JP2016039296A - 基板吸引固定台及び基板吸引固定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板の吸引を停止した状態においても、シールドプレートを容易かつ確実に固定することのできる基板吸引固定台及び基板吸引固定装置を提供する。
【解決手段】本発明の一態様に係る基板吸引固定台10は、表面上にシールドプレート20を介して基板30を吸引固定する基板吸引固定台10であって、表面に環状に配置された、シールドプレート20を吸引固定するための複数の第1の吸引孔11と、表面の複数の第1の吸引孔11に囲まれた領域に配置された、基板30を吸引固定するための複数の第2の吸引孔12と、を有する。
【選択図】図1
【解決手段】本発明の一態様に係る基板吸引固定台10は、表面上にシールドプレート20を介して基板30を吸引固定する基板吸引固定台10であって、表面に環状に配置された、シールドプレート20を吸引固定するための複数の第1の吸引孔11と、表面の複数の第1の吸引孔11に囲まれた領域に配置された、基板30を吸引固定するための複数の第2の吸引孔12と、を有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、基板吸引固定台及び基板吸引固定装置に関する。
従来、基板に印刷、露光、ダイシング等の加工を施す際に基板を固定する装置として、表面に開口する多数の孔を有し、表面上にプリント基板を載せた状態で孔の内部を減圧することによりプリント基板を吸引して固定する、基板吸引固定装置が知られている(例えば、特許文献1)。
特許文献1に開示される基板吸引固定装置は、基板吸引固定装置の表面の孔に対応する孔を有し、かつ、固定するプリント基板のスルーホールに対応する箇所には孔を有しないシールドシートを備える。プリント基板は、このシールドシートを介して基板吸引固定装置上に固定されるため、スルーホールから吸引が漏れることによる吸引力の低下を防止することができる。
特許文献1に開示される基板吸引固定装置によれば、シールドシートは、吸引を行うことによりプリント基板とともに基板吸引固定装置上に固定される。このため、吸引を止めるとシールドシートは基板吸引固定装置上に固定されなくなる。
例えば、基板上に半導体素子を搭載する工程において、素子が固定される前の状態の基板を搬送するときにシールドシートが基板吸引固定装置上に固定されていないと、基板に振動や衝撃が加わって素子の位置がずれて短絡等の不良の原因となるおそれがある。
このような問題を防ぐために、吸引されていない状態でもシールドシートが基板吸引固定装置上に固定されるようにするためには、ネジによる機械的固定等の固定手段が必要になる。この場合、シールドシートを基板吸引固定装置からの着脱する際には、毎回固定手段の実施又は解除の作業を行わなければならない。また、人による作業を伴う場合は、基板への浮遊ゴミの付着(コンタミネーション)のおそれがある。
本発明の目的の一つは、基板の吸引を停止した状態においても、シールドプレートを容易かつ確実に固定することのできる基板吸引固定台及び基板吸引固定装置を提供することにある。
本発明の一態様は、上記目的を達成するために、下記[1]、[2]の基板吸引固定台を提供する。また、本発明の他の態様は、上記目的を達成するために、下記[3]〜[6]の基板吸引固定装置を提供する。
[1]表面上にシールドプレートを介して基板を吸引固定する基板吸引固定台であって、前記表面に環状に配置された、前記シールドプレートを吸引固定するための複数の第1の吸引孔と、前記表面の前記複数の第1の吸引孔に囲まれた領域に配置された、前記基板を吸引固定するための複数の第2の吸引孔と、を有する、基板吸引固定台。
[2]前記複数の第1の吸引孔の配置ピッチと前記複数の第2の吸引孔の配置ピッチをそれぞれP1、P2とし、前記複数の第1の吸引孔の開口面積と前記複数の第2の吸引孔の開口面積をそれぞれS1、S2としたとき、P1=P2かつS1>S2、P1<P2かつS1=S2、又はP1<P2かつS1>S2の条件を満たす、[1]に記載の、基板吸引固定台。
[3]表面に環状に配置された複数の第1の吸引孔、及び前記表面の前記複数の第1の吸引孔に囲まれた領域に配置された複数の第2の吸引孔を有する基板吸引固定台と、前記基板吸引固定台の上に設置される、複数の貫通孔を有するシールドプレートと、を有し、前記基板吸引固定台は、前記複数の第1の吸引孔から前記シールドプレートを吸引して固定し、前記複数の第2の吸引孔から前記シールドプレートの前記複数の貫通孔を介して前記シールドプレート上に設置された基板を吸引して固定する、基板吸引固定装置。
[4]前記複数の第1の吸引孔の配置ピッチと前記複数の第2の吸引孔の配置ピッチをそれぞれP1、P2とし、前記複数の第1の吸引孔の開口面積と前記複数の第2の吸引孔の開口面積をそれぞれS1、S2としたとき、P1=P2かつS1>S2、P1<P2かつS1=S2、又はP1<P2かつS1>S2の条件を満たす、[3]に記載の、基板吸引固定装置。
[5]前記シールドプレートが、金属、硬質ガラス、又はセラミックスからなる、[3]又は[4]に記載の、基板吸引固定装置。
[6]前記シールドプレートの表面粗度Raが0.4μm以下である、[3]〜[5]のいずれか1項に記載の、基板吸引固定装置。
本発明によれば、基板の吸引を停止した状態においても、シールドプレートを容易かつ確実に固定することのできる基板吸引固定台及び基板吸引固定装置を提供することができる。
〔第1の実施の形態〕
図1(a)は、第1の実施の形態に係る基板吸引固定装置1及び基板30の上面図である。図1(b)は、図1(a)の切断線A−Aにおける基板吸引固定装置1及び基板30の垂直断面図である。
図1(a)は、第1の実施の形態に係る基板吸引固定装置1及び基板30の上面図である。図1(b)は、図1(a)の切断線A−Aにおける基板吸引固定装置1及び基板30の垂直断面図である。
基板吸引固定装置1は、基板吸引固定台10と、基板吸引固定台10上に設置されるシールドプレート20を有する。基板吸引固定装置1は、その表面上に設置された基板30を吸引により固定する装置である。
図2(a)は、基板30を外した状態の基板吸引固定装置1の上面図であり、図2(b)は、基板吸引固定台10の上面図である。
基板吸引固定台10は、その表面に環状に配置された複数の第1の吸引孔11、及び表面の複数の第1の吸引孔11に囲まれた領域に配置された複数の第2の吸引孔12を有する。シールドプレート20は、複数の貫通孔21を有する。
そして、基板吸引固定台10は、複数の第1の吸引孔11からシールドプレート20を吸引して固定し、複数の第2の吸引孔12からシールドプレート20の複数の貫通孔21を介してシールドプレート20上に設置された基板30を吸引して固定する。
ここで、図2(b)の一点鎖線で描かれた四角形の外側に配置された孔が第1の吸引孔11であり、内側に配置された孔が第2の吸引孔12である。また、図2(a)の点線で描かれた複数の円は、シールドプレート20を吸引する基板吸引固定台10の複数の第1の吸引孔11の位置を表し、図1(a)の点線で描かれた複数の円は、基板30を吸引するシールドプレート20の複数の貫通孔21の位置を表す。
基板吸引固定台10においては、基板30を吸引するための複数の第2の吸引孔12を囲むように、シールドプレート20を吸引するための複数の第1の吸引孔11が配置されているため、シールドプレート20が基板吸引固定台10上に固定された状態での、複数の第2の吸引孔12が配置された領域の周囲におけるシールドプレート20と基板吸引固定台10の密着性が高くなる。このため、複数の第2の吸引孔12による吸引漏れが低減され、基板30を確実に固定することができる。
シールドプレート20が基板吸引固定台10上に設置されたとき、複数の貫通孔21の真下には第2の吸引口12が位置している。このため、基板吸引固定台10は、シールドプレート20を介して基板30を吸引することができる。
また、シールドプレート20の複数の貫通孔21は、基板30が設置される領域の内側に配置され、また、基板30にスルーホール等の吸着できない箇所がある場合には、そのような箇所の真下には配置されないことが好ましい。これらの条件を満たす場合、複数の貫通孔21の全ての開口部が基板30に塞がれるため、基板吸引固定台10が基板30を吸引する際に、吸引が漏れることによる吸引力の低下を防止することができる。
また、図1(b)に示されるように、シールドプレート20の複数の貫通孔21の基板吸引固定台10側の開口面は、基板吸引固定台10の第2の吸引口12の開口面よりも大きいことが好ましい。この場合、シールドプレート20の基板吸引固定台10上での位置が若干ずれた場合であっても、第2の吸引口12の開口面が塞がれず、確実に基板10を吸引することができる。
なお、図1、2に示される複数の第1の吸引孔11、複数の第2の吸引孔12、及び複数の貫通孔21の配置、大きさ、形状等は一例であり、これに限定されるものではない。
また、基板吸引固定台10は、シールドプレート20の位置決め用のガイド部材17を有し、シールドプレート20は、基板30用の位置決め用のガイド部材22を有する。
シールドプレート20の複数の貫通孔21やガイド部材22の配置は、基板30の大きさや形状により異なるため、基板吸引固定装置1上に固定する基板30の種類によって、貫通孔21やガイド部材22の配置が異なる複数種のシールドプレート20を使い分けることができる。
基板吸引固定台10による吸引時における変形を防ぐため、シールドプレート20は、弾性体等の軟質の材料ではなく、金属、硬質ガラス、焼結セラミックス等の硬質の材料からなることが好ましい。吸引時にシールドプレート20が変形すると、シールドプレート20上の基板30が傾き、基板30の加工処理や素子の搭載に支障が出るおそれがある。
例えば、厚み0.05〜0.3mmの半導体素子を基板30に搭載する場合、素子搭載工程時の吸引固定された状態のシールドプレート20の幾何公差である平面度は、0.05mmの半分よりも小さい0.01mm以下であることが求められる。シールドプレート20が弾性体からなる場合は、この条件が満たされないおそれがある。
また、シールドプレート20の基板吸引固定台10への密着度を高め、吸引漏れを防ぐため、シールドプレートの表面粗度Raが0.4μm以下であることが好ましく、さらに、鏡面仕上げ程度の0.02μm以下であることがより好ましい。
図3は、基板吸引固定台10の内部において、複数の第1の吸引孔11につながる第1の配管13と、複数の第2の吸引孔12につながる第2の配管14のレイアウトの一例を模式的に示す平面図である。
図3に示されるように、第1の配管11と第2の配管12は独立しており、それぞれ第1の接続孔15、第2の接続孔16において別々の真空ポンプ等の減圧装置に接続される。第1の接続孔15及び第2の接続孔16は、図3に示されるように、基板吸引固定台10の側部に設けることができる。
このように、シールドプレート20を固定するための吸引系統と、基板30を固定するための吸引系統が独立しているため、基板30を基板吸引固定装置1上に載せるときや、基板吸引固定装置1上から移動させるとき等に、第1の配管13に接続された減圧装置のみを動作させ、第2の配管14内を大気に解放すれば、シールドプレート20のみを基板吸引固定台10上に固定することができる。
図4は、基板30の上面図である。基板30の外周部32は、デバイス形成に用いられない幅1mm以下の領域である。外周部32の内側は、最終的に複数の機能部31に分割される領域である。基板30は、例えば、厚さ0.3〜0.6mm、一辺の長さが50mm程度の正方形のセラミック基板である。
機能部31の各々には、半導体素子が搭載される。基板搬送等のハンドリング時には、器具は機能部31に触れず、外周部32にのみ触れる。例えば、基板30のシールドプレート20上での位置決めを行うときには、プッシャ装置により水平方向から基板30の外周部32を押し、外周部32がシールドプレート20のガイド部材22に接触するまで基板30を移動させる。
〔第2の実施の形態〕
第2の実施の形態は、基板吸引固定台の第1の吸引孔の配置ピッチや大きさにおいて第1の実施の形態と異なる。なお、第1の実施の形態と同様の点については、説明を省略又は簡略化する。
第2の実施の形態は、基板吸引固定台の第1の吸引孔の配置ピッチや大きさにおいて第1の実施の形態と異なる。なお、第1の実施の形態と同様の点については、説明を省略又は簡略化する。
図5は、第2の実施の形態に係る基板吸引固定台40の上面図である。基板吸引固定台40は、第1の実施の形態の基板吸引固定台10と同様に、シールドプレート20を介して基板30を吸引して固定することができる。
基板吸引固定台40は、その表面に環状に配置された複数の第1の吸引孔41、及び表面の複数の第1の吸引孔41に囲まれた領域に配置された複数の第2の吸引孔42を有する。
ここで、図5の一点鎖線で描かれた四角形の外側に配置された孔が第1の吸引孔41であり、内側に配置された孔が第2の吸引孔42である。
基板吸引固定台40においては、複数の第1の吸引孔41の配置密度が複数の第2の吸引孔42の配置密度よりも高い。すなわち、複数の第1の吸引孔41の配置ピッチ(中心間の距離)と複数の第2の吸引孔42の配置ピッチをそれぞれP1、P2とし、複数の第1の吸引孔41の開口面積と複数の第2の吸引孔42の開口面積をそれぞれS1、S2としたとき、P1=P2かつS1>S2、P1<P2かつS1=S2、又はP1<P2かつS1>S2の条件を満たす。
このように、複数の第1の吸引孔41の配置密度を大きくすることにより、吸引時のシールドプレート20の外周部における基板吸引固定台40との密着性がより向上する。このため、第2の吸引孔42による吸引漏れをさらに低減し、基板30をより確実に固定することができる。
図6は、基板吸引固定台40の内部において、複数の第1の吸引孔41につながる第1の配管43と、複数の第2の吸引孔42につながる第2の配管44のレイアウトの一例を模式的に示す平面図である。
基板吸引固定台40においては、複数の第1の吸引孔41の間隔が狭いため、第2の配管44の減圧装置に接続するための第2の接続孔を基板吸引固定台40の側部に設けることが困難である。このため、第2の配管44の第2の接続孔は、図示されないが、基板吸引固定台40の底部に設けられる。なお、第1の配管43の減圧装置に接続するための第1の接続孔45は、基板吸引固定台40の側部に設けることができる。
(実施の形態の効果)
上記の第1及び第2の実施の形態の基板吸引固定台によれば、シールドプレート固定用の吸引系統と基板固定用の吸引系統が独立して設けられているため、吸引により、シールドプレートのみを基板吸引固定台上に固定することができる。
上記の第1及び第2の実施の形態の基板吸引固定台によれば、シールドプレート固定用の吸引系統と基板固定用の吸引系統が独立して設けられているため、吸引により、シールドプレートのみを基板吸引固定台上に固定することができる。
これにより、基板をシールドプレート上に載せる際や、シールドプレート上から移動させる際に、シールドプレートを基板吸引固定台上に固定しておくことができるため、基板に振動や衝撃を与えることなく、安定して搬送することができる。
また、シールドプレートが吸引により基板吸引固定台に固定されるため、ネジ等により固定される場合と異なり、基板吸引固定台上からの着脱を自動的に行うことができる。さらに、自動化により、人の手による作業が不要となるため、コンタミネーションを低減することができ、基板を用いた製品の歩留まりを向上させることができる。
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明は、上記の実施の形態に限定されず、発明の主旨を逸脱しない範囲内において種々変形実施が可能である。また、発明の主旨を逸脱しない範囲内において上記実施の形態の構成要素を任意に組み合わせることができる。
また、上記の実施の形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。また、実施の形態の中で説明した特徴の組合せの全てが発明の課題を解決するための手段に必須であるとは限らない点に留意すべきである。
1 基板吸引固定装置
10、40 基板吸引固定台
11 第1の吸引孔
12 第2の吸引孔
20 シールドプレート
21 貫通孔
30 基板
10、40 基板吸引固定台
11 第1の吸引孔
12 第2の吸引孔
20 シールドプレート
21 貫通孔
30 基板
Claims (6)
- 表面上にシールドプレートを介して基板を吸引固定する基板吸引固定台であって、
前記表面に環状に配置された、前記シールドプレートを吸引固定するための複数の第1の吸引孔と、
前記表面の前記複数の第1の吸引孔に囲まれた領域に配置された、前記基板を吸引固定するための複数の第2の吸引孔と、
を有する、基板吸引固定台。 - 前記複数の第1の吸引孔の配置ピッチと前記複数の第2の吸引孔の配置ピッチをそれぞれP1、P2とし、前記複数の第1の吸引孔の開口面積と前記複数の第2の吸引孔の開口面積をそれぞれS1、S2としたとき、P1=P2かつS1>S2、P1<P2かつS1=S2、又はP1<P2かつS1>S2の条件を満たす、
請求項1に記載の、基板吸引固定台。 - 表面に環状に配置された複数の第1の吸引孔、及び前記表面の前記複数の第1の吸引孔に囲まれた領域に配置された複数の第2の吸引孔を有する基板吸引固定台と、
前記基板吸引固定台の上に設置される、複数の貫通孔を有するシールドプレートと、
を有し、
前記基板吸引固定台は、前記複数の第1の吸引孔から前記シールドプレートを吸引して固定し、前記複数の第2の吸引孔から前記シールドプレートの前記複数の貫通孔を介して前記シールドプレート上に設置された基板を吸引して固定する、基板吸引固定装置。 - 前記複数の第1の吸引孔の配置ピッチと前記複数の第2の吸引孔の配置ピッチをそれぞれP1、P2とし、前記複数の第1の吸引孔の開口面積と前記複数の第2の吸引孔の開口面積をそれぞれS1、S2としたとき、P1=P2かつS1>S2、P1<P2かつS1=S2、又はP1<P2かつS1>S2の条件を満たす、
請求項3に記載の、基板吸引固定装置。 - 前記シールドプレートが、金属、硬質ガラス、又はセラミックスからなる、
請求項3又は4に記載の、基板吸引固定装置。 - 前記シールドプレートの表面粗度Raが0.4μm以下である、
請求項3〜5のいずれか1項に記載の、基板吸引固定装置。
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- 2014-08-08 JP JP2014162577A patent/JP2016039296A/ja not_active Withdrawn
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