JP2009272337A - 非接触搬送装置及びベルヌーイチャック - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ハンド本体7に複数のベルヌーイチャック13が設けられ、各ベルヌーイチャック13は、先端側が開口しかつエアを噴出可能なノズル口15をそれぞれ有し、各ベルヌーイチャック13にノズル口15の内壁面に沿うようにエアを導入可能かつエアを供給するエア供給源19に接続した導入孔17がそれぞれ形成され、各ベルヌーイチャック13のノズル口15の周縁部が先鋭形状をそれぞれ呈していること。
【選択図】図2
Description
1 非接触搬送装置
3 搬送アーム
5 保持ハンド
7 ハンド本体
9 保持面
11 排出スリット
13 ベルヌーイチャック
15 ノズル口
17 導入孔
19 エア供給源
21 ストッパ
Claims (5)
- 板状のワークを非接触で保持した状態の下で搬送方向へ搬送する非接触搬送装置において、
搬送方向へ移動可能な移動部材と、該移動部材に設けられかつワークを上方向から非接触で保持する保持ハンドとを具備し、
前記保持ハンドは、
前記移動部材に設けられ、一側にワークを保持可能な保持面を有したハンド本体と、
前記ハンド本体に設けられ、先端側が開口しかつ作動流体を噴出可能なノズル口をそれぞれ有し、前記ノズル口の内壁面に沿うように作動流体を導入可能かつ作動流体を供給する作動流体供給源に接続した導入孔がそれぞれ形成され、前記ノズル口の周縁部が先鋭形状をそれぞれ呈してあって、ベルヌーイ効果を利用して前記ハンド本体の前記保持面とワークの表面と間に負圧を発生させる複数のベルヌーイチャックとを備えたことを特徴とする非接触搬送装置。 - 各ベルヌーイチャックは、前記ハンド本体の前記保持面に対してそれぞれ突出してあることを特徴とする請求項1に記載の非接触搬送装置。
- 前記先鋭形状は、外径が先端方向へ向かって縮径する外テーパ形状、内径が先端方向へ向かって拡径する内テーパ形状、前記外テーパ形状と前記内テーパ形状を合わせた複合テーパ形状のいずれかであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の非接触搬送装置。
- 板状のワークを非接触で保持する保持ハンドの構成要素の1つであって、ベルヌーイ効果を利用して前記保持ハンドの保持面とワークの表面との間に負圧を発生させるベルヌーイチャックにおいて、
先端側が開口しかつ作動流体を噴出可能なノズル口を有し、前記ノズル口の内壁面に沿うように作動流体を導入可能な導入孔が形成され、前記ノズル口の周縁部が先鋭形状を呈してなることを特徴とするベルヌーイチャック。 - 前記先鋭形状は、外径が先端方向へ向かって縮径する外テーパ形状、内径が先端方向へ向かって拡径する内テーパ形状、前記外テーパ形状と前記内テーパ形状を合わせた複合テーパ形状のいずれかであることを特徴とする請求項4に記載のベルヌーイチャック。
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JP2008119096A JP5040795B2 (ja) | 2008-04-30 | 2008-04-30 | 非接触搬送装置 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011065030A1 (ja) | 2009-11-30 | 2011-06-03 | パナソニック株式会社 | マグネトロン及びマイクロ波利用機器 |
CN113277302A (zh) * | 2020-02-19 | 2021-08-20 | Smc 株式会社 | 非接触输送装置 |
JP7418924B2 (ja) | 2020-05-13 | 2024-01-22 | 株式会社ディスコ | 保持機構 |
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-
2008
- 2008-04-30 JP JP2008119096A patent/JP5040795B2/ja active Active
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