JPH09323652A - 無人搬送車におけるダスト侵入防止装置 - Google Patents
無人搬送車におけるダスト侵入防止装置Info
- Publication number
- JPH09323652A JPH09323652A JP8168402A JP16840296A JPH09323652A JP H09323652 A JPH09323652 A JP H09323652A JP 8168402 A JP8168402 A JP 8168402A JP 16840296 A JP16840296 A JP 16840296A JP H09323652 A JPH09323652 A JP H09323652A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- airtight chamber
- fan
- dust
- upper airtight
- guided vehicle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 title claims abstract description 26
- 230000035515 penetration Effects 0.000 title abstract 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 14
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
- Handcart (AREA)
- Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
上部気密室内に設けるフィルタ付ファンを収納物とほぼ
同じ高さにすることにより上部気密室内に収納する全収
納物にクリーンエアを流通してクリーン度を保持できる
無人搬送車におけるダスト侵入防止装置を提供する。 【解決手段】 無人搬送車１を、陽圧とする上部気密室
Ａと陰圧とする下部気密室Ｂの上下に分割し、下部気密
室Ｂに排気ファン７を設けるとともに、上部気密室Ａに
フィルタ付ファン４を設けたことを特徴とする。
Description
を走行する無人搬送車の陽圧とする上部気密室内に収納
するカセットとほぼ同一高さにフィルタ付ファンを設け
て全収納品に対し、クリーン度を設定値以下に保持する
ようにした無人搬送車におけるダスト侵入防止装置に関
するものである。
無人搬送車は、走行車輪が床面と接触して転動し走行す
る際、車輪と床面との接触にて床面からダストが発生す
る。このダストにて搬送物、その他クリーンルーム内が
汚染されないようにするため、クリーンルーム内天井よ
りクリーンエアを床面に向かって噴射し、床面、特に走
行路床面に設けた排気口より排気するダウンフローを形
成している。然し、このダウンフローのみでは高クリー
ン度を保持することが困難であるため、ダウンフローと
無人搬送車の搬送物収納室を走行車輪等を配設した搬送
車下部室Ｂとを仕切りこの上部の搬送物収納室内を気密
室とし、かつこの上部気密室Ａの内部圧力を陽圧となる
ように高めて、搬送物収納室へダストの侵入を防止する
対策を行っている。
におけるダスト侵入防止方法においては、上部気密室Ａ
を陽圧に保持するためフィルタ付ファン４を車体上部に
取り付けているため、上部気密室内に送り込まれるクリ
ーンエアは図４に示すようにフィルタ付ファン４からの
吹出方向は上方５から下方へ流れる。従って、上部気密
室内に収納されたカセット内の物品に対してのクリーン
エアの流入方向は水平面内に置かれた最上段の物品、例
えば液晶ガラス基板により妨げられ、下方段の物品方
向、特に隙間を空けて重ねた物品間へのクリーンエアの
流れが妨げられ、クリーン度保持効果が減少してしまう
という問題点があった。本発明は、上記従来の無人搬送
車のダスト侵入防止装置の有する問題点を解決し、無人
搬送車の車体下部に排気ファンを設け、上部気密室内に
設けるフィルタ付ファンを収納物とほぼ同じ高さにする
ことにより上部気密室内に収納する全収納物にクリーン
エアを流通してクリーン度を保持できる無人搬送車にお
けるダスト侵入防止装置を提供することを目的とする。
め、本発明の無人搬送車におけるダスト侵入防止装置
は、無人搬送車を、陽圧とする上部気密室と陰圧とする
下部気密室の上下に分割し、下部気密室に排気ファンを
設けるとともに、上部気密室にフィルタ付ファンを設け
たことを特徴とする。
おけるダスト侵入防止装置においては、下部気密室内に
ダストが発生しやすい駆動制御装置、車輪を備え、かつ
該下部気密室を負圧としているので発生するダストもこ
の下部気密室内の負圧側に吸引されるため、上部気密室
まで到達することがなく、上部気密室には侵入すること
がなく搬送物のクリーン度が保持される。
設けるフィルタ付ファンは、上部気密室内に収納するカ
セットとほぼ同一高さとすることができる。
おけるダスト侵入防止装置においては、搬送物を収納す
るドアの開閉に関係なく常に上部気密室は正圧に保たれ
るので、発生ダストが上部気密室には侵入することがな
く搬送物のクリーン度が保持される。
るダスト侵入防止装置の実施の形態を図面に基づいて説
明する。図１は、本発明における搬送物移載中の無人搬
送車を示す平面図で、図２はその正面図を示す。図にお
いて１は、無人搬送車の本体で、この無人搬送車の本体
１を上部気密室Ａと、下部気密室Ｂとに分ける。上部気
密室Ａは搬送物収納室となり、所定の容積を有し、内部
にカセット２を収納するものとするとともに、側壁にフ
ィルタ付ファン４を設ける。これによりこのフィルタ付
ファン４の駆動にて床面から発生するダストが舞い上が
らない位置からのクリーンエアを上部気密室内に供給し
て内部を陽圧に保つようにする。
に取り付けるが、この取付位置は上部気密室内に収納す
るカセット２に対し側面よりフィルタ付ファンにて吸入
したクリーンエアをカセット内に収納した全物品間に流
通するような位置、すなわちカセットとほぼ同一高さの
位置とする。これにより、カセット内に所定の隙間を空
けて重積するようにした収納物、例えば液晶ガラス基板
６の間隔内にクリーンエアが流通し、これにより全物品
のクリーン度を保持することができる。
は、走行車輪Ｗ及び駆動装置、制御装置等の発塵し易い
駆動制御装置を収納し、この外周部をカバーにて囲み気
密を保つようにするとともに、この下部気密室の上部に
は上部気密室Ａからのエアを吸入する流入口３を開口
し、下部気密室の床面に排気口を形成し、内部に排気フ
ァン７を設けてなる。この排気ファン７は床面８の走行
路の近傍に形成したダウンフロー用の排気口に向けて排
気するようにする。これにより、車体下部の下部気密室
内部は陰圧になり、このため上部気密室内へのダストの
侵入を防止することが可能である。
けるダスト侵入防止装置において、無人搬送車の上部気
密室内にカセット２を収納し、フィルタ付ファンを駆動
すると、クリーンエアはこのファンにて吸引され上部気
密室内にて吹き出される。この上部気密室内に吹き出さ
れるクリーンエアは収納物に対し、その側方よりほぼ平
行に水平に流通し、隙間を空けて重ねた各物品の表面と
裏面との隙間内を通り、全収納品のクリーン度を設定値
に保つとともに、収納品間を流通したエアは反フィルタ
付ファン側の内側面にあたって下向流となり、流入口３
より下部気密室Ｂ内へ流出し、排気ファンを経て下部気
密室外へ排出され、このようにして上部気密室は陽圧を
保持し、かつクリーン度をも保つことができる。
防止装置によれば、無人搬送車の上部気密室内を水平方
向にフィルタ付ファンよりクリーンエアを流通するよう
にしているので、上部気密室内が陽圧を保持し、かつ該
室内収納物全体のクリーン度を保つことができる。ま
た、上部気密室内の側方より吸入するため、クリーンル
ーム内は設定クリーン度を保持することができる。
置の実施例を示す正面図である。
の実施例を示す平面図である。
Claims (2)
- 【請求項１】 無人搬送車を、陽圧とする上部気密室と
陰圧とする下部気密室の上下に分割し、下部気密室に排
気ファンを設けるとともに、上部気密室にフィルタ付フ
ァンを設けたことを特徴とする無人搬送車におけるダス
ト侵入防止装置。 - 【請求項２】 上部気密室に設けるフィルタ付ファン
は、上部気密室内に収納するカセットとほぼ同一高さと
したことを特徴とする請求項１記載の無人搬送車におけ
るダスト侵入防止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16840296A JP3673327B2 (ja) | 1996-06-07 | 1996-06-07 | 無人搬送車におけるダスト侵入防止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16840296A JP3673327B2 (ja) | 1996-06-07 | 1996-06-07 | 無人搬送車におけるダスト侵入防止装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09323652A true JPH09323652A (ja) | 1997-12-16 |
| JP3673327B2 JP3673327B2 (ja) | 2005-07-20 |
Family
ID=15867464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16840296A Expired - Fee Related JP3673327B2 (ja) | 1996-06-07 | 1996-06-07 | 無人搬送車におけるダスト侵入防止装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3673327B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104405149A (zh) * | 2014-10-27 | 2015-03-11 | 江苏省电力设计院 | 一种用于户外设备舱的通风防尘舱 |
| JP2020132407A (ja) * | 2019-02-25 | 2020-08-31 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
-
1996
- 1996-06-07 JP JP16840296A patent/JP3673327B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104405149A (zh) * | 2014-10-27 | 2015-03-11 | 江苏省电力设计院 | 一种用于户外设备舱的通风防尘舱 |
| JP2020132407A (ja) * | 2019-02-25 | 2020-08-31 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
| CN111605937A (zh) * | 2019-02-25 | 2020-09-01 | 株式会社大福 | 物品输送设备 |
| CN111605937B (zh) * | 2019-02-25 | 2022-12-27 | 株式会社大福 | 物品输送设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3673327B2 (ja) | 2005-07-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100524359B1 (ko) | 클린 룸용의 물품 보관 설비 | |
| TW200403791A (en) | Carrying vehicle, manufacturing apparatus, and carrying system | |
| KR100935870B1 (ko) | 자동창고 | |
| JP4029968B2 (ja) | 搬送車、製造装置及び搬送システム | |
| TWI564521B (zh) | Clean room with automatic warehouse | |
| JPH09323652A (ja) | 無人搬送車におけるダスト侵入防止装置 | |
| JP3818434B2 (ja) | 浄化空気通風式の保管設備 | |
| JP2004269214A (ja) | 浄化空気通風式の保管設備 | |
| JP3882139B2 (ja) | クリーン搬送車 | |
| JPH06340304A (ja) | 筐体の収納棚及び筐体の搬送方法並びに洗浄装置 | |
| TWI406804B (zh) | Plate-type goods with a van | |
| JP2012089645A (ja) | 物品搬送車 | |
| JP3739132B2 (ja) | 無人搬送車におけるダスト侵入防止装置 | |
| JP3861534B2 (ja) | クリーンルーム用無人搬送車 | |
| JP2979846B2 (ja) | 無人搬送車 | |
| JP3351362B2 (ja) | 搬送車 | |
| JPH11322068A (ja) | 無人搬送車の気流制御装置 | |
| JPH1179318A (ja) | 自動倉庫 | |
| JP2010067700A (ja) | 基板カセット搬送装置および基板カセット搬入出装置 | |
| JP4067703B2 (ja) | 搬送台車 | |
| JPH0745488A (ja) | 清浄雰囲気保持容器 | |
| JPH03192005A (ja) | クリーンルーム内の荷保管設備 | |
| JP2501262Y2 (ja) | オ―バ―ヘッド型物品搬送装置 | |
| CN111605937B (zh) | 物品输送设备 | |
| JP4142500B2 (ja) | 物品搬送車 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040930 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041207 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050207 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050329 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050422 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080428 Year of fee payment: 3 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080428 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090428 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090428 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100428 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100428 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110428 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120428 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130428 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130428 Year of fee payment: 8 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130428 Year of fee payment: 8 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |