KR101117896B1

KR101117896B1 - 노광 장치

Info

Publication number: KR101117896B1
Application number: KR1020100055758A
Authority: KR
Inventors: 히로유끼 간다; 가즈유끼 나까노; 가즈마사 세끼
Original assignee: 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
Priority date: 2009-07-03
Filing date: 2010-06-14
Publication date: 2012-02-24
Also published as: JP5190034B2; JP2011013565A; CN101943866A; KR20110003255A; TW201107902A; CN101943866B

Abstract

본 발명의 과제는, 대형화의 방향에 있는 마스크보다도 더욱 큰 기판으로의 노광이라도, 미세한 도트 패턴이 전사되는 일이 없는 노광 장치를 제공하는 것이다.
노광 장치에 있어서, 마스크(100)를 하방으로부터 마스크 홀더로 압박하는 마스크 리프터(101)와, 마스크의 위치 조정을 행하기 위한 마스크 푸셔(102)와, 마스크의 위치 조정시에, 마스크와 마스크 홀더 사이의 마찰 저항을 저감시키기 위한 가스를 공급하는 개구부(103-11)를 구비한 마스크 홀더를 갖는다.

Description

노광 장치 {EXPOSURE DEVICE}

본 발명은, 대형의 마스크를 사용하여 근접 노광을 행하는 노광 장치에 관한 것이다.

마스크의 반송 기구나 세팅 기구를 갖는 근접 노광 장치에 대해서는, 예를 들어 특허 문헌 1이나 2에 개시되어 있다.

[특허 문헌 1] 일본 특허 출원 공개 제2006-86332호 공보 [특허 문헌 2] 일본 특허 출원 공개 평6-267816호 공보

근접 노광을 행하는 노광 장치의 개략도를 도 7에 도시한다. 본 장치에서는, 노광용 스테이지가 2개 있고, 각각의 스테이지 상에 적재된 기판이 교대로 노광되는 구성을 갖는다. 본 장치를 사용하여 노광할 때의 노광용 기판의 장치 내에서의 움직임이나, 노광의 수순에 대해 설명한다. 또한, 부호 215는 근접 노광 장치와 반송 라인 사이의 노광용 기판의 출납을 도시한다.

도 8은 노광용 기판이 노광 장치 내에서 이동하는 수순을 나타내는 흐름도이다. 우선, 노광용 기판(220)이 반송 라인(210)으로 운반되어 오면, L 반송용 로봇(204-1)에 의해 반송 라인(210)으로부터 온도 조절 플레이트(206)로 반송된다(S801). 다음에, 앞의 노광용 기판이 L 스테이지(203-1)로부터 반송 라인(210)으로 불출된 후, 노광용 기판(220)은 온도 조절 플레이트(206)로부터 L 스테이지(203-1)로 반송된다(S802).

다음에, R 스테이지(203-2)에 적재되어 있었던 앞의 노광용 기판의 노광이 종료되어 R 스테이지(203-2)가 마스크 설치부(207)의 하방으로부터 이동한 후, 노광용 기판(220)이 적재된 L 스테이지(203-1)가 마스크 설치부(207)의 하방으로 이동한다(S803). 부호 204-2는 R 반송용 로봇이다. 계속해서, 램프 하우스(205)로부터 유도된 자외광에 의해 기판(220)을 노광한다(S804). 다음에, L 스테이지(203-1)를 마스크 설치부(207)의 하방으로부터 이동한다(S805). 그 후, 기판(220)을 반송 라인(210)으로 반송하고, 노광 처리가 종료된다.

다음에, 노광용 기판(220)이 마스크 설치부(207) 하부로 반송된 후 노광될 때까지의 수순을, 도 9를 이용하여 설명한다. 기판(220)이 마스크 설치부(207)의 하방으로 이동하면, 간격 조정용 카메라나 얼라인먼트용 카메라가 세트된다(S901). 다음에, 간격 조정용 카메라를 이용하여 마스크와 기판(220) 사이의 간격이 150 내지 300㎛가 되도록 마스크측의 높이 방향(z 방향) 구동 기구를 이용하여 조정한다(S902).

다음에, 기판(220)과 마스크의 얼라인먼트를 취한다(S903). 이 얼라인먼트의 모습을 도 5a, 도 5b를 이용하여 설명한다. 도 5a는 마스크의 개략 평면도이고, 도 5b는 마스크와 기판의 얼라인먼트의 모습을 설명하기 위한 마스크 설치부의 개략 단면도이다. 마스크(100)의 노광 에어리어(140)의 4코너에 설치된 얼라인먼트 마크(141)와, 기판(220)에 설치된 얼라인먼트 마크(142)가, 기준 위치로 이동하여 세트되어 있는 얼라인먼트용 카메라(150)의 시야 내가 되도록 L 스테이지(203-1)의 위치(x 방향, y 방향, θ 방향)를 조정한다. 부호 145는 패턴 에어리어이다. 또한, 마스크(100)는 마스크 홀더(104)에 설치된 마스크 전용 흡착 구멍(103-2)에 의해 마스크 홀더(104)에 흡착되어 있다.

그 후, 간격 조정용 카메라나 얼라인먼트용 카메라를 노광 영역으로부터 퇴피시키고(S904), 노광을 행한다(S905). 노광은, 램프 하우스(205)로부터 유도되고, 조도가 50mW/㎠(평방센티미터) 정도인 자외선(UV)을 이용하여 수초간 행한다. 기판(220)이, 예를 들어 4개의 노광 영역을 갖고 있는 경우에는, 기판(220)의 다른 3개의 소정 영역을 노광하기 위해, L 스테이지(203-1)를 이동하여 나머지 3회의 노광을 더 행하고, 노광 처리가 종료된다. 또한, 노광 횟수는 기판의 크기(노광 영역의 수)에 따라 바뀌는 것은 물론이다.

이상과 같이, 기판(220)을, 노광 장치(200)를 사용하여 노광한 결과, 기판 표면에 소정의 패턴 이외의 미세한 부정형의 도트 패턴이 베이킹되는 것이 발견되었다. 현상의 패턴에서는 문제가 없지만, 패턴 치수가 미세화된 경우에는 문제가 될 것이라 생각된다.

특허 문헌 1에는, 대형 사이즈의 기판을 사용해도 마스크 보유 지지 기구가 대형으로 되지 않아, 소형화를 도모할 수 있는 근접 노광 장치의 마스크 반송 장치가 개시되어 있다. 그러나 상기 미세 도트 패턴에 관한 교시나 시사는 없다. 특허 문헌 2에는, 마스크를 마스크 홀더의 상방에 배치하고, 하방으로부터 마스크를 보유 지지하는 기술에 의해, 마스크에 손상을 부여하지 않고, 파티클의 발생을 방지하고, 간단한 구성으로 마스크의 위치 정렬을 행할 수 있다고 기재되어 있다. 그러나 특허 문헌 2에서는, 기판이 마스크보다도 큰 경우에는 기판과 마스크의 거리를 마스크 지지 부재의 두께 이상으로 근접시킬 수 없으므로, 근접 노광을 행하는 것이 곤란하다.

본 발명의 목적은, 대형화의 방향에 있는 마스크보다도 더 큰 기판으로의 노광이라도, 미세한 도트 패턴이 전사되는 일이 없는 근접 노광을 행하는 노광 장치를 제공하는 데 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 일 형태로서, 마스크 흡착 구멍을 구비한 마스크 홀더와, 마스크를 하방으로부터 상기 마스크 홀더로 압박하는 마스크 리프터와, 상기 마스크의 위치 조정을 행하기 위한 마스크 푸셔와, 상기 마스크에 형성된 패턴이 전사되는 기판을 적재하기 위한 스테이지를 갖는 근접 노광을 행하는 노광 장치에 있어서, 상기 마스크의 위치 조정시에, 상기 마스크 홀더에 설치되고, 상기 마스크와 상기 마스크 홀더 사이의 마찰 저항을 저감시키기 위한 가스를 공급하는 개구부를 더 갖는 것을 특징으로 하는 노광 장치로 한다.

또한, 온도 조절 플레이트와, 노광용 기판을 적재하는 노광용 스테이지와, 상기 노광용 기판을 반송 라인으로부터 상기 온도 조절 플레이트로, 또한 상기 온도 조절 플레이트로부터 상기 노광용 스테이지로, 또한 상기 노광용 스테이지로부터 상기 반송 라인으로 상기 기판을 반송하는 반송 로봇과, 상기 노광용 스테이지에 적재된 상기 기판에 전사하는 패턴이 형성된 마스크가 세트되는 마스크 설치부와, 상기 마스크를 노광하기 위한 램프 하우스를 구비한 근접 노광을 행하는 노광 장치에 있어서, 상기 마스크 설치부는, 마스크를 하방으로부터 상기 마스크 홀더로 압박하는 마스크 리프터와, 상기 마스크의 위치 조정을 행하기 위한 마스크 푸셔와, 상기 마스크를 흡착하는 마스크 흡착 구멍 및 상기 마스크의 위치 조정시에 상기 마스크와 상기 마스크 홀더 사이의 마찰 저항을 저감시키기 위한 가스를 공급하는 개구부를 구비한 마스크 홀더를 갖는 것을 특징으로 하는 노광 장치로 한다.

마스크보다도 더 큰 기판으로의 노광이라도, 미세한 도트 패턴이 전사되는 일이 없는 근접 노광을 행하는 노광 장치를 제공할 수 있다.

도 1a는 제1 실시예에 관한 노광 장치의 마스크 설치부의 개략 평면도.
도 1b는 도 1a의 YY 라인에서의 개략 단면도.
도 2a는 제1 실시예에 관한 노광 장치에 있어서의 마스크 설치 수순을 설명하기 위한 마스크 설치부의 개략 단면도.
도 2b는 제1 실시예에 관한 노광 장치에 있어서의 마스크 설치 수순을 설명하기 위한 마스크 설치부의 개략 단면도.
도 2c는 제1 실시예에 관한 노광 장치에 있어서의 마스크 설치 수순을 설명하기 위한 마스크 설치부의 개략 단면도.
도 3은 제1 실시예에 관한 노광 장치에 있어서의 마스크 위치 조정시의 마스크와 마스크 홀더의 위치 관계를 설명하기 위한 마스크 설치부 주요부의 개략 단면도.
도 4는 마스크의 설치 위치 조정의 모습을 설명하기 위한 마스크 설치부의 개략 단면도.
도 5a는 마스크의 개략 평면도.
도 5b는 마스크와 기판의 얼라인먼트 모습을 설명하기 위한 마스크 설치부의 개략 단면도.
도 6a는 마스크를 마스크 홀더로 보유 지지하는 수순을 설명하기 위한 마스크 설치부의 개략 단면도.
도 6b는 마스크를 마스크 홀더로 보유 지지하는 수순을 설명하기 위한 마스크 설치부의 개략 단면도.
도 6c는 마스크를 마스크 홀더로 보유 지지하는 수순을 설명하기 위한 마스크 설치부의 개략 단면도.
도 6d는 마스크를 마스크 홀더로 보유 지지하는 수순을 설명하기 위한 마스크 설치부의 개략 단면도.
도 7은 노광 장치의 구성을 도시하는 개략 평면도.
도 8은 노광용 기판이 노광 장치 내에서 이동하는 수순을 나타내는 흐름도.
도 9는 노광용 기판이 마스크 하부로 반송된 후 노광될 때까지의 수순을 나타내는 흐름도.

발명자들은, 소정의 패턴 이외의 미세한 부정형의 도트 패턴의 발생 원인에 대해 검토를 행하였다. 그 결과, 마스크(100)의 이면측(패턴 형성면과 반대측)에 미세한 이물질의 부착이 확인되었다. 따라서, 마스크(100)를 마스크 홀더(104)에 설치할 때까지의 수순을 재검토하였다. 도 4, 도 6a 내지 도 6d, 도 7을 이용하여 설치 수순을 설명한다.

우선, 마스크 스토커(201)에 보관되어 있는 마스크(100)가 반송 로봇(202)에 의해, 마스크 설치부(207)로 반송된다(도 7). 마스크 설치부에 있어서, 마스크(100)는 마스크 홀더(104)의 하부로 반송되어, 정지한다(도 6a). 다음에, 수지를 주성분으로 하는 패드(101-1)가 선단부에 설치된 마스크 리프터(101)를, 실린더를 이용하여 회전시켜, 하방으로 내린다(도 6b).

다음에, 선단부를 내린 채 마스크(100)의 하부까지 마스크 리프터(101)를 평행하게 이동시킨다(도 6c). 다음에, 마스크 리프터(101)를 역방향으로 회전시켜, 상방으로 밀어올려, 마스크(100)를 마스크 홀더(104)로 밀어 올린다(도 6d). 마스크 리프터(101) 1개당에 가해지는 하중은 현상은 3 내지 4㎏ 정도이지만, 장래는 8 내지 10㎏이 될 것이라고 예상된다. 부호 110은 마스크 리프터(101)의 움직임을 나타낸다.

그 후, 도 4에 도시한 바와 같이, 마스크(100)의 얼라인먼트를 행하기 위해 마스크 푸셔에 의해, 마스크(100)의 위치를 조정(120)하고 있었다. 이 얼라인먼트는, 도 5a에 도시하는 바와 같이 마스크(100)의 노광 에어리어(140)의 4코너에 설치된 얼라인먼트 마크(141)가, 기준 위치로 이동하여 세트되어 있는 얼라인먼트용 카메라(150)를 사용하여 시야 내에서 위치 오차가 약 30㎛ 이내가 되도록 마스크(100)를 푸셔로 눌러 위치 조정(120)을 행한다. 또한, 마스크(100)는 마스크 리프터(101)에 의해 마스크 홀더(104)에 압박되어, 보유 지지되어 있다.

이들의 수순을 상세하게 검토한 결과, 마스크 중량 증가에 수반되는 마찰 저항 증가에 의해, 이물질 발생의 가능성이 높아지는 것을 발견하였다. 즉, 마스크(100)가 대형화됨으로써, 그 중량이 무거워져, 그것을 밀어올리기 위해 마스크 리프터(101)에 가하는 실린더압이 높아져, 마스크가 마스크 홀더에 강력하게 압박되어 얼라인먼트를 위한 위치 조정에 의한 이동에서 이물질이 비산하기 쉬워지는 것을 알 수 있었다. 여기서 사용한 기판의 치수는 1850㎜×1500㎜이고 두께가 0.5 내지 0.7㎜이다. 또한, 마스크의 치수는 800㎜×920㎜이고 두께가 8㎜, 중량은 10 내지 15㎏이지만, 금후는 기판 치수가 2200×2500㎜, 마스크 치수가 1220×1400㎜이고 두께가 13㎜, 중량은 50㎏ 정도가 될 것이라고 예상되어, 이물질의 비산량의 증가가 우려된다.

본원 발명은, 상기 발견에 의해 생겨난 것이며, 마스크 홀더로부터 마스크를 향해 에어를 공급하고, 마스크와 마스크 홀더 사이의 마찰 저항을 저감시킴으로써, 이물질의 발생을 저감, 방지하는 것이다.

이하, 실시예에서 상세하게 설명한다.

[제1 실시예]

제1 실시예에 대해, 도 1a 내지 도 3을 이용하여 설명한다. 또한, 해결하려는 과제의 란에 기재되고, 본 실시예에 기재되지 않은 사항은 본 실시예에 있어서도 동일하다.

도 1a는 본 실시예에 관한 노광 장치의 마스크 설치부의 개략 평면도이다. 본 실시예에 있어서, 마스크(100)를 보유 지지하는 마스크 홀더(104)(미기재)에는 선단부가 광폭으로 되어 있는 홈(103-11, 103-22)을 갖는 마스크 흡착 겸 에어 블로우 구멍(103-1)(미기재)과 마스크 흡착 전용 구멍(103-2)(미기재)이 형성되어 있다. 본 실시예에서는 구멍의 직경이나 홈의 폭은 8㎜로 하였다. 또한, 홈의 길이는 10㎝로 하였다. 특히, 마스크 리프터(101)가 마스크(100)를 보유 지지한 경우, 마스크 리프터(101)의 위치와 마스크 흡착 겸 에어 블로우 구멍(103-1)의 선단부의 에어 블로우 겸 흡착 홈(103-11)의 위치가 연직 상방으로부터 보아 겹쳐지도록 배치하였다. 또한, 부호 102는 마스크 푸셔, 부호 103-22는 마스크 흡착 전용 구멍(103-2) 선단부의 흡착 전용 홈을 나타낸다.

도 1b는 도 1a의 YY 단면을 도시한다. 마스크(100)는 마스크 홀더(104)에 설치된 마스크 흡착 겸 에어 블로우 구멍(103-1)과, 마스크 흡착 전용 구멍(103-2)에 의해 마스크 홀더(104)의 하부에 흡착 보유 지지되어 있다.

다음에, 본 마스크 홀더를 사용하여 마스크를 보유 지지하는 수순에 대해 도 2a 내지 도 2c를 이용하여 설명한다. 마스크 반송 로봇에 의해 마스크 홀더 하부로 반송된 마스크를, 마스크 리프터로 보유 지지할 때까지는, 도 6a 내지 도 6d에 도시한 수순과 동일하다.

마스크(100)를 마스크 리프터(101)로 보유 지지한 상태를 도 2a에 도시한다. 그 후, 마스크 흡착 겸 에어 블로우 구멍(103-1)으로 에어를 공급하고, 마스크(100) 표면을 에어 블로우(130-1)한다(도 2b). 본 실시예에서는 에어 공급 압력을 0.6M파스칼(6kg/㎠)로 하였다.

이때의, 마스크 홀더와 마스크의 위치 관계의 개략을 도 3에 도시한다. 마스크 흡착 겸 에어 블로우 구멍(103-1)을 통과한 에어가 마스크(100)로 에어 블로우(130-1)된다. 이 에어 블로우(130-1)에 의해, 마스크(100)와 마스크 홀더(104) 사이에 가압 공기층(135)이 형성되어, 서로 비접촉 상태가 된다. 또한, 마스크 흡착 전용 구멍(103-2)의 하부에는 마스크 리프터(101)가 없으므로, 이 부분에서 마스크(100)는 다소 하방으로 변형된다.

이 상태에서 마스크(100)의 위치 조정(120)을, 마스크 푸셔(102)를 사용하여 행한다(도 2b). 조정의 수순은 도 4에서 설명한 바와 같다. 그 후, 마스크 흡착 겸 에어 블로우 구멍(103-1) 및 마스크 흡착 전용 구멍(103-2)을 이용하여 마스크(100)를 흡착하였다(도 2c). 이에 의해, 마스크(100)와 마스크 홀더(104) 사이에는 가압 공기층(135)이 형성되어, 비접촉이므로, 마스크(100)를 이동시켜도 마스크(100)와 마스크 홀더(104) 사이에서의 마찰에 의한 파티클의 발생이 없어, 마스크(100)로의 이물질 부착은 없어질 것이라 생각된다.

마스크의 위치 조정시에 마스크와 패드 사이에서 마찰이 발생하지만, 만일 진애가 발생해도 하방으로 낙하하므로(이 시점에서는 기판은 세트되어 있지 않은 경우도 있음), 문제로는 되지 않는다.

또한, 본 실시예에서는, 마스크 리프터(101)의 폭을 5㎝, 두께 8㎜로 하였다. 단, 에어 블로우 겸 흡착 홈(103-11)의 길이를 W1, 마스크 리프터의 폭을 W2로 한 경우, W1＜W2로 함으로써, 공급된 에어가 누설되기 어려워지므로, 보다 두꺼운 가압 공기층을 형성할 수 있어, 에어 블로우의 효과를 높일 수 있다. 동일한 두께의 가압 공기층을 형성하는 경우에는 에어량을 저감시킬 수 있다.

또한, 마스크 흡착 겸 에어 블로우 구멍(103-1)에 있어서의 에어 블로우와 흡착의 절환은, 에어 라인과, 진공 라인에 각각 전자기 밸브 등의 개폐 수단을 설치한 후에 이들을 병렬로 마스크 흡착 겸 에어 블로우 구멍(103-1)에 접속함으로써 행할 수 있다.

또한, 본 실시예에서는, 에어 블로우의 기능을 흡착 구멍과 겸용으로 하였지만, 각각 전용으로 할 수도 있다. 겸용인 경우에는, 좁은 흡착 영역을 흡착 영역으로서 유효하게 사용할 수 있다. 전용인 경우에는 흡착과 에어 블로우를 독립적으로 제어할 수 있다.

또한, 본 실시예에서는 에어를 사용하였지만, 다른 가스를 사용할 수도 있다. 단, 에어를 사용함으로써, 생산 비용을 억제할 수 있다.

또한, 본 실시예에서는, 에어 블로우용의 구멍을 마스크 리프터에 대향하는 위치에 배치하였지만, 마스크는 강성이 있으므로, 에어 블로우용 구멍과 마스크 리프터를 다른 위치로 할 수도 있다. 단, 동일한 두께의 가압 공기층을 형성하기 위해서는 에어량을 증가시킬 필요가 있다.

본 실시예에 따르면, 마스크와 마스크 홀더 사이에 가압 공기층을 형성한 상태에서 위치 조정을 행할 수 있으므로, 대형화의 방향에 있는 마스크보다도 더 큰 기판으로의 노광이라도, 미세한 도트 패턴이 전사되는 일이 없는 근접 노광 장치를 제공할 수 있다. 또한, 마스크와 마스크 홀더 사이의 마찰이 없으므로, 마찰에 의한 걸림이 없고, 미세한 거리의 이동이 가능해져, 위치 조정을 고정밀도로 행할 수 있는 근접 노광을 행하는 노광 장치를 제공할 수 있다.

[제2 실시예]

제2 실시예에 대해, 도 2a 내지 도 2c를 이용하여 설명한다. 또한, 해결하려는 과제의 란이나 제1 실시예에 기재되고, 본 실시예에 기재되지 않은 사항은 그들과 동일하다.

마스크를 보유 지지하는 수순에 대해 도 2a 내지 도 2c를 이용하여 설명한다. 마스크 반송 로봇에 마스크 홀더 하부로 반송된 마스크를, 마스크 리프터로 보유 지지할 때까지는, 도 6a 내지 도 6d에 도시한 수순과 동일하다.

마스크(100)를 마스크 리프터(101)로 보유 지지한 상태를 도 2a에 도시한다. 그 후, 마스크 흡착 겸 에어 블로우 구멍(103-1)으로 에어를 공급하여, 마스크(100) 표면을 에어 블로우(130-1)한다(도 2b). 본 실시예에서는 제1 실시예와는 달리, 에어 공급 압력을 0.2M파스칼(2kg/㎠)로 하였다. 이 압력에서는, 제1 실시예와는 달리, 가압 공기층(135)은 형성되지 않지만, 마스크(100)와 마스크 홀더(104)의 사이의 마찰을 저감시킬 수 있다.

이 상태에서 마스크(100)의 위치 조정(120)을, 마스크 푸셔(102)를 사용하여 행한다(도 2b). 조정의 수순은 도 4에서 설명한 바와 같다. 그 후, 마스크 흡착 겸 에어 블로우 구멍(103-1) 및 마스크 흡착 전용 구멍(103-2)을 이용하여 마스크(100)를 흡착(130-2)하였다(도 2c). 그 결과, 이 마스크(100)를 사용하여 노광을 행한 기판에는, 미세한 도트 패턴은 거의 보이지 않았다. 또한, 마스크(100)에의 진애의 부착도 거의 보이지 않았다.

이것은, 마스크(100)와 마스크 홀더(104) 사이의 마찰 저항을 저감시킬 수 있었으므로, 마스크(100)를 이동시켜도 마스크(100)와 마스크 홀더(104) 사이에서의 마찰에 의한 파티클 발생이 적어, 마스크(100)에의 이물질 부착을 저감시킬 수 있었기 때문이라고 생각된다.

본 실시예에 따르면, 마스크와 마스크 홀더 사이의 마찰 저항을 저감시킨 상태에서 위치 조정을 행할 수 있으므로, 대형화의 방향에 있는 마스크보다도 더 큰 기판으로의 노광이라도, 미세한 도트 패턴이 거의 전사되는 일이 없는 근접 노광 장치를 제공할 수 있다. 또한, 에어 블로우시키지 않고, 에어의 압력만을 이용하므로, 에어가 소비되지 않아, 생산 비용 저감이 도모되는 근접 노광을 행하는 노광 장치를 제공할 수 있다.

100 : 마스크
101 : 마스크 리프터
101-1 : 패드
102 : 마스크 푸셔
103-1 : 마스크 흡착 겸 에어 블로우 구멍
103-11 : 에어 블로우 겸 흡착 홈
103-2 : 마스크 흡착 전용 구멍
103-22 : 흡착 전용 홈
104 : 마스크 홀더
110 : 마스크 리프터의 이동 방향
120 : 마스크 푸셔의 이동에 의한 마스크 위치 조정
130-1 : 에어 블로우
130-2 : 마스크 흡착
135 : 가압 공기층
140 : 노광 에어리어
141 : 얼라인먼트 마크
145 : 패턴 에어리어
150 : 얼라인먼트용 카메라
200 : 노광 장치
201 : 마스크 스토커
202 : 마스크 반송용 로봇
203-1 : L 스테이지(좌측)
203-2 : R 스테이지(우측)
204-1 : L 반송용 로봇
204-2 : R 반송용 로봇
205 : 램프 하우스
206 : 온도 조절 플레이트
207 : 마스크 설치부
210 : 반송 라인
215 : 기판의 출납
220 : 노광용 기판

Claims

마스크 흡착 구멍을 구비한 마스크 홀더와, 마스크를 하방으로부터 상기 마스크 홀더로 압박하는 마스크 리프터와, 상기 마스크의 위치 조정을 행하기 위한 마스크 푸셔와, 상기 마스크에 형성된 패턴이 전사되는 기판을 적재하기 위한 스테이지를 갖는 근접 노광을 행하는 노광 장치에 있어서,
상기 마스크의 위치 조정시에, 상기 마스크 홀더에 설치되고, 상기 마스크와 상기 마스크 홀더 사이의 마찰 저항을 저감시키기 위한 가스를 공급하는 개구부를 더 갖는 것을 특징으로 하는, 노광 장치.
제1항에 있어서, 상기 개구부는, 마스크 흡착을 겸용하는 것인 것을 특징으로 하는, 노광 장치.
제1항에 있어서, 상기 개구부는, 가스 공급 전용인 것을 특징으로 하는, 노광 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 개구부는, 상기 마스크 리프터와 대향하는 위치에 배치되는 것인 것을 특징으로 하는, 노광 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 개구부는, 마스크측에 홈을 갖고,
상기 홈의 길이를 W1, 상기 마스크 리프터의 폭을 W2로 하였을 때,
W1＜W2
의 관계를 만족시키는 것인 것을 특징으로 하는, 노광 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 스테이지는, 상기 마스크보다도 큰 상기 기판을 적재하는 것인 것을 특징으로 하는, 노광 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가스는 에어인 것을 특징으로 하는, 노광 장치.
온도 조절 플레이트와, 노광용 기판을 적재하는 노광용 스테이지와, 상기 노광용 기판을 반송 라인으로부터 상기 온도 조절 플레이트로, 또한 상기 온도 조절 플레이트로부터 상기 노광용 스테이지로, 또한 상기 노광용 스테이지로부터 상기 반송 라인으로 상기 기판을 반송하는 반송 로봇과, 상기 노광용 스테이지에 적재된 상기 기판으로 전사하는 패턴이 형성된 마스크가 세트되는 마스크 설치부와, 상기 마스크를 노광하기 위한 램프 하우스를 구비한 근접 노광을 행하는 노광 장치에 있어서,
상기 마스크 설치부는,
마스크를 하방으로부터 상기 마스크 홀더로 압박하는 마스크 리프터와,
상기 마스크의 위치 조정을 행하기 위한 마스크 푸셔와,
상기 마스크를 흡착하는 마스크 흡착 구멍 및 상기 마스크의 위치 조정시에, 상기 마스크와 상기 마스크 홀더 사이의 마찰 저항을 저감시키기 위한 가스를 공급하는 개구부를 구비한 마스크 홀더를 갖는 것을 특징으로 하는, 노광 장치.