JP2018122380A - 部品保持装置 - Google Patents

Abstract

【課題】空気を通しやすいシート状の部品の場合でも部品を保持できる部品保持装置を提供すること。【解決手段】部品保持装置２３は下面にシート状の部品を保持する保持面３３を有する基部３２と、基部３２に設け、保持面３３に設けた孔と連通する流路７０とを備え、流路７０に供給した流体を孔から噴出することで、保持面３３と部品の間に生じる負圧により部品を吸着して保持する。部品保持装置２３は針５２２、５４２とエアシリンダ３５１、３６１を備える。針５２２、５４２は保持面３３に対して傾斜した姿勢で基部３２に設ける。エアシリンダ３５１、３６１は針５２２、５４２を保持面３３から下方に突出する突出位置と保持面３３よりも上方に退避した退避位置の間で移動する。【選択図】図７

Description

本発明は部品保持装置に関する。

従来、半導体ウェハ等の薄い面状部品を非接触吸着して保持する装置がある（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の装置は基体を備える。基体は下面に凹部を有し、凹部には流体（空気）を噴出する流体噴出部を設ける。凹部の周囲は非接触吸着部である。該装置は、流体噴出部が噴出した流体が非接触吸着部を通過し、装置と部品の間に生じる負圧により部品を非接触吸着して保持する。

特開２０１２−４０６２１号公報

従来の装置は装置と部品の間に生じる負圧により部品を非接触吸着して保持する。故に、部品が空気を通しやすく通気性の良いシート状の部品の場合、装置と部品の間を負圧にできずに部品を吸着できない可能性がある。該場合、装置は部品を保持できない。

本発明の目的は空気を通しやすいシート状の部品の場合でも部品を保持できる部品保持装置を提供することである。

本発明の一態様に係る部品保持装置は下面にシート状の部品を保持する保持面を有する基部と、前記基部に設け、前記保持面に設けた孔と連通する流路とを備え、前記流路に供給した流体を前記孔から噴出することで、前記保持面と前記部品の間に生じる負圧により前記部品を吸着して保持する部品保持装置において、前記保持面に対して傾斜した姿勢で前記基部に設けた針と、前記針を前記保持面から下方に突出する突出位置と前記保持面よりも上方に退避した退避位置の間で移動するエアシリンダとを備える。

本態様の部品保持装置は流路に流体を供給することで布等のシート状の部品を保持面との間に生じる負圧に依り吸着して保持でき、針を突出位置にすることで空気を通しやすいシート状の部品も保持できる。故に部品保持装置は保持面との間に負圧が生じにくく、吸着して保持しにくい空気を通しやすいシート状の部品でも保持できる。

本態様の部品保持装置の前記針は水平面と平行な方向において、前記孔を間にして対向配置してよい。該部品保持装置は針を孔を間にして対向配置する為、針が孔の一方側にある装置及び針が単数である装置に比べ、空気を通しやすいシート状の部品を針で安定して保持面で保持できる。

本態様の部品保持装置の前記針は前記突出位置にある時、前記針の先端が前記孔から離れる方向に前記保持面に対して傾斜してよい。該部品保持装置は部品に針を刺す時、部品が撓むことを抑制できる。故に該部品保持装置は針の先端が孔から離れる方向に保持面に対して傾斜していない装置に比べ、空気を通しやすいシート状の部品を針で安定して保持面で保持できる。

本態様の部品保持装置は前記針を前記突出位置に移動するか否かの指示を取得する取得部と、前記エアシリンダの駆動及び前記流路への前記流体の供給を制御する制御部とを更に備え、前記取得部が前記針を前記突出位置に移動する指示を取得した時、前記制御部は、前記エアシリンダを駆動して前記針を前記退避位置から前記突出位置に移動し、前記取得部が前記針を前記突出位置に移動しない指示を取得した時、前記制御部は、前記針を前記退避位置に維持し、且つ前記流路に前記流体を供給してよい。該部品保持装置は針で部品を保持するかの指示に応じて、針を駆動するか否かを制御できる。部品保持装置は針で部品を保持しない時、針を退避位置に維持する為、針で部品を傷つけることがない。部品保持装置は針で部品を保持する時のみ針を突出位置に移動する為、部品を保持しない時に針が他の部材等に刺さることを防止できる。

本態様の部品保持装置の前記制御部は、前記エアシリンダを駆動して、前記針を前記退避位置と前記突出位置とに制御する針制御部と、前記流路に前記流体を供給する供給部の駆動を制御する流体制御部とを備え、前記針制御部は、前記取得部が前記針を前記突出位置に移動する指示を取得した時、前記エアシリンダを駆動して前記針を前記退避位置から前記突出位置に移動し、前記流体制御部は、前記取得部が前記針を前記突出位置に移動する指示を取得した時、前記供給部を駆動しなくてもよい。該部品保持装置は針で部品を保持する時、流路に流体を供給せずにすむ。

本態様の部品保持装置の前記制御部は、前記エアシリンダを駆動して、前記針を前記退避位置と前記突出位置とに制御する針制御部と、前記流路に前記流体を供給する供給部の駆動を制御する流体制御部とを備え、前記針制御部は、前記取得部が前記針を前記突出位置に移動する指示を取得した時、前記エアシリンダを駆動して前記針を前記退避位置から前記突出位置に移動し、前記流体制御部は、前記取得部が前記針を前記突出位置に移動する指示を取得した時、前記供給部を駆動して前記流路に前記流体を供給してよい。該部品保持装置は針で部品を保持するか否かに関わらず、流路に流体を供給できる。故に部品保持装置は保持面で部品を保持する時、流路に流体を供給すればよく、流路に流体を供給する制御が容易となる。部品保持装置は保持面で部品を保持する時、孔から噴出した流体が部品と保持面の間を流れる為、保持面が保持する部品にしわが形成しにくい。

本態様の部品保持装置の前記保持面は水平に延びる水平部を有し、前記孔は、前記保持面の前記水平部と平行な所定方向において一方側に設け、前記所定方向と直交する方向に開口する第一孔と、前記保持面の前記所定方向において前記一方側とは反対の他方側に設け、前記第一孔と平行な方向に開口する第二孔とを備え、前記流路は、前記第一孔と連通し、前記第一孔に向かい第一方向に延びる第一流路と、前記第二孔と連通し、前記第二孔に向かい前記第一方向と反対方向の第二方向に延びる第二流路とを備え、前記基部は、前記第一孔と前記第二孔の間に設け、前記保持面の前記水平部より上方に凹む凹部を有してもよい。該部品保持装置は第一流路と第二流路に流体を供給することで第一孔から第一方向に流体が噴出し、第二孔から第二方向に流体が噴出する。第一孔と第二孔は凹部を間にして互いに逆の方向に流体を噴出する為、保持面と部品の間における凹部の空間を効率的に負圧にでき、凹部を設けない装置よりも保持面と対向する部品を凹部側に強く引き寄せることができる。故に本態様の部品保持装置は容易に吸着力を従来の装置より大きくでき、布等のシート状の部品をより確実に吸着して保持できる。

本態様の部品保持装置の前記孔は、前記保持面の前記凹部に対して前記一方側に設けた第三孔と、前記保持面の前記凹部に対して前記他方側に設けた第四孔とを更に備え、前記流路は、前記第三孔及び前記第一流路と連通する第三流路と、前記第四孔及び前記第二流路と連通する第四流路とを更に備え、前記第三流路から前記第三孔に向かう方向は前記第二方向であり、前記第四流路から前記第四孔に向かう方向は前記第一方向であってもよい。該部品保持装置は第一〜第四流路に流体を供給することで、第一、第二流路のみに流体を供給する装置より保持面と部品の間となる凹部の空間をより確実に負圧にでき、保持面と対向する部品を凹部側に引き寄せることができる。

本態様の部品保持装置の前記基部は前記保持面に前記第一孔、前記第三孔を設け、前記凹部よりも下方に突出する第一流路部と、前記第一流路部に対して前記凹部を間にして配置し、前記第二孔、前記第四孔を設け、前記凹部よりも下方に突出する第二流路部と、前記第一流路部の上端、前記凹部、前記第二流路部の上端と接続し、前記第一方向に向けて下方に傾斜した第一傾斜部と、前記第一流路部の上端、前記凹部、前記第二流路部の上端と接続し、前記第二方向に向けて下方に傾斜した第二傾斜部とを備えてもよい。該部品保持装置では第一、第四孔から噴出する流体は第一傾斜部に沿って移動し、第二、第三孔から噴出する流体は第二傾斜部に沿って移動する。故に該部品保持装置は保持面と部品の間となる凹部の空間をより確実に負圧にでき、保持面と対向する部品を凹部側に引き寄せることができる。

搬送システム１の斜視図。 搬送システム１の正面図。 部品保持装置２３が保持位置にあり、載置台２１上昇時の多関節ロボットアーム装置３と部品供給装置４の左側面図。 部品保持装置２３の斜視図。 部品保持装置２３の斜視図。 針５２、５４が突出位置にある時の部品保持装置２３の底面図。 針５２、５４が突出位置にある時の図６のＡ−Ａ線における矢視方向断面図。 針５２、５４が退避位置にある時の部品保持装置２３の底面図。 針５２、５４が退避位置にある時の図８のＡ−Ａ線における矢視方向断面図。 部品保持装置２３の電気的構成を示すブロック図。 第一実施形態の部品保持処理の流れ図。 第二実施形態の部品保持処理の流れ図。 部品保持装置２３が保持位置から上昇した時の多関節ロボットアーム装置３と部品供給装置４の左側面図。

図面を参照し本発明の第一、第二実施形態を順に説明する。第一、第二実施形態に共通する搬送システム１の概略的構成を説明する。以下説明は、図中に矢印で示す左右、前後、上下を使用する。

図１、図２に示す如く、搬送システム１はフレーム２、多関節ロボットアーム装置（以下「アーム装置」と言う）３、部品供給装置４、５、作業台６、ＰＣ１００（図９参照）を備える。フレーム２は鉄又はアルミ製の棒材を矩形に組んで構成する。フレーム２は外枠の内側にアーム装置３、部品供給装置４、５、作業台６を配置する。アーム装置３は産業用ロボットであり、部品供給装置４、５の部品保持装置２３が保持するシート状の部品９を所定の搬送位置に搬送可能な装置である。本例の搬送位置は図２に示す部品保持装置２３が作業台６の上部で上下方向の位置が図２の位置より下方にある位置である。搬送位置は縫製装置のベッド部の上部等、搬送システムの構成に依り適宜変更してよい。本例の部品９は角が丸みを帯びた台形状に切断した布片である。アーム装置３は部品供給装置４、５と共に部品９を作業台６に搬送する。アーム装置３はアーム部１１、１２、支持部１３、土台部１４を備える。アーム部１１は回動直線駆動装置（以下「駆動装置」と言う）１５を備える。駆動装置１５はボールねじ１６、第一モータ１８、第二モータ１９を備える。ボールねじ１６は上下方向に延びる。アーム部１１の一端部はボールねじ１６を挿通する。

駆動装置１５は第一モータ１８を駆動源としてボールねじ１６をボールねじ１６周りに第一モータ１８に対して相対的に回動可能である。駆動装置１５は第二モータ１９を駆動源としてボールねじ１６をボールねじ１６の延出方向に沿って第二モータ１９に対して相対的に移動可能である。ボールねじ１６周りはボールねじ１６の軸線を中心とする時計回り又は反時計回りの回動である。アーム部１２は前後方向に延び、前端部でアーム部１１の他端部を回動可能に支持する。支持部１３は上下方向に延び、上端でアーム部１２の後端部を回動可能に支持する。土台部１４は水平に延びる板状であり、支持部１３の下端と連結する。土台部１４はアーム装置３を固定する。アーム装置３はアーム部１１、１２を夫々回動できる。

部品供給装置４、５は互いに同じ構成を有する為、部品供給装置４を詳細に説明し、部品供給装置５の説明は省略する。図３に示す如く、部品供給装置４は部品供給機構２４、部品保持装置２３を備える。部品保持装置２３は部品供給装置４、５で共通である。部品供給機構２４はシート状の部品９を部品保持装置２３に供給する。部品供給機構２４はフレーム２の内側に固定する（図１参照）。部品供給機構２４は載置台２１、エアシリンダ２２を備える。載置台２１はシート状の部品９を複数積載可能な面３１を有する。面３１は略水平に延び、平面視略矩形状である。面３１の面積は部品の面積より大きい。エアシリンダ２２は上下方向に延びる軸２６を有し、少なくとも上方向に載置台２１を移動可能である。エアシリンダ２２は所謂ロッドレスシリンダである。エアシリンダ２２はピストン（図示略）、本体部２７を備える。ピストンは軸２６の内部に設け、磁石（図示略）を有する。本体部２７は軸２６の外周に設け、磁石（図示略）を有する。ピストンの磁石は軸２６を介して本体部２７の磁石と磁力結合する。エアシリンダ２２は軸２６の内部に空気を供給してピストンを移動することで、本体部２７を軸２６に沿って移動する。軸２５は軸２６と平行に延びる。軸２５は載置台２１の後端部に設けた孔に挿通する。載置台２１の後部は本体部２７と連結する。載置台２１は本体部２７と共に軸２５に沿って移動する。エアシリンダ２２はエアチューブ（図示略）を介してエアコンプレッサ（図示略）に接続する。部品供給機構２４の制御部（図示略）はエアチューブに設けた電磁弁（図示略）を制御して、エアシリンダ２２の駆動を制御する。

部品保持装置２３はアーム装置３と接続する。部品保持装置２３はボールねじ１６の下端に固定する。部品保持装置２３は載置台２１と対向する保持位置で載置台２１に載置した部品９を保持可能である。保持位置は図３に示す位置である。部品保持装置２３が保持位置にある時、基部３２は載置台２１の上方にある。部品保持装置２３が保持位置にある時、基部３２は部品供給機構２４の上方にある。

図３〜図１０に示す如く、部品保持装置２３は基部３２、流路７０〜７８、針５２、５４、エアシリンダ３５、３６、制御部８０を備える。基部３２は平面視矩形状の部材である。図６に示す如く、基部３２の左右方向の中心を前後方向に延びる仮想線を中心線Ｍとする。基部３２は保持面３３、装着部３４、支持部３８、３９、４８、４９、供給口３７（図１０参照）を備える。保持面３３は基部３２の下面であり、シート状の部品９を保持する。保持面３３の外周部は水平に延びる水平部３３１である。流路７０〜７８は基部３２に設け、保持面３３に設けた孔６１〜６８と連通する。部品保持装置２３は流路７０〜７８に供給した流体を孔６１〜６８から噴出することで、保持面３３と部品９の間に生じる負圧により部品９を吸着して保持する。本例の流体は空気である。

図６に示す如く、孔６１〜６８の内の孔６１、６３、６５、６６は保持面３３の水平部３３１と平行な所定方向において一方側に設ける。本例の所定方向は前後方向であり、一方側は前側である。孔６１、６３、６５、６６は左右方向に開口する。孔６５、６６は孔６１、６３より前方にて対向配置する。孔６２、６４、６７、６８は保持面３３の所定方向において一方側とは反対の他方側に設ける。本例の他方側は後側である。孔６２、６４、６７、６８は左右方向に開口する。孔６７、６８は孔６２、６４より後方にて対向配置する。孔６１、６３、６５、６６が開口する方向は孔６２、６４、６７、６８の開口する方向と平行である。孔６１〜６８の大きさと上下方向の位置は互いに同じである。孔６１、６４、６５、６７は基部３２の中心線Ｍの右方（第一方向）にある。孔６２、６３、６６、６８は中心線Ｍの左方（第二方向）にある。

流路７０は前後方向に延びる。流路７０は流路７１〜７８の八個の流路に分岐する。流路７１〜７８は左右方向に延びる。流路７１は孔６１と連通し、孔６１に向かい右方（第一方向）に延びる。流路７２は孔６２と連通し、孔６２に向かい第一方向と反対方向の左方（第二方向）に延びる。流路７３は孔６３及び流路７１と連通する。流路７３から孔６３に向かう方向は左方である。流路７４は孔６４及び流路７２と連通する。流路７４から孔６４に向かう方向は右方である。各流路７５、７７は孔６５、６７と連通し、孔６５、６７に向かい右方に延びる。各流路７６、７８は孔６６、６８と連通し、孔６６、６８に向かい左方に延びる。前後方向において、各孔６１〜６４から凹部４３のうち各孔６１〜６４に最も近い端部迄の距離は、凹部４３の長さの半分より短い。

基部３２は保持面３３に第一流路部４１、凹部４３、第二流路部４２、第一傾斜部４４、第二傾斜部４５を備える。水平部３３１は第一流路部４１、凹部４３、第二流路部４２、第一傾斜部４４、第二傾斜部４５を囲む。第一流路部４１、凹部４３、第二流路部４２は底面視前後方向に長い矩形状である。第一流路部４１、凹部４３、第二流路部４２の左右方向の長さは同じであり、基部３２の中心線Ｍ上に前方から後方にこの順で並ぶ。第一流路部４１と第二流路部４２の前後方向の長さは互いに同じであり、凹部４３の前後方向の長さよりも長い。第一流路部４１は孔６１、６３、６５、６６を設け、凹部４３よりも下方に突出する。孔６１、６５は第一流路部４１の右面に設け、孔６３、６６は第一流路部４１の左面に設ける。凹部４３は孔６１と孔６２の間に設け、保持面３３の水平部３３１より上方に凹む。凹部４３は孔６１〜６８より上方に凹む。第二流路部４２は第一流路部４１に対して凹部４３を間にして配置し、孔６２、６４、６７、６８を設け、凹部４３よりも下方に突出する。孔６４、６７は第二流路部４２の右面に設け、孔６２、６８は第二流路部４２の左面に設ける。孔６１〜６８は凹部４３の上端より下方に設ける。

第一傾斜部４４は第一流路部４１、凹部４３、第二流路部４２の右方に設ける。第一傾斜部４４は第一流路部４１の上端、凹部４３、第二流路部４２の上端と接続し、右方に向けて下方に傾斜する。第二傾斜部４５は第一流路部４１、凹部４３、第二流路部４２の左方に設ける。第二傾斜部４５は第一流路部４１の上端、凹部４３、第二流路部４２の上端と接続し、左方に向けて下方に傾斜する。第一傾斜部４４、第二傾斜部４５は第一流路部４１、凹部４３、第二流路部４２を間にして左右方向に対向配置する。

図４、図７、図９に示す如く、装着部３４はアーム装置３のボールねじ１６の下端に取り外し可能に装着する。装着部３４は基部３２の上面の中央に設ける。装着部３４は平面視円状の筒状であり、ボールねじ１６の下端を挿通する。

図５〜図９に示す如く、針５２、５４は保持面３３に対して傾斜した姿勢で基部３２に設ける。針５２、５４は水平部３３１と平行な左右方向において、孔６１〜６８を間にして対向配置する。針５２、５４は突出位置にある時、針５２、５４の先端が孔６１〜６８から離れる方向に保持面３３に対して傾斜する。針５２は中心線Ｍの右方にある。針５２は保持面３３に対して傾斜し、先端が右下方を向く。針５２は六本の針５２１〜５２６を有する。針５２１〜５２６は前後方向に略等間隔で並ぶ。針５４は中心線Ｍの左方にある。針５４は保持面３３に対して傾斜し、先端が左下方を向く。針５４は六本の針５４１〜５４６を備える。針５４１〜５４６は前後方向に略等間隔で並ぶ。各針５２、５４は保持面３３に設けた孔５１、５３に挿通する。孔５１、５３は前後方向に矩形状に延びる。

支持部３８、４８は中心線Ｍの右方に設け、支持部３９、４９は中心線Ｍの左方に設ける。支持部３８は前後方向に延び、針５２を移動可能に支持する。支持部３８は部材３８１、３８２を有する。部材３８１は右上方に傾斜する部分３８３、部分３８３の左端から右下方に傾斜する部分３８４を有する正面視Ｌ字状である。部材３８２は部分３８４と平行に延びる板状であり、部分３８４と連結する。支持部３８は針５２を部分３８４と部材３８２の間に挟んで支持する。同様に支持部３９は前後方向に延び、針５４を移動可能に支持する。支持部３９は部材３９１、３９２を有する。部材３９１は左上方に傾斜する部分３９３、部分３９３の右端から左下方に傾斜する部分３９４を有する正面視Ｌ字状である。部材３９２は部分３９４と平行に延びる板状であり、部分３９４と連結する。支持部３９は針５４を部分３９４と部材３９２の間に挟んで支持する。

支持部４８、４９は前後方向に延び、基部３２の上面に設ける。支持部４８は部材４８１、４８２を備え、部材４８１、４８２の間に、支持部３８を移動可能に支持する。孔５１は部材４８１、４８２の間で、右下方に傾斜して延びる。支持部４８は支持部３８の移動を案内する。同様に支持部４９は部材４９１、４９２を備え、部材４９１、４９２の間に、支持部３９を移動可能に支持する。孔５３は部材４９１、４９２の間で、左下方に傾斜して延びる。支持部４９は支持部３９の移動を案内する。

エアシリンダ３５、３６は基部３２の上面側に設ける。エアシリンダ３５は針５２を保持面３３の孔５１から下方に突出する突出位置と、保持面３３よりも上方に退避した退避位置の間で移動する。エアシリンダ３５は前後方向に並ぶエアシリンダ３５１、３５２を含む。同様にエアシリンダ３６は針５４を保持面３３の孔５３から下方に突出する突出位置と退避位置の間で移動する。エアシリンダ３６は前後方向に並ぶエアシリンダ３６１、３６２を含む。各エアシリンダ３５、３６はピストン（図示略）と、ピストンを上方に付勢する付勢部材（図示略）を有する。エアシリンダ３５のピストンは支持部３８を介して針５２と連結する。エアシリンダ３６のピストンは支持部３９を介して針５４と連結する。図６、図７は突出位置を示し、図８、図９は退避位置を示す。突出位置における保持面３３からの針５２、５４の突出量は部品９の厚みよりも小さい。突出量は部品９の厚みに応じて変更可能でもよい。エアシリンダ３５、３６はエアチューブ９５を介してエアコンプレッサ（図示略）に接続する。供給口３７（図１０参照）は基部３２の上面に設け、流路７０と連通し、エアチューブ（図示略）を介してエアコンプレッサに接続する。供給口３７に接続するエアチューブとエアシリンダ３５、３６に接続するエアチューブ９５は別である。

制御部８０はエアシリンダ３５、３６の駆動及び流路７０〜７８への流体の供給を制御する。制御部８０は針５２、５４を突出位置に移動する指示を取得した時、エアシリンダ３５、３６を駆動して針５２、５４を退避位置から突出位置に移動する。制御部８０は針５２、５４を突出位置に移動しない指示を取得した時、エアシリンダ３５、３６を駆動して針５２、５４を退避位置に維持し、且つ流路７０〜７８に流体を供給する。

図２に示す如く、作業台６は部品供給装置４、５の右方に配置した直方体状の台である。作業台６の上面は略水平である。作業台６の上面の高さは、部品供給装置４、５の上端と略同じである。ＰＣ１００は公知のコンピュータであり、部品保持装置２３、部品供給機構２４、アーム装置３と電気的に接続し、各装置と信号を送受信する。

図１０を参照し部品保持装置２３の電気的構成を説明する。部品保持装置２３の制御部８０は、ＣＰＵ８１、ＲＯＭ８２、ＲＡＭ８３、通信Ｉ／Ｆ８４、入出力Ｉ／Ｆ８５を備える。ＣＰＵ８１、ＲＯＭ８２、ＲＡＭ８３は信号線８７を介して入出力Ｉ／Ｆ８５と電気的に接続する。ＣＰＵ８１は部品保持装置２３の制御を司り、ＲＯＭ８２が記憶する各種プログラムに従い処理を実行する。ＲＯＭ８２は部品供給プログラムを含む各種プログラム、各種初期設定パラメータ等を記憶する。ＲＡＭ８３はＣＰＵ８１の演算結果、各種データ等を一時的に記憶する。通信Ｉ／Ｆ８４は入出力Ｉ／Ｆ８５と電気的に接続する。通信Ｉ／Ｆ８４は例えばシリアル通信用のインターフェースである。通信Ｉ／Ｆ８４はＰＣ１００の通信Ｉ／Ｆに接続し、ＰＣ１００から各種指示を取得する。ＰＣ１００の通信Ｉ／Ｆはアーム装置３の制御部が備える通信Ｉ／Ｆ、部品供給機構２４の制御部が備える通信Ｉ／Ｆに接続する。部品保持装置２３の制御部８０は部品供給機構２４を直接制御可能であってもよい。

入出力Ｉ／Ｆ８５は電磁弁９１、９２と電気的に接続する。電磁弁９１はエアコンプレッサが供給口３７へ供給する空気の供給経路に設ける。電磁弁９２はエアコンプレッサがエアシリンダ３５、３６へ供給する空気の供給経路に設ける。ＣＰＵ８１は電磁弁９１、９２を開閉し、部品保持装置２３の駆動と非駆動を制御する。

搬送システム１が実行する処理の概要を説明する。搬送システム１はアーム装置３、部品供給装置４、５の部品保持装置２３と部品供給機構２４が協働し、部品供給機構２４が載置台２１に載置した最上位の部品９を作業台６上の搬送位置に搬送する。アーム装置３はＰＣ１００の指示に従い、部品保持装置２３の上下方向と水平方向の位置を制御する。部品保持装置２３の制御部８０はエアシリンダ３５、３６の駆動及び流路７０〜７８への流体の供給を制御する。部品供給機構２４はＰＣ１００の指示に従い載置台２１を上方に移動する。

図１１を参照し、第一実施形態の部品保持装置２３が実行する部品保持処理を説明する。第一実施形態の部品保持装置２３は作業者からの針５２、５４を突出位置に移動するか否かの指示を受け付ける。作業者がＰＣ１００を介して制御部８０に開始指示を入力すると、ＣＰＵ８１はＲＯＭ８２から部品供給プログラムをＲＡＭ８３に読み出す。本処理はアーム装置３が部品保持装置２３を保持位置に配置し、載置台２１に載置した最上位の部品９が保持面３３に当接した状態で実行する。処理開始時には電磁弁９１、９２は閉じている。開始指示は針５２、５４を突出位置に移動するか否かの指示を含む。部品保持装置２３は突出位置に移動する指示を取得した時、エアシリンダ３５、３６を駆動して針５２、５４を退避位置から突出位置に移動し、且つ流路７０〜７８に流体を供給しない。部品保持装置２３は針５２、５４を突出位置に移動しない指示を取得した時、針５２、５４を退避位置に維持し、且つ流路７０〜７８に流体を供給する。作業者は例えば部品９の素材に応じてＰＣ１００を介して部品保持装置２３に指示を入力する。作業者は部品９が空気を通しやすい時、針５２、５４を突出位置に移動する指示を入力する。部品９が空気を通しやすい時は例えば部品９の素材がメッシュ状、スポンジ状の布、織り目が比較的粗い布である時である。作業者は部品９の空気を通しにくい時、針５２、５４を突出位置に移動する指示を入力しない。部品９が空気を通しにくい時は例えば部品９の素材が樹脂シート状の布、織り目が比較的細かい布である時である。

図１１に示す如く、ＣＰＵ８１は開始指示が含む、針５２、５４を突出位置に移動するか否かの指示を取得する（Ｓ１）。ＣＰＵ８１はＳ１でＰＣ１００から取得した開始指示に依り針５２、５４を突出位置に移動する否かを判断する（Ｓ２）。針５２、５４を突出位置に移動すると判断した時（Ｓ２：ＹＥＳ）、ＣＰＵ８１は電磁弁９２を閉から開にして、針５２、５４を退避位置から突出位置に移動する（Ｓ３）。電磁弁９２が開の時、エアチューブ９５を介してエアシリンダ３５、３６に空気が流れる。各エアシリンダ３５、３６は支持部３８、３９を孔５１、５３の延設方向に沿った斜め下方向に押す。図６、図７に示す如く、各支持部３８、３９は支持部４８、４８から案内を受け、孔５１、５３に沿って斜め下に移動する。各支持部３８、３９が支持する針５２、５４は保持面３３の水平部３３１から下方に突出する。針５２、５４は載置台２１に載置した最上位の部品９に突き刺さり、最上位の部品９を保持する。針５２、５４は下側程中心線Ｍから離れるように傾斜する。針５２、５４は中心線Ｍに対して互いに反対側に傾斜する。故に部品保持装置２３は部品９を左右方向に引っ張った状態で保持できる。ＣＰＵ８１は保持終了か否かを判断する（Ｓ５）。図１３に示す如く、アーム装置３はＰＣ１００の指示に従い部品保持装置２３を上方に移動後、搬送位置に移動する。部品保持装置２３は保持位置から搬送位置に移動する間、一枚の部品９を吸着保持した状態を維持する。ＰＣ１００はアーム装置３から取得した信号に依り部品保持装置２３が搬送位置に有るか否かを示す信号を制御部８０に入力する。ＣＰＵ８１はＰＣ１００から取得した信号に依り部品保持装置２３が搬送位置にある時、保持終了と判断する。

保持終了でない時（Ｓ５：ＮＯ）、ＣＰＵ８１は処理をＳ５に戻す。保持終了の時（Ｓ５：ＹＥＳ）、ＣＰＵ８１は電磁弁９２を開から閉にして、針５２、５４を突出位置から退避位置に移動する（Ｓ６）。電磁弁９２が閉の時、エアチューブ９５を介してエアシリンダ３５、３６に空気が流れない。各エアシリンダ３５、３６のピストンは付勢部材により斜め上方に向かう力を受ける。図８、図９に示す如く、各支持部３８、３９は支持部４８、４８から案内を受け、孔５１、５３に沿って斜め上に移動する各支持部３８、３９が支持する針５２、５４は保持面３３の水平部３３１より上方に退避する。針５２、５４は部品９から抜け、部品９は保持面３３から離れる。部品９は作業台６に載置する。ＣＰＵ８１は以上で部品保持処理を終了する。

針５２、５４を突出位置に移動しないと判断した時（Ｓ２：ＮＯ）、ＣＰＵ８１は電磁弁９１を閉から開にし、且つ電磁弁９２を閉に維持して、針５２、５４を退避位置に維持し、且つ流路７０〜７８に流体を供給する（Ｓ８）。孔６１〜６８は保持面３３に沿って空気を噴出する。空気は保持面３３の傾斜部４４、４５に沿って、保持面３３と最上位の部品９の間を流れる。凹部４３の前方に設けた孔６１、６３、６５、６６と凹部４３の後方に設けた孔６２、６４、６７、６８から噴出する空気は中心線Ｍ（図６参照）から離れる側に流れる。孔６１、６４、６５、６７と、孔６２、６３、６６、６８は中心線Ｍを間にして配置する。孔６１〜６８から噴出する空気は凹部にある空気と共に流れ易い。故に凹部４３は負圧になり易い。部品保持装置２３は保持面３３と載置台２１に載置した最上位の部品９の間に生じる負圧により最上位の部品９を吸着して保持する。

ＣＰＵ８１はＳ５と同様に保持終了か否かを判断する（Ｓ９）。保持終了でない時（Ｓ９：ＮＯ）、ＣＰＵ８１は処理をＳ９に戻す。保持終了の時（Ｓ９：ＹＥＳ）、ＣＰＵ８１は電磁弁９１を開から閉にして、電磁弁９２は閉を維持して、流路７０〜７８に流体を供給する処理を停止する（Ｓ１０）。部品保持装置２３は基部３２の孔６１〜６８から保持面３３に沿った空気噴出を停止する。部品９は自重により作業台６に載置する。ＣＰＵ８１は以上で部品保持処理を終了する。

図１２を参照し、第二実施形態の部品保持処理を説明する。第二実施形態の部品保持装置２３は第一実施形態の部品保持装置２３と同様に作業者からの針５２、５４を突出位置に移動するか否かの指示を受け付ける。作業者がＰＣ１００を介して制御部８０に開始指示を入力すると、ＣＰＵ８１はＲＯＭ８２から部品供給プログラムをＲＡＭ８３に読み出し、本処理を実行する。処理開始時には電磁弁９１、９２は閉じている。開始指示は針５２、５４を突出位置に移動するか否かの指示を含む。部品保持装置２３は突出位置に移動する指示を取得した時、エアシリンダ３５、３６を駆動して針５２、５４を退避位置から突出位置に移動し、且つ流路７０〜７８に流体を供給する。部品保持装置２３は針５２、５４を突出位置に移動しない指示を取得した時、針５２、５４を退避位置に維持し、且つ流路７０〜７８に流体を供給する。即ち第二実施形態の部品保持処理は突出位置に移動する指示を取得した時、流路７０〜７８に流体を供給する点で、第一実施形態の部品保持処理と異なる。

図１２において図１１の第一実施形態の部品保持処理と同様の処理には同じ符号を付与する。図１２示す如く、第二実施形態の部品保持処理は、Ｓ３とＳ５の間にＳ４を行い、Ｓ６の後にＳ７を行う点で第一実施形態の部品保持処理と異なる。以下、第一実施形態と異なるＳ４、Ｓ７について説明する。ＣＰＵ８１はＳ４で電磁弁９１を閉から開にし、流路７０〜７８に流体を供給する（Ｓ４）。孔６１〜６８は保持面３３に沿って空気を噴出する。空気は保持面３３の傾斜部４４、４５に沿って、保持面３３と最上位の部品９の間を流れる。凹部４３の前方に設けた孔６１、６３、６５、６６と凹部４３の後方に設けた孔６２、６４、６７、６８から噴出する空気は中心線Ｍ（図６参照）から離れる側に流れる。孔６１、６４、６５、６７と、孔６２、６３、６６、６８は中心線Ｍを間にして配置する。孔６１〜６８から噴出する空気は凹部にある空気と共に流れ易い。故に凹部４３は負圧になり易い。部品保持装置２３はＳ３で突出位置に移動した針５２、５４で部品９を刺すのに加え、保持面３３と載置台２１に載置した最上位の部品９の間に生じる負圧により最上位の部品９を吸着して保持可能である。ＣＰＵ８１はＳ７で電磁弁９１を開から閉にして、流路７０〜７８に流体を供給する処理を停止する（Ｓ７）。部品保持装置２３は基部３２の孔６１〜６８から保持面３３に沿った空気噴出を停止する。部品９は自重により作業台６に載置する。ＣＰＵ８１は以上で部品保持処理を終了する。

上記実施形態の部品保持装置２３において基部３２、保持面３３、水平部３３１は本発明の基部、保持面、水平部の一例である。流路７０〜７８は本発明の流路の一例である。針５２、５４は本発明の針の一例である。エアシリンダ３５、３６は本発明のエアシリンダの一例である。制御部８０は本発明の制御部の一例である。孔６１、６５は各々本発明の第一孔の一例である。孔６２、６８は各々本発明の第二孔の一例である。孔６３、６６は各々本発明の第三孔の一例である。孔６４、６７は各々本発明の第四孔の一例である。流路７１、７５は各々本発明の第一流路の一例である。流路７２、７８は各々本発明の第二流路の一例である。流路７３、７６は各々本発明の第三流路の一例である、流路７４、７７は各々本発明の第四流路の一例である。第一流路部４１、凹部４３、第二流路部４２、第一傾斜部４４、第二傾斜部４５は本発明の第一流路部、凹部、第二流路部、第一傾斜部、第二傾斜部の一例である。Ｓ３、Ｓ６の処理を実行する制御部８０は本発明の針制御部の一例である。Ｓ４、Ｓ７の処理を実行する制御部８０は本発明の流体制御部の一例である。Ｓ３、Ｓ４、Ｓ６、Ｓ７、Ｓ８、Ｓ９を実行する制御部８０は本発明の制御部の一例である。電磁弁９１は本発明の供給部の一例である。Ｓ１を実行する制御部８０は本発明の取得部の一例である。

部品保持装置２３は流路７０〜７８に流体を供給することで布等のシート状の部品９を保持面３３との間に生じる負圧に依り吸着して保持でき、針５２、５４を突出位置にすることで空気を通しやすいシート状の部品９も保持できる。故に部品保持装置２３は保持面３３との間に負圧が生じにくく、吸着して保持しにくい空気を通しやすいシート状の部品９でも保持できる。

本態様の部品保持装置２３の針５２、５４は水平面と平行な方向において、孔６１〜６８を間にして対向配置してよい。該部品保持装置２３は針５２、５４を孔６１〜６８を間にして対向配置する為、針５２、５４が孔６１〜６８の一方側にある装置及び針５２、５４が単数である装置に比べ、空気を通しやすいシート状の部品９を針５２、５４で安定して保持面３３で保持できる。

部品保持装置２３の針５２、５４は突出位置にある時、針５２、５４の先端が孔６１〜６８から離れる方向に保持面３３に対して傾斜している。図７に示す如く、針５２（５２２）の先端は保持面３３に対して右斜め下側に傾斜し、針５４（５４２）の先端は保持面３３に対して左斜め下側に傾斜する。部品保持装置２３は部品９に針５２、５４を刺す時、部品９が撓むことを抑制できる。故に部品保持装置２３は針の先端が孔から離れる方向に保持面に対して傾斜していない装置に比べ、空気を通しやすいシート状の部品９を針５２、５４で安定して保持面３３で保持できる

部品保持装置２３は針５２、５４を突出位置に移動するか否かの指示をＰＣ１００を介して取得する。部品保持装置２３の制御部８０はエアシリンダ３５、３６の駆動及び流路７０〜７８への流体の供給を制御する。制御部８０は針５２、５４を突出位置に移動する指示を取得した時（Ｓ２：ＹＥＳ）、エアシリンダ３５、３６を駆動して針５２、５４を退避位置から突出位置に移動する（Ｓ３）。制御部８０は針５２、５４を突出位置に移動しない指示を取得した時（Ｓ２：ＮＯ）、針５２、５４を退避位置に維持し、且つ流路７０〜７８に流体を供給する（Ｓ８）。部品保持装置２３で部品９を保持するかの指示に応じて、針５２、５４を駆動するか否かを制御できる。部品保持装置２３は針５２、５４で部品９を保持しない時、針５２、５４を退避位置に維持する為、針で部品を傷つけることがない。部品保持装置２３は針５２、５４で部品９を保持する時のみ針５２、５４を突出位置に移動する為、部品９を保持しない時に針５２、５４が他の部材等に刺さることを防止できる。

第一実施形態の部品保持装置２３の制御部８０はエアシリンダ３５、３６を駆動して、針５２、５４を退避位置と突出位置とに制御する針制御部としての機能を有する。制御部８０は流路７０〜７８に流体を供給するか否かを切り替える電磁弁９１の駆動を制御する流体制御部としての機能を有する。制御部８０は針５２、５４を突出位置に移動する指示を取得した時、エアシリンダ３５、３６を駆動して針を退避位置から突出位置に移動する（Ｓ３）。制御部８０は針５２、５４を突出位置に移動する指示を取得した時、電磁弁９１を閉から開に切り替えない。第一実施形態の部品保持装置２３は針５２、５４で部品９を保持する時、流路７０〜７８に流体を供給せずにすむ。

第二実施形態の部品保持装置２３の制御部８０はエアシリンダ３５、３６を駆動して、針５２、５４を退避位置と突出位置とに制御する針制御部としての機能を有する。制御部８０は流路７０〜７８に流体を供給するか否かを切り替える電磁弁９１の駆動を制御する流体制御部としての機能を有する。制御部８０は針５２、５４を突出位置に移動する指示を取得した時、エアシリンダ３５、３６を駆動して針５２、５４を退避位置から突出位置に移動し（Ｓ３）、電磁弁９１を閉から開に切り替えて流路７０〜７８に流体を供給する（Ｓ４）。故に第二実施形態の部品保持装置２３は針５２、５４で部品９を保持するか否かに関わらず、流路７０〜７８に流体を供給できる。故に部品保持装置２３は保持面３３で部品９を保持する時、流路７０〜７８に流体を供給すればよく、流路７０〜７８に流体を供給する制御が容易となる。部品保持装置２３は保持面で部品を保持する時、孔６１〜６８から噴出した流体が部品９と保持面３３の間を流れる為、保持面３３が保持する部品９にしわが形成しにくい。

部品保持装置２３は孔６１、６２、６５、６８、流路７１、７２、７５、７８、凹部４３を備える。部品保持装置２３は流路７１、７２、７５、７８に流体を供給することで各孔６１、６５から第一方向に流体が噴出し、各孔６２、６８から第二方向に流体が噴出する。故に孔６１、６５と孔６２、６８は凹部４３を間にして互いに逆の方向に流体を噴出する為、保持面３３と部品９の間における凹部４３の空間を効率的に負圧にでき、凹部４３を設けない装置よりも保持面３３と対向する部品９を凹部４３側に強く引き寄せることができる。故に部品保持装置２３は容易に吸着力を従来の装置より大きくでき、布等のシート状の部品９をより確実に吸着して保持できる。

部品保持装置２３は孔６３、６４、６６、６７、流路７３、７４、７６、７７を備える。部品保持装置２３は流路７１、７２、７３、７４、７５、７６、７７、７８に流体を供給することで、流路７１、７２、７５、７８のみに流体を供給する装置より保持面３３と部品９の間となる凹部４３の空間をより確実に負圧にでき、保持面３３と対向する部品９を凹部４３側に引き寄せることができる。

部品保持装置２３は第一流路部４１、第二流路部４２、第一傾斜部４４、第二傾斜部４５を有する。部品保持装置２３では孔６１、６４、６５、６７から噴出する流体は第一傾斜部４４に沿って移動し、孔６２、６３、６６、６８から噴出する流体は第二傾斜部４５に沿って保持面３３と部品９の間を移動する。故に部品保持装置は第一、第二傾斜部を備えない装置に比べ、保持面３３と部品９の間となる凹部４３の空間をより確実に負圧にでき、保持面３３と対向する部品９を凹部４３側に引き寄せることができる。

本発明の部品保持装置２３は上記実施形態の他に種々変更できる。部品保持装置２３は搬送システム１の部品供給装置４、５に設ける必要はない。部品保持装置２３はアーム装置３に取り外し可能に装着可能しなくてもよい。部品保持装置２３をアーム装置３に装着する時、アーム装置３の構成は適宜変更してよい。基部３２の構成は適宜変更してよい。基部３２は平面視矩形状であったが、楕円状等他の形状でもよい。針５２、５４の数、保持面３３に対する傾斜角度、配置等は適宜変更してよい。針５２、５４は孔６１〜６８を間にして対向配置しなくてもよい。針５２、５４を支持する支持部３８、３９、４８、４９の構成、配置は適宜変更してよい。

第二実施形態において電磁弁９１は供給口３７に加え、エアシリンダ３５、３６に連通してもよく、制御部８０は流路に流体を供給する処理と針の位置を制御する処理を同じタイミングで行ってもよい。孔６１〜６８は保持面３３に沿って流体を供給可能に設ければ良い。孔の数、配置、流路に対する向き、大きさ等は適宜変更してよい。部品保持装置は孔として孔６１と孔６２のみを有してもよい。部品保持装置は孔として孔６１、６５の少なくとも何れかと孔６２、６８の少なくとも何れかのみを有してもよい。凹部４３を効率的に負圧にする観点から、部品保持装置は第一孔を凹部４３と第一流路部４１の境界の近くに設ける方が、該境界から離れて設ける時に比べ好ましい。部品保持装置は第二孔を凹部４３と第二流路部４２の境界の近くに設ける方が、該境界から離れて設ける時に比べ好ましい。例えば、部品保持装置は孔として孔６５、６８のみを設けるより、孔６１、６２のみを設ける方が好ましい。部品保持装置は孔として孔６１、６２、６３、６４のみを有してもよい。部品保持装置は孔として孔６５、６６、６７、６８のみを有してもよい。流路は孔の数、形状、大きさ、配置に応じて適宜変更してよい。部品保持装置は流路として流路７１、７５の少なくとも何れかと流路７２、７８の少なくとも何れかのみを有していてもよい。部品保持装置は第一流路と第二流路とで、流体を供給する供給口が異なっていても良い。部品保持装置は流路として流路７１、７２、７３、７４のみを有していても良い。部品保持装置２３は保持面３３に第一流路部４１、凹部４３、第二流路部４２、第一傾斜部４４、第二傾斜部４５の全部又は一部を備えなくてもよい。水平部３３１、第一流路部４１、凹部４３、第二流路部４２、第一傾斜部４４、第二傾斜部４５の形状、大きさ、配置等は適宜変更してよい。例えば凹部４３は半球状に上方に凹んだ形状でもよい。

図１１、図１２の部品保持処理を実行する為の部品保持プログラムは部品保持装置２３がプログラムを実行する迄に部品保持装置２３が備える記憶機器が記憶すればよい。プログラムの取得方法、取得経路、プログラムを記憶する機器の各々は適宜変更してよい。部品供給装置４はプロセッサが実行するプログラムをケーブル又は無線通信を介して他の装置から受信し、記憶機器に記憶してもよい。他の装置は例えばＰＣ、ネットワーク網を介して接続するサーバを含む。部品保持装置２３が備える記憶機器はＨＤＤ、ＳＳＤ等の記憶機器でもよい。

図１１、図１２の部品供給処理の各ステップはＣＰＵ８１が実行する例に限らず、他の電子機器（例えば、ＡＳＩＣ）が一部又は全部の処理を実行してもよい。上記処理の各ステップは複数の電子機器（例えば、複数のＣＰＵ）が分散処理してもよい。上記実施形態の部品供給処理の各ステップは必要に応じて順序の変更、ステップの省略、追加ができる。本発明は部品保持装置２３のプロセッサからの指令に依り部品保持装置２３上で稼動するＯＳ等が実際の処理の一部又は全部を行い、上記実施形態の機能を実現する態様も含む。制御部８０は針を突出位置に移動するか否かの指示として部品の素材を取得してもよい。該時、制御部８０は空気を通しやすい素材のリストを予め記憶し、取得した部品の素材が空気を通しやすいかを判断してもよい。制御部８０は取得した部品の素材が空気を通しやすい時、針を突出位置に移動し、部品の素材が空気を通しにくい時、針を退避位置に維持してもよい。制御部８０は部品又は載置台２１に付与したＲＦＩＤ等を読み取って針を突出位置に移動するか否かの指示を取得してもよい。制御部８０は部品供給機構２４を制御してもよい。

２３ 部品保持装置
３２ 基部
３３ 保持面
３５、３６ エアシリンダ
５２、５４ 針
６１〜６８ 孔
７０〜７８ 流路
８０ 制御部
８１ ＣＰＵ
８２ ＲＯＭ
８３ ＲＡＭ
３３１ 水平部

Claims (9)

1. 下面にシート状の部品を保持する保持面を有する基部と、前記基部に設け、前記保持面に設けた孔と連通する流路とを備え、前記流路に供給した流体を前記孔から噴出することで、前記保持面と前記部品の間に生じる負圧により前記部品を吸着して保持する部品保持装置において、
   前記保持面に対して傾斜した姿勢で前記基部に設けた針と、
   前記針を前記保持面から下方に突出する突出位置と前記保持面よりも上方に退避した退避位置の間で移動するエアシリンダと
   を備える部品保持装置。
2. 前記針は水平面と平行な方向において、前記孔を間にして対向配置することを特徴とする請求項１に記載の部品保持装置。
3. 前記針は前記突出位置にある時、前記針の先端が前記孔から離れる方向に前記保持面に対して傾斜することを特徴とする請求項２に記載の部品保持装置。
4. 前記針を前記突出位置に移動するか否かの指示を取得する取得部と、
   前記エアシリンダの駆動及び前記流路への前記流体の供給を制御する制御部と
   を更に備え、
   前記取得部が前記針を前記突出位置に移動する指示を取得した時、前記制御部は、前記エアシリンダを駆動して前記針を前記退避位置から前記突出位置に移動し、
   前記取得部が前記針を前記突出位置に移動しない指示を取得した時、前記制御部は、前記針を前記退避位置に維持し、且つ前記流路に前記流体を供給することを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の部品保持装置。
5. 前記制御部は、
   前記エアシリンダを駆動して、前記針を前記退避位置と前記突出位置とに制御する針制御部と、
   前記流路に前記流体を供給する供給部の駆動を制御する流体制御部とを備え、
   前記針制御部は、前記取得部が前記針を前記突出位置に移動する指示を取得した時、前記エアシリンダを駆動して前記針を前記退避位置から前記突出位置に移動し、
   前記流体制御部は、前記取得部が前記針を前記突出位置に移動する指示を取得した時、前記供給部を駆動しないことを特徴とする請求項４に記載の部品保持装置。
6. 前記制御部は、
   前記エアシリンダを駆動して、前記針を前記退避位置と前記突出位置とに制御する針制御部と、
   前記流路に前記流体を供給する供給部の駆動を制御する流体制御部とを備え、
   前記針制御部は、前記取得部が前記針を前記突出位置に移動する指示を取得した時、前記エアシリンダを駆動して前記針を前記退避位置から前記突出位置に移動し、
   前記流体制御部は、前記取得部が前記針を前記突出位置に移動する指示を取得した時、前記供給部を駆動して前記流路に前記流体を供給することを特徴とする請求項４に記載の部品保持装置。
7. 前記保持面は水平に延びる水平部を有し、
   前記孔は、
   前記保持面の前記水平部と平行な所定方向において一方側に設け、前記所定方向と直交する方向に開口する第一孔と、
   前記保持面の前記所定方向において前記一方側とは反対の他方側に設け、前記第一孔と平行な方向に開口する第二孔と
   を備え、
   前記流路は、
   前記第一孔と連通し、前記第一孔に向かい第一方向に延びる第一流路と、
   前記第二孔と連通し、前記第二孔に向かい前記第一方向と反対方向の第二方向に延びる第二流路と
   を備え、
   前記基部は、前記第一孔と前記第二孔の間に設け、前記保持面の前記水平部より上方に凹む凹部を有することを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の部品保持装置。
8. 前記孔は、
   前記保持面の前記凹部に対して前記一方側に設けた第三孔と、
   前記保持面の前記凹部に対して前記他方側に設けた第四孔と
   を更に備え、
   前記流路は
   前記第三孔及び前記第一流路と連通する第三流路と、
   前記第四孔及び前記第二流路と連通する第四流路と
   を更に備え、
   前記第三流路から前記第三孔に向かう方向は前記第二方向であり、
   前記第四流路から前記第四孔に向かう方向は前記第一方向であることを特徴とする請求項７に記載の部品保持装置。
9. 前記基部は前記保持面に
   前記第一孔、前記第三孔を設け、前記凹部よりも下方に突出する第一流路部と、
   前記第一流路部に対して前記凹部を間にして配置し、前記第二孔、前記第四孔を設け、前記凹部よりも下方に突出する第二流路部と、
   前記第一流路部の上端、前記凹部、前記第二流路部の上端と接続し、前記第一方向に向けて下方に傾斜した第一傾斜部と、
   前記第一流路部の上端、前記凹部、前記第二流路部の上端と接続し、前記第二方向に向けて下方に傾斜した第二傾斜部と
   を備えることを特徴とする請求項８に記載の部品保持装置。

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