JP2010240805A - ロボットハンド及び移送ロボット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ハンド本体7に基板Wの裏面を吸着可能な複数の吸着パッド13が設けられ、各吸着パッド13がエジェクタ15に接続され、ハンド本体7における各吸着パッド13の周縁部に基板Wの裏面側の空気を吸い込み可能な吸込孔27が形成され、各吸込孔27が空気を吸い込む送風器25に接続されていること。
【選択図】 図1
Description
1 ロボットハンド
3 移送ロボット
5 ロボットアーム
7 ハンド本体
9 リスト部
11 フォーク
13 吸着パッド
15 エジェクタ
17 エア配管
19 取付台
21 チャンバー
23 取付口
25 送風器
27 吸込孔
Claims (4)
- 基板の裏面又は表面を保持するロボットハンドにおいて、
ハンド本体と、
前記ハンド本体に設けられ、真空圧を発生させる真空発生器に接続され、基板の裏面又は表面を吸着可能な複数の吸着パッドと、を備え、
前記ハンド本体における各吸着パッドの周縁部に基板の裏面側又は表面側の空気を吸い込み可能な吸込孔が形成され、各吸込孔が空気を吸い込む送風器に接続されていることを特徴とするロボットハンド。 - 前記ハンド本体の内部に空気を収容するチャンバーが形成され、各吸込孔が前記チャンバーに連通してあって、各吸込孔が前記チャンバーを介して前記送風器に接続されていることを特徴とする請求項1に記載のロボットハンド。
- 前記送風器の個数が前記吸着パッドと同数であって、前記ハンド本体における各吸着パッドに対向する位置に前記送風器が設けられていることを特徴とする請求項2に記載のロボットハンド。
- 基板を移送する際に用いられる移送ロボットにおいて、
請求項1から請求項3のうちのいずれかの請求項に記載のロボットハンドを備えたことを特徴とする移送ロボット。
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