JP2014203967A - チャックテーブル - Google Patents

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斌 呉
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Abstract

【課題】 反ったウエーハを吸引保持するのに適したチャックテーブルを提供することである。
【解決手段】 ウエーハを保持するチャックテーブルであって、ウエーハを吸引保持する保持面を有するテーブル本体と、該テーブル本体を囲繞するように該テーブル本体に取り付けられた逆スカート形状のスカート部を有する吸着補助体と、を備え、該吸着補助体は、弾性部材から形成され、該スカート部の裾は該保持面よりも上方に突出するとともに、該裾の直径はウエーハの直径より小さく形成されていることを特徴とする。
【選択図】図4

Description

本発明は、チャックテーブルに関し、特に、反ったウエーハを吸引保持するのに適したチャックテーブルに関する。
半導体デバイス製造プロセスにおいては、略円板形状であるシリコンウエーハ、ガリウムヒ素ウエーハ等の半導体ウエーハの表面に格子状に形成されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、区画された各領域にIC、LSI等のデバイスを形成する。
そして、デバイスが形成されていないウエーハの裏面側を研削装置で研削してウエーハを所定厚さに薄化した後、ウエーハは切削装置又はレーザー加工装置によって個々のデバイスに分割され、分割されたデバイスは携帯電話、パソコン等の各種電気機器に広く利用されている。
ウエーハは、表面にデバイスを形成する過程において、表面に積層される材料や熱加工等の影響で反りや歪を生じる場合がある。また、研削装置で裏面が研削されると、ウエーハの研削面にマイクロクラックが残存することでも反りや歪が生じ易い(例えば、特開平10−092776号公報参照)。
ウエーハは通常、ウエーハの直径より大きい保持面を有するチャックテーブルに吸引保持されて加工が施されるが、ウエーハの位置確認或いは洗浄の際等には、ウエーハの直径より小さい保持面を有するチャックテーブルで保持される場合がある(例えば、特許第4303041号公報参照)。
特開平10−092776号公報 特許第4303041号公報
例えば、ウエーハの外周に形成された面取り部を除去するエッジトリミングを施す際には、ウエーハはダイシングテープを介して環状フレームに支持されるフレームユニット単位では扱われずに、ウエーハ単体でハンドリングされる。
この場合、ウエーハを収容したカセットから取り出されたウエーハは位置確認用のチャックテーブル上に載置され、このチャックテーブル上で撮像ユニットにより撮像されてチャックテーブル中心からの偏心方向及び偏心量が検出される。
このチャックテーブルはウエーハの直径より小さい直径を有しており、反ったウエーハをこのチャックテーブルで保持する際、保持面でウエーハを吸引しても保持面とウエーハとの間に空間が開くため、負圧がリークしてしまいウエーハの吸引保持ができない恐れがあるという問題があった。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、反ったウエーハを吸引保持するのに適したチャックテーブルを提供することである。
本発明によると、ウエーハを保持するチャックテーブルであって、ウエーハを吸引保持する保持面を有するテーブル本体と、該テーブル本体を囲繞するように該テーブル本体に取り付けられた逆スカート形状のスカート部を有する吸着補助体と、を備え、該吸着補助体は、弾性部材から形成され、該スカート部の裾は該保持面よりも上方に突出するとともに、該裾の直径はウエーハの直径より小さく形成されていることを特徴とするチャックテーブルが提供される。
本発明のチャックテーブルによると、チャックテーブル本体の周囲に逆スカート形状のスカート部を有する吸着補助体が配設され、吸着補助体の先端部(スカート部の裾)が保持面から突出しているため、反ったウエーハを予め吸着補助体で隙間なく支持し、その後保持面から吸引力を作用させて確実にチャックテーブルにウエーハを吸引保持することができる。反りの方向(お椀型でも山形でも)に限定されずに吸引保持可能である。
また、反りのないウエーハに対しても勿論使用可能であることから、反ったウエーハを加工するときだけ本願発明のチャックテーブルを装着するのではなく、常時装着しておくことでチャックテーブル交換の手間なく対応可能である。
第1実施形態に係るチャックテーブルの斜視図である。 ウエーハ搬送ロボットの斜視図である。 ウエーハ搬送ロボットによりお椀型に沿ったウエーハを第1実施形態のチャックテーブルの上方に位置付けた状態の断面図である。 ウエーハを吸着補助体上に載置した状態の断面図である。 ウエーハをチャックテーブルで吸引保持した状態の断面図である。 ウエーハ搬送ロボットにより山形に沿ったウエーハを第1実施形態のチャックテーブルの上方に位置付けた状態の断面図である。 ウエーハを吸着補助体上に載置した状態の断面図である。 ウエーハをチャックテーブルで吸引保持した状態の断面である。 第2実施形態に係るチャックテーブルの斜視図である。
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図1を参照すると、本発明第1実施形態に係るチャックテーブル2の斜視図が示されている。図3を合わせて参照すると、チャックテーブル2はチャックテーブル本体(テーブル本体)4と、チャックテーブル本体4を囲繞するようにチャックテーブル本体4に取り付けられた吸着補助体18とから構成される。
チャックテーブル本体4は環状の支持部6と、保持面8を有している。図1に示すように、保持面8には同心円状の複数の吸引溝10が形成されており、これらの吸引溝10は十字形状の吸引路12により接続されている。十字形状の吸引路10の中心にはチャックテーブル本体4を上下方向に貫通する吸引路14が形成されている。
吸引路14は、電磁切替弁28を介して真空吸引源30に接続されている。従って、電磁切替弁28を連通位置に切り替えることにより、保持面8に開口した吸引溝10には吸引路14及び十字形状の吸引路12を介して負圧が作用する。
チャックテーブル本体4の保持面8には一対のねじ挿入孔16が形成されており、このねじ挿入孔16に挿入されたねじ26によりチャックテーブル本体4はテーブルベース24に固定される。チャックテーブル本体4及びテーブルベース24とも、例えばSUS等の金属から形成されている。
吸着補助体18は弾性を有する樹脂から形成され、チャックテーブル本体4に外嵌され環状支持部6により支持される環状の装着部20と、装着部20と一体的に形成された逆スカート形状のスカート部22とから構成される。スカート部22の先端(裾)22aはチャックテーブル本体4の保持面8から約0.5〜2mm上方に突出している。
図2を参照すると、ウエーハ11を搬送する搬送ロボット32の斜視図が示されている。搬送ロボット32は、上下方向に移動されるとともに屈曲可能なリンク機構34と、リンク機構34の先端部に回動可能に取り付けられたアーム36とを含んでいる。アーム36の上面にはウエーハ11を負圧吸引する複数の吸引口38が配設されている。
以下、上述した実施形態の作用について説明する。図2に示す搬送ロボット32により例えばカセットから取り出されたお椀型に反ったウエーハ11は、搬送ロボット32により搬送されて図3に示すようにチャックテーブル2の上方に位置付けられる。
この状態から、搬送ロボット32によりウエーハ11は下降されて、図4に示すように吸着補助体18により支持される。このとき、吸着補助体18のスカート部22の先端22aがその全周に渡りウエーハ11に密着する。
よって、この状態から、電磁切替弁28を連通位置に切り替えると、真空吸引源30により吸引口10に負圧が発生し、お椀型に反ったウエーハ11は吸着補助体18のスカート部22の先端22aに密着しているため、チャックテーブル本体部4と、吸着補助体18と、ウエーハ11とで画成された空間内に負圧が作用して、ウエーハ11は図5に示すように、吸着補助体18のスカート部22を撓ませながらチャックテーブル2の保持面8に確実に吸引保持される。
次に、図6乃至図8を参照して、山型に反ったウエーハ11をチャックテーブル2で吸引保持する場合の作用について説明する。まず、図6に示すように、搬送ロボット32で山型に反ったウエーハ11をチャックテーブル2の上方に位置付ける。
この状態から、搬送ロボット32でウエーハ11を下降すると、図7に示すように、ウエーハ11は吸着補助体18のスカート部22の先端22aにより全周に渡り隙間なく支持される。
この状態で、電磁切替弁28を連通位置に切り替えると、チャックテーブル本体4と、吸着補助体18と、ウエーハ11とで画成された空間内に負圧が作用し、ウエーハ11は吸着補助体18のスカート部22を撓ませながら、図8に示すように、チャックテーブル2の保持面8により確実に吸引保持される。
図9を参照すると、本発明第2実施形態のチャックテーブル2Aの斜視図が示されている。チャックテーブル2Aは、ポーラスセラミックス等から形成された吸引保持部40と、吸引保持部40を囲繞するSUS等の金属から形成された枠体42とから構成され、枠体42の外周に第1実施形態のチャックテーブル2に装着された吸着補助体18と同様な吸着補助体18が装着されている。
吸引保持部40は吸引路14及び電磁切替弁28を介して真空吸引源30に選択的に接続される。吸着補助体18は、環状の装着部20と、逆スカート形状のスカート部22を有しており、スカート部22の先端(裾)22aは吸引保持部40の保持面から約0.5〜2mm上方に突出している。
本実施形態のチャックテーブル2Aによるウエーハ11の吸引保持は、図3乃至図8を参照して説明した第1実施形態のチャックテーブル2と同様であるのでその説明を省略する。
2,2A チャックテーブル
4 チャックテーブル本体
8 保持面
10 吸引溝
11 ウエーハ
18 吸着補助体
22 スカート部
30 真空吸引源
32 搬送ロボット
36 アーム

Claims (1)

  1. ウエーハを保持するチャックテーブルであって、
    ウエーハを吸引保持する保持面を有するテーブル本体と、
    該テーブル本体を囲繞するように該テーブル本体に取り付けられた逆スカート形状のスカート部を有する吸着補助体と、を備え、
    該吸着補助体は、弾性部材から形成され、該スカート部の裾は該保持面よりも上方に突出するとともに、該裾の直径はウエーハの直径より小さく形成されていることを特徴とするチャックテーブル。
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