KR20160114485A - 부착 장치 - Google Patents

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KR20160114485A
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미츠오 우에무라
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가부시키가이샤 후쿠
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Abstract

대기 중에서, 만곡된 부재에 가요성을 가지는 부재를 기포의 혼입을 방지하면서 부착할 수 있는 부착 장치를 제공한다. 본 발명에 따른 부착 장치(1A)는, 내면(100a)이 위를 향한 제 1 부재(100)를 보지하는 부착 스테이지(2)와, 부착면(200a)이 제 1 부재(100)의 내면(100a)에 대향하도록 제 2 부재(200)를 보지하는 가요성을 가지는 캐리어 시트(4)와, 캐리어 시트(4)의 상방에 배치된 이동 가능한 부착 롤러(15)를 구비한다. 제어부는, 부착 롤러(15)를 하강시킴으로써 캐리어 시트(4)를 V 자 형상으로 변형시키고, 제 2 부재(200)의 일부분을 다른 부분에 선행하여 제 1 부재(100)에 부착하고, 그 후, 부착 롤러(15)를 제 1 부재(100)의 만곡 형상을 따라 이동시킴으로써, 제 2 부재(200)의 다른 부분을 제 1 부재(100)에 부착한다.

Description

부착 장치{ATTACHING APPARATUS}
본 발명은 가요성(可撓性)을 가지는 유기 EL 패널 등의 제 2 부재를 커버 글라스 등의 만곡된 제 1 부재에 부착할 때에 사용되는 부착 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 커버 글라스와 같은 부재에 대한 유기 EL 패널, 액정 패널, 터치 패널과 같은 부재의 부착에서는, 2 개의 부재의 사이에 기포가 혼입되지 않는 것이 매우 중요하다. 기포의 혼입은 표시 품질의 저하를 초래하고, 또한 박리의 원인이 된다.
기포의 혼입을 방지하면서 부착을 행할 수 있는 부착 장치로서는, 진공 중에서 부착을 행하도록 한 것이 알려져 있다. 이 타입의 부착 장치에서는, 부착을 행하기 전에, 진공 챔버 내로 2 개의 부재를 도입하고, 챔버 내의 진공 배기를 행한다. 그리고, 부착 완료 후, 챔버 내의 진공을 깨고, 접합된 2 개의 부재를 취출한다. 그러나, 이 부착 장치는, 대규모의 진공 챔버 등을 필요로 하는 것 외에, 부착을 행할 때마다 진공 배기를 행하기 때문에, 생산성이 낮다고 하는 문제가 있었다.
이 문제를 해소하기 위하여, 출원인은 도 9에 도시한 부착 장치(50)를 제안했다(특허 문헌 1 참조). 이 부착 장치(50)는, 롤러(54)를 화살표 방향으로 주행시킴으로써, 스테이지(51) 상에 재치된 제 1 판상(板狀) 부재(300)(터치 패널 또는 액정 패널)의 접착층(301)에 제 2 판상 부재(400)(커버 글라스)를 부착하는 장치로서, 부착 중에, 제 2 판상 부재(400)의 부착 시단(始端)부(400a)를 지지하는 필로우(52) 및 부착 종단(終端)부(400b)를 지지하는 필로우(53)의 높이를 제어함으로써, 부착 종단부(400b)를 부착 시단부(400a)보다 높은 위치로 유지하고, 제 2 판상 부재(400)의 아직 롤러(54)에 의해 압압되어 있지 않은 부분이 제 1 판상 부재(300)의 접착층(301)에 선부착되는 것을 방지하도록 구성되어 있다.
일본 특허공보 제4712886호
그러나, 상기 부착 장치(50)는, 제 2 판상 부재(400)가 곧은 평판 형상인 것을 전제로 하고 있고, 만곡된 부재에 가요성을 가지는 부재를 부착하는 것은 전혀 상정되어 있지 않다.
본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것으로서, 그 과제로 하는 바는, 대기 중에서 만곡된 부재에 가요성을 가지는 부재를 기포의 혼입을 방지하면서 부착할 수 있는 부착 장치를 제공하는 것에 있다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 부착 장치는, 내측을 향해 적어도 일부가 만곡된 제 1 부재의 내면에, 가요성을 가지는 제 2 부재의 부착면을 부착하는 부착 장치로서, 내면이 위를 향한 제 1 부재를 보지(保持)하는 제 1 보지부와, 부착면이 제 1 부재의 내면에 대향하도록 제 2 부재를 보지하는 가요성을 가지는 제 2 보지부와, 제 2 보지부의 상방에 배치된 이동 가능한 압압부와, 적어도 압압부의 이동을 제어하는 제어부를 구비하고, 제어부는 압압부를 하강시킴으로써, 압압부에 의해 직접적으로 압압된 제 2 보지부를 V 자 형상으로 변형시키고, 압압부에 의해 제 2 보지부를 사이에 두고 간접적으로 압압된 제 2 부재의 일부분을 다른 부분에 선행하여 제 1 부재에 부착하고, 그 후, 압압부를 제 1 부재의 만곡 형상을 따라 이동시킴으로써, 제 2 부재의 다른 부분을 제 1 부재에 부착하는 것을 특징으로 한다.
상기 부착 장치는, 제 2 보지부의 일단부를 지지하는 제 1 지지부와, 제 2 보지부의 타단부를 지지하는 제 2 지지부를 더 구비하고, 일단부 및 타단부가, 제 2 부재를 보지하는 영역의 외측에 위치하고, 또한 제 1 부재의 만곡 형상을 따른 압압부의 이동 방향에서 이간되어 있는 것이 바람직하다.
상기 부착 장치는, 1) 제 1 지지부 및 제 2 지지부 중 적어도 일방이, 제어부의 제어하에서 상하로 이동 가능한 것, 2) 제 1 지지부 및 제 2 지지부 중 적어도 일방이, 제 2 보지부의 장력을 미리 정해진 목표치로 하기 위한 장력 조정 수단을 구비하고 있는 것, 그리고 3) 압압부의 높이 제어가, 위치 제어와, 제 2 보지부로부터의 반력이 미리 정해진 임계치를 초과하지 않도록 하는 압력 제어를 조합한 복합 제어인 것이 더 바람직하다.
상기 부착 장치의 압압부는, 예를 들면 제 1 부재의 곡률 반경보다 반경이 작은 부착 롤러이다. 상기 부착 장치의 제 2 보지부는, 예를 들면 적어도 제 2 부재를 보지하는 영역에 흡착층 또는 점착층이 형성된 시트 형상 또는 필름 형상의 부재이다. 또한, 상기 부착 장치의 제 1 부재는, 예를 들면 커버 글라스이고, 제 2 부재는, 예를 들면 플렉시블 유기 EL 패널, 터치 패널, 또는 터치 패널 부착 플렉시블 유기 EL 패널이다.
본 발명에 따르면, 대기 중에서, 만곡된 부재(제 1 부재)에 가요성을 가지는 부재(제 2 부재)를 기포의 혼입을 방지하면서 부착할 수 있는 부착 장치를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 부착 장치의 측면도이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 부착 장치의 제어 블럭도이다.
도 3a ~ 도 3c는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 부착 장치에 의한 부착 동작을 도시한 도이다.
도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 부착 장치의 측면도이다.
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 부착 장치의 제어 블럭도이다.
도 6a ~ 6d는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 부착 장치에 의한 부착 동작을 도시한 도이다.
도 7은 본 발명의 변형예에 따른 부착 장치의 측면도이다.
도 8은 본 발명의 변형예에 따른 부착 장치의 제어 블럭도이다.
도 9는 종래의 부착 장치의 측면도이다.
이하에, 첨부 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 부착 장치의 실시예에 대하여 설명한다.
[제 1 실시예]
도 1에, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 부착 장치(1A)를 도시한다. 부착 장치(1A)는, 대기 중에서 제 1 부재(100)에 제 2 부재(200)를 부착하기 위한 장치이다. 본 실시예에서는, 제 1 부재(100)가 두께 0.3[mm] ~ 1.1[mm]의 커버 글라스이고, 제 2 부재(200)가 두께 10[μm] ~ 1000[μm]의 플렉시블 유기 EL 패널이다. 제 1 부재(100) 및 제 2 부재(200)는, 상기한 것에 한정되지 않는다. 다만, 본 발명에서는, 제 2 부재(200)가 가요성을 가지는 것 및 제 1 부재(100)가 실질적으로 가요성을 갖지 않는 것이 필요하다.
도 1에 도시한 바와 같이, 본 실시예의 제 1 부재(100)는, 그 전체가 내측을 향해 동일하게 만곡되어 있다. 또한, 제 2 부재(200)는, 도시하지 않은 접착제층 또는 점착제층이 전면에 형성된 부착면(200a)을 가진다. 제 2 부재(200)는, 부착면(200a)의 접착제층 또는 점착제층을 개재하여 제 1 부재(100)의 만곡된 내면(100a)에 부착된다.
부착 장치(1A)는, 기부(基部)에 고정된 부착 스테이지(2)를 구비하고 있다. 부착 스테이지(2)는, 수평인 재치면을 가지는 본체(2a)와, 본체(2a)의 재치면으로부터 돌출된 복수의 위치 결정용 돌기(2b)로 이루어진다. 제 1 부재(100)는, 본체(2a)와 위치 결정용 돌기(2b)에 의해, 내면(100a)이 위를 향한 상태로 보지된다.
부착 장치(1A)는, 가요성을 가지는 캐리어 시트(4)를 구비하고 있다. 캐리어 시트(4)는, 후술하는 제 1 척(5)에 의해 지지된 일단부(4b)와, 제 2 척(10)에 의해 지지된 타단부(4c)와, 아크릴계 약점착제층이 형성된 보지면(4a)을 가진다. 캐리어 시트(4)는, 이 보지면(4a)에서 제 2 부재(200)를 보지한다. 제 2 부재(200)는, 부착면(200a)이 아래를 향한 상태로 보지된다. 즉, 제 2 부재(200)는, 부착면(200a)이 제 1 부재(100)의 내면(100a)에 대향하도록 보지된다.
부착 스테이지(2)는 본 발명의 ‘제 1 보지부’에 상당한다. 또한, 캐리어 시트(4)는 본 발명의 ‘제 2 보지부’에 상당한다.
부착 장치(1A)는, 캐리어 시트(4)의 일단부(4b)를 지지하는 제 1 척(5), 캐리어 시트(4)의 타단부(4c)를 지지하는 제 2 척(10) 및 부착 롤러(15) 등을 더 구비하고 있다.
제 1 척(5)은 본 발명의 ‘제 1 지지부’에 상당한다. 도 1에 도시한 바와 같이, 제 1 척(5)은, 상하로부터 개재함으로써 캐리어 시트(4)의 일단부(4b)를 지지한다. 본 실시예의 제 1 척(5)은 기부에 고정되어 있다.
제 2 척(10)은 본 발명의 ‘제 2 지지부’에 상당한다. 도 1에 도시한 바와 같이, 제 2 척(10)은, 상하로부터 개재함으로써 캐리어 시트(4)의 타단부(4c)를 일단부(4b)와 동일한 높이에서 지지한다. 제 2 척(10)은 X 방향으로 신축하는 제 2 실린더(14)를 개재하여 기부에 고정되어 있다. 제 2 실린더(14)는 본 발명의 ‘제 2 장력 조정 수단’에 상당한다.
캐리어 시트(4)의 장력이 미리 정해진 목표치를 하회하면, 제어부(20A)의 제어하에서 제 2 실린더(14)가 수축하고, 제 2 척(10)이 X 방향으로 이동하여 제 1 척(5)으로부터 멀어진다. 반대로, 캐리어 시트(4)의 장력이 미리 정해진 목표치를 상회하면, 제어부(20A)의 제어하에서 제 2 실린더(14)가 신장하고, 제 2 척(10)이 ?X 방향으로 이동하여 제 1 척(5)에 가까워진다. 부착하는 동안, 이 피드백 제어가 반복하여 행해짐으로써, 캐리어 시트(4)의 장력은 항상 목표치로 유지된다. 또한, 목표치는 어느 정도의 범위를 가지고 있어도 된다.
부착 롤러(15)는, 제 1 부재(100)의 곡률 반경보다 작은 반경을 가진다. 부착 롤러(15)는, 캐리어 시트(4)의 상방에서, Z방향으로 신축하는 실린더(16)의 하단에 회전 가능하게 장착되어 있다. 또한, 실린더(16)의 상단은 슬라이딩체(17)에 고정되고, 슬라이딩체(17)는 X 방향으로 연장된 가이드(18)에 슬라이딩 가능하게 장착되어 있다. 가이드(18)는 기부에 고정되어 있다.
부착 롤러(15)는 본 발명의 ‘압압부’에 상당한다. 실린더(16)는 본 발명의 ‘부착 롤러 승강 수단’에 상당한다. 또한, 슬라이딩체(17) 및 가이드(18)는, 부착 롤러(15)를 ±X 방향으로 주행시키는, 본 발명의 ‘부착 롤러 주행 수단’에 상당한다.
제어부(20A)의 제어하에서 실린더(16)가 신축하면, 이에 따라 부착 롤러(15)가 ±Z 방향으로 이동한다(승강한다). 부착 롤러(15)가 하강하여 캐리어 시트(4)의 상면이 압압되면, 캐리어 시트(4)가 V 자 형상으로 변형되기 시작한다. 그리고, 부착 롤러(15)가 더 하강하여 캐리어 시트(4)의 변형이 커지면, 캐리어 시트(4)의 보지면(4a)에 보지되어 있는 제 2 부재(200)의 일부분이 다른 부분에 선행하여 제 1 부재(100)에 부착된다. 이 때, 제 2 부재(200)의 부착면(200a)은, 제 1 부재(100)에 면 접촉이 아닌 선 접촉한다.
실린더(16)는, 캐리어 시트(4)로부터의 반력을 검출하는 도시하지 않은 반력 검출 센서를 가지고 있다. 제어부(20A)는, 이 반력 검출 센서에 의해 검출된 반력을 참조하여, 캐리어 시트(4)에 대한 압압력이 미리 정해진 임계치를 초과하지 않도록 부착 롤러(15)의 승강을 제어한다. 즉 본 실시예에서는, 부착 롤러(15)의 높이 제어가, 위치 제어와 압력 제어를 병용한 복합 제어로 되어 있다. 압력 제어를 병용함으로써, 압압력이 과대하게 되는 것에 의한 제 2 부재(200) 및 / 또는 제 1 부재(100)의 손상을 방지할 수 있다.
제어부(20A)의 제어하에서 슬라이딩체(17)가 가이드(18)를 따라 ±X 방향으로 슬라이딩하면, 부착 롤러(15)도 동일하게 주행한다. 제 2 부재(200)의 일부분이 제 1 부재(100)에 부착된 상태로 부착 롤러(15)가 주행하면, 제 2 부재(200)의 다른 부분이 제 1 부재(100)에 부착된다.
도 2에, 본 실시예에 따른 부착 장치(1A)의 제어 블럭도를 나타낸다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 제어부(20A)는, 1) 캐리어 시트(4)의 장력 조정에 관한 제어 및 2) 부착 롤러(15)의 승강 및 주행에 관한 제어를 행한다. 부착 롤러(15)의 승강 제어(높이 제어)에는, 상기와 같이 위치 제어와 압력 제어가 포함된다.
계속해서, 도 3a ~ 3c를 참조하여, 제 1 실시예에 따른 부착 장치(1A)에 의한 부착 동작에 대하여 순서대로 설명한다. 또한, 도 3a ~ 3c에서는 일부의 구성 요소가 생략되어 있는 점에 주의하길 바란다.
도 3a는, 부착 동작이 개시되기 전의 초기 상태를 도시하고 있다. 도 3a에 도시한 바와 같이, 초기 상태에서는, 제 1 척(5) 및 제 2 척(10)에 의해 수평으로 된 캐리어 시트(4)의 보지면(4a)에 제 2 부재(200)가 보지되고, 제 2 부재(200)의 부착면(200a)과 제 1 부재(100)의 내면(100a)이 대향하고 있다. 또한, 부착 롤러(15)는, 제 2 부재(200)의 제 1 척(5)측의 단부의 바로 위에서 대기하고 있다.
도 3b는, 도 3a에 도시한 초기 상태로부터 부착 롤러(15)를 하강(-Z 방향으로 이동)시키고, 또한 캐리어 시트(4)의 장력을 목표치로 유지하기 위하여 제 2 척(10)을-X 방향으로 이동시킨 상태를 도시하고 있다. 부착 롤러(15)가 하강하면, 부착 롤러(15)에 의해 직접적으로 압압된 캐리어 시트(4)가 V 자 형상으로 변형되고, 또한 캐리어 시트(4)를 사이에 두고 간접적으로 압압된 제 2 부재(200)의 제 1 척(5)측의 단부가 다른 부분에 선행하여 제 1 부재(100)에 부착된다.
도 3c는, 도 3b에 도시한 상태로부터 부착 롤러(15)를 제 1 부재(100)의 만곡 형상을 따라 X 방향으로 주행시키고, 또한 캐리어 시트(4)의 장력을 목표치로 유지하기 위하여 제 2 척(10)을 -X 방향으로 더 이동시킨 상태를 도시하고 있다. 부착 롤러(15)가 주행하면, 제 2 부재(200)의 부착 롤러(15)에 의해 압압된 부분이 순차 제 1 부재(100)에 부착된다.
부착 롤러(15)가 계속해서 X 방향으로 주행하여, 제 2 부재(200)의 제 2 척(10)측의 단부의 바로 위에 도달하면 부착 동작은 종료된다.
[제 2 실시예]
도 4에, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 부착 장치(1B)를 도시한다. 부착 장치(1B)는, 대기중에서 제 1 부재(100)에 제 2 부재(200)를 부착하기 위한 장치이다. 본 실시예에서는, 제 1 부재(100)가 두께 0.3[mm] ~ 1.1[mm]의 커버 글라스이고, 제 2 부재(200)가 두께 10[μm] ~ 1000[μm]의 터치 패널 부착 플렉시블 유기 EL 패널이다.
도 4에 도시한 바와 같이, 본 실시예의 제 1 부재(100)는, Z 방향에서 보았을 때의 형상이 직사각형 형상인 평탄 부분과 내측을 향해 만곡된 만곡 부분을 가진다. 제 1 부재(100)는, 1 매의 직사각형 글라스판의 일단부를 만곡시켜 만곡 부분으로 한 것이다. 또한, 제 2 부재(200)는, 도시하지 않은 접착제층 또는 점착제층이 형성된 부착면(200a)를 가진다. 제 2 부재(200)는, 부착면(200a)의 접착제층 또는 점착제층을 개재하여 제 1 부재(100)의 부분적으로 만곡된 내면(100a)에 부착된다.
본 실시예에 따른 부착 장치(1B)는, 이하의 점에서 제 1 실시예에 따른 부착 장치(1A)와 상이하다.
본 실시예의 부착 스테이지(2)는, 본체(2a)의 수평인 재치면에서 개구된 복수의 흡착 노즐(3)을 가진다. 각 흡착 노즐(3)은, 펌프(19)에 접속되어 있다(도 5 참조). 제어부(20B)의 제어하에서 펌프(19)가 작동하면, 제 1 부재(100)의 평탄 부분이 본체(2a)의 재치면에 단단히 흡착 보지된다.
본 실시예의 제 2 척(10)은 슬라이딩체(11)에 고정되어 있다. 슬라이딩체(11)는, 가이드체(13)의 일측면에 설치된 가이드(12)에 슬라이딩 가능하게 장착되어 있다. 또한, 가이드체(13)는, 제 2 실린더(14)를 개재하여 기부에 고정되어 있다.
제어부(20B)의 제어하에서 슬라이딩체(11)가 가이드(12)를 따라 ±Z 방향으로 이동하면, 캐리어 시트(4)의 타단부(4c)를 지지하는 제 2 척(10)도 승강한다. 즉, 슬라이딩체(11), 가이드(12) 및 가이드체(13)는, 제 2 척(10)을 승강시키는 본 발명의 ‘제 2 척 승강 수단’에 상당한다. 제 2 실린더(14)는 제 1 실시예와 동일하게 제어된다.
도 5에, 본 실시예에 따른 부착 장치(1B)의 제어 블럭도를 나타낸다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 제어부(20B)는, 1) 캐리어 시트(4)의 장력 조정에 관한 제어 및 2) 부착 롤러(15)의 승강 및 주행에 관한 제어에 추가하여, 3) 제 2 척(10)의 승강에 관한 제어 및 4) 부착 스테이지(2)에서의 제 1 부재(100)의 흡착 보지에 관한 제어를 행한다.
계속해서, 도 6a ~ 6d을 참조하여, 제 2 실시예에 따른 부착 장치(1B)에 의한 부착 동작에 대하여 순서대로 설명한다. 또한, 도 6a ~ 6d에서도 일부의 구성 요소가 생략되어 있는 점에 주의하길 바란다.
도 6a는, 부착 동작이 개시되기 전의 초기 상태를 도시하고 있다. 도 6a에 도시한 바와 같이, 초기 상태에서는, 제 1 척(5) 및 제 2 척(10)에 의해 수평으로 된 캐리어 시트(4)의 보지면(4a)에 제 2 부재(200)가 보지되고, 제 2 부재(200)의 부착면(200a)과 제 1 부재(100)의 내면(100a)이 대향하고 있다. 또한, 부착 롤러(15)는, 제 1 부재(100)의 평탄 부분 및 만곡 부분의 경계 부분의 바로 위에서 대기하고 있다.
도 6b는, 도 6a에 도시한 초기 상태로부터 부착 롤러(15)를 하강시키고, 또한 캐리어 시트(4)의 장력을 목표치로 유지하기 위하여 제 2 척(10)을 -X 방향으로 이동시킨 상태를 도시하고 있다. 부착 롤러(15)가 하강하면, 부착 롤러(15)에 의해 직접적으로 압압된 캐리어 시트(4) 및 간접적으로 압압된 제 2 부재(200)가 V 자 형상으로 변형되어, 제 2 부재(200)의 일부분이 제 1 부재(100)의 상기 경계 부분에 부착된다.
도 6c는, 도 6b에 도시한 상태로부터 부착 롤러(15)를 제 1 부재(100)의 만곡 형상을 따라 -X 방향으로 주행시킨 상태를 도시하고 있다. 이 부착 롤러(15)의 주행에 의해, 제 1 부재(100)의 만곡 부분에 대한 제 2 부재(200)의 부착이 종료된다. 또한, 부착 롤러(15)가 -X 방향으로 주행하여도 캐리어 시트(4)의 장력은 거의 변화하지 않기 때문에, 제 2 척(10)을 이동시킬 필요는 없다.
도 6d는, 도 6c에 도시한 상태로부터 부착 롤러(15)를 제 1 부재(100)의 형상을 따라 X 방향으로 주행시키고, 또한 제 1 부재(100)의 내면(100a)과 제 2 부재(200)의 부착면(200a)이 이루는 각도(이하, ‘부착 각도(θ)’라고 함)를 목표치로 유지하기 위하여 제 2 척(10)을 하강시킨 상태를 도시하고 있다. 부착 롤러(15)가 주행하면, 제 2 부재(200)의 부착 롤러(15)에 의해 압압된 부분이 순차 제 1 부재(100)에 부착된다. 도중에 캐리어 시트(4)의 장력이 증감하는 경우는, 제 2 척(10)을 -X 방향 또는 X 방향으로 이동시키면 된다.
부착 롤러(15)가 계속해서 X 방향으로 주행하여, 제 2 부재(200)의 제 2 척(10)측의 단부의 바로 위에 도달하면 부착 동작은 종료된다.
이상, 본 발명에 따른 부착 장치의 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 실시예의 구성에 한정되는 것은 아니고, 다양한 변형예를 생각할 수 있다.
예를 들면, 도 7에 도시한 부착 장치(1C)와 같이, 본 발명의 ‘제 1 지지부’에 상당하는 제 1 척(5)은, ‘제 1 척 승강 수단’으로서의 슬라이딩체(6), 가이드(7)와 가이드체(8), 및 ‘제 1 장력 조정 수단’으로서의 제 1 실린더(9)를 구비하고 있어도 된다. 제 1 척 승강 수단은, 제 2 실시예에서의 제 2 척 승강 수단과 동등한 구성을 가진다. 제 1 장력 조정 수단은, 제 1 및 제 2 실시예에서의 제 2 장력 조정 수단과 동등한 구성을 가진다. 제 1 척 승강 수단 및 제 1 장력 조정 수단은, 도 8에 나타낸 바와 같이, 제어부(20C)에 의해 제어된다. 부착 장치(1C)와 같이 구성함으로써, 다종 다양한 만곡 형상을 가지는 제 1 부재(100)에 대한 대응이 용이해진다.
또한, 본 발명의 ‘압압부’는, 캐리어 시트(4)를 압압한 채 순조롭게 ±X 방향으로 주행 가능한 부착 롤러(15) 이외의 부재여도 된다.
또한, 본 발명의 ‘제 2 보지부’는, 제 2 부재를 보지하기 위한 흡착층 또는 점착층을 가지는 가요성을 가지는 임의의 시트 형상 또는 필름 형상의 부재여도 된다.
또한, 본 발명의 ‘압압부’로서의 부착 롤러(15)를 ±X 방향 및 ± Z방향으로 이동시키기 위한 기구, 본 발명의 ‘제 1 지지부’ 및 ‘제 2 지지부’로서의 제 1 척(5) 및 제 2 척(10)을 ±X 방향 및 ± Z방향으로 이동시키기 위한 기구는, 적절히 변경할 수 있다.
또한, 제 1 부재(100)의 만곡 형상은 제 1 및 제 2 실시예의 것에 한정되지 않고, 예를 들면 상이한 굴곡 반경을 가지는 복수의 만곡 부분을 포함하는 형상이어도 된다.
또한, 제 2 부재(200)는 제 1 및 제 2 실시예의 것에 한정되지 않고, 예를 들면 터치 패널이어도 된다.
1A, 1B, 1C : 부착 장치
2 : 부착 스테이지
3 : 흡착 노즐
4 : 캐리어 시트
5 : 제 1 척
6 : 슬라이딩체
7 : 가이드
8 : 가이드체
9 : 제 1 실린더
10 : 제 2 척
11 : 슬라이딩체
12 : 가이드
13 : 가이드체
14 : 제 2 실린더
15 : 부착 롤러
16 : 실린더
17 : 슬라이딩체
18 : 가이드
19 : 펌프
20A, 20B, 20C : 제어부
100 : 제 1 부재
200 : 제 2 부재

Claims (8)

  1. 내측을 향해 적어도 일부가 만곡된 제 1 부재의 내면에, 가요성을 가지는 제 2 부재의 부착면을 부착하는 부착 장치로서,
    상기 내면이 위를 향한 상기 제 1 부재를 보지하는 제 1 보지부와,
    상기 부착면이 상기 제 1 부재의 상기 내면에 대향하도록 상기 제 2 부재를 보지하는, 가요성을 가지는 제 2 보지부와,
    상기 제 2 보지부의 상방에 배치된 이동 가능한 압압부와,
    적어도 상기 압압부의 이동을 제어하는 제어부
    를 구비하고,
    상기 제어부는, 상기 압압부를 하강시킴으로써, 상기 압압부에 의해 직접적으로 압압된 상기 제 2 보지부를 V 자 형상으로 변형시키고, 상기 압압부에 의해 상기 제 2 보지부를 사이에 두고 간접적으로 압압된 상기 제 2 부재의 일부분을 다른 부분에 선행하여 상기 제 1 부재에 부착하고, 그 후, 상기 압압부를 상기 제 1 부재의 만곡 형상을 따라 이동시킴으로써, 상기 제 2 부재의 상기 다른 부분을 상기 제 1 부재에 부착하는 것을 특징으로 하는 부착 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 보지부의 일단부를 지지하는 제 1 지지부와,
    상기 제 2 보지부의 타단부를 지지하는 제 2 지지부
    를 더 구비하고,
    상기 일단부 및 상기 타단부가, 상기 제 2 부재를 보지하는 영역의 외측에 위치하고, 또한 상기 제 1 부재의 만곡 형상을 따른 상기 압압부의 이동 방향에서 이간되어 있는 것을 특징으로 하는 부착 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 지지부 및 상기 제 2 지지부 중 적어도 일방이, 상기 제어부의 제어하에서 상하로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 부착 장치.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 지지부 및 상기 제 2 지지부 중 적어도 일방이, 상기 제 2 보지부의 장력을 미리 정해진 목표치로 하기 위한 장력 조정 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 부착 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 압압부의 높이 제어가, 위치 제어와, 상기 제 2 보지부로부터의 반력이 미리 정해진 임계치를 초과하지 않도록 하는 압력 제어를 조합한 복합 제어인 것을 특징으로 하는 부착 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 압압부가, 상기 제 1 부재의 곡률 반경보다 반경이 작은 부착 롤러인 것을 특징으로 하는 부착 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 보지부는, 적어도 상기 제 2 부재를 보지하는 영역에 흡착층 또는 점착층이 형성된 시트 형상 또는 필름 형상의 부재인 것을 특징으로 하는 부착 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 부재로서의 커버 글라스에, 상기 제 2 부재로서의 플렉시블 유기 EL 패널, 터치 패널, 또는 터치 패널 부착 플렉시블 유기 EL 패널을 부착하는 것을 특징으로 하는 부착 장치.
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