CN101664744A - 除尘装置 - Google Patents

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CN101664744A CN200810186721A CN200810186721A CN101664744A CN 101664744 A CN101664744 A CN 101664744A CN 200810186721 A CN200810186721 A CN 200810186721A CN 200810186721 A CN200810186721 A CN 200810186721A CN 101664744 A CN101664744 A CN 101664744A
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    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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    • H01L21/67028Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like

Abstract

本发明涉及一种除尘装置,该除尘装置仅在除尘对象的一侧除尘,通过增加与除尘头相对的、结构简单的接受部,改变通过邻接的除尘对象间的间隙的来自喷射室的清洁气体的流动方向后由吸入室吸入来减低不必要的尘埃飞散。该除尘装置(1)具有与除尘头(100)相对配置、接受从喷射室(111)的喷射口(111a)喷射的清洁气体而转换方向的接受部(200),从喷射室(111)的喷射口(111a)朝向邻接的两个除尘对象(10)间的间隙喷射清洁气体,将在接受部(200)转换方向的清洁气体从上游侧吸入室(112)的吸入口(112a)及下游侧吸入室(113)的吸入口(113a)吸入。

Description

除尘装置
技术领域
本发明涉及一种除尘装置,该除尘装置对除尘对象喷射空气或稀有气 体等单一的清洁气体,包含以超声波频率振动的超声波气体,包含正、负 离子的气体,或者同时包含超声波和离子的气体(以下将它们统称为清洁 气体)来进行除尘。
背景技术
对于用于TFT(薄膜晶体管)液晶面板、PDP(等离子显示面板)、LCD (液晶显示器)等的玻璃基板、太阳能电池面板、或者长条纸,薄膜等薄 片等的除尘对象(以下只称作除尘对象),通过除尘装置进行除尘。
作为涉及这样的除尘装置的现有技术例,例如,公知有专利文献(JP 特开2004-41851号公报、发明名称"除尘头")中记述的发明。
专利文献1中记述的现有技术中,涉及具有中夹喷射室和该喷射室的 两侧的吸入室的除尘头。
专利文献l:(日本)特开2004-41851号公报(段落号0003,图5)
通常的除尘装置中除尘头大多上下配置。这种除尘装置中,在对传送 带上输送的多张基板连续除尘的情况下,即使以清洁气体来喷射邻接的玻 璃基板等除尘对象之间的空隙,清洁气体喷射到上下除尘头,清洁气体吹 到除尘头以外的位置巻起尘埃等的可能性也很小。
但是,如专利文献1的图5 (b)所示,存在下侧没有除尘头的情况。 这种除尘装置向邻接的玻璃基板等除尘对象之间的空隙喷射清洁气体时, 清洁气体到达至下方(极端的情况下直至装置载置面)。除尘装置设置于清 洁室,存在巻起若干尘埃,除尘环境恶化的问题。
另外,也考虑邻接的玻璃基板等除尘对象的间隙和喷射孔相对之间停 止清洁气体的喷射,但是此时,需要在清洁气体的流路上设置切换阀。切 换切换阀时,从密封用的塾圈脱离的细小异物等混入清洁气体中,可能会 降低除尘能力。发明内容
本发明是鉴于上述课题而开发的,其目的在于,提供一种除尘装置, 该除尘装置仅在除尘对象的一侧除尘,其通过增加与除尘头相对的、结构 简单的接受部,改变通过邻接的除尘对象间的间隙的来自喷射室的清洁气 体的流动方向后由吸入室吸入来减低不必要的尘埃飞散。
本发明第一方面所涉及的除尘装置,其特征在于,具有:分别至少具 备各一个具有吸入口的吸入室和具有喷射口的喷射室的除尘头,向除尘头 内依次搬运多个除尘对象的搬运部,与除尘头相对配置、接受从喷射室的 喷射口喷射的清洁气体并改变方向的接受部;从喷射室的喷射口向除尘对 象喷射清洁气体时的吸入室,从其吸入口吸入从除尘对象折返的清洁气体, 另外,从喷射室的喷射口朝向邻接的两个除尘对象间的间隙喷射清洁气体 时的吸入室,从其吸入口吸入在接受部转换方向的清洁气体。
另外,本发明第二方面所涉及的除尘装置,在本发明第一方面的基础 之上,其特征在于,所述接受部包括清洁气体通过的通过孔和接受空间, 该才妄受空间为由平面和曲面隔开、且与通过孔连通的剖面弓形空间,曲面 与吸入口或喷射口相对并且平面位于与除尘对象的搬运方向大致平行的位 置;在接受空间的曲面接受从喷射室的喷射口喷射并通过通过孔的清洁气 体后,使该清洁气体在接受空间的平面转换方向,从吸入室的吸入口吸入。
另外,本发明第三方面所涉及的除尘装置,在本发明第一方面的基础 之上,其特征在于,具有:具有与除尘对象的搬运方向大致平行的表面的 相对板;形成于相对板、与喷射口和吸入口面对的通过孔;固定于相对板 的半圆柱体;由相对板的平面和半圓柱体的曲面隔开,半圓柱体的曲面与 吸入口或喷射口相对,并且相对板的平面位于与除尘对象的拍i运方向大致 平行的位置的剖面弓形空间、即与通过孔连通的接受空间;在接受空间接 受从喷射室的喷射口喷射并通过通过孔的清洁气体后,使该清洁气体在接 受空间的平面转换方向,从吸入室的吸入口吸入。
另外,本发明第四方面所涉及的除尘装置,在本发明第一方面的基础 之上,其特征在于,所述接受部具备具有与喷射口和吸入口面对的曲面形 的接受面的圆弧体,从吸入室的吸入口吸入在圆弧体的接受面转换了方向 的清洁气体。
另外,本发明第五方面所涉及的除尘装置,在本发明第一方面的基础
5之上,其特征在于,所述接受部具备具有与喷射口和吸入口面对的平面形 的接受面的箱体,从吸入室的吸入口吸入在箱体的接受面转换方向的清洁
气体o
另外,本发明第六方面所涉及的除尘装置,在本发明第一〜五中任一 方面的基础之上,其特征在于,所述除尘头沿除尘对象的搬运方向排列配 置喷射室和夹着该喷射室的上游、下游吸入室。
另外,本发明第七方面所涉及的除尘装置,在本发明第一-五中任一 方面的基础之上,其特征在于,所述除尘头沿除尘对象的搬运方向排列配 置吸入室和夹着该吸入室的上游、下游喷射室。
另外,本发明第八方面所涉及的除尘装置,在本发明第一〜五中任一 方面的基础之上,其特征在于,所述除尘头沿除尘对象的搬运方向排列配 置上游喷射室和下游吸入室。
另外,本发明第九方面所涉及的除尘装置,在本发明第一-五中任一 方面的基础之上,其特征在于,所述除尘头沿除尘对象的搬运方向排列配 置上游吸入室和下游喷射室。
,另外,本发明第十方面所涉及的除尘装置,在本发明第一-九中任一 方面的基础之上,其特征在于,具有配置在喷射室内、在施加了高电压的 发射极附近生成离子的离子发生器,从喷射室的喷射口喷射包含离子的清
洁气体。
另外,本发明第十一方面所涉及的除尘装置,在本发明第一-十中任 一方面的基础之上,其特征在于,具有使所述接受部相对于除尘头离开、
接近的移动部。
另外,本发明第十二方面所涉及的除尘装置,在本发明第一-十一中 任一方面的基础之上,其特征在于,将所述接受部及所述移动部作为一组, 设置与多个喷射部数量相等的组数的所述接受部和所述移动部。
附图说明
图1是用于实施本发明的最佳形态的除尘装置的侧面图;
图2是用于实施本发明的最佳形态的除尘装置的剖面图;
图3是用于实施本发明的最佳形态的除尘装置的立体外观图;
图4是表示除尘头的内外结构的图、图4(a)是A向视图;图4(b)是B-B线剖面图,图4 (c)是C-C线剖面图; 图5是C-C线剖面的立体图;
图6是表示除尘头的内部结构的图,图6 (a)是D-D线剖面图,图6 (b)是E-E线剖面图;
图7(a) ~ (d)是接受部的结构图; 图8是用于实施本发明的最佳形态的除尘时的动作说明图; 图9是用于实施本发明的最佳形态的除尘装置的除尘对象间喷射时的 动作说明图;
图IO是其他形态的除尘装置的侧面图;
图11是其他形态的除尘装置的剖面图;
图12是说明圆弧体的制造的说明图;
图13是其他形态的除尘装置的动作说明图;
图14是其他形态的除尘装置的侧面图;
图15是其他形态的除尘装置的动作说明图;
图16是其他形态的除尘装置除尘时的动作说明图;
图17是其他形态的除尘装置的除尘对象间喷射时的动作说明图;
图18是其他形态的除尘装置除尘时的动作说明图;
图19是其他形态的除尘装置的除尘对象间喷射时的动作说明图;
图20是其他形态的除尘装置除尘时的动作说明图;
图21是其他形态的除尘装置的除尘对象间喷射时的动作说明图;
图22是其他形态的除尘装置的说明图;
图23是其他形态的除尘装置的说明图。
附图标记说明
1、 2、 3、 4、 5、 6、 7、 8:除尘装置 10:除尘对象 100:除尘头 110: 除尘头主体 111:喷射室 llla:喷射口 lllb:流入口 lllc:喷射室底 部 112:上游侧吸入室 112a:吸入口 112b:排气口 112c:吸入室底部 113:下游侧吸入室113a:吸入口 113b:排气口 113c:吸入室底部114: 顶板 115a、115b:侧壁 116a、116b:内壁 116c:隔壁 116d:沟部116e: 通过孔 120:离子发生器 121:突出部 122:发射极(工^:y夕) 123:缺口部124:通过孔 130:侧壁部 140:除尘头 141:吸入室 141a:吸入口 142:上游侧喷射室142a:喷射口 143:下游侧喷射室
7143a:喷射口 150:除尘头151:上游侧喷射室 151a:喷射口 152:下 游侧吸入室152a:吸入口 160:除尘头,161:上游侧吸入室161a:吸入 口 162:下游侧喷射室 162a:喷射口 200:接受部 210:半圓柱体 220:相对板 230:接受空间 240:通过孔250:支承部 260:侧壁 300:搬运部400:移动部 410:第一移动部 420:第二移动部 500: 接受部 510:圆弧体520:支承部 530:第一支承部 540:第一圓弧 体 550:第二支承部 560: 第二圓弧体 600:接受部 610:箱体 620:支岸义部
具体实施方式
下面,根据附图说明实施本发明的最佳形态。图1是本形态的除尘装 置的侧面图,图2是本形态的除尘装置的剖面图,图3是本形态的除尘装 置的立体外观图。另外,图3中除去了侧壁部进行图示。除尘装置1具有 除尘头100、接受部200、搬运部300、移动部400。除尘装置1对除尘对 象IO进行除尘。
详细地说,除尘头100是在图2、图3所示的除尘头主体110的内部配 置离子发生器120,进一步,在除尘头主体110的两侧面固定如图1中所示 的侧壁部130的结构。
参照附图进一步对除尘头100进行说明。图4是表示除尘头的内外结 构的图、图4(a)是A向视图,图4 (b)是B-B线剖面图,图4(c)是 C-C线剖面图。图5是C-C线剖面的立体图。图6是表示除尘头的内部结 构的图,图6 (a)是D-D线剖面图,图6 (b)是E-E线剖面图。图7是接 受部的结构图。
除尘头主体IIO如图4 (a)所示,具有喷射室lll、上侧吸入室112、 下侧吸入室113、顶板114、侧壁115a、 115b、内壁116a、 116b、喷射室底 部lllc、 p及入室底部112c、 113c。
如图2-6所示,喷射室111是由顶板114、内壁116a、 116b、喷射室 底部lllc分隔的空间,在内壁116a、 116b上搭架隔壁116c机械性加强。 该喷射室111如图4(c)所示,通过流入口 lllb、通过孔116e、喷射口 llla 而空间内外连通。另外,离子发生器120的突出部121和沟部116d之间形 成有图6 (a)中所示的通过孔124,组装离子发生器120时,也可以通过该通过孔124连通空间。
从图5中也4艮明显地看出,喷射口 llla是长条的狭缝。由于除尘对象 IO从相对于图5所示的喷射口 llla的长度方向大致垂直方向进入,故可以 向除尘对象10的整个区域喷射清洁气体。 .
隔壁1116c如图4 (c)所示,i殳置在喷射口 llla和流入口 lllb之间, 优选接近喷射口 llla侧配置。其原因在于,随着隔壁116c接近喷射口 llla 侧配置,随着清洁气体通过喷射口 llla而喷射口 llla的扩大将难以发生。
通过孔116e如图4 (c),图6(b)所示,在隔壁116c上设置有多个, 将从流入口 lllb流入的清洁气体导通至喷射口 llla。
沟部116d如图4 (a)的a部扩大图所示,设置于喷射室lll,使离子 发生器120的突出部121滑动并插入该沟部116d中,从而安装于喷射室111 内。
通过孔124与离子发生器120的配置同时形成。如图6(a)所示,离 子发生器120的突出部121上设置有缺口部23,如图4 (a)的a部扩大图 所示,突出部121在沟部116d上滑动并且插入离子发生器120而安装于喷 射室111内的情况下,如图6 (a)所示,缺口部123#皮沟部116cU隻盖成为 通过孔124。
流入口 lllb如图3、图4 (c)、图5所示,设置在除尘头100的上表面 的顶板114上。
离子发生器120如图4(b)、(c)所示,配置在喷射室111内的隔壁116c 的上游侧,具有向清洁气体排出正离子、负离子的功能。
该离子发生器120上安装有发射极122,发射极122上施加有直流电流 或交流电流,将正离子、负离子通过电晕放电而放出。
上游侧吸入室112如图3~图6所示,是由顶^反114、侧壁115a、内壁 116a、吸入室底部112c分隔的空间。该上游侧吸入室112如图4(c)所示, 通过排气口 112b、吸入口 112a,从而空间被连通。
如图5、 6所示,吸入口 112a是长条的狭缝,通过从喷射口 llla喷射 的清洁气体吸入飞散的尘埃和周边空气。
如图3、图4(c)、图(5)所示,排气口 112b是用于将从吸入口 112a 9又入的气体才非气的开口 。
下游侧吸入室113如图3 ~图6所示,是由顶板114、侧壁115b、内壁116b、 p及入室底部113c分隔的空间,该下游侧吸入室113如图4(c)所示, 通过排气口 113b、吸入口 113a^v而空间^皮连通。
如图5、 6所示,吸入口 113a是长条的狭缝,通过从喷射口 llla喷射 的清洁气体吸入飞散的尘埃和周边空气。
如图3、图4(c)、图(5)所示,排气口 113b是用于将从吸入口 113a 吸入的气体排气的开口。
除尘头100的结构是这样的。
在此,说明除尘头主体110的制造方法。
该除尘头主体110通过压出成型制造。例如,将铝等金属材料压入模 具内,形成喷射室111、上游侧吸入室112、下游侧吸入室113、侧壁115a、 115b、内壁116a、 116b、隔壁116c、喷射室底部lllc、吸入室底部112c、 113c、顶板114成为一体的除尘头主体110,进行端部等的末端处理而完成。 另夕卜,压出成型刚结束后,还没有形成流入口 lllb、排气口 112b、 113b(参 照图3、图4(c)、图5)、隔壁116c的通过孔116e(参照图4(c)、图6(b))、 喷射口 llla和吸入口 112a、 113a。
对于这样压出成型的除尘头100从箭头F方向(参照图3)使钻头进入, 一次进行流入口 lllb、通过孔116e的孔的开设。流入口 lllb、通过孔116e 直径相同。在其他的位置进行多次这样的开孔,如图3、图6 (b)所示, 形成多个流入口 lllb、通过孔116e。
同样对于除尘头100从箭头F方向使钻头进入,进行排气口 112b, 113 b的开孔。在其他的位置进行多次这样的开孔,如图3所示,形成多个排气 口 112b、 113b。
之后,以铣床等切削加工长条形的狭缝即喷射口 llla、吸入口 112a、 113a而完成图3 -图6所示的除尘头主体110,进而,从喷射室111的侧部 开口插入离子发生器120,以侧壁部130阻塞两侧完成除尘头100。在该除 尘头100中,喷射室111、上游侧吸入室112、下游侧吸入室113作为一体 的结构形成。
如图8所示,这样的除尘头100构成为:向着除尘对象的搬运方向(在 本实施例中为例示的/人附图右向左的箭头方向),以上游侧吸入室112(Vl )、 喷射室(P)、下游侧吸入室113 (V2)的方式而排列,配置于搬运部300 的上侧。喷射室111 (P)成为与未图示的吹风泵连接的结构,另外,上游侧吸入室112 (Vl),下游侧吸入室113 (V2)成为与p及气泵连4妄的结构。 从喷射室111的喷射口 llla喷射的清洁气体或吹起的尘埃与周围的空气一 起通过吸入口 112a, 113a吸入到上游侧吸入室112、下游侧吸入室113。包 含该尘埃的空气经由除尘头100的排气口 112b、 113b(参照图3)、排气流 路及排气配管向外部排气。除尘头100是这样的结构。
接着,如图2、图7所示,接受部200具有半圓柱体210、相对板220、 接受空间230、通过孔240、支承部250、侧壁260。接受部200如图1 ~ 3 所示地配置。
半圆柱体210如图7所示,是将两侧被侧壁260阻塞的圓柱体在轴向中 间切断的形状。内侧具有半圓形的曲面。
相对板220是普通的板体,在其中央形成通过孔240。该相对板220具 有与除尘对象10的搬运方向大致平行的平面形的表面、背面。
接受空间230由相对板220的背面和半圓柱体210的曲面隔开,半圆柱 体210的曲面经由通过孔240与喷射口 llla及吸入口 112a、 113a相对,并 且是相对板220的背面、表面都位于与除尘对象10的搬运方向大致平行的 位置的断面弓形空间。该接受空间230与通过孔240连通。
通过孔240设置于相对板220的中央,至少比除尘头IOO的喷射口 llla 和吸入口 112a、 113a的纵横长度大。这样,从喷射口 llla喷射的全部清洁 气体不吹向相对4反220而通过通过孔240。
支4义部250固定于半圓柱体210的下侧。
侧壁260固定于半圆柱体210的两侧面。
接受部200是这样的结构。
搬运部300例如是支承、搬运除尘对象10的长杆辊。搬运部300构成 为传送搬运除尘对象10的驱动力的结构,或者转动自如地从动于由其他的 驱动源搬运的除尘对象10的结构。
如图1所示,移动部400是使支承部250相对于箭头a方向(上下方向)、 即相对于除尘头100以靠近或离开接受部200的方式移动的装置,例如, 是升降台这样的装置。事先通过移动部400调整上下位置使接受部200移 动,清洁气体被可靠地设定并固定于緩冲位置。
这样的除尘装置1的除尘对象10,例如是用于TFT (薄膜晶体管)液 晶面板、PDP (等离子显示面板)、LCD (液晶显示器)等的玻璃基板、太阳能电池面板,或者长条纸、薄膜等薄片。除尘装置l是这样的结构。
接着,参照附图说明除尘装置1的除尘动作。图8是本形态的除尘装置除尘时的动作说明书,图9是本形态的除尘装置的除尘对象间喷射时的动作说明图。
若清洁气体从流入口 lllb流入,则通过离子发生器120的通过孔124。该清洁气体中混入了从离子发生器120排出的正离子、负离子。进而,这样的清洁气体通过隔壁H6c的通过孔116e,直至到达喷射口 llla,清洁气体从喷射口 llla喷射。此时,喷射口 llla内变为高压,如图4(c)所示,由于隔壁116c在喷射室111内一体搭架加强,所以抑制喷射口 llla的扩开的发生。进而,由于隔壁116c配置在与喷射口 llla侧接近的位置,故进一步抑制喷射口 llla的扩开的发生。
多个除尘对象10隔着规定的间隔被依次在搬运部300之上搬运,依次进行除尘。此时,除尘头100作为通常进行清洁气体的喷射及上游侧吸入室112、下游侧吸入室113尘埃的吸入的结构。
首先如图8所示,被除尘的除尘对象IO在除尘头100的正下方,向搬运方向搬运。此时,除尘对象10的上表面成为除尘对象面。除尘头100中,清洁气体从喷射室111 (P)向除尘对象10的除尘对象面喷射,通过在上游侧吸入室112 (VI )、下游侧吸入室113 (V2)中吸入飞散的尘埃,进行除尘对象10的除尘对象面的除尘。
然后,继续这样搬运,如图9所示,相邻的两个除尘对象IO之间的间隙到达除尘头IOO的正下方时,来自除尘头IOO的喷射室111 (P)的清洁气体通过通过孔240,在接受部200的接受空间230的曲面(半圓柱体210的内侧的半圆形的曲面)接受。这样的清洁气体沿着曲面移动到达相对板220的背面而转换方向,向着通过孔240移动。由于沿着该相对板220的背面移动的清洁气体与搬运方向平行,所以是在接受空间230内移动的,难以越过通过孔240到达上侧。这样,上游侧吸入室112 (VI )、下游侧吸入室113 (V2)中清洁气体被吸入到上侧。通过使吸入量多于喷射量,可以减少向除尘对象方向的漏吹的可能性。这样,通过邻接的两个除尘对象10间的间隙的清洁气体不会使无用的尘埃飞散,可保持良好的除尘环境。进而,可以在喷出清洁气体的状态下连续除尘,可以实现i殳备的简化或减少不必要的异物混入的可能性。本形态的除尘装置1是这样的结构。
12接着,根据附图说明本发明的其他形态。图IO是其他形态的除尘装置的侧面图、图11是其他形态的除尘装置的剖面图、图12是说明圓弧体的
制造的说明图、图13是其他形态的除尘装置的动作说明图。另外,图10是去掉侧壁部后的图。除尘装置2具有除尘头100、接受部500、搬运部300、移动部400。除尘装置2对除尘对象IO继续除尘。与之前用图1〜图9所说明的除尘装置1比较,本形态的除尘装置2除了仅接受部500的结构不同外其他的结构相同,对于相同的结构使用相同的符号并且省略说明,仅对接受部500进行说明。
接受部500如图10-11所示,具有圓弧体510、支承部520。
圆弧体510是圓弧形的部件,具有曲面形的接受面。另夕卜,虽然未图示,也可以在两侧面(图10中正面的面和内侧的面)安装侧壁部4吏清洁气体在两侧部不流动。圆弧体510在图的垂直方向较长形成,特别是考虑到使其比喷射口 llla、吸入口 112a、 113a长,可可靠地接受清洁气体。圓弧体510如图12所示是将圓柱体三等分而形成的。
支承部520如图10所示固定于圆弧体510的下侧,通过移动部400,圓弧体510向箭头a方向(接近或者远离除尘头主体110)使圓弧体510移动。接受部500是这样的结构。
接着,对于除尘装置2的除尘动作进行说明。
从离子发生器120排出的包含正离子、负离子的清洁气体从除尘装置主体110向除尘对象10喷射。除尘装置10的除尘是与用图8说明的相同的处理,省略重复的说明。
并且,如图13所示,邻接的两个除尘对象10间的间隙到达除尘头100的正下方时,在接受部500的圆弧体510的接受面(圆弧体510的内侧的弧形的曲面)接受来自除尘头IOO的喷射室111 (P)的清洁气体。这样的清洁气体沿曲面形的接受面移动,清洁气体被上游侧吸入室112 ( VI )、下游侧吸入室113 (V2)向上侧吸入。通过4吏吸入量多于喷射量,可以降低向除尘对象方向吹漏的可能性。由此,通过邻接的两个除尘对象10间的间隙的清洁气体不会使无用的尘埃飞散,良好地保持除尘环境。进而,可以在喷出清洁气体的状态下连续除尘,可以实现设备的简化或减少不必要的异物混入的可能性。本形态的除尘装置2是这样的结构。
接着,根据附图对本发明的其他形态进行说明。图14是其他形态的除尘装置的侧面图、图15是其他形态的除尘装置的动作说明图。除尘装置3具有除尘头100、接受部600、搬运部300、移动部400。除尘装置3对除尘对象10进行除尘。与之前用图1~图9所说明的除尘装置1比较,本形态的除尘装置3除了仅接受部600的结构不同外,其他的结构相同,对于相同的结构使用相同的符号并且省略重复说明,仅对接受部600进行说明。
接受部600如图14、图15所示,具有箱体610、支承部620。
箱体610是箱形的部件,具有平面形的接受面。箱体610设置有侧壁部使清洁气体不从横侧流出。箱体610在图的垂直方向较长地形成,特别是考虑到使其比喷射口 llla、吸入口 112a、 113a长,可可靠地接受清洁气体。
支承部620固定于箱体610的下侧,通过移动部400,使箱体610向箭头a方向(接近或者远离除尘头主体IIO)移动。接受部600是这样的结构。
接着,对于除尘装置3的除尘动作进行说明。
从离子发生器120排出的包含正离子、负离子的清洁气体从除尘装置主体110向除尘对象10喷射。除尘装置10的除尘是与用图8说明的相同的处理,省略重复说明。
并且,如图15所示,邻接的两个除尘对象10间的间隙到达除尘头100的正下方时,在接受部600的箱体610的接受面接受来自除尘头100的喷射室111 (P)的清洁气体。这样的清洁气体沿接受面移动,最后沿侧壁向上侧移动,清洁气体净皮上游侧吸入室112 (Vl)、下游侧吸入室113 (V2)向上侧吸入。通过使吸入量多于喷射量,可以降低向除尘对象方向吹漏的可能性。由此,通过邻接的两个除尘对象10间的伺隙的清洁气体不会使无用的尘埃飞散,保持良好的除尘环境。进而,可以在喷出清洁气体的状态下连续除尘,可以实现设备的简化或减少不必要的异物混入的可能性。本形态的除尘装置3是这样的结构。
接着,根据附图对本发明的其他形态进行说明。图16是其他形态的除尘装置的除尘时的动作说明图、图17是其他形态的除尘装置的除尘对象间喷射时的动作说明图。另外,图16、图17中以剖面图进行图示,省略侧壁部的图示。除尘装置4具有除尘头140、接受部200、 4般运部300、移动部400。除尘装置4对除尘对象IO进行除尘。与之前用图1-图9所说明的除尘装置1比较,本形态的除尘装置4除了仅除尘头140的结构不同外,其他的结构相同,对于相同的结构使用相同的符号并且省略说明,仅对除尘
14头140进行it明。
如图16所示,这样的除尘头主体140构成为向着除尘对象的搬运方向(在本实施例中为例示的从附图右向左的箭头方向),以上游侧喷射室142(Pl)、吸入室141 (V)、下游侧喷射室143 (P2)的方式排列的结构,配置于搬运部300的上侧。吸入室141 (V)成为与未图示的吸气泵连接的结构,另外,上游侧喷射室142 (Pl),下游侧喷射室143 (P2)成为与未图示的吹风泵连接的结构。从上游侧喷射室142及下游侧喷射室143的喷射口 142a、 143a喷射的清洁气体或吹起的尘埃与周围的空气一起通过吸入口141a吸入到吸入室141。包含该尘埃的空气经由除尘头140的排气口、排气流路及排气配管向外部排气。除尘头140是这样的结构。接着,对于除尘装置4的除尘动作进行说明。
在上游侧喷射室142清洁气体从流入口流入,清洁气体和从离子发生器120排出的正离子、负离子从喷射口 142喷射。同样,在下游侧喷射室143清洁气体从流入口流入,清洁气体和从离子发生器120排出的正离子、负离子从喷射口 143a喷射。
多个除尘对象10隔着规定的间隔被依次在搬运部300之上搬运,依次进行除尘。此时,除尘头140作为通常进行上游侧喷射室142 (Pl )及下游侧喷射室143 (P2)的清洁气体的喷射及吸入室141 (V)的吸入尘埃的结构。
首先如图16所示,被除尘的除尘对象IO从除尘头140的正下方,向搬运方向搬运。此时,除尘对象10的上表面成为除尘对象面。除尘头140中,清洁气体从上游侧喷射室142 (Pl)及下游侧喷射室143 (P2)向除尘对象IO的除尘对象面喷射,通过由吸入室141 (V)吸入飞散的尘埃进行对除尘对象10的除尘对象面的除尘。
然后,继续这样搬运,如图17所示,相邻的两个除尘对象IO之间的间隙到达除尘头140的正下方时,来自除尘头140的上游侧喷射室142 (Pl)及下游侧喷射室143 (P2)的清洁气体通过通过孔240,在接受部200的接受空间230的曲面(半圆柱体210的内侧的半圆形的曲面)接受。这样的清洁气体沿着曲面移动,或者到达相对板220的背面转换方向向着通过孔240移动。但是,由于来自上游侧喷射室i42 ( Pl )及下游侧喷射室143 ( P2 )的喷射流,流路一旦下降后取从中央上升的通路,清洁气体被吸入室141(V)向上侧吸入。由于使吸入量多于喷射量,可以减少向除尘对象方向的 漏吹。另外,两侧的喷射流也能够降低向除尘对象方向的漏吹。这样,通
过邻接的两个除尘对象10间的间隙的清洁气体不会使无用的尘埃飞散,保
持良好的除尘环境。进而,可以在喷出清洁气体的状态下连续除尘,可以
实现设备的简化或减少不必要的异物混入的可能性。本形态的除尘装置4 是这样的结构。
接着,根据附图对本发明的其他形态进行说明。图18是其他形态的除 尘装置除尘时的动作说明图、图19是其他形态的除尘装置的除尘对象间喷 射时的动作说明图。另外,图18、图19中以剖面图进行图示,省略侧壁部 的图示。除尘装置5具有除尘头150、接受部200、搬运部300、移动部400。 除尘装置5对除尘对象10进行除尘。与之前用图1〜图9所说明的除尘装 置1比较,本形态的除尘装置5除了仅除尘头150的结构不同外其他的结 构相同,对于相同的结构使用相同的符号并且省略说明,仅对除尘头150 进行说明。
如图18所示,这样的除尘头150构成为:向着除尘对象的搬运方向(在 本实施例中为例示的从附图右向左的箭头方向),排列有上游侧喷射室151 (P)、下游侧吸入室152 (V)的结构,该除尘头150配置于搬运部300的 上侧。上游侧喷射室151 (P)成为与未图示的吹风泵连接的结构,另外, 下游侧吸入室152 (V)成为与吸气泵连接的结构。从喷射口 151a喷射的清 洁气体或吹起的尘埃与周围的空气一起,通过吸入口 152吸入到下游侧吸 入室152。包含该尘埃的空气经由除尘头150的排气口、排气流路及排气配 管向外部排气。除尘头150是这样的结构。
接着,对于除尘装置5的除尘动作进行说明。
在上游侧喷射室151中清洁气体从流入口流入,清洁气体和从离子发生 器120排出的正离子、负离子从喷射口 151a喷射。
多个除尘对象10隔着规定的间隔依次被纟般运到在纟般运部300之上,依 次进行除尘。此时,除尘头150作为通常进行上游侧喷射室151 (P)的清 洁气体的喷射、及下游侧吸入室152 (V)的吸入尘埃的结构。
首先如图18所示,被除尘的除尘对象10从除尘头150的正下方,向搬 运方向3般运。此时,除尘对象10的上表面成为除尘对象面。除尘头150中, 清洁气体从上游侧喷射室151 (P)向除尘对象10的除尘对象面喷射,通过在下游侧吸入室152 (V)中吸入飞散的尘埃进行除尘对象10的除尘对象 面的除尘。
然后,继续这样搬运,如图19所示,相邻的两个除尘对象IO之间的间 隙到达除尘头150的正下方时,来自除尘头150的上游侧喷射室151 (P) 的清洁气体通过通过孔240,在接受部200的接受空间230的曲面(半圓柱 体210的内侧的半圆形的曲面)接受。这样的清洁气体沿着曲面移动,或 者到达相对板220的背面而转换方向,向着通过孔240移动,清洁气体被 下游侧吸入室152 (V)向上侧吸入。通过^f吏吸入量多于喷射量,可以减少 向除尘对象方向的漏吹。这样,通过邻接的两个除尘对象10间的间隙的清 洁气体不会使无用的尘埃飞散,可保持良好的除尘环境。进而,可以在喷 出清洁气体的状态下连续除尘,可以实现设备的简化或减少不必要的异物 混入的可能性。本形态的除尘装置5是这样的结构。
接着,根据附图对本发明的其他形态进行说明。图20是其他形态的除 尘装置除尘时的动作说明图、图21是其他形态的除尘装置的除尘对象间喷 射时的动作说明图。另外,图20、图21中以剖面图进行图示,省略侧壁部 的图示。除尘装置6具有除尘头160、接受部200、搬运部300、移动部400。 除尘装置6对除尘对象IO进行除尘。与之前用图1~图9所说明的除尘装 置1比较,本形态的除尘装置6除了仅除尘头160的结构不同外,其他的 结构相同,对于相同的结构使用相同的符号并且省略说明,仅对除尘头160 进行说明。
如图20所示,这样的除尘头160构成为向着除尘对象的搬运方向(在 本实施例中为例示的^Mv附图右向左的箭头方向),排列有上游侧吸入室161 (V)、下游侧吸入室喷射室162 (P)的结构,该除尘头160配置于搬运部 300的上侧。上游侧吸入室161 (V)成为与未图示的吸气泵连接的结构, 另外,下游侧喷射室162 (P)成为与吹风泵连接的结构。从喷射口 162a喷 射的清洁气体或吹起的尘埃与周围的空气一起通过吸入口 161 a吸入到上游 侧吸入室161。包含该尘埃的空气经由除尘头160的排气口、排气流路及排 气配管向外部排气。除尘头160是这样的结构。
接着,对于除尘装置6的除尘动作进行说明。
在下游侧喷射室162中清洁气体从流入口流入,清洁气体和从离子发生 器120排出的正离子、负离子从喷射口 162a喷射。多个除尘对象10隔着规定的间隔依次在搬运部300之上搬运,依次进
行除尘。此时,除尘头160作为通常进行下游侧喷射室162 (P)的清洁气 体的喷射及上游侧吸入室161 (V)的吸入尘埃的结构。
首先如图20所示,被除尘的除尘对象IO从除尘头160的正下方向搬运 方向搬运。此时,除尘对象10的上表面成为除尘对象面。除尘头160中, 清洁气体从下游侧喷射室162 (P)向除尘对象10的除尘对象面喷射,通过 由上游侧吸入室161 (V)吸入飞散的尘埃,进行除尘对象10的除尘对象 面的除尘。
然后,继续这样搬运,如图21所示,相邻的两个除尘对象IO之间的间 隙到达除尘头160的正下方时,来自除尘头160的下游侧喷射室162 (P) 的清洁气体通过通过孔240,在接受部200的接受空间230的曲面(半圓柱 体210的内侧的半圆形的曲面)接受。这样的清洁气体沿着曲面230移动, 或者到达相对板220的背面而转换方向,向着通过孔240移动,清洁气体 被上游侧吸入室161 (V)向上侧吸入。通过使吸入量多于喷射量,可以减 少向除尘对象方向的漏吹。这样,通过邻接的两个除尘对象10间的间隙的 清洁气体不会使无用的尘埃飞散,可保持良好的除尘环境。进而,可以在 喷出清洁气体的状态下连续除尘,可以实现设备的简化或减少不必要的异 物混入的可能性。本形态的除尘装置6是这样的结构。
另外,进一步的变形形态也是可以的,例如,也可相对于图16、图17 中说明的除尘装置140、图18、图19中说明的除尘头150、图20、图21 中说明的除尘头160,使图10、图11说明的接受部500相对的除尘装置。 作为一例,参照附图对于使图10,图11说明的接受部500相对于图16、 图17中说明的除尘头140而相对的除尘装置进行说明。图22是其他形态 的除尘装置的说明图。即使向这样的圆弧体510从喷射口 142a、 143喷射清 洁气体,也可以接受清洁气体,从吸入口 141a吸入,作为本发明的除尘装 置7起作用。
另外,相对于图18、图19说明的除尘头150,使以图10、图11说明 的接受部500相对的除尘装置,或相对于图20、图21说明的除尘头160, 使以图10、图11说明的接受部500相对的除尘装置,也同样起作用,也可 以为作为这样的除尘装置。
另外,也可以是进一步的变形形态,例如,也可以是相对于图16、图17中说明的具有两个喷射口 142a、 143a的除尘头140,使两个圓弧体的接 受部相对的除尘装置。图23是其他形态的除尘装置的说明图。第一支承部 530、第一圓弧体540构成的接受部构成为可通过第一移动部410向箭头b 方向移动的结构,第一圓弧体540配置在喷射口 142a的下侧。同样,第二 支承部550、第二圓弧体560构成的接受部构成为可通过第二移动部420向 箭头c方向移动的结构,第二圆弧体560配置在喷射口 143a的下侧。即使 从喷射口 i42a、 143a向这样的第一圓弧体540、第二圆弧体560喷射清洁 气体,也可以接受清洁气体,来从吸入口 141a吸入,起到本发明的除尘装 置8的作用。也可以作为这样的除尘装置8。
以上说明的本形态的除尘装置1~8中,可以作进一步的各种变形,例 如,在冲妻受部200、 500、 600的下侧连通吸入管,使流入接受空间的清洁 气体通过吸入管以排气泵排气到其他的位置,或者也可以在不影响除尘的 位置配置吸入管的另一端,直接就这样排出气体。
进而,也可以是除去除尘头110、 140、 150、 160的离子发生器120的 形态,取代除尘头IIO、 140、 150、 160的离子发生器而搭载超声波振荡器 的形态,在除尘头110、 140、 150、 160的离子发生器120上也加上超声波 振荡器的形态。这样的形态本发明也可实施。
19

Claims (12)

1.一种除尘装置,其特征在于,具有: 分别至少具备各一个具有吸入口的吸入室和具有喷射口的喷射室的除尘头, 向除尘头内依次搬运多个除尘对象的搬运部, 与除尘头相对配置、接受从喷射室的喷射口喷射的清洁气体并改变方向的接受部; 从喷射室的喷射口向除尘对象喷射清洁气体时的吸入室,从其吸入口吸入从除尘对象折返的清洁气体, 另外,从喷射室的喷射口朝向邻接的两个除尘对象间的间隙喷射清洁气体时的吸入室,从其吸入口吸入在接受部转换方向的清洁气体。
2. 如权利要求1所述的除尘装置,其特征在于,所述接受部包括清洁气体通过的通过孔和接受空间,该接受空间为由平面和曲面隔开、且与通过孔连通的剖面弓形空间,曲面与吸入口或喷射口相对并且平面位于与除尘对象的搬运方向大致平行的位置;在接受空间的曲面接受从喷射室的喷射口喷射并通过通过孔的清洁气体后,使该清洁气体在接受空间的平面转换方向,从吸入室的吸入口吸入。
3. 如权利要求1所述的除尘装置,其特征在于,具有:具有与除尘对象的搬运方向大致平行的表面的相对板;形成于相对4反、与喷射口和吸入口面对的通过孔;固定于相对板的半圓柱体;由相对板的平面和半圓柱体的曲面隔开,半圆柱体的曲面与吸入口或喷^j"口相对,并且相对板的平面位于与除尘对象的搬运方向大致平行的位置的剖面弓形空间、即与通过孔连通的接受空间;在接受空间接受从喷射室的喷射口喷射并通过通过孔的清洁气体后,使该清洁气体在接受空间的平面转换方向,从吸入室的吸入口吸入。
4. 如权利要求1所述的除尘装置,其特征在于,所述接受部具备具有与喷射口和吸入口面对的曲面形的接受面的圓弧体,从吸入室的吸入口吸入在圆弧体的接受面转换了方向的清洁气体。
5. 如权利要求1所述的除尘装置,其特征在于,所述接受部具备具有与喷射口和吸入口面对的平面形的4妻受面的箱体,从吸入室的吸入口吸入在箱体的接受面转换方向的清洁气体。
6. 如权利要求1 ~5中任一项所述的除尘装置,其特征在于,所述除尘头沿除尘对象的搬运方向排列配置喷射室和夹着该喷射室的上游、下游吸入室。
7. 如权利要求1 ~5中任一项所述的除尘装置,其特征在于,所述除尘头沿除尘对象的搬运方向排列配置吸入室和夹着该吸入室的上游、下游喷射室。
8. 如权利要求1 ~5中任一项所述的除尘装置,其特征在于,所述除尘头沿除尘对象的搬运方向排列配置上游喷射室和下游吸入室。
9. 如权利要求1~5中任一项所述的除尘装置,其特征在于,所述除尘头沿除尘对象的搬运方向排列配置上游吸入室和下游喷射室。
10. 如权利要求1 ~9中任一项所述的除尘装置,其特征在于,具有:配置在喷射室内、在施加了高电压的发射极附近生成离子的离子发生器,从喷射室的喷射口喷射包含离子的清洁气体。
11. 如权利要求1 ~ 10中任一项所述的除尘装置,其特征在于,具有使所述接受部相对于除尘头离开、接近的移动部。
12. 如权利要求11所述的除尘装置,其特征在于,将所述接受部及所述移动部作为一组,设置与多个喷射部数量相等的组数的所述接受部和所述移动部。
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