風の流れ２
３、及び風向制御板２０で方向変換された風の流れ２４
に乗って、塵は送風ファン２１及びフィルタ２２の配設
方向に向かう。そして、これらの塵は送風ファン２１を
介してフィルタ２２で収集、除去される。この時、フィ
ルタ２２は前述のようにＨＥＰＡフィルタであり、風の
流れに含まれる細かい塵をある程度のレベルまで除去が
可能となる。しかし、現在要求されるクリーン室のクリ
ーン度は非常に高く、フィルタによる除去レベルではカ
バーしきれないのが実際であった。しかし、本発明の形
態によれば、フィルタで除去しきれなかった塵を含む風
を直接グレーチング１０床面に排出するため、従来より
高いレベルでクリーン室のクリーン度を維持することが
可能となる。

【００２３】なお、上述のフィルタ２２によって除去さ
れる塵の対象は、駆動輪１３と１５の制動にもとづいて
発生するものに限らず、車輪１４や１６から走行中発生
する塵や、駆動モータ１７や１８内のロータから発生す
る塵なども含まれる。

【００２４】尚、風向制御板９、２０の形状は平面に限
定されず、風が当たる面が凹形状となる流面形状等も可
能となる。また、風向制御板１９、２０は、それ自身よ
り低い位置に設置されている送風ファン２１に向けて塵
を含む風を効率よく送ることができるよう、さらに下方
に傾斜させて設置する構成も可能となる。

【００２５】＜第２の実施形態例＞次に、本発明の第２
実施形態例について説明する。図４は第２実施形態例を
説明する移動体の側断面からの内部構成図である。尚、
本例においても、移動体として有軌道台車（台車）の例
を用いて説明する。したがって、本例においても、台車
の外観構成や２個の駆動輪１３、１５を駆動モータ１
７、１８が駆動し、駆動モータ１７、１８内の収集ファ
ンの出力側に風向制御板１９、２０を配設する構成は前
述の第１実施形態例と同じである。

【００２６】しかし、本例では、さらに台車中央下部の
送風ファンの上部に（台車外への排塵用に）新たに風向
制御板２５を設置する構成となっている。すなわち、同
図に示す駆動モータ１７、１８から風向制御板１９、２
０により偏向されて送られてきた塵を含む風の流れ２
３、２４をさらに下方の送風モータ２１へ偏向させるよ
う、該２つの風向制御板１９、２０に向けて台車１１前
後方向にそれぞれ傾斜面を有する風向制御板２５であ
る。

【００２７】以下、具体的に説明する。先ず、前述した
ように台車１１の移動および停止の作動により、駆動輪
１３、１５の制動部から塵が発生し、この塵は前述の駆
動モータ１７及び１８内の収集ファンによって風向制御
板１９、２０に送られ、風向制御板１９で方向変換され
た風の流れ２３、及び風向制御板２０で方向変換された
風の流れ２４に乗って、塵は送風ファン２１及びフィル
タ２２の配設方向に向かう。そして本実施形態例による
風向制御板２５の前後方向に向けて備える傾斜面に接す
ることにより、前記塵を含む風の流れ２３、２４が下方
の送風ファン２１に向けてスムーズに案内される。

【００２８】以上、本実施形態例のように構成すること
により、２つの駆動モータ１７、１８から対向して送ら
れてくる塵を含む風の流れ２３、２４同士が衝突して乱
流を発生させることなく送風ファン２１によるスムーズ
な排出が可能となる。

【００２９】尚、本実施形態例においても風向制御板２
５の風の流れに接する面は図に示す流面形状に限定され
ず、平面となる構成も可能である。尚、本例においても
フィルタ２２によって除去される塵の対象は、駆動輪１
３と１５の制動に基づいて発生するものに限らず、車輪
１４や１６から走行中発生する塵や、駆動モータ１７や
１８内のロータから発生する塵なども含まれる。

【００３０】また、以上説明した本発明の２つの実施形
態例はグレーチング１０の床を使用したクリーン室内で
使用する有軌道台車に対して特に有効な構成であるが、
フィルタを通してわずかに塵を含んでいる風を下方床面
に向けて排出することでクリーン室中に塵を広く拡散す
ることを防ぐという効果においては通常の床での使用も
充分可能である。

【００３１】そして、以上２つの実施形態例で説明した
例は移動媒体として有軌道台車の例を説明したが、レー
ルを使用しない移動体に対しても同様に本発明を適用す
ることができる。

【００３２】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば移動体から塵が排出されないので、クリーン室内を
一定のクリーン度に保つことができる。

【００３３】そして、クリーン室内に鉛直方向に流れる
空気流であるダウンフローに対して乱流を発生させるこ
とがないため周囲に影響を与えることなく排塵が可能と
なる。

【００３４】また、風向制御板を使用することによって
塵を効率よく除去できる移動体を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態例の有軌道台車の内部
構成を説明する平面図である。

【図２】本発明の第１の実施形態例の有軌道台車を説明
する斜視図である。

【図３】本発明の第１の実施形態例の有軌道台車を説明
する正面図である。

【図４】本発明の第２の実施形態例の有軌道台車の内部
構成を説明する側断面図である。

【図５】従来例の台車の内部構成を説明する図である。

【符号の説明】

９ 荷台 １０ グレーチング １１ 台車 １２ レール １３、１５ 駆動輪 １４、１６ 車輪 １７、１８ 駆動モータ １９、２０ 風向制御板 ２１ 送風ファン ２２ フィルタ ２３、２４ 風の流れ ２５ 風向制御板

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 移動体の駆動輪を駆動する駆動モータ
   と、 前記移動体の車輪に設けられた制動部と、 前記駆動モータに設置して該制動部の制動によって発生
   する塵を収集する収集ファンと、 前記移動体の中央下部に設けられ、前記収集ファンによ
   って収集された塵を下方に向けて送風する送風ファン
   と、 該送風ファンにより送風される塵を含んだ風から塵のみ
   を除去するフィルタと、 を有することを特徴とするクリーン室に使用される移動
   体。
2. 【請求項２】 前記制動部は、前記駆動輪に設けられて
   いることを特徴とする請求項１記載のクリーン室に使用
   される移動体。
3. 【請求項３】 前記制動部から発生して前記収集ファン
   で収集される塵を前記送風ファンに送る風向制御板を有
   することを特徴とする請求項１、又は２記載のクリーン
   室に使用される移動体。
4. 【請求項４】 前記風向制御板が前記各駆動モータの収
   集ファンの風下に配置され、それぞれが前記送風ファン
   に向けて塵を送るよう設置されていることを特徴とする
   請求項３記載のクリーン室に使用される移動体。
5. 【請求項５】 前記風向制御板が前記送風ファンの上方
   に設けられ、塵を下方に送ることを特徴とする請求項
   ３、又は４記載のクリーン室に使用される移動体。