JP7048287B2

JP7048287B2 - 除塵装置

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Inventors: 智博阪路; 勇介服部
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Description

本発明は、除塵装置に関する。

製造工程においては、ワークの上の塵埃を除去するために種々の除塵装置が使用されている。除塵装置には、固体または液体からなる除去剤をワークに接触させて除塵する方式のほか、気体の吐出および吸引によって形成される気流によって除塵する方式がある（特許文献１を参照。）。気流によって除塵する除塵装置は、除去剤をワークに接触させる方式に比べて、ワーク表面に傷が付いたり、ワーク表面の被膜が剥がれたりするという不具合が生じ難いという利点がある。さらに、気流における水分量、温度、化学的特性は調整し易い。このため、水分量の変化等が性能に影響を及ぼすワークに対しては、気流によって除塵することによって、ワークの性能の低下や劣化を招き難いという利点もある。

特開２００３－３３２４０１号公報

気流によって除塵する除塵装置は、上記の利点を有する一方、気流の風速の設定が難しいという問題がある。すなわち、気流の風速を比較的高風速に設定した場合には、比較的小さい塵埃および比較的大きい塵埃の両方をワークから浮き上がらせることができる。しかしながら、高風速であるがゆえに、比較的小さい塵埃の一部は、吸引口に向かう主流から外れた気流にも乗り、周囲の雰囲気に撒き散らされてしまい、十分に回収できない。撒き散らされた比較的小さい塵埃がワークの上に再び戻ってしまう虞がある。一方、気流の風速を比較的低風速に設定した場合には、比較的小さい塵埃の拡散を抑制できるものの、比較的大きい塵埃をワークから浮き上がらせることができず十分に除去できない。

そこで、本発明の目的は、塵埃の拡散抑制と、塵埃の十分な除去との両立を図ることができる除塵装置を提供することにある。

上記目的を達成するための本発明の除塵装置は、搬送されるシート形状を有するワークの上の塵埃を、気流によって除去する第１クリーナーと、ワーク搬送方向に沿って前記第１クリーナーよりも下流側に配置され、前記ワークの上の塵埃を気流によって除去する第２クリーナーと、を有する。前記第１クリーナーの気流は、気体の吐出および吸引によって形成され、前記第２クリーナーの気流も、気体の吐出および吸引によって形成される。前記第１クリーナーの気流は、前記第２クリーナーの気流よりも低風速である。ここに、前記第２クリーナーは、気体を吐出する第２吐出口と、気体および塵埃を吸引する第２吸引口とを有し、前記第２吐出口および前記第２吸引口は、前記ワーク搬送方向に対して交差する方向に配置されてなり、前記第２吐出口が開口する方向は、搬送される前記ワークに交差しない位置に向けられている。

本発明の除塵装置によれば、塵埃の拡散抑制と、塵埃の十分な除去との両立を図ることができる。

電池を示す斜視図である。図１の２－２線に沿う断面図である。電池の電極を示す断面図である。図３に二点鎖線によって囲まれた領域を拡大し、電極の表面に塵埃が付着した状態を模式的に示す断面図である。電極を搬送する搬送経路、および搬送経路に配置された除塵装置を示す側面図である。電極を搬送する搬送経路、および搬送経路に配置された除塵装置を示す平面図である。除塵装置の第１クリーナーを示す底面図である、第１クリーナーを示す断面図である、第１クリーナーの作用に説明に使用する断面図である。第２クリーナーを図５の１０－１０線に沿って示す断面図である。第１クリーナーが除去する塵埃の寸法範囲、および第２クリーナーが除去する塵埃の寸法範囲を模式的に示すグラフである。

以下、添付した図面を参照しながら、実施形態について説明する。図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。図面における各部材の大きさや比率は、説明の都合上誇張され実際の大きさや比率とは異なる場合がある。

まず、製造対象の電池１０を簡単に説明する。

図１は、電池１０を示す斜視図、図２は、図１の２－２線に沿う断面図である。図３は、電極２３を示す断面図、図４は、図３に二点鎖線によって囲まれた領域を拡大し、電極２３の表面２３ａに塵埃が付着した状態を模式的に示す断面図である。

電池１０は、積層型の電池であり、発電要素１１と、発電要素１１を収容する外装フィルム１２と、発電要素１１に電気的に接続され外装フィルム１２の外部に導出された正極タブ１３および負極タブ１４とを有している。外装フィルム１２は、金属層の両面が樹脂フィルムによって挟まれた積層構造を有する。外装フィルム１２を重ね合わせた封止部１２ａは、樹脂フィルム同士を熱融着によって接合して封止される。

発電要素１１は、正極集電体１６の面上に正極活物質層１７を配置してなる正極１５と、負極集電体１９の面上に負極活物質層２０を配置してなる負極１８と、電解質を保持するセパレータ２１とを有している。正極活物質層１７と負極活物質層２０とをセパレータ２１を挟んで対向させることによって、単電池層２２が形成されている。発電要素１１は、単電池層２２が複数積層された状態において外装フィルム１２の内部に電解液とともに収納される。正極タブ１３は正極１５に電気的に接続され、負極タブ１４は負極１８に電気的に接続されている。

図２に示される発電要素１１にあっては、最外層に位置する最外層電極は負極１８である。最外層の負極１８は、負極集電体１９の一方の面上にのみ負極活物質層２０が配置されている。なお、最外層の負極１８は、負極集電体１９の両面上に負極活物質層２０を配置したものでよい。また、最外層電極は正極１５でもよい。

正極１５および負極１８を区別する必要がないときには、これらを総称して電極２３といい、正極集電体１６および負極集電体１９を総称して集電体２４といい、正極活物質層１７および負極活物質層２０を総称して活物質層２５という。

電池１０は複数の工程を経て製造される。電極２３（正極１５および負極１８を）は、ロール状に巻回された電極基材を引き出しつつ、切断装置によって所定の大きさに切断することによって形成される（切断工程）。切断された電極２３は、積層装置によってセパレータ２１と交互に積層される（積層工程）。電極基材を切断するときに、集電体２４の微小な切り屑が生じる。図３および図４に示すように、電極２３の表面２３ａには、集電体２４の切り屑が塵埃となって付着することがある。また、切断された電極２３を積層装置に向けて搬送しているときに、雰囲気中に漂っていた塵埃が電極２３の表面２３ａに付着することもある。

塵埃３０は、比較的小さい塵埃３１と、比較的大きい塵埃３２とに大別できる。比較的小さい塵埃３１および比較的大きい塵埃３２を区別する必要がないときには、これらを総称して塵埃３０という。塵埃３０の大きさは、集電体２４の肉厚、形成材料、切断方法などによって種々の寸法となる。一例を挙げれば、例えば、比較的小さい塵埃３１は５０μｍ未満の小粒径であり、比較的大きい塵埃３２は５０μｍ以上の大粒径である。以下の説明では、比較的小さい塵埃３１を単に「小塵埃３１」といい、比較的大きい塵埃３２を単に「大塵埃３２」ともいう。

集電体２４の切り屑からなる塵埃３０は導体である。製造後の電池１０に内部短絡の不良が生じることを防止するために、電極２３の上の導体の塵埃３０を除去しておく必要がある。そこで、切断装置によって切断された電極２３を積層装置に向けて搬送する搬送経路に、除塵装置４０が配置されている。

次に、本実施形態の除塵装置４０を説明する。本実施形態では、搬送されるシート形状を有するワークとして、電池１０用の電極２３を例に挙げる。

図５および図６は、電極２３を搬送する搬送経路４１、および搬送経路４１に配置された除塵装置４０を示す側面図および平面図である。図７は、除塵装置４０の第１クリーナー５０を示す底面図、図８は、第１クリーナー５０を示す断面図、図９は、第１クリーナー５０の作用に説明に使用する断面図である。図１０は、第２クリーナー７０を図５の１０－１０線に沿って示す断面図である。図１１は、第１クリーナー５０が除去する塵埃３０の寸法範囲、および第２クリーナー７０が除去する塵埃３０の寸法範囲を模式的に示すグラフである。

図５および図６に示される搬送経路４１は、例えば、電極２３を切り出す切断工程と、電極２３およびセパレータ２１を積層する積層工程との間の搬送経路４１である。切断装置によって切断された電極２３は、搬送経路４１に配置された搬送部４２によって積層装置に向けて搬送される。搬送部４２は、例えば、サクションベルト４２などから構成されている。サクションベルト４２は多孔質の材料から形成されている。サクションベルト４２の裏面（図中下面）側に図示しない吸引機構が配置されている。吸引機構によって吸引することによって、サクションベルト４２の表面（図中上面）に電極２３が保持される。サクションベルト４２が矢印４３によって示される方向に移動することによって、サクションベルト４２上に保持された電極２３が積層装置に向けて電極搬送方向４４に搬送される。除塵装置４０は、搬送経路４１に配置され、順次搬送されてくる電極２３の上の塵埃３０を除去する。

図５および図６を参照して、本実施形態の除塵装置４０は、概説すると、搬送される電極２３の上の塵埃３０を除去する第１クリーナー５０と、電極搬送方向４４に沿って第１クリーナー５０よりも下流側に配置され電極２３の上の塵埃３０を除去する第２クリーナー７０と、を有している。第１クリーナー５０は、気体の吐出および吸引によって形成される気流５１によって除塵する。第２クリーナー７０も同様に、気体の吐出および吸引によって形成される気流７１によって除塵する。そして、第１クリーナー５０の気流５１は、第２クリーナー７０の気流７１よりも低風速に設定してある。以下、詳述する。

図７、図８、図９をも参照して、第１クリーナー５０は、ケーシング５２の下面に、気体を吐出する第１吐出口５３と、気体および塵埃３０を吸引する第１吸引口５４とを有している。第１吐出口５３は、電極搬送方向４４に沿って第１吸引口５４よりも上流側に配置されている。第１吐出口５３から気体を吐出し、第１吸引口５４に気体を吸引することによって気流５１が形成される。第１クリーナー５０における気流５１の方向は、電極搬送方向４４と同じ方向である（図６において左から右への方向）。

ケーシング５２内は、仕切り壁５５によって区画され、第１吐出口５３に連通する供給通路５６と、第１吸引口５４に連通する排出通路５７とが形成されている。供給通路５６には、気体を供給する給気部５８が接続されている。給気部５８は、例えば、ブロワーやコンプレッサなどから構成される。排出通路５７には、気体および塵埃３０を吸引する吸引部５９が接続されている。吸引部５９は、ブロワーや集塵フィルターなどから構成される。

第１クリーナー５０は、吸引部５９による気体の吸引量が、給気部５８による気体の吐出量よりも多く設定されている。

電極２３の表面２３ａと、第１吐出口５３および第１吸引口５４との間のクリアランスｈは特に限定されないが、２ｍｍ未満程度に設定することが好ましい。クリアランスｈを必要以上に大きくすると、電極２３から浮き上がった塵埃３０が第１吸引口５４に回収されずに周囲の雰囲気に撒き散らされてしまう虞があるからである。

第１クリーナー５０は、ケーシング５２の側面のうち電極搬送方向４４上流側の後面にガイドプレート６０が取り付けられている。また、ガイドローラ６１が、ケーシング５２の下部に回転自在に取り付けられている。ガイドローラ６１は、第１吐出口５３および第１吸引口５４のそれぞれに取り付けられている。ガイドプレート６０およびガイドローラ６１は、電極２３の搬送方向前側（下流側）に伸びている集電体２４をガイドする。これによって、搬送方向前側がめくれ上がっている電極２３は、第１吐出口５３や第１吸引口５４にまき込まれない。

封止プレート６２が、ケーシング５２の下面に取り付けられている。封止プレート６２は、ガイドローラ６１が臨む開口部６３、６４を有する。封止プレート６２によっても、搬送方向前側がめくれ上がっている電極２３は、第１吐出口５３や第１吸引口５４にまき込まれない。第１吐出口５３および第１吸引口５４は、封止プレート６２の開口部６３、６４とガイドローラ６１との間の隙間によって形成される。第１吸引口５４および第１吸引口５４の開口面積は適宜の大きさに設定できる。気体の吸引量を吐出量よりも多く設定するため、第１吸引口５４の開口面積を第１吐出口５３の開口面積よりも大きくすることができる。

図１０をも参照して、第２クリーナー７０は、気体を吐出する第２吐出口７２が形成された吐出側ケーシング７３と、気体および塵埃３０を吸引する第２吸引口７４が形成された吸引側ケーシング７５と、とを有している。吐出側ケーシング７３および吸引側ケーシング７５は、サクションベルト４２を間に挟むように配置されている。したがって、第２吐出口７２および第２吸引口７４は、電極搬送方向４４に対して交差する方向に配置されている。第２吐出口７２から気体を吐出し、第２吸引口７４に気体を吸引することによって気流７１が形成される。第２クリーナー７０における気流７１の方向は、電極搬送方向４４に対して交差する方向である（図６において下から上への方向）。第１クリーナー５０および第２クリーナー７０は、第１クリーナー５０における気流５１の方向と、第２クリーナー７０における気流７１の方向とが交差するように配置されている。

吐出側ケーシング７３には、気体を供給する給気部７６が接続されている。給気部７６は、例えば、ブロワーやコンプレッサなどから構成される。吸引側ケーシング７５には、気体および塵埃３０を吸引する吸引部７７が接続されている。吸引部７７は、ブロワーや集塵フィルターなどから構成される。

第２クリーナー７０は、吸引部７７による気体の吸引量が、給気部７６による気体の吐出量よりも多く設定されている。

第２吐出口７２が開口する方向は、搬送される電極２３に交差しない位置に向けられている（図１０を参照）。この制限は、第２吐出口７２から吐出された気体の主流が電極２３の上面に直接衝突することがないことを意味する。図１０に破線によって示すように、第２吐出口７２から吐出された気体の主流が電極２３の上面に直接衝突すると、衝突後の気流は、図において右側への流れ７８と、左側への流れ７９とに分岐する。左側に分岐した流れ７９は第２吸引口７４に吸引されないため、塵埃３０が周囲の雰囲気に撒き散らされてしまう。撒き散らされた塵埃３０が電極２３の上に再び戻ってしまうことになる。このような不具合が生じることを防止するため、第２吐出口７２が開口する方向は、搬送される電極２３に交差しない位置に向けることが好ましい。

第１クリーナー５０における気流５１の風速は、例えば５０μｍ未満の小粒径を多く含む小塵埃３１を電極２３から浮かすことができる程度の風速である。浮き上がらせた小塵埃３１をさらに吹き飛ばすほどの風速は必要としない。第１クリーナー５０における気流５１の風速では、例えば５０μｍ以上の大粒径を多く含む大塵埃３２を電極２３から浮き上がらせることはできない。一方、第２クリーナー７０における気流７１の風速は、大塵埃３２を電極２３から浮き上がらせ、さらに吹き飛ばす程度の風速である。

第１クリーナー５０における気流５１の風速および第２クリーナー７０における気流７１の風速は、第１クリーナー５０の気流５１が第２クリーナー７０の気流７１よりも低風速である限りにおいて、除去すべき塵埃３０の大きさ、重さなどに応じて適宜変更することができる。テストピースを用いて塵埃３０の除去率などを検証することによって、第１クリーナー５０および第２クリーナー７０の風速が決定される。一例を挙げれば、第１クリーナー５０における気流５１の風速は、電極２３の表面２３ａにおいて４～５ｍ／ｓ未満であり、第２クリーナー７０における気流７１の風速は、電極２３の表面２３ａにおいて７ｍ／ｓ以上である。

除塵装置４０は、第１クリーナー５０および第２クリーナー７０のそれぞれの動作を制御する制御部９０を有している。制御部９０は、ＣＰＵやメモリーなどを備えている。制御部９０は、第１クリーナー５０の給気部５８および吸引部５９に接続され、第２クリーナー７０の給気部７６および吸引部７７に接続されている。制御部９０は、それぞれの給気部５８、７６および吸引部５９、７７の動作を制御し、設定された吐出量および吸引量とする。

使用する気体は、特に限定されないが、窒素ガスなどの不活性ガスや乾燥空気が使用される。また、電極２３、特に活物質層２５の性能の劣化を招かないようにするため、除塵に使用する気体は、他の製造工程において管理されている水分量や温度の条件と同じ条件に調整される。

次に、本実施形態の作用を説明する。

図５および図６に示すように、切断装置によって切断された電極２３は、搬送経路４１に配置されたサクションベルト４２によって積層装置に向けて搬送される。除塵装置４０は、順次搬送されてくる電極２３の上の塵埃３０を除去する。

図８に示すように、除塵装置４０の第１クリーナー５０は、第１吐出口５３から気体を吐出し、第１吸引口５４に気体を吸引することによって気流５１を形成する。気流５１の方向は、電極搬送方向４４と同じ方向である。第１クリーナー５０における気流５１の風速は、小塵埃３１を電極２３から浮かすことができる程度の風速に設定されている。浮き上がらせた小塵埃３１をさらに吹き飛ばすほどの風速は必要としない。また、大塵埃３２を電極２３から浮き上がらせることもできない。図８に白抜き矢印によって示すように、第１クリーナー５０の周囲の気体も第１吸引口５４に向けて流れる。

図９に示すように、電極２３から浮き上がった小塵埃３１は、電極２３の搬送に伴う慣性力を受けて、第１吸引口５４に向かって流れる。

そして、図９に破線によって示すように、電極２３がさらに搬送されると、小塵埃３１は、気体と一緒に第１吸引口５４に吸引され、電極２３から除去される。

図１０に示すように、除塵装置４０の第２クリーナー７０は、第２吐出口７２から気体を吐出し、第２吸引口７４に気体を吸引することによって気流７１を形成する。気流７１の方向は、電極搬送方向４４に対して交差する方向である。第２クリーナー７０における気流７１の風速は、大塵埃３２を電極２３から浮き上がらせ、さらに吹き飛ばす程度の風速である。第２クリーナー７０の周囲の気体も第２吸引口７４に向けて流れる。

電極２３から浮き上がった大塵埃３２は、第２吸引口７４に向けて吹き飛ばされる。

そして、大塵埃３２は、気体と一緒に第２吸引口７４に吸引され、電極２３から除去される。

図１１に示すように、除塵装置４０は、第１クリーナー５０において矢印９１によって示すように小塵埃３１が除去され、第２クリーナー７０において矢印９２によって示すように大塵埃３２が除去される。

以上説明したように、本実施形態の除塵装置４０は、搬送される電極２３の上の塵埃３０を気流５１によって除去する第１クリーナー５０と、電極搬送方向４４に沿って第１クリーナー５０よりも下流側に配置され、電極２３の上の塵埃３０を気流７１によって除去する第２クリーナー７０と、を有している。そして、第１クリーナー５０の気流５１は、第２クリーナー７０の気流７１よりも低風速である。

このように構成することによって、塵埃３０の拡散抑制と、塵埃３０の十分な除去との両立を図ることができる除塵装置４０を提供することができる。すなわち、電極搬送方向４４の上流側に配置した第１クリーナー５０の気流５１は、電極搬送方向４４の下流側に配置した第２クリーナー７０の気流７１よりも低風速であるため、最初に、第１クリーナー５０において小塵埃３１（比較的小さい塵埃３１）を電極２３から浮き上がらせて十分に回収できる。その後に、第２クリーナー７０において大塵埃３２（比較的大きい塵埃３２）を電極２３から浮き上がらせ、さらに吹き飛ばして十分に回収できる。小塵埃３１が既に回収されているため、第２クリーナー７０における気流７１を比較的高風速にしても、小塵埃３１が周囲の雰囲気に撒き散らされることはなく、大塵埃３２を十分に除去できる。このように、最初に低風速で小塵埃３１を除去し、その後、高風速で大塵埃３２を除去することによって、塵埃３０の周囲への拡散を抑制して、小塵埃３１と大塵埃３２との両方を十分に除去することができる。

また、第１クリーナー５０および第２クリーナー７０のそれぞれは、気体の吸引量が気体の吐出量よりも多い。

このように構成することによって、第１クリーナー５０の周囲の気体も吸引されることから、第１クリーナー５０において小塵埃３１の周囲への拡散を一層抑制でき、第２クリーナー７０の周囲の気体も吸引されることから、第２クリーナー７０において大塵埃３２の周囲への拡散を一層抑制できる。

また、第１クリーナー５０における気流５１の方向と第２クリーナー７０における気流７１の方向とが交差するように、第１クリーナー５０および第２クリーナー７０が配置されている。

このように構成することによって、比較的高風速が必要であり、比較的大きくなる第２クリーナー７０を配置するレイアウトの自由度が増す。

また、第１クリーナー５０は、気体を吐出する第１吐出口５３と、気体および塵埃３０を吸引する第１吸引口５４とを有し、第１吐出口５３は、電極搬送方向４４に沿って第１吸引口５４よりも上流側に配置されている。

このように構成することによって、電極２３から浮き上がった小塵埃３１を、電極２３の搬送に伴う慣性力を受けて、第１吸引口５４に向けて流すことができ、小塵埃３１をより十分に回収できる。

また、第２クリーナー７０は、気体を吐出する第２吐出口７２と、気体および塵埃３０を吸引する第２吸引口７４とを有し、第２吐出口７２および第２吸引口７４は、電極搬送方向４４に対して交差する方向に配置されている。

このように構成することによって、比較的高風速によって吹き飛ばされる大塵埃３２が電極搬送方向４４に飛び散ることを抑制でき、大塵埃３２が搬送途中の電極２３の上に再び戻ってしまうという不具合を防止できる。

また、第２クリーナー７０の第２吐出口７２が開口する方向は、搬送される電極２３に交差しない位置に向けられている。

このように構成することによって、第２吐出口７２から吐出された気体の主流が電極２３の上面に直接衝突することがない。気体の主流が分岐して流れることがなく、大塵埃３２が周囲の雰囲気に撒き散らされるという不具合を防止できる。

搬送されるシート形状を有するワークは、電池１０用の電極２３である。

このように構成することによって、電池１０用の電極２３から導体の塵埃３０を除去して、製造後の電池１０に内部短絡の不良が生じることを防止できる。

（変形例）
第２クリーナー７０が吐出側ケーシング７３と吸引側ケーシング７５とに分けられた形態について説明したが、本発明はこの場合に限定されない。第２クリーナー７０は、第１クリーナー５０と同様に、１つのケーシング内を仕切り壁によって区画し、第２吐出口７２に連通する供給通路と、第２吸引口７４に連通する排出通路とを形成することができる。

第１クリーナー５０における気流５１の方向と第２クリーナー７０における気流７１の方向とが交差するように、第１クリーナー５０および第２クリーナー７０を配置した形態について説明したが、本発明はこの場合に限定されない。第１クリーナー５０における気流５１の方向と第２クリーナー７０における気流７１の方向とが同じになるように、第１クリーナー５０および第２クリーナー７０を配置することができる。

第２クリーナー７０における気流７１の方向を、第１クリーナー５０における気流５１の方向と同様に電極搬送方向４４としても良い。この場合において、第２吐出口７２を、電極搬送方向４４に沿って第２吸引口７４よりも上流側に配置することができる。

搬送されるシート形状を有するワークとして電池１０用の電極２３を例示したが、本発明は、搬送されるシート形状を有するワークであれば、電極２３以外にも広く適用することができる。例えば、複数枚の扁平な電池を積層して組電池とする場合があり、この場合には、搬送されるシート形状を有するワークが電池に相当し、電池を積層する前に各電池の外装フィルムの上の塵埃を除去する除塵装置に適用することができる。

１０電池、
１１発電要素、
１２外装フィルム、
１５正極、
１６正極集電体、
１７正極活物質層、
１８負極、
１９負極集電体、
２０負極活物質層、
２１セパレータ、
２３電極（搬送されるシート形状を有するワーク）、
２４集電体、
２５活物質層、
３０塵埃、
３１小塵埃、比較的小さい塵埃、
３２大塵埃、比較的大きい塵埃、
４０除塵装置、
４１搬送経路、
４２搬送部、サクションベルト、
４４電極搬送方向（ワーク搬送方向）、
５０第１クリーナー、
５１第１クリーナーの気流、
５２ケーシング、
５３第１吐出口、
５４第１吸引口、
５５仕切り壁、
５６供給通路、
５７排出通路、
５８給気部、
５９吸引部、
６０ガイドプレート、
６１ガイドローラ、
６２封止プレート、
６３、６４開口部、
７０第２クリーナー、
７１第２クリーナーの気流、
７２第２吐出口、
７３吐出側ケーシング、
７４第２吸引口、
７５吸引側ケーシング、
７６給気部、
７７吸引部、
９０制御部。

Claims

搬送されるシート形状を有するワークの上の塵埃を、気体の吐出および吸引によって形成される気流によって除去する第１クリーナーと、
ワーク搬送方向に沿って前記第１クリーナーよりも下流側に配置され、前記ワークの上の塵埃を、気体の吐出および吸引によって形成される気流によって除去する第２クリーナーと、を有し、
前記第１クリーナーの気流は、前記第２クリーナーの気流よりも低風速であり、
前記第２クリーナーは、気体を吐出する第２吐出口と、気体および塵埃を吸引する第２吸引口とを有し、前記第２吐出口および前記第２吸引口は、前記ワーク搬送方向に対して交差する方向に配置されてなり、
前記第２吐出口が開口する方向は、搬送される前記ワークに交差しない位置に向けられている、除塵装置。
前記第１クリーナーおよび前記第２クリーナーのそれぞれは、気体の吸引量が気体の吐出量よりも多い、請求項１に記載の除塵装置。
前記第１クリーナーにおける気流の方向と前記第２クリーナーにおける気流の方向とが交差するように、前記第１クリーナーおよび前記第２クリーナーが配置されている、請求項１または請求項２に記載の除塵装置。
前記第１クリーナーは、気体を吐出する第１吐出口と、気体および塵埃を吸引する第１吸引口とを有し、前記第１吐出口は、前記ワーク搬送方向に沿って前記第１吸引口よりも上流側に配置されている、請求項１から３のいずれか１つに記載の除塵装置。
前記ワークは、電池用の電極である、請求項１から４のいずれか１つに記載の除塵装置。