JP5945641B1 - 制御装置及び制御方法 - Google Patents
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Abstract
Description
1.第1実施形態
図1は、本発明の第1実施形態に係る旋回流形成体1の一例を示す斜視図である。図2は、図1のA−A線断面図である。図3は、図1のB−B線断面図である。旋回流形成体1は、半導体ウェハやガラス基板等の板状部材を保持して搬送するための装置である。旋回流形成体1は、液体を吐出することにより板状部材との間に負圧を発生させて当該部材を保持する。ここで液体とは、例えば純水や炭酸水である。旋回流形成体1の材質は、例えばアルミニウム合金である。この旋回流形成体1は、本発明に係る「保持装置」の一例である。
以上がマイクロコンピュータ4により実行される制御動作についての説明である。
なお、同グラフに示す吸引圧は、株式会社ハーモテック社製のKUMADE(登録商標)Cup(型番:KMCP−60CW)を用いて測定した。
図7は、本発明の第2実施形態に係る旋回流形成体5の一例を示す斜視図である。図8は、図7のC−C線断面図である。図9は、図7のD−D線断面図である。旋回流形成体5は、半導体ウェハやガラス基板等の板状部材を保持して搬送するための装置である。旋回流形成体5は、液体を吐出することにより板状部材との間に負圧を発生させて当該部材を保持する。ここで液体とは、例えば純水や炭酸水である。旋回流形成体5の材質は、例えばアルミニウム合金である。この旋回流形成体5は、本発明に係る「保持装置」の一例である。
以上がマイクロコンピュータ4Aにより実行される制御動作についての説明である。
図12は、本発明の第3実施形態に係る旋回流形成体7の一例を示す斜視図である。図13は、図12のE−E線断面図である。図14は、図12のF−F線断面図である。旋回流形成体7は、半導体ウェハやガラス基板等の板状部材を保持して搬送するための装置である。旋回流形成体7は、液体を吐出することにより板状部材との間に負圧を発生させて当該部材を保持する。ここで液体とは、例えば純水や炭酸水である。旋回流形成体7の材質は、例えばアルミニウム合金である。この旋回流形成体7は、本発明に係る「保持装置」の一例である。
以上がマイクロコンピュータ4Bにより実行される制御動作についての説明である。
上記の各実施形態は、以下のように変形してもよい。また、以下の2以上の変形例は、互いに組み合わせてもよい。
上記の第1実施形態に係る旋回流形成体1は、板状部材のサイズによっては、板状のフレームに複数取り付けて使用されてもよい。図17は、本変形例に係る搬送装置10の構成の一例を示す図である。具体的には、図17(a)は、搬送装置10の底面図であり、図17(b)は、搬送装置10の側面図である。搬送装置10は、図17に示されるように、基体101と、12個の旋回流形成体1と、12個の摩擦部材102と、6個の孔部103とを備えている。
上記の変形例1において、搬送装置10の形状は変更されてもよい。図18は、本変形例に係る搬送装置20の構成の一例を示す図である。具体的には、図18(a)は、搬送装置20の底面図であり、図18(b)は、搬送装置20の側面図である。搬送装置20は、図18に示されるように、基体201と、10個の旋回流形成体1と、12個の摩擦部材102Aとを備えている。
上記の各実施形態に係る制御動作においては、旋回流形成体を、その凹部の開口部が天向きとなるようにして板状部材を搬送する場合を想定しているが、板状部材を搬送する際の旋回流形成体の姿勢はこれに限られない。例えば、旋回流形成体を、その凹部が鉛直方向に開口する状態において板状部材を搬送するようにしてもよい。または、旋回流形成体を、その凹部が鉛直方向に対して所定の角度傾けた方向に開口する状態において板状部材を搬送するようにしてもよい。これらの場合、旋回流形成体の凹部を満水にする過程においては、旋回流形成体の端部と板状部材表面との間の距離が、例えば吐出口14の断面積よりも小さくなるように板状部材を旋回流形成体に対して配置するようにしてもよい。または、旋回流形成体の端部と板状部材表面との間の隙間の体積が流量よりも小さくなるように板状部材を旋回流形成体に対して配置するようにしてもよい。
上記の各実施形態に係る制御動作においては、旋回流形成体の凹部内を満水にしてから凹部内において旋回流を形成するようにしているが、必ずしも凹部内を満水にする必要はない。例えば、凹部内の半分を液体で満たしてから旋回流を形成するようにしてもよい。または、少なくとも流体通路の吐出口が液体で覆われる程度に凹部内を液体で満たしてから旋回流を形成するようにしてもよい。本発明の発明者による実験によれば、凹部内を必ずしも満水にしなくても、ある程度の量の液体で満たされていれば、その量に応じて吸引圧が高くなることが確認されている。
上記の各実施形態に係る制御動作においては、旋回流形成体の凹部内が満水になるまでに要する時間を予め計測しておき、その時間が経過したときに凹部内が満水になったものと判断しているが、センサで実際に凹部内の液面の高さを検出して、その高さが所定量に達したときに凹部内が満水になったものと判断するようにしてもよい。例えば、超音波式の液面検出センサを用いて、凹部内が満水になったか否かを検出するようにしてもよい。
上記の各実施形態においてマイクロコンピュータ4、4A又は4Bにより実行されるプログラムは、磁気テープ、磁気ディスク、フレキシブルディスク、光ディスク、光磁気ディスク、メモリ等の記憶媒体に記憶された状態で提供されてもよい。また、当該プログラムは、インターネット等の通信回線を介してダウンロードされてもよい。
上記の第1実施形態に係る旋回流形成体1の本体11の形状は、円柱に限られず角柱や楕円柱でもよい。また、旋回流形成体1に設けられる吐出口14の位置は、凹部12の内周側面の軸方向中央部に限られない。また、旋回流形成体1に設けられる供給路19の数は2本に限られず、1本であっても3本以上であってもよい。また、供給路19の、凹部12の外周に対する進入方向は、接線方向に限られない。また、傾斜面15は設けなくてもよい(すなわち、端面13の端部は面取りしなくてもよい)。以上述べた変形は、第2実施形態に係る旋回流形成体5や、第3実施形態に係る旋回流形成体7に採用してもよい。
また、第2実施形態に係る旋回流形成体5の噴出口56の位置は、凹部52の底面中央に限られない。
上記の搬送装置10の基体101の構成は、上記の変形例1に示される例に限られない。また、搬送装置10の基体101に設けられる摩擦部材102及び孔部103の数、形状及び配置は、上記の変形例1に示される例に限られない。これらの要素は、搬送装置10により搬送される板状部材Wのサイズ、形状及び材質に応じて決定されてよい。摩擦部材102及び孔部103は、そもそも搬送装置10の基体101に設けられなくてもよい。摩擦部材102が搬送装置10の基体101に設けられない場合、基体101には、板状部材Wの位置決めをするために、周知のセンタリングガイドが設置されてもよい(例えば、特開2005−51260号公報参照)。同様に、上記の搬送装置20の基体201の構成もまた、上記の変形例2に示される例に限られない。
上記の搬送装置10の基体101に設けられる旋回流形成体1の数、構成及び配置は、上記の変形例1に示される例に限られない。これらの要素は、搬送装置10により搬送される板状部材Wのサイズ、形状及び材質に応じて決定されてよい。例えば、旋回流形成体1の数は12個未満でも13個以上でもよい。また、旋回流形成体1は、基体101の外周に沿って2列以上並べられてもよい。同様に、上記の搬送装置20の基体201に設けられる旋回流形成体5の数、構成及び配置もまた、上記の変形例2に示される例に限られない。
上記の第2実施形態に係る制御動作において、ステップSb1において旋回流形成体5に対して供給される液体の流量は、第1実施形態に係る第1の流量としてもよい。また、ステップSb4において旋回流形成体5に対して供給される液体の流量は、第1実施形態に係る第2の流量としてもよい。
上記の第3実施形態に係る制御動作において、ステップSc1において導入口76a及び76cを介して旋回流形成体7に対して供給される液体の流量は、第1実施形態に係る第1の流量としてもよい。また、ステップSc4において導入口76a及び76cを介して旋回流形成体7に対して供給される液体の流量は、第1実施形態に係る第2の流量としてもよい。
上記の第1実施形態に係る旋回流形成体1において、周知の電動ファンを採用してもよい(電動ファンについては、例えば特開2011−138948号公報参照)。具体的には、電動ファンを旋回流形成体1の凹部12内に、その回転軸が凹部12と同軸となるように設け、制御動作のステップSa1においては駆動を停止しておき、ステップSa4において駆動を開始するようにしてもよい。すなわち、電動ファンを、旋回流を形成する際に駆動するようにしてもよい。電動ファンを採用する場合、第1実施形態に係る吐出口14は、凹部12の底面に設けられてもよい。
なお、電動ファンは、第2実施形態に係る旋回流形成体5と、第3実施形態に係る旋回流形成体7に対しても同様の方法により採用してもよい。
Claims (5)
- 液体を吐出することにより被保持体との間に負圧を発生させて前記被保持体を保持する保持装置に対する液体の供給を制御するための制御装置であって、
前記保持装置は、
柱状の本体と、
前記本体に形成され、前記被保持体に臨む平坦状の端面と、
前記端面に形成される凹部と、
前記凹部内に吐出口を介して液体を吐出する1以上の流体通路と
を備え、
前記制御装置は、
前記凹部内において旋回流が形成されない状態において、前記1以上の流体通路のうち少なくとも1つの流体通路の吐出口が液体で覆われるまで前記凹部内を液体で満たすよう液体の供給を制御し、
前記少なくとも1つの流体通路の吐出口が液体で覆われるまで前記凹部内が液体で満たされた後に、前記少なくとも1つの流体通路から前記凹部内に吐出される液体により旋回流が形成されるように液体の供給を制御する
制御装置。 - 前記制御装置は、
前記凹部内に供給される液体の流量を第1の量に設定し、前記凹部内において旋回流が形成されない状態において、前記少なくとも1つの流体通路の吐出口が液体で覆われるまで前記凹部内を液体で満たし、
前記少なくとも1つの流体通路の吐出口が液体で覆われるまで前記凹部内が液体で満たされた後に、前記凹部内に供給される液体の流量を前記第1の量から、前記第1の量よりも多い第2の量に変更し、前記少なくとも1つの流体通路から前記凹部内に吐出される液体により旋回流を形成させる
ことを特徴とする請求項1に記載の制御装置。 - 前記1以上の流体通路は、
前記凹部の底面に設けられた第1の吐出口から液体を吐出する第1の流体通路と、
前記凹部の内周側面に設けられた第2の吐出口から液体を吐出する第2の流体通路と
を含み、
前記制御装置は、
前記第1の流体通路を介して前記凹部内に液体を供給し、前記凹部内において旋回流が形成されない状態において、前記第2の吐出口が液体で覆われるまで前記凹部内を液体で満たし、
前記第2の吐出口が液体で覆われるまで前記凹部内が液体で満たされた後に、前記第1の流体通路を介した液体の供給を停止し、前記第2の流体通路を介して前記凹部内に液体を供給して旋回流を形成させる
ことを特徴とする請求項1に記載の制御装置。 - 前記1以上の流体通路は、
前記凹部の内周側面に設けられた第3の吐出口から液体を吐出して第1の旋回流を形成する第3の流体通路と、
前記凹部の前記内周側面に設けられた第4の吐出口から液体を吐出して、前記第1の旋回流の旋回方向とは逆方向に旋回する第2の旋回流を形成する第4の流体通路と
を含み、
前記制御装置は、
前記第3及び第4の流体通路を介して前記凹部内に液体を供給し、前記凹部内において旋回流が形成されない状態において、前記第3の吐出口が液体で覆われるまで前記凹部内を液体で満たすよう液体の供給を制御し、
前記第3の吐出口が液体で覆われるまで前記凹部内が液体で満たされた後に、前記第3の流体通路を介した液体の供給を維持したまま、前記第4の流体通路を介した液体の供給を停止し、前記第3の流体通路から前記凹部内に吐出される液体により旋回流を形成させる
ことを特徴とする請求項1に記載の制御装置。 - 液体を吐出することにより被保持体との間に負圧を発生させて前記被保持体を保持する保持装置に対する液体の供給を制御するための制御方法であって、
前記保持装置は、
柱状の本体と、
前記本体に形成され、前記被保持体に臨む平坦状の端面と、
前記端面に形成される凹部と、
前記凹部内に吐出口を介して液体を吐出する1以上の流体通路と
を備え、
前記制御方法は、
前記凹部内において旋回流が形成されない状態において、前記1以上の流体通路のうち少なくとも1つの流体通路の吐出口が液体で覆われるまで前記凹部内を液体で満たすよう液体の供給を制御するステップと、
前記少なくとも1つの流体通路の吐出口が液体で覆われるまで前記凹部内が液体で満たされた後に、前記少なくとも1つの流体通路から前記凹部内に吐出される液体により旋回流が形成されるように液体の供給を制御するステップと
を有する制御方法。
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