KR101558111B1

KR101558111B1 - 밀착 노광 장치 및 밀착 노광 방법

Info

Publication number: KR101558111B1
Application number: KR1020147002774A
Authority: KR
Inventors: 히로시 이케부치; 아츠시 마스조에; 히데키 오카타니
Original assignee: 엔에스케이 테쿠노로지 가부시키가이샤
Priority date: 2011-09-09
Filing date: 2012-09-07
Publication date: 2015-10-06
Also published as: JP6142450B2; TW201316137A; JP2013070042A; TWI506381B; WO2013035854A1; KR20140041819A

Abstract

기판 유지부 (11) 의 유지면 (11a) 에는, 워크 (W) 의 이면을 향하여 개구되는 복수의 제 1 에어 유통 구멍 (31) 및 그 복수의 제 1 에어 유통 구멍 (31) 보다 외측에 형성된 복수의 제 2 에어 유통 구멍 (32) 을 구비하고, 복수의 제 2 에어 유통 구멍 (32) 이 개구되는 영역 (E) 의 내주측 및 외주측에는, 워크 (W) 의 이면과 접촉 가능한 고리 형상의 내주측 탄성 부재 (33) 및 외주측 탄성 부재 (34) 가 각각 배치된다. 마스크 유지부 (4) 와 기판 유지부 (11) 사이에는, 마스크 (M) 및 워크 (W) 를 둘러싸는 탄성의 밀봉 부재 (35) 가 형성되고, 마스크 (M), 마스크 유지부 (4), 기판 유지부 (11) 및 밀봉 부재 (35) 에 의해 밀봉 공간 (S) 을 획성한다. 제어 수단 (30) 은, 복수의 제 1 에어 유통 구멍 (31) 을 대기 개방하고, 복수의 제 2 에어 유통 구멍 (32) 으로부터 에어를 흡인하고, 또한 밀봉 공간 (S) 내의 에어를 흡인하여 밀봉 공간 (S) 내를 부압으로 하고, 밀봉 공간 (S) 내의 압력이 소정의 기준 부압에 도달했을 때, 복수의 제 2 에어 유통 구멍 (32) 을 대기 개방한다.

Description

밀착 노광 장치 및 밀착 노광 방법{CONTACT EXPOSURE DEVICE AND CONTACT EXPOSURE METHOD}

본 발명은, 마스크와 워크를 밀착시켜 노광을 실시하는 밀착 노광 장치 및 밀착 노광 방법에 관한 것이다.

종래, 액정 디스플레이 패널이나 반도체 소자를 노광하는 방법으로서 마스크와 워크를 밀착시킨 상태에서 노광을 실시하는 밀착 노광 방식이 알려져 있다. 이 노광 방식에서는, 통상, 마스크와 워크를 근접 대향시켜 노광을 실시하는 근접 노광 방식에 비해 해상도를 향상시킬 수 있다.

종래의 밀착 노광 장치로서는, 마스크의 면적보다 진공 시일부에 의해 둘러싸이는 면적을 작게 한 것이 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조.). 이로써, 시일 공간의 압력을 마스크 흡착용 압력에 접근시켜 마스크와 워크의 밀착력을 크게 해도, 마스크가 마스크 스테이지로부터 부상되거나 벗어나거나 하는 일이 없이, 충분한 컨택트력을 확보할 수 있도록 하고 있다.

또, 마스크와 기판의 위치 맞춤 마크 사이의 위치 어긋남량을 연산하고, 연산 결과에 따라 마스크 및 기판을 오목 형상 또는 볼록 형상으로 변형시키는 변형량을 압력으로 변환시키고, 감압시켜 기판 지지 부재를 제어하여, 마스크의 패턴이 워크와 어긋나지 않도록 한 노광 방법이 개시되어 있다 (예를 들어, 특허문헌 2 참조.).

또한, 밀착 노광 방식에 있어서, 마스크에 워크를 흡착시키는 방법으로는, 워크 고정부에 적어도 2 계통의 관로를 형성하고, 일측 계통의 관로단을 워크의 단부에 배치하고, 상기 관로를 배기하여 워크를 워크 고정부에 고정시키고, 타 계통의 관로로부터의 배기를 정지시켜 기체를 방출함으로써, 워크와 마스크를 밀착 (소프트 컨택트) 시키는 것이 알려져 있다 (예를 들어, 특허문헌 3 참조.).

또, 특허문헌 4 에 기재된 밀착 노광 방식에서는, 워크와 마스크 사이에 시일 부재를 개재시키고, 워크 지지대, 워크, 시일 부재, 마스크로 둘러싸인 공간과 시일 부재의 내부의 압력을 조정하고, 시일 외경을 바꿈으로써, 마스크를 워크의 표면 전체에 걸쳐 균일하게 밀착시키도록 하고 있다.

또한, 특허문헌 5 에 기재된 밀착 노광 방식에서는, 마스크의 일면을 볼록면으로 한 볼록 마스크를 사용하고, 이러한 볼록면과 웨이퍼를 밀착시킨 후에, 마스크의 주변 부위에 있어서 마스크와 웨이퍼를 밀착시키도록 압력을 부가함으로써, 웨이퍼를 변형시키고, 마스크 볼록면의 전체면에 걸쳐 양호한 밀착이 얻어지도록 하고 있다. 또, 마스크와 웨이퍼를 밀착시키는 압력은, 나사의 조임 토크나 나사의 조임 피치 수 등에 따라 조정하고 있다.

일본 공개특허공보 평11-186124호 일본 특허공보 제3983278호 일본 공개특허공보 평8-83749호 일본 공개특허공보 2004-54255호 일본 공개특허공보 2005-156590호

그러나, 특허문헌 1 및 특허문헌 2 에서는, 워크를 마스크에 밀착시킬 때, 워크에서 발생하는 전단 변형은 고려되지 않아, 이 전단 변형에 의해 기판이 파단될 우려가 있고, 마스크에 구비된 패턴과 워크가 어긋나 양호한 노광 정밀도가 얻어지지 않을 가능성이 있다.

또, 특허문헌 3 에 기재된 밀착 노광 방법에서는, 밸브와 밸브의 개폐만으로 압력을 조정하여, 워크를 마스크에 밀착시키고 있기 때문에, 국소적으로 워크와 마스크의 밀착에 편차가 발생하여 노광 정밀도가 양호하지 않다는 과제가 있다. 또한, 특허문헌 3 에서는, 돌기 형상으로 워크를 워크 스테이지에 배치 형성하고 있기 때문에, 워크에 에어를 분출하면, 배관에서 배출되는 에어 압력 등의 편차에 따라 워크의 중심 (重心) 위치가 어긋나 워크와 워크 스테이지가 국소적으로 접촉했을 때에 워크가 흠집날 우려도 있다.

또, 특허문헌 4 의 밀착 노광 방식에서는, 시일의 외경에 편차가 있기 때문에, 이 편차가 노광 정밀도에 영향을 미쳐 노광 정밀도가 양호하지 않다는 과제가 있다.

또한, 특허문헌 5 의 밀착 노광 방식에서는, 나사의 조임에 의해 마스크와 웨이퍼를 밀착시키는 압력을 관리하고 있기 때문에, 마스크와 웨이퍼의 밀착 상태는 정확히 파악할 수 없어 노광 정밀도가 양호하지 않다는 과제가 있다.

본 발명은, 전술한 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은, 기판과 마스크의 밀착 성능을 향상시킬 수 있는 밀착 노광 장치 및 밀착 노광 방법을 제공하는 것에 있다.

본 발명의 상기 목적은 하기 구성에 의해 달성된다.

(1) 노광해야 할 패턴을 갖는 마스크를 유지하는 마스크 유지부와,

피노광재로서의 기판을 유지하는 유지면을 갖는 기판 유지부와,

상기 유지면에 유지된 기판에, 노광용 광을 상기 마스크를 통해 조사하는 조명 광학계를 구비하고, 상기 마스크와 기판을 밀착시킨 상태에서 노광하는 밀착 노광 장치로서,

상기 유지면에는, 상기 기판의 이면을 향하여 개구되어 에어가 유통되는 복수의 에어 유통 구멍이 형성되고,

상기 복수의 에어 유통 구멍은, 복수의 제 1 에어 유통 구멍과, 그 복수의 제 1 에어 유통 구멍보다 외측에 형성된 복수의 제 2 에어 유통 구멍을 구비하고,

상기 유지면에는, 상기 복수의 제 2 에어 유통 구멍이 개구되는 영역의 내주측 및 외주측에, 상기 기판의 이면과 접촉 가능한 고리 형상의 내주측 탄성 부재 및 외주측 탄성 부재가 각각 배치되고,

상기 마스크와 기판을 밀착시키도록, 상기 각 에어 유통 구멍을 유통하는 에어의 압력 또는 유량을 제어하는 제어 수단이 형성되는 것을 특징으로 하는 밀착 노광 장치.

(2) 상기 복수의 제 2 에어 유통 구멍이 개구되는 영역은, 상기 기판 이면의 주연부에 대응되어 있고,

상기 복수의 제 2 에어 유통 구멍을 흡인함으로써, 상기 기판의 주연부는 상기 기판 유지부에 구속되는 것을 특징으로 하는 (1) 에 기재된 밀착 노광 장치.

(3) 상기 마스크 유지부와 상기 기판 유지부 사이에는, 상기 마스크 및 상기 기판을 둘러싸는 탄성의 밀봉 부재가 형성되고,

상기 마스크, 상기 마스크 유지부, 상기 기판 유지부 및 상기 밀봉 부재에 의해 둘러싸인 밀봉 공간은, 그 밀봉 공간 내의 에어를 흡인함으로써 감압되는 것을 특징으로 하는 (1) 또는 (2) 에 기재된 밀착 노광 장치.

(4) 상기 제어 수단은, 상기 복수의 제 1 에어 유통 구멍을 대기 개방하고, 상기 복수의 제 2 에어 유통 구멍으로부터 에어를 흡인하고, 또한, 상기 밀봉 공간 내의 에어를 흡인하여 상기 밀봉 공간 내를 부압 (負壓) 으로 하고,

상기 밀봉 공간 내의 압력이 소정의 기준 부압에 도달했을 때, 상기 복수의 제 2 에어 유통 구멍을 대기 개방하는 것을 특징으로 하는 (3) 에 기재된 밀착 노광 장치.

(5) 상기 기판은, 상기 내주측 탄성 부재와 상기 외주측 탄성 부재에 밀착됨으로써, 상기 기판 유지부에 구속되는 것을 특징으로 하는 (1) 에 기재된 밀착 노광 장치.

(6) 노광해야 할 패턴을 갖는 마스크를 유지하는 마스크 유지부와,

상기 유지면에 유지된 기판에, 노광용 광을 상기 마스크를 통해 조사하는 조명 광학계를 구비하고,

상기 유지면에는, 상기 기판의 이면에 개구되어 에어가 유통되는 복수의 에어 유통 구멍이 형성되고,

상기 마스크 유지부와 상기 기판 유지부 사이에는, 상기 마스크 및 상기 기판을 둘러싸는 탄성의 밀봉 부재가 형성되고,

상기 마스크, 상기 마스크 유지부, 상기 기판 유지부 및 상기 밀봉 부재에 의해 밀봉 공간을 형성하는, 밀착 노광 장치를 사용하여 상기 마스크와 기판을 밀착시킨 상태에서 노광하는 밀착 노광 방법으로서,

상기 복수의 제 1 에어 유통 구멍을 대기 개방하고, 상기 복수의 제 2 에어 유통 구멍으로부터 에어를 흡인함으로써, 상기 기판의 주연부를 상기 기판 유지부에 구속하고, 상기 밀봉 공간 내의 에어를 흡인하여 상기 밀봉 공간 내를 부압으로 하고,

상기 밀봉 공간 내의 압력이 소정의 기준 부압에 도달했을 때, 상기 복수의 제 2 에어 유통 구멍을 대기 개방하는 것을 특징으로 하는 밀착 노광 방법.

(7) 노광해야 할 패턴을 갖는 마스크를 유지하는 마스크 유지부와,

상기 유지면에는, 상기 기판의 이면에 맞닿을 수 있는 복수의 돌기와, 상기 기판의 이면을 향하여 개구되어 에어가 유통되는 복수의 에어 유통 구멍이 형성되고,

상기 마스크와 기판을 밀착시키도록, 상기 각 에어 유통 구멍으로부터 상기 기판을 향하여 분출되는 에어의 압력 또는 유량을 제어하는 제어 수단이 형성되는 것을 특징으로 하는 밀착 노광 장치.

(8) 상기 제어 수단은, 상기 각 에어 유통 구멍으로부터 분출되는 에어의 압력 또는 유량을, 상기 마스크의 중앙 부분에서부터 주위로 향함에 따라 증가하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 (7) 에 기재된 밀착 노광 장치.

(9) 상기 유지면에는, 적어도 하나의 상기 에어 유통 구멍을 둘러싸도록 영역을 획성하는, 상기 기판의 이면에 맞닿을 수 있는 구획벽이 형성되는 것을 특징으로 하는 (7) 또는 (8) 에 기재된 밀착 노광 장치.

(10) 상기 유지면을 상하 방향으로 이동하도록 상기 기판 유지부를 구동시키는 기판 구동부를 추가로 구비하고,

상기 기판을 노광할 때, 상기 기판 구동부는, 상기 에어 유통 구멍으로부터 분출되는 에어에 의해 상기 기판이 상기 유지면으로부터 떨어지지 않도록 상기 유지면을 이동시키는 것을 특징으로 하는 (7) ∼ (9) 중 어느 하나에 기재된 밀착 노광 장치.

(11) 상기 기판과 마스크 사이의 간극을 검출하는 센서를 추가로 구비하고,

상기 제어 수단은, 상기 센서에 의해 검출된 간극에 따라, 상기 각 에어 유통 구멍으로부터 분출되는 에어의 압력 또는 유량을 제어하는 것을 특징으로 하는 (7) ∼ (10) 중 어느 하나에 기재된 밀착 노광 장치.

(12) 노광해야 할 패턴을 갖는 마스크를 유지하는 마스크 유지부와,

상기 유지면에 유지된 기판에, 노광용 광을 상기 마스크를 통해 조사하는 조명 광학계를 구비하고, 상기 마스크와 기판을 밀착시킨 상태에서 노광하는 밀착 노광 방법으로서,

상기 유지면에는, 상기 기판의 이면에 맞닿을 수 있는 복수의 돌기와, 상기 기판의 이면에 개구되어 에어가 유통되는 복수의 에어 유통 구멍이 형성되고,

상기 각 에어 유통 구멍으로부터 상기 기판을 향하여 분출되는 에어의 압력 또는 유량을 제어함으로써, 상기 마스크와 기판을 밀착시키는 것을 특징으로 하는 밀착 노광 방법.

(13) 상기 마스크와 기판을 밀착시킬 때, 상기 각 에어 유통 구멍으로부터 분출되는 에어의 압력 또는 유량을, 상기 마스크의 중앙 부분에서부터 주위로 향함에 따라 증가하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 (12) 에 기재된 밀착 노광 방법.

(14) 상기 유지면에는, 적어도 하나의 상기 에어 유통 구멍을 둘러싸도록 영역을 획성하는, 상기 기판의 이면에 맞닿을 수 있는 구획벽이 형성되는 것을 특징으로 하는 (12) 또는 (13) 에 기재된 밀착 노광 방법.

(15) 상기 유지면을 상하 방향으로 이동하도록 상기 기판 유지부를 구동시키는 기판 구동부를 추가로 구비하고,

상기 기판을 노광할 때, 상기 기판 구동부는, 상기 에어 유통 구멍으로부터 분출되는 에어에 의해 상기 기판이 상기 유지면으로부터 떨어지지 않도록 상기 유지면을 이동시키는 것을 특징으로 하는 (12) ∼ (14) 중 어느 하나에 기재된 밀착 노광 방법.

(16) 상기 기판과 마스크 사이의 간극을 검출하는 센서를 추가로 구비하고,

상기 마스크와 기판을 밀착시킬 때, 상기 센서에 의해 검출된 간극에 따라, 상기 각 에어 유통 구멍으로부터 분출되는 에어의 압력 또는 유량을 제어하는 것을 특징으로 하는 (12) ∼ (15) 중 어느 하나에 기재된 밀착 노광 방법.

여기서, 「각 에어 유통 구멍을 유통하는 에어의 압력 또는 유량을 제어한다」란, 에어 유통 구멍을 대기 개방하는 경우도 포함된다.

본 발명의 밀착 노광 장치 및 밀착 노광 방법에 의하면, 유지면에는, 에어가 유통되는 복수의 제 1 에어 유통 구멍 및 복수의 제 1 에어 유통 구멍보다 외측에 형성된 복수의 제 2 에어 유통 구멍이 기판의 이면을 향하여 개구되어 복수의 제 2 에어 유통 구멍이 개구되는 영역의 내주측 및 외주측에는, 기판의 이면과 접촉 가능한 고리 형상의 내주측 탄성 부재 및 외주측 탄성 부재가 각각 배치되고, 각 에어 유통 구멍을 유통하는 에어의 압력 또는 유량을 제어함으로써, 마스크와 기판을 밀착시키도록 하였다. 따라서, 기판과 마스크의 어긋남을 방지하고, 또한 밀착 성능을 향상시킬 수 있어 노광 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또, 본 발명의 밀착 노광 장치 및 밀착 노광 방법에 의하면, 유지면에는, 기판의 이면에 맞닿을 수 있는 복수의 돌기와, 기판의 이면을 향하여 개구되어 에어가 유통되는 복수의 에어 유통 구멍이 형성되고, 각 에어 유통 구멍으로부터 기판을 향하여 분출되는 에어의 압력 또는 유량을 제어함으로써, 마스크와 기판을 밀착시키도록 하였다. 따라서, 기판과 마스크의 밀착 성능을 향상시킬 수 있어 노광 정밀도를 향상시킬 수 있다. 또한, 유지면에 형성된 돌기에 의해 기판과 유지면 사이에서 마찰에 의해 발생되는 기판의 손상을 방지할 수 있다.

도 1 은 본 발명에 관련된 제 1 실시형태의 밀착 노광 장치의 측면 단면도이다.
도 2 는 도 1 구성의 화살표 II 로 나타내는 부위를 확대한 도면이다.
도 3 은 도 1 에 나타내는 기판 유지부의 유지면의 상면도이다.
도 4 는 제 2 에어 유통 구멍으로부터 에어를 흡인하여 기판의 주연부를 유지면에 구속하는 상태를 나타내는 도 3 의 IV-IV 선을 따른 단면도이다.
도 5 는 제 1 에어 유통 구멍을 대기 개방하고, 밀봉 공간을 부압으로 함으로써, 주연부가 유지면에 구속된 기판의 중앙부가 상방으로 탄성 변형되는 상태를 나타내는 도 3 의 IV-IV 선을 따른 단면도이다.
도 6 은 기판이 탄성 변형되어 기판의 중앙부에서부터 마스크로 밀착되는 상태를 나타내는 도 3 의 IV-IV 선을 따른 단면도이다.
도 7 은 제 2 에어 유통 구멍이 대기 개방되고 주연부의 구속이 개방된 기판이 마스크에 밀착되는 상태를 나타내는 도 3 의 IV-IV 선을 따른 단면도이다.
도 8 은 제 2 실시형태의 기판 유지부의 유지면의 상면도이다.
도 9(a), (b) 는, 마스크와 기판을 밀착시키는 과정을 나타내는 도 8 의 IX-IX 선을 따른 단면도이다.
도 10 은 제 2 실시형태의 제 1 변형예에 관련된 마스크와 기판을 밀착시킨 상태를 나타내는 도 8 의 IX-IX 선을 따른 단면도이다.
도 11 은 제 2 실시형태의 제 2 변형예에 관련된 기판 유지부의 유지면의 상면도이다.
도 12 는 마스크와 기판을 밀착시키는 과정을 나타내는 도 11 의 XII-XII 선을 따른 단면도이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 각 실시형태에 대해 설명한다.

(제 1 실시형태)

도 1 은, 제 1 실시형태에 관련된 밀착 노광 장치의 측면 단면도이다. 도 2 는 도 1 구성의 화살표 II 로 나타내는 부위를 확대한 도면이다. 또한, 도 1, 2 에 있어서, 노광광의 일부를 차폐하는 어퍼쳐 기구는 생략하고 있다.

본 실시형태의 밀착 노광 장치 (CE) 는, 도 1 에 있어서 베이스 (1) 는 정반 (定盤) (G) 상에 재치 (載置) 되어 있다. 베이스 (1) 상에는 프레임 (3) 이 설치되어 있다. 프레임 (3) 은, 하단이 베이스 (1) 의 가장자리에 고정된 다리부 (3a) 와, 다리부 (3a) 의 상단에 부착된 사각형 프레임 형상의 천장판 (3b) 으로 이루어진다. 천장판 (3b) 의 중앙에는 사각형 개구가 형성되고, 그 주위에 마스크 (M) 의 주위를 흡착 유지시킨 마스크 유지부 (4) 가 부착되어 있다. 또, 천장판 (3b) 에는 피노광재로서의 워크 (기판) (W) 와 마스크 (M) 의 간극을 검출하는 센서 (20) 가 부착되어 있다. 마스크 (M) 에는 워크 (W) 에 노광해야 할 패턴이 묘화되어 있다.

베이스 (1) 의 상면에는, 4 개의 가이드 레일 (5) 이 평행하게 또한 도 1 에서 좌우 방향 (X 축 방향) 으로 연장되도록 배치되어 있다. 각 가이드 레일 (5) 을 따라 슬라이더 (6) 가 자유롭게 이동할 수 있도록 형성되어 있다. 슬라이더 (6) 는 X 축 스테이지 (7) 의 하면에 부착되어 있다. 베이스 (1) 와 X 축 스테이지 (7) 사이에는, X 축 리니어 모터 (도시 생략) 가 형성되고, 베이스 (1) 에 대해 X 축 스테이지 (7) 를 X 축 방향으로 구동 가능하게 되어 있다.

X 축 스테이지 (7) 의 상면에는, 4 개의 가이드 레일 (9) 이 평행하게 또한 도 1 에서 지면 수직 방향 (Y 축 방향) 으로 연장되도록 배치되어 있다. 각 가이드 레일 (9) 을 따라 슬라이더 (10) 가 자유롭게 이동할 수 있도록 형성되어 있다. 슬라이더 (10) 는 Y 축 스테이지 (13) 의 하면에 부착되어 있다. X 축 스테이지 (7) 와 Y 축 스테이지 (13) 사이에는, Y 축 리니어 모터 (12) 가 형성되고, X 축 스테이지 (7) 에 대해 Y 축 스테이지 (13) 를 Y 축 방향으로 구동 가능하게 되어 있다. Y 축 스테이지 (13) 와 그 상방에 형성된 기판 유지부 (11) 사이에는, 유지면 (11a) 을 도 1 에서 상하 방향 (Z 축 방향) 및 기울기 방향으로 이동하도록 기판 유지부 (11) 를 구동시키는 Z 축 구동부 (기판 구동부) (14) 가 형성된다. 기판 유지부 (11) 는 워크 (W) 를 유지하는 유지면 (11a) 을 구성한다.

도 2 에 있어서, 센서 (20) 는 천장판 (3b) 의 상면에 부착된 가이드 레일 (3c) 에 대해 슬라이더 (21) 를 통해 이동 가능하게 지지된 지지부 (22) 와, 지지부 (22) 의 선단에 부착된 측정부 (23) 로 구성되어 있다. 측정부 (23) 는 발광부 (23a) 와 수광부 (23b) 를 포함한다. 또한, 지지부 (22) 는 도시 생략된 리니어 모터에 의해 가이드 레일 (3c) 을 따라 임의의 위치로 구동되도록 되어 있다. 센서 (20) 는 복수 (예를 들어 4 개) 형성하면 바람직하다. 또한, 센서 (20) 로서는, 광학식 투과형, 와전류식, 초음파형의 것이어도 된다.

또, 마스크 유지부 (4) 의 상방에는, 유지면 (11a) 에 유지된 워크 (W) 에 노광용 광을 마스크 (M) 를 통해 조사하는 도시 생략된 조명 광학계가 배치되어 있다.

도 3 및 도 4 에 나타내는 바와 같이, 기판 유지부 (11) 의 유지면 (11a) 에는, 워크 (W) 의 이면을 향하여 개구되어 에어가 유통되는 복수의 제 1 에어 유통 구멍 (31) 과, 그 복수의 제 1 에어 유통 구멍 (31) 보다 외측에 형성된 복수의 제 2 에어 유통 구멍 (32) 과, 도시 생략된 워크 로더에 의해 워크 (W) 를 유지면 (11a) 에 반송할 때에 유지면 (11a) 으로부터 진출하는 복수의 핀 (도시 생략) 이 진퇴 가능한 복수의 핀 구멍 (도시 생략) 이 형성되어 있다. 복수의 제 2 에어 유통 구멍 (32) 은, 워크 (W) 이면의 주연부 (15) 에 대응되고 대략 사각형 프레임 형상의 영역 (E) 내에 개구되어 있다. 또, 유지면 (11a) 에는, 영역 (E) 의 내주측 및 외주측에, 워크 (W) 의 이면과 접촉 가능한 고리 형상의 내주측 탄성 부재 (33) 및 외주측 탄성 부재 (34) 가 각각 배치되어 있다.

외주측 탄성 부재 (34) 보다 더 외주측의 유지면 (11a) 에는, 마스크 (M) 및 워크 (W) 를 둘러싸도록 고리 형상으로 형성되고, 마스크 유지부 (4) 의 이면 (4a) 에 맞닿으며 마스크 유지부 (4) 와 기판 유지부 (11) 사이를 밀봉 가능한 탄성의 밀봉 부재 (35) 가 형성되어 있다. 이로써, 도 2 및 도 4 에 나타내는 바와 같이 마스크 (M), 마스크 유지부 (4), 기판 유지부 (11) 및 밀봉 부재 (35) 에 의해 둘러싸인 밀봉 공간 (S) 이 획성된다. 또, 마스크 유지부 (4) 에는, 밀봉 공간 (S) 에 연통되는 흡인 구멍 (36) 이 형성되어 있다.

복수의 제 2 에어 유통 구멍 (32) 및 흡인 구멍 (36) 은, 모두 도시 생략된 배관을 통해 진공 펌프 등의 부압 발생 장치에 접속되어 있다. 배관 도중에 형성된 레귤레이터나 밸브 등은, 제어 수단 (30) (도 1 참조) 에 의해 제어되고, 부압 발생 장치를 작동시켜 흡인 구멍 (36) 으로부터 에어를 흡인함으로서 밀봉 공간 (S) 내를 부압으로 하고, 또, 복수의 제 2 에어 유통 구멍 (32) 으로부터 에어를 흡인하거나 혹은 대기 개방한다.

이와 같이 구성된 밀착 노광 장치 (CE) 에서는, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 마스크 유지부 (4) 에 마스크 (M) 를 흡착 유지하고, 기판 유지부 (11) 의 유지면 (11a) 상에 워크 (W) 를 재치하고, 밀봉 부재 (35) 로 마스크 유지부 (4) 와 기판 유지부 (11) 사이를 밀봉하여 마스크 (M), 마스크 유지부 (4), 기판 유지부 (11) 및 밀봉 부재 (35) 에 의해 밀봉 공간 (S) 을 획성한다.

제어 수단 (30) 은, 흡인 구멍 (36) 으로부터 밀봉 공간 (S) 내의 에어를 흡인하여 그 밀봉 공간 (S) 을 감압시킨다. 또, 감압 직후, 복수의 제 2 에어 유통 구멍 (32) 으로부터 에어를 흡인함으로써, 내주측 탄성 부재 (33) 및 외주측 탄성 부재 (34) 로 둘러싸인 영역 (E) 내를 감압하여 워크 (W) 이면의 주연부 (15) 를 유지면 (11a) 에 구속한다.

이로써, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 주연부 (15) 가 유지면 (11a) 에 구속된 워크 (W) 는, 복수의 제 1 에어 유통 구멍 (31) 이 대기 개방되어 있으므로, 표면측 (밀봉 공간 (S)) 의 부압에 의해 중앙 부분이 상방으로 부풀어 올라, 곧 마스크 (M) 에 밀착된다. 이 때, 워크 (W) 에는 탄성 변형에 의한 전단 변형이 발생된다. 그러나, 이 전단 변형은, 탄성체인 내주측 탄성 부재 (33) 및 외주측 탄성 부재 (34) 에 의해 완화되므로 워크 (W) 가 파단될 우려는 없다. 또, 워크 (W) 가 마스크 (M) 에 접촉되었을 때에는, 마스크 (M) 로부터 받는 힘에 의해 워크 (W) 의 주연부 (15) 는, 복수의 제 2 에어 유통 구멍 (32) 으로부터 에어를 흡인을 하지 않아도 내주측 탄성 부재 (33) 와 외주측 탄성 부재 (34) 에 의해 밀착되어 기판 유지부 (11) 에 구속될 수 있다. 따라서, 이 경우에는, 그 후에는 복수의 제 2 에어 유통 구멍 (32) 으로부터의 흡인을 실시하지 않는다.

도 6 에 나타내는 바와 같이, 밀봉 공간 (S) 이 더욱 감압되면, 마스크 (M) 와 워크 (W) 와 접촉 영역이 중앙부에서부터 서서히 외측으로 넓어져, 곧 밀봉 공간 (S) 내의 압력이 소정의 기준 부압에 도달한다. 그리고, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 밀봉 공간 (S) 내의 압력이 소정의 기준 부압에 도달했을 때, 제어 수단 (30) 은 복수의 제 2 에어 유통 구멍 (32) 을 대기 개방한다. 이로써, 주연부 (15) 가 유지면 (11a) 에 구속되어 탄성 변형된 워크 (W) 는, 이 구속력이 개방됨으로써 주연부 (15) 가 유지면 (11a) 으로부터 떨어지고, 위치 어긋남이 발생하지 않아 마스크 (M) 의 평탄도를 따라 마스크 (M) 에 밀착된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시형태의 밀착 노광 장치 (CE) 및 밀착 노광 방법에 의하면, 유지면 (11a) 에는, 워크 (W) 의 이면을 향하여 개구되는 복수의 제 1 에어 유통 구멍 (31) 및 복수의 제 1 에어 유통 구멍 (31) 보다 외측에 형성된 복수의 제 2 에어 유통 구멍 (32) 이 형성되고, 복수의 제 2 에어 유통 구멍 (32) 이 개구되는 영역 (E) 의 내주측 및 외주측에, 워크 (W) 의 이면과 접촉 가능한 고리 형상의 내주측 탄성 부재 (33) 및 외주측 탄성 부재 (34) 가 각각 배치되고, 제어 수단 (30) 에 의해 각 에어 유통 구멍 (31, 32) 을 유통하는 에어의 압력 또는 유량을 제어함으로써, 마스크 (M) 와 워크 (W) 를 밀착시키도록 하였다. 따라서, 내주측 탄성 부재 (33) 및 외주측 탄성 부재 (34) 에 의해 워크 (W) 에서 발생하는 전단 변형을 경감시켜 워크 (W) 의 파단을 방지하고, 워크 (W) 와 마스크 (M) 의 밀착 성능을 향상시켜 노광 정밀도를 향상시킬 수 있다. 또, 워크 (W) 는 중앙 부분에서부터 마스크 (M) 에 접촉되고, 접촉 영역을 서서히 외주측으로 넓혀 최종적으로 전면이 접촉되므로, 마스크 (M) 와 워크 (W) 의 위치가 어긋나는 일 없이 밀착된다.

또, 워크 (W) 이면의 주연부 (15) 에 대응되는 영역 (E) 에 개구되는 복수의 제 2 에어 유통 구멍 (32) 을 흡인함으로써, 워크 (W) 의 주연부 (15) 를 기판 유지부 (11) 에 구속시키므로, 확실히 워크 (W) 의 주연부 (15) 를 기판 유지부 (11) 에 구속시킬 수 있다.

또한, 마스크 유지부 (4) 와 기판 유지부 (11) 사이에는, 마스크 (M) 및 워크 (W) 를 둘러싸는 탄성의 밀봉 부재 (35) 가 형성되고, 마스크 (M), 마스크 유지부 (4), 기판 유지부 (11) 및 밀봉 부재 (35) 에 의해 둘러싸인 밀봉 공간 (S) 내의 에어를 흡인하여 감압시키므로, 워크 (W) 가 마스크 (M) 에 밀착된다.

또, 제어 수단 (30) 은, 복수의 제 1 에어 유통 구멍 (31) 을 대기 개방하고, 복수의 제 2 에어 유통 구멍 (32) 으로부터 에어를 흡인하고, 또한, 밀봉 공간 (S) 내의 에어를 흡인하여 밀봉 공간 (S) 내를 부압으로 하고, 밀봉 공간 (S) 내의 압력이 소정의 기준 부압에 도달했을 때, 복수의 제 2 에어 유통 구멍 (32) 을 대기 개방하므로, 워크 (W) 를 탄성 변형시켜 중앙 부분에서부터 서서히 마스크 (M) 에 접촉시킨 후, 유지면 (11a) (영역 (E)) 에 의한 주연부 (15) 의 구속을 개방하고, 워크 (W) 를 마스크 (M) 의 평탄도를 따라 위치 어긋나지 않고 밀착시킬 수 있다.

또한, 상기 실시형태에서는, 제 2 에어 유통 구멍 (32) 으로부터 에어를 흡인함으로써, 워크 (W) 의 주연부 (15) 를 기판 유지부 (11) 에 구속하고 있지만, 제 2 에어 유통 구멍 (32) 으로부터 에어를 흡인하지 않아도, 워크 (W) 의 주연부 (15) 를 내주측 탄성 부재 (33) 와 외주측 탄성 부재 (34) 에 밀착시켜, 워크 (W) 의 주연부 (15) 를 기판 유지부 (11) 에 구속시키도록 해도 된다.

(제 2 실시형태)

다음으로, 본 발명의 제 2 실시형태에 관련된 밀착 노광 장치 (CE) 및 밀착 노광 방법에 대해 도 8 및 도 9 를 참조하여 설명한다. 또한, 제 1 실시형태와 동일하거나 동등한 부분에 대해서는, 동일 부호를 붙여 설명을 생략 혹은 간략화한다.

도 8 에 나타내는 바와 같이, 기판 유지부 (11) 의 유지면 (11a) 에는, 워크 (W) 의 이면에 맞닿을 수 있는 복수의 돌기 (11b) 와, 워크 (W) 의 이면을 향하여 에어가 분출되는 복수의 에어 유통 구멍 (11c) 과, 도시 생략된 워크 로더에 의해 워크 (W) 를 유지면 (11a) 에 반송할 때에 유지면 (11a) 으로부터 진출하는 복수의 핀 (도시 생략) 이 진퇴 가능한 복수의 핀 구멍 (도시 생략) 이 형성되어 있다. 돌기 (11b) 의 역할로서는, 워크 (W) 와 유지면 (11a) 사이에서 마찰에 의해 발생되는 워크 (W) 의 손상을 작게 하기 위함이다. 돌기 (11b) 가 형성되어 있지 않은 경우, 워크 (W) 에 에어를 분출할 때에, 에어의 유량 또는 압력의 불균일이 발생하여, 워크가 기울어져 유지면 (11a) 에 접촉된 부분이 손상될 우려가 있다.

복수의 에어 유통 구멍 (11c) 에는, 도시되지 않은 팬, 블로어로부터 배관을 통과하는 에어가 공급되고, 에어의 압력 또는 유량은 제어 수단 (30) (도 1 참조.) 이 배관 도중에 형성된 레귤레이터나 밸브 등을 구동시킴으로서 제어되고, 워크 (W) 에 분출되는 에어의 양이 제어된다. 또한, 복수의 에어 유통 구멍 (11c) 은 임의로 배열 가능하고, 또, 에어의 분출은 배관이나 에어 유통 구멍 (11c) 의 배열에 따라 선택적으로 또한 독립적으로 실시할 수 있다.

이와 같이 구성된 밀착 노광 장치 (CE) 에서는, 마스크 유지부 (4) 에 유지된 마스크 (M) 와 기판 유지부 (11) 의 유지면 (11a) 에 유지된 워크 (W) 를 밀착시키도록 유지면 (11a) 에 형성된 복수의 에어 유통 구멍 (11c) 으로부터 워크 (W) 를 향하여 에어를 분출시킨다. 예를 들어, 도 9(a) 에 나타내는 바와 같이, 마스크 (M) 의 중앙 부근과 대향되는 워크 (W) 의 부분이 가장 높은, 워크 (W) 가 위로 볼록한 아치 형상이 되도록 각 에어 유통 구멍 (11c) 으로부터 분출되는 에어의 압력 또는 유량을 제어한다. 또한, 도 9(a), (b) 에 있어서, 에어 유통 구멍 (11c) 내의 화살표의 길이는, 에어의 유량 크기를 나타내고 있다.

또, 마스크 (M) 는, 통상적으로 중앙 부근이 휘므로, 제어 수단 (30) 은 각 에어 유통 구멍 (11c) 으로부터 분출되는 에어의 압력 또는 유량을, 마스크 (M) 의 중앙 부분에서부터 주위로 향함에 따라 증가하도록 제어한다. 이로써, 마스크 (M) 와 워크 (W) 사이의 중앙 부근에 모여 있는 공기를 주위로 향해 빼낼 수 있다.

그 후, 도 9(b) 에 나타내는 바와 같이, 마스크 (M) 의 평탄도를 따르게 하도록 각 에어 유통 구멍 (11c) 으로부터 분출되는 에어의 압력 또는 유량을 제어한다. 그리고, 제어 수단 (30) 은, 센서 (20) 을 주사시키고, 센서 (20) 에 의해 마스크 (M) 와 워크 (W) 사이에 간극이 확인된 경우에는, 각 에어 유통 구멍 (11c) 으로부터 분출되는 에어의 압력 또는 유량을 높여 마스크 (M) 와 워크 (W) 를 밀착시킨다.

또한, 워크 (W) 를 노광할 때에는, 마스크 (M) 와 워크 (W) 가 밀착하면서, 에어 유통 구멍 (11c) 으로부터 분출되는 에어에 의해 워크 (W) 가 유지면 (11a) 으로부터 떨어지지 않는 것이 바람직하다. 그래서, Z 축 구동부 (14) 는, 워크 (W) 가 유지면 (11a) 으로부터 떨어지지 않도록 유지면 (11a) 을 이동시킨다.

단, 도 10 에 나타내는 변형예와 같이, 워크 (W) 를 에어에 의해 부상시킨 상태로 노광해도 되고, 이 경우, 유지면 (11a) 의 돌기 (11b), 에어 유통 구멍 (11c) 등에 의한 전사 패턴으로의 영향을 확실히 방지할 수 있다.

또, 마스크 (M) 와 워크 (W) 를 밀착시키기 위해, 워크 (W) 의 균열을 고려 하면, 워크 (W) 의 두께는 2 ㎜ 이상인 것이 바람직하다. 한편, 마스크 (M) 의 평탄도를 따라 마스크와 워크 (W) 를 밀착시키기 위해서는, 워크 (W) 의 두께는 3 ㎜ 이하인 것이 바람직하다. 따라서, 워크 (W) 의 두께는 2 ∼ 3 ㎜ ± 0.2 ㎜ 인 것이 바람직하고, 노광 정밀도를 고려하면, 2.5 ㎜ ± 0.2 인 것이 보다 바람직하다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시형태의 밀착 노광 장치 (CE) 및 밀착 노광 방법에 의하면, 유지면 (11a) 에는, 워크 (W) 의 이면에 맞닿을 수 있는 복수의 돌기 (11b) 와, 워크 (W) 의 이면을 향하여 에어가 분출되는 복수의 에어 유통 구멍 (11c) 이 형성되고, 각 에어 유통 구멍 (11c) 으로부터 워크 (W) 를 향하여 분출되는 에어의 압력 또는 유량을 제어함으로서, 마스크 (M) 와 워크 (W) 를 밀착시키도록 하였다. 따라서, 워크 (W) 와 마스크 (M) 의 밀착 성능을 향상시킬 수 있어 노광 정밀도를 향상시킬 수 있다. 또, 유지면 (11a) 에 형성된 돌기 (11b) 에 의해 워크 (W) 와 유지면 (11a) 사이에서 마찰에 의해 발생되는 워크 (W) 의 손상을 방지할 수 있다.

또한, 본 실시형태의 변형예로서 도 11 및 도 12 에 나타내는 바와 같이, 유지면 (11a) 에는 적어도 하나의 에어 유통 구멍 (11c) 을 둘러싸도록 영역 (80a ∼ 80e) 을 획성하는, 워크 (W) 의 이면에 맞닿을 수 있는 구획벽 (11d) 이 형성되어도 된다. 또한, 구획벽 (11d) 은 돌기 (11b) 와 동등한 높이를 갖는다.

이와 같이 구획벽 (11d) 을 형성함으로써, 영역마다 에어의 압력 또는 유량을 제어하도록 해도 된다. 또, 예를 들어, 상기 실시형태와 마찬가지로 최초로 중앙의 영역 (80a) 내로부터 분출되는 에어의 유량을 크게 해 두고, 그 후, 마스크 (M) 의 평탄도를 따르게 하도록 그 외측의 고리 형상의 영역 (80b) 이나 그 주위의 장척 영역 (80c, 80d, 80e) 내로부터 분출되는 에어의 유량을 크게 하도록 해도 된다.

또한, 본 발명은 전술한 각 실시형태에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 적절히 변경 가능하다.

예를 들어, 본 발명에서는, 유지면 (11a) 은 적어도 복수의 돌기 (11b) 를 갖는 구성으로 했지만, 복수의 돌기 (11b) 를 형성하는 대신에 구획벽 (11d) 을 갖는 구성이어도 된다.

또한, 본 발명은, 2011년 9월 9일에 출원된 일본 특허 출원 (일본 특허 출원 제2011-197363호), 2012년 9월 3일에 출원된 일본 특허 출원 (일본 특허 출원 제2012-193297호) 에 기초하는 것으로, 그 내용은 여기에 참조로서 받아들여진다.

4 : 마스크 유지부
11 : 기판 유지부
11a : 유지면
11b : 돌기
11c : 에어 유통 구멍
11d : 구획벽
14 : Z 축 구동부 (기판 구동부)
15 : 주연부
20 : 센서
30 : 제어 수단
31 : 제 1 에어 유통 구멍
32 : 제 2 에어 유통 구멍
33 : 내주측 탄성 부재
34 : 외주측 탄성 부재
35 : 밀봉 부재
80a ∼ 80e : 흡착 영역
CE : 밀착 노광 장치
E : 제 2 에어 유통 구멍이 개구되는 영역
M : 마스크
S : 밀봉 공간
W : 워크 (기판)

Claims

노광해야 할 패턴을 갖는 마스크를 유지하는 마스크 유지부와,
피노광재로서의 기판을 유지하는 유지면을 갖는 기판 유지부와,
상기 유지면에 유지된 기판에, 노광용 광을 상기 마스크를 통해 조사하는 조명 광학계를 구비하고, 상기 마스크와 기판을 밀착시킨 상태에서 노광하는 밀착 노광 장치로서,
상기 유지면에는, 상기 기판의 이면을 향하여 개구되어 에어가 유통되는 복수의 에어 유통 구멍이 형성되고,
상기 복수의 에어 유통 구멍은, 복수의 제 1 에어 유통 구멍과, 그 복수의 제 1 에어 유통 구멍보다 외측에 형성된 복수의 제 2 에어 유통 구멍을 구비하고,
상기 유지면에는, 상기 복수의 제 2 에어 유통 구멍이 개구되는 영역의 내주측 및 외주측에, 상기 기판의 이면과 접촉 가능한 고리 형상의 내주측 탄성 부재 및 외주측 탄성 부재가 각각 배치되고,
상기 마스크와 기판을 밀착시키도록, 상기 각 에어 유통 구멍을 유통하는 에어의 압력 또는 유량을 제어하는 제어 수단이 형성되고,
상기 마스크 유지부와 상기 기판 유지부 사이에는, 상기 마스크 및 상기 기판을 둘러싸는 탄성의 밀봉 부재가 형성되고,
상기 마스크, 상기 마스크 유지부, 상기 기판 유지부 및 상기 밀봉 부재에 의해 둘러싸인 밀봉 공간은, 그 밀봉 공간 내의 에어를 흡인함으로써 감압되는 것을 특징으로 하는 밀착 노광 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 복수의 제 2 에어 유통 구멍이 개구되는 영역은, 상기 기판 이면의 주연부에 대응되어 있고,
상기 복수의 제 2 에어 유통 구멍을 흡인함으로써, 상기 기판의 주연부는 상기 기판 유지부에 구속되는 것을 특징으로 하는 밀착 노광 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 제어 수단은, 상기 복수의 제 1 에어 유통 구멍을 대기 개방하고, 상기 복수의 제 2 에어 유통 구멍으로부터 에어를 흡인하고, 또한, 상기 밀봉 공간 내의 에어를 흡인하여 상기 밀봉 공간 내를 부압 (負壓) 으로 하고,
상기 밀봉 공간 내의 압력이 소정의 기준 부압에 도달했을 때, 상기 복수의 제 2 에어 유통 구멍을 대기 개방하는 것을 특징으로 하는 밀착 노광 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 기판은, 상기 내주측 탄성 부재와 상기 외주측 탄성 부재에 밀착됨으로써, 상기 기판 유지부에 구속되는 것을 특징으로 하는 밀착 노광 장치.
노광해야 할 패턴을 갖는 마스크를 유지하는 마스크 유지부와,
피노광재로서의 기판을 유지하는 유지면을 갖는 기판 유지부와,
상기 유지면에 유지된 기판에, 노광용 광을 상기 마스크를 통해 조사하는 조명 광학계를 구비하고,
상기 유지면에는, 상기 기판의 이면에 개구되어 에어가 유통되는 복수의 에어 유통 구멍이 형성되고,
상기 복수의 에어 유통 구멍은, 복수의 제 1 에어 유통 구멍과, 그 복수의 제 1 에어 유통 구멍보다 외측에 형성된 복수의 제 2 에어 유통 구멍을 구비하고,
상기 유지면에는, 상기 복수의 제 2 에어 유통 구멍이 개구되는 영역의 내주측 및 외주측에, 상기 기판의 이면과 접촉 가능한 고리 형상의 내주측 탄성 부재 및 외주측 탄성 부재가 각각 배치되고,
상기 마스크 유지부와 상기 기판 유지부 사이에는, 상기 마스크 및 상기 기판을 둘러싸는 탄성의 밀봉 부재가 형성되고,
상기 마스크, 상기 마스크 유지부, 상기 기판 유지부 및 상기 밀봉 부재에 의해 밀봉 공간을 형성하는, 밀착 노광 장치를 사용하여 상기 마스크와 기판을 밀착시킨 상태에서 노광하는 밀착 노광 방법으로서,
상기 복수의 제 1 에어 유통 구멍을 대기 개방하고, 상기 복수의 제 2 에어 유통 구멍으로부터 에어를 흡인함으로써, 상기 기판의 주연부를 상기 기판 유지부에 구속하고, 상기 밀봉 공간 내의 에어를 흡인하여 상기 밀봉 공간 내를 부압으로 하고,
상기 밀봉 공간 내의 압력이 소정의 기준 부압에 도달했을 때, 상기 복수의 제 2 에어 유통 구멍을 대기 개방하는 것을 특징으로 하는 밀착 노광 방법.
노광해야 할 패턴을 갖는 마스크를 유지하는 마스크 유지부와,
피노광재로서의 기판을 유지하는 유지면을 갖는 기판 유지부와,
상기 유지면에 유지된 기판에, 노광용 광을 상기 마스크를 통해 조사하는 조명 광학계를 구비하고, 상기 마스크와 기판을 밀착시킨 상태에서 노광하는 밀착 노광 장치로서,
상기 유지면에는, 상기 기판의 이면에 맞닿을 수 있는 복수의 돌기와, 상기 기판의 이면을 향하여 개구되어 에어가 유통되는 복수의 에어 유통 구멍이 형성되고,
상기 마스크와 기판을 밀착시키도록, 상기 각 에어 유통 구멍으로부터 상기 기판을 향하여 분출되는 에어의 압력 또는 유량을 제어하는 제어 수단이 형성되고,
상기 유지면을 상하 방향으로 이동하도록 상기 기판 유지부를 구동시키는 기판 구동부를 추가로 구비하고,
상기 기판을 노광할 때, 상기 기판 구동부는, 상기 에어 유통 구멍으로부터 분출되는 에어에 의해 상기 기판이 상기 유지면으로부터 떨어지지 않도록 상기 유지면을 이동시키는 것을 특징으로 하는 밀착 노광 장치.
제 6 항에 있어서,
상기 제어 수단은, 상기 각 에어 유통 구멍으로부터 분출되는 에어의 압력 또는 유량을, 상기 마스크의 중앙 부분에서부터 주위로 향함에 따라 증가하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 밀착 노광 장치.
제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,
상기 유지면에는, 적어도 하나의 상기 에어 유통 구멍을 둘러싸도록 영역을 구획하고 형성하는, 상기 기판의 이면에 맞닿을 수 있는 구획벽이 형성되는 것을 특징으로 하는 밀착 노광 장치.
제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,
상기 기판과 마스크 사이의 간극을 검출하는 센서를 추가로 구비하고,
상기 제어 수단은, 상기 센서에 의해 검출된 간극에 따라, 상기 각 에어 유통 구멍으로부터 분출되는 에어의 압력 또는 유량을 제어하는 것을 특징으로 하는 밀착 노광 장치.
노광해야 할 패턴을 갖는 마스크를 유지하는 마스크 유지부와,
피노광재로서의 기판을 유지하는 유지면을 갖는 기판 유지부와,
상기 유지면에 유지된 기판에, 노광용 광을 상기 마스크를 통해 조사하는 조명 광학계를 구비하고, 상기 마스크와 기판을 밀착시킨 상태에서 노광하는 밀착 노광 방법으로서,
상기 유지면에는, 상기 기판의 이면에 맞닿을 수 있는 복수의 돌기와, 상기 기판의 이면에 개구되어 에어가 유통되는 복수의 에어 유통 구멍이 형성되고,
상기 각 에어 유통 구멍으로부터 상기 기판을 향하여 분출되는 에어의 압력 또는 유량을 제어함으로써, 상기 마스크와 기판을 밀착시키고,
상기 유지면을 상하 방향으로 이동하도록 상기 기판 유지부를 구동시키는 기판 구동부를 추가로 구비하고,
상기 기판을 노광할 때, 상기 기판 구동부는, 상기 에어 유통 구멍으로부터 분출되는 에어에 의해 상기 기판이 상기 유지면으로부터 떨어지지 않도록 상기 유지면을 이동시키는 것을 특징으로 하는 밀착 노광 방법.
제 10 항에 있어서,
상기 마스크와 기판을 밀착시킬 때, 상기 각 에어 유통 구멍으로부터 분출되는 에어의 압력 또는 유량을, 상기 마스크의 중앙 부분에서부터 주위로 향함에 따라 증가하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 밀착 노광 방법.
제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
상기 유지면에는, 적어도 하나의 상기 에어 유통 구멍을 둘러싸도록 영역을 구획하고 형성하는, 상기 기판의 이면에 맞닿을 수 있는 구획벽이 형성되는 것을 특징으로 하는 밀착 노광 방법.
제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
상기 기판과 마스크 사이의 간극을 검출하는 센서를 추가로 구비하고,
상기 마스크와 기판을 밀착시킬 때, 상기 센서에 의해 검출된 간극에 따라, 상기 각 에어 유통 구멍으로부터 분출되는 에어의 압력 또는 유량을 제어하는 것을 특징으로 하는 밀착 노광 방법.
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