JP6963784B2

JP6963784B2 - クリーニングヘッド

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Publication number: JP6963784B2
Application number: JP2017100650A
Authority: JP
Inventors: 孝宏伊藤
Original assignee: Hugle Development Co Ltd
Current assignee: Hugle Development Co Ltd
Priority date: 2017-05-22
Filing date: 2017-05-22
Publication date: 2021-11-10
Anticipated expiration: 2037-05-22
Also published as: JP2018192450A

Description

本発明は、気体噴射口からエア等の気体を被クリーニング体の表面に対して噴射するとともに、前記被クリーニング体に対向する気体吸引口を通して外気を吸引することにより前記被クリーニング体の表面から塵埃を除去するようにしたクリーニングヘッドに関する。

従来、例えば、特許文献１に記載されたクリーニングヘッドが知られている。このクリーニングヘッドは、長尺体であって角筒状の下カバーと、この下カバーの上部にその長手方向に延びる空間（空気溜まり）を形成するように結合する上カバーと、前記下カバーの内部に設けられ、その長手方向の全域にわたって延びる内部ダクトとを備えた構造となっている。前記下カバーと前記内部ダクトによって１つの構造体が構成され、内部ダクトの内部に、長手方向に延びるスリット状のエア噴射口を通して解放するエア噴射室としての空間が、また、下カバーの内面と内部ダクトの外面との間に前記エア噴射口と平行に延びるスリット状のエア吸引口を通して外部に連通するエア吸引室としての空間が、それぞれ形成されている。内部ダクトは吸気ダクトを通してエア源（気体加圧機構）に接続され、そのエア源からの加圧エアにより内部ダクト（エア噴射室）からエア噴射口を通してエアが噴射される。また、下カバー内に構成される前記エア吸引室は、当該下カバーの上部に設けられた上カバーの内部の空間（空気溜まり）に連通している。そして、この上カバーの内部の空間は排気ダクトを通して排気される排気経路として構成されており、その排気経路を通した排気作用によりエア吸引口を通して前記下カバーのエア吸引室に外気が吸引される。

このようなクリーニングヘッドは、エア噴射口及びエア吸引口が被クリーニング体の表面に対向するようにセットされ、また、クリーニングヘッドと被クリーニング体の表面との隙間が所定の間隔に維持された状態でクリーニングヘッドと被クリーニング体との相対移動が行われる。その過程で、エア噴射口から噴射するエアにより被クリーニング体の表面の塵埃が飛ばされつつ、その塵埃が外気とともにエア吸引口から吸引されることにより、被クリーニング体の表面から塵埃が除去される。

特開２０１４−３０８０６号公報

上述したような構造のクリーニングヘッドでは、被クリーニング体の表面から効率的に塵埃を除去できることが望まれる。本発明は、そのことに鑑み、被クリーニング体の表面から効率的に塵埃を除去することのできるクリーニングヘッドを提供するものである。

本発明に係るクリーニングヘッドは、長尺体であって、長手方向に延びるスリット状の気体噴射口と、該気体噴射口に並んで配置され、長手方向に延びるスリット状の気体吸引口とを備え、前記気体噴射口及び前記気体吸引口を被クリーニング体の表面に対向させた状態で、前記気体噴射口から気体を噴射させるとともに前記気体吸引口から外気を吸引しつつ前記被クリーニング体に対して相対動させるクリーニングヘッドであって、前記気体噴射口は、互いに隣接して配置される第１気体噴射口と第２気体噴射口とを含む構成となる。

このような構成によれば、第１気体噴射口、第２気体噴射口及び気体吸引口を被クリーニング体の表面に対向させた状態でクリーニングヘッドを前記被クリーニング体と相対動ささせながら、第１気体噴射口及び第２気体噴射口の双方から気体を噴射させるとともに気体吸引口から外気を吸引することができる。被クリーニング体表面の塵埃は、第１気体噴射口及び第２気体噴射口の双方から噴射される気体によって吹き上げられ、その吹き上げられた塵埃が気体吸引口から外気とともに吸引され得る。

このように、互いに隣接した第１気体噴射口及び第２気体噴射口の２つの気体噴射口から気体が被クリーニング体の表面に向けて噴射されるので、より複雑な気流によって被クリーニング体の表面から塵埃を吹上げることができる。

本発明に係るクリーニングヘッドにおいて、前記気体吸引口は、第１気体吸引口及び第２気体吸引口を含み、前記第１気体噴射口及び前記第２気体噴射口の双方は、前記第１気体吸引口と前記第２気体吸引口との間に配置される構成とすることができる。

このような構成によれば、第１気体吸引口と第２気体吸引口とに向かう２つの気流の間に挟まれた状態で、第１気体噴射口と第２気体噴射口とから噴射される気体により塵埃が吹き上げられるので、その吹き上げられた塵埃が確実に第１気体吸引口及び第２気体吸引口に外気とともに吸引され得る。

本発明に係るクリーニングヘッドにおいて、前記第１気体噴射口と前記第２気体噴射口とは、前記第１気体噴射口から噴射される気体と前記第２気体噴射口から噴射される気体とが前記被クリーニング体の表面に達する前に干渉するように形成された構成とすることができる。

このような構成によれば、互いに隣接した第１気体噴射口及び第２気体噴射口の２つの気体噴射口から被クリーニング体の表面に向けて噴射される気体が、被クリーニング体の表面に達する前に干渉するようになるので、その干渉によって被クリーニング体の表面に達する気流がより複雑な状態になり得る。その結果、その複雑な状態の気流によって被クリーニング体の表面から塵埃を確実に吹き上げることができる。

本発明に係るクリーニングヘッドにおいて、前記第１気体噴射口と前記第２気体噴射口とは、前記第１気体噴射口の気体の噴射方向と、前記第２気体噴射口の気体の噴射方向とが平行となるように形成された構成とすることができる。

このような構成により、第１気体噴射口から噴射される気体の広がりと第２気体噴射口から噴射される気体の広がりとによってそれぞれの気体を被クリーニング体の表面に達する前に干渉させることができる。

本発明に係るクリーニングヘッドにおいて、前記第１気体噴射口は、前記第２気体噴射口側に傾いた方向に気体を噴射するように形成され、前記第２気体噴射口は、前記第１気体噴射口側に傾いた方向に気体を噴射するように形成された構成とすることができる。

このような構成により、第１気体噴射口から噴射される気体と、第２気体噴射口から噴射される気体とを、被クリーニング体の表面から離れた当該クリーニングヘッドにより近い位置にて干渉させることができる。

本発明に係るクリーニングヘッドによれば、互いに隣接した第１気体噴射口及び第２気体噴射口の２つの気体噴射口から被クリーニング体の表面に向けて噴射される気体によって生じるより複雑な気流によって被クリーニング体の表面から塵埃を吹上げることができるので、被クリーニング体の表面から効率的に塵埃を除去することができるようになる。

図１は、本発明の実施の形態に係るクリーニングヘッドを示す正面図である。図２は、本発明の実施の形態に係るクリーニングヘッドを示す平面図である。図３は、本発明の実施の形態に係るクリーニングヘッドを部分的に示す底面図である。図４Ａは、図１に示すクリーニングヘッドのＡ矢視の図である。図４Ｂは、図１に示すクリーニングヘッドのＢ−Ｂ断面を示す断面図である。図４Ｃは、図１に示すクリーニングヘッドのＣ−Ｃ断面を示す断面図である。図５は、図４Ｃに示すクリーニングヘッドのノズルヘッドを拡大して示すものであって、第１エア噴射口及び第２エア噴射口からの気体噴射により形成される気流の第１の例を拡大して示す部分断面図である。図６は、図４Ｃに示すクリーニングヘッドのノズルヘッドを拡大して示すものであって、第１エア噴射口及び第２エア噴射口からの気体噴射により形成される気流の第２の例を拡大して示す部分断面図である。図７は、図４Ｃに示すクリーニングヘッドのノズルヘッドを拡大して示すものであって、第１エア噴射口及び第２エア噴射口からの気体噴射により形成される気流の第３の例を拡大して示す部分断面図である。

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。

本発明の実施の一形態に係るクリーニングヘッドは、図１〜図３及び図４Ａ〜図４Ｃに示すように構成される。なお、図１はクリーニングヘッドを示す正面図であり、図２はクリーニングヘッドを示す平面図であり、図３はクリーニングヘッドを部分的に示す底面図である。また、図４Ａは図１に示すクリーニングヘッドのＡ矢視の図であり、図４Ｂは図１に示すクリーニングヘッドのＢ−Ｂ断面を示す断面図であり、図４Ｃは図１に示すクリーニングヘッドのＣ−Ｃ断面を示す断面図である。

図１〜図３及び図４Ａ〜図４Ｃにおいて、このクリーニングヘッド１０は、長尺体であって角筒状のヘッド本体１１と、ヘッド本体１１の上面に沿って長手方向Ｄ_Ｌに延びる排気経路１３０（図４Ａ〜図４Ｃ参照）を形成するようにヘッド本体１１に結合する断面コ字状の排気ダクト１３と、ヘッド本体１１の下面に固定されるノズルヘッド１２とを有している。ヘッド本体１１の上面の長手方向Ｄ_Ｌに延びる対向する２つの縁部分には、溝部１１１ａ、１１１ｂが形成されている（図４Ａ〜図４Ｃ参照）。そして、断面コ字状の排気ダクト１３の長手方向Ｄ_Ｌに延びる２つの端縁部分がヘッド本体１１の２つの溝部１１１ａ、１１１ｂにスライド挿入されることにより、ヘッド本体１１と排気ダクト１３とが結合される。ヘッド本体１１、ノズルヘッド１２及び排気ダクト１３が一体となって構成されるユニットの一方の端部にプレート１４が固定されており、当該ユニットの他方の端部にプレート１５が固定されている。プレート１５は、排気ポート１６及び給気ポート１７のそれぞれを通して貫通しており、排気ダクト１３内の排気経路１３０が排気ポート１６に連通し、ヘッド本体１１の後述するエア噴射室１１２（図４Ａ〜図４Ｃ参照）が給気ポート１７に連通している。なお、ヘッド本体１１、ノズルヘッド１２及び排気ダクト１３のそれぞれの一方の端部はプレート１４によって閉鎖されている。

ヘッド本体１１内の空間は、特に、図４Ａ〜図４Ｃに示すように、それぞれが長手方向Ｄ_Ｌ（図４Ａ〜図４Ｂにおいて紙面に直交する方向）に延び、その長手方向Ｄ_Ｌに直交する前後方向Ｄ_ＦＲに並ぶエア噴射室１１２と、第１エア吸引室１１３ａ及び第２エア吸引室１１３ｂの２つのエア吸引室とに分割されている。そして、ヘッド本体１１内において、前述したように給気ポート１７（図１参照）に連通するエア噴射室１１２は、第１エア吸引室１１３ａと第２エア吸引室１１３ｂとに挟まれるように配置されている。

ノズルヘッド１２は、図４Ａ〜図４Ｃに示すように、概ね角筒状に形成されており、その内部が、仕切り壁１２１により前後方向Ｄ_ＦＲに並ぶ第１空間１２２ａと第２空間１２２ｂとの２つの空間に分割された構造となっている。第１空間１２２ａは、所定幅で長手方向Ｄ_Ｌに延びる開放部１２３ａを通してヘッド本体１１側に開放し、第２空間１２２ｂは、所定幅で長手方向Ｄ_Ｌに延びる開放部１２３ｂを通してヘッド本体１１側に開放している。また、第１空間１２２ａと第２空間１２２ｂとを仕切る仕切り壁１２１には、所定間隔で並び、それぞれ長手方向Ｄ_Ｌに延びる第１隙間１２４ａと第２隙間１２４ｂとが形成されている。そして、第１隙間１２４ａ及び第２隙間１２４ｂのそれぞれが外部に至ることにより、図３に示すように、それぞれ長手方向Ｄ_Ｌに延びるスリット状の第１エア噴射口１２５ａ（第１気体噴射口）及び第２エア噴射口１２５ｂ（第２気体噴射口）が形成される。

また、ノズルヘッド１２の第１エア噴射口１２５ａ及び第２エア噴射口１２５ｂが形成された面には、図３に示すように、それら隣接して並ぶ第１エア噴射口１２５ａ及び第２エア噴射口１２５ｂを挟むように、長手方向Ｄ_Ｌに延びるスリット状の第１エア吸引口１２６ａ（第１気体吸引口）及び第２エア吸引口１２６ｂ（第２気体吸引口）が形成されている。ノズルヘッド１２の第１空間１２２ａは第１エア吸引口１２６ａを通して外部に連通し、ノズルヘッド１２の第２空間１２２ｂは第２エア吸引口１２６を通して外部に連通している。

ヘッド本体１１の第１エア吸引室１１３ａに対応したノズルヘッド１２側の壁部分には、長手方向Ｄ_Ｌにある間隔で配置された複数の通孔１１５ａが形成されるとともに、ヘッド本体１１の第２エア吸引室１１３ｂに対応したノズルヘッド１２側の壁部分には長手方向Ｄ_Ｌにある間隔で配置された複数の通孔１１５ｂが形成されている（図４Ｃ参照）。前記複数の通孔１１５ａは、ノズルヘッド１２の開放部１２３ａに対向しており、ヘッド本体１１の第１エア吸引室１１３ａは、前記複数の通孔１１５ａ及び開放部１２３ａを通してノズルヘッド１２内の第１空間１２２ａに連通する。また、前記複数の通孔１１５ｂは、ノズルヘッド１２の開放部１２３ｂに対向しており、ヘッド本体１１の第２エア吸引室１１３ｂは、前記複数の通孔１１５ｂ及び開放部１２３ｂを通してノズルヘッド１２内の第２空間１２２ｂに連通する。その結果、ヘッド本体１１の第１エア吸引室１１３ａは、ノズルヘッド１２のスリット状の第１エア吸引口１２５ａを通して、ヘッド本体１１の第２エア吸引室１１３ｂは、ノズルヘッド１２のスリット状の第２エア吸引口１２５ｂを通して、それぞれ外部に連通する。

また、ヘッド本体１１のエア噴射室１１２に対応したノズルヘッド１２側の壁部分には長手方向Ｄ_Ｌにある間隔で配列された複数の通孔１１４が形成されている（図４Ｃ参照）。複数の通孔１１４は、ノズルヘッド１２の仕切り壁１２１に形成された第１隙間１２４ａ及び第２隙間１２４ｂの双方に対向している。その結果、ヘッド本体１１のエア噴射室１１２は、仕切り壁１２１に形成された第１隙間１２４ａ、第２隙間１２４ｂが外部に至ることにより形成されるスリット状の第１エア噴射口１２５ａ、第２エア噴射口１２５ｂ（図３参照）を通して外部に解放する。

なお、このクリーニングヘッド１０は、ヘッド本体１と排気ダクト１３との配列方向Ｄ_Ｖ（長手方向Ｄ_Ｌに直交）におけるヘッド本体１１の自重による撓みを抑制するために、引き上げ固定機構２０が、排気ダクト１３内に設けられている。この引き上げ固定機構２０について説明する。

この引き上げ固定機構２０は、図１とともに図４Ａ及び図４Ｂに示すように、支持ブロック２１、引き上げボルト２２、固定ブロック２４、及び調整ナット２６を備えている。支持ブロック２１は、ヘッド本体１１の上面の長手方向Ｄ_Ｌにおける中央部に固定されている。引き上げボルト２２の一端部は、支持ブロック２１の中央部にネジ込まれており、更に、２つのナット２３ａ、２３ｂによって締め付け固定されている。一方、排気ダクト１３の上部内面には、前述した支持ブロック２１に対向するように固定ブロック２４が固定されている。固定ブロック２４には、支持ブロック２１から排気ダクト１３の排気経路１３０を横切るように延びる引き上げボルト２２が貫通する孔が形成され、更に、その孔は、引き上げボルト２２の他端部に螺合する調整ナット２６を収容する収容空間２５として広がっている。このように固定ブロック２４の引き上げボルト２２が貫通する孔が広がって形成される収容空間２５に収容された調整ナット２６は、ヘッド本体１１側への移動が規制されるように固定ブロック２４の収容空間２５の底面に当接した状態で引き上げボルト２２に螺合している。固定ブロック２４の収容空間２５に対応して排気ダクト１３の上壁部には調整孔が形成されている。排気ダクト１３の外部から調整孔を通して固定ブロック２４の収容空間２５に収容された状態の調整ナット２２の操作を行うことができる。通常、前記調整孔は、蓋体１８によって閉鎖された状態になっている。

ヘッド本体１１と排気ダクト１３の配列方向Ｄ_Ｖにおける排気ダクト１３の曲げ剛性は、その配列方向Ｄ_Ｖにおけるヘッド本体１１の曲げ剛性より大きくなるように、形状等が設計されている。即ち、このクリーニングヘッド１０では、ヘッド本体１１は、前記配列方向Ｄ_Ｖにおける曲げ剛性がより大きい排気ダクト１３の下部に結合し、前述した引き上げ固定機構２０によってその中央部が引き上げ固定される。

上述したような引き上げ固定機構２０を備えたクリーニングヘッド１０を支持フレーム等に支持した場合、例えば、ヘッド本体１１が、その中央部が最下点となるように撓もうとする。これに対して、引き上げ固定機構２０の調整ナット２０を引き上げボルト２２にねじ込むことにより、ヘッド本体１０の長手方向Ｄ_Ｌのその中央部が引き上げボルト２２とともに引き上げられた状態で固定される。これにより、長手方向Ｄ_Ｌの中央部が最下点となるようにヘッド本体１１が撓むことを抑制することができる。その結果、ヘッド本体１１（及びノズルヘッド１２）と排気ダクト１３とが結合して一体となるクリーニングヘッド１０全体の撓みも抑制することができる。

なお、調整ボルト２６のねじ込み量を調整することにより、ヘッド本体１１の中央部を引き上げる量を調整することができる。

上述した構造のクリーニングヘッド１０では、給気ポート１７には、加圧エアを発生する、例えば、エアポンプ（気体加圧機構）が接続される。このエアポンプの動作により加圧エアが給気ポート１７を通してヘッド本体１１のエア噴射室１１２に供給される。それにより、エア噴射室１１２から加圧されたエアがノズルヘッド１２の第１エア噴射口１２５ａ及び第２エア噴射口１２５ｂの２つのエア噴射口から噴射される。また、排気ポート１６には、エアを吸引する機構、例えば、真空ポンプが接続され、この真空ポンプの動作による排気ポート１６及びそれにつづく排気ダクト１３の排気経路１３０を通した排気作用により、排気経路１３０に連通するヘッド本体１１の第１エア吸引室１１３ａ及び第２吸引室１１３ｂが排気される。それにより、第１エア吸引口１２６ａ、第２エア吸引口１２６ｂを通して外気が第１エア吸引室１１３ａ、第２エア吸引室１１３ｂに吸引される。

このようなクリーニングヘッド１０は、図４Ａに示すように、ノズルヘッド１２が被クリーニング体Ｇの表面に、所定の隙間（ＧＡＰ：例えば、１．５ｍｍ程度、ただしこれに限定されない）をもって、対向するように、セットされる。この状態で、クリーニングヘッド１０と被クリーニング体Ｇとを前後方向Ｄ_ＦＲに相対移動させ、その際に、スリット状の第１エア噴射口１２５ａ及び第２エア噴射口１２５ｂからエアを噴射させつつ第１エア吸引口１２６ａ及び第２エア吸引口１２６ｂを通して外気を吸引させる。その過程で、第１エア噴射口１２５ａ及び第２エア噴射口１２５ｂから噴射されるエアによって被クリーニング体Ｇの表面の塵埃が吹き上げられ、その吹き上げられた塵埃が第１エア吸引口１２６ａ及び第２エア吸引口１２６ｂから外気とともに第１エア吸引室１１３ａ及び第２エア吸引室１１３ｂに吸引される。これにより、被クリーニング体Ｇの表面から塵埃が除去される。

更に、詳細にみると、例えば、図５に示すように、ノズルヘッド１２と被クリーニング体Ｇの表面との間に気流が形成される（第１の例）。

この第１の例の場合、第１エア噴射口１２５ａと第２エア噴射口１２５ｂとは、第１エア噴射口１２５ａのエアの噴射方向と、第２エア噴射口１２５ｂのエアの噴射方向とが平行であって、それらの噴射方向がノズルヘッド１２の２つのエア噴射口１２５ａ、１２５ｂが形成された面に垂直となるように、形成されている。そして、第１エア噴射口１２５ａ及び第２エア噴射口１２５ｂのそれぞれから噴射されるエアの広がりにより、第１エア噴射口１２５ａから噴射するエアによる気流ｆｊａと第２エア噴射口１２５ｂから噴射するエアによる気流ｆｊｂとが被クリーニング体Ｇの表面に達する前に衝突して干渉する。

また、第１エア吸引口１２６ａに外気が吸引されるとともに、第２エア吸引口１２６ｂに外気が吸引されることにより、これら第１エア吸引口１２６ａ、第２エア吸引口１２６ｂのそれぞれに向かう気流ｆａａ、ｆａｂが生ずる。従って、第１エア吸引口１２６ａに向かう気流ｆａａと第２エア吸引口１２６ｂに向かう気流ｆａｂとの間に、前述した隣接する２つのエア噴射口１２５ａ、１２５ｂから噴射するエアによる気流ｆｊａ、ｆｊｂが形成される。

上述したような構造のノズルヘッド１２を有するクリーニングヘッド１０では、互いに隣接した第１エア噴射口１２５ａ及び第２エア噴射口１２５ｂの２つのエア噴射口から被クリーニング体Ｇの表面に向けて噴射されるエアにより生ずる気流ｆｊａ、ｆｊｂが被クリーニング体Ｇの表面に達する前に干渉するので、その干渉によって被クリーニング体Ｇの表面に達する気流がより複雑な状態になり得る。その結果、その複雑な状態の気流によって被クリーニング体Ｇの表面から塵埃を確実に吹き上げることができる。そして、それら２つのエア噴射口１２５ａ、１２５ｂから噴射されるエアによって生ずる気流ｆｊａ、ｆｊｂを挟むように、第１エア吸引口１２６ａ及び第２エア吸引口１２６ｂに向かう気流ｆａａ、ｆａｂが形成されるので、上述したように被クリーニング体Ｇの表面から確実に吹き上げられた塵埃が、第１エア吸引口１２６ａ及び第２エア吸引口１２６ｂに向かう２つの気流ｆａａ、ｆａｂにより確実にそれら２つのエア吸引口１２６ａ、１２６ｂを通してクリーニングヘッド１０内に吸引され得る。従って、被クリーニング体Ｇの表面から効率的に塵埃を除去することができる。

また、上述した図５に示す例（第１の例）に代えて、例えば、図６に示すように、ノズルヘッド１２と被クリーニング体Ｇの表面との間に気流を形成することもできる（第２の例）。

この第２の例の場合、第１エア噴射口１２５ａは、第２エア噴射口１２５ｂ側に傾いた方向にエアを噴射するにように形成され、第２エア噴射口１２５ｂは、第１エア噴射口１２５ａ側に傾いた方向にエアを噴射するように形成される。これにより、第１エア噴射口１２５ａから噴射するエアにより生ずる気流ｆｊａと、第２エア噴射口１２５ｂから噴射するエアにより生ずる気流ｆｊｂとは、前述した図５に示す場合と比べて、被クリーニング体Ｇの表面から離れたクリーニングヘッド１０（ノズルヘッド１２）により近い位置にて互いに干渉し得る。

この図６に示す構造のクリーニングヘッド（第２の例）においても、互いに隣接した第１エア噴射口１２５ａ及び第２エア噴射口１２５ｂの２つのエア噴射口から被クリーニング体Ｇの表面に向けて噴射されるエアにより生ずる気流ｆｊａ、ｆｊｂが被クリーニング体Ｇの表面に達する前に干渉するので、その干渉によって被クリーニング体Ｇの表面に達する気流がより複雑な状態になり得る。その結果、その複雑な状態の気流によって被クリーニング体Ｇの表面から塵埃を確実に吹き上げることができる。そして、そのように確実に吹き上げられた塵埃を、上記２つのエア噴射口１２５ａ、１２５ｂを挟む２つのエア吸引口１２６ａ、１２６ｂを通して外気とともに確実に吸引することができる。よって、被クリーニング体Ｇの表面から効率的に塵埃を除去することができる。

更に、上述した図５に示す例（第１の例）に代えて、例えば、図７に示すように、ノズルヘッド１２と被クリーニング体Ｇの表面との間に気流を形成することもできる（第３の例）。

この第３の例の場合、第１の例（図５参照）と同様に、第１エア噴射口１２５ａと第２エア噴射口１２５ｂとは、第１エア噴射口１２５ａのエアの噴射方向と、第２エア噴射口１２５ｂのエアの噴射方向とが平行であって、それらの噴射方向がノズルヘッド１２の２つのエア噴射口１２５ａ、１２５ｂが形成された面に垂直となるように、形成されている。しかし、第１の例（図５参照）と異なり、第１エア噴射口１２５ａから噴射するエアによる気流ｆｊａと第２エア噴射口１２５ｂから噴射するエアによる気流ｆｊｂとは被クリーニング体Ｇの表面に達する前に干渉することはない。

この図７に示す構造のクリーニングヘッド（第３の例）では、互いに隣接した第１エア噴射口１２５ａ及び第２エア噴射口１２５ｂの２つのエア噴射口から被クリーニング体Ｇの表面に向けて噴射されるエアにより生ずる気流ｆｊａ、ｆｊｂは干渉することなく被クリーニング体Ｇの表面に達し、その後、被クリーニング体Ｇの表面においてそれらの気流ｆｊａ、ｆｊｂが混ざり合う。その結果、被クリーニング体Ｇの表面において混ざり合う気流により、その表面から塵埃を確実に吹き上げることができる。そして、図５及び図６に示す各例と同様に、そのように確実に吹き上げられた塵埃を、上記２つのエア噴射口１２５ａ、１２５ｂを挟む２つのエア吸引口１２６ａ、１２６ｂを通して外気とともに確実に吸引することができる。よって、被クリーニング体Ｇの表面から効率的に塵埃を除去することができる。

なお、前述した実施の形態では、ヘッド本体１１が排気ダクト１３に引き上げ固定機構２０によって引き上げ固定されていたが、ヘッド本体１１と排気ダクト１３とは、引き上げ固定機構２０を用いることなく、単に結合固定されるものであってもよい。

前述した実施の形態では、ヘッド本体１１とノズルヘッド１２とは別体であったが、それらは、ヘッド本体として一体的に構成されるものであってもよい。

前述したクリーニングヘッド１０では、給気ポート１７を通して加圧エアが供給されるものであったが、供給される気体はエアに限定されず、例えば、窒素ガス等の他の気体であってもよい。

クリーニングヘッド１０の構造については、２つのエア噴射口１２５ａ、１２５ｂを挟んで前後方向Ｄ_ＦＲに２つのエア吸引口１２６ａ、１２６ｂが形成されるものであたが、エア吸引口は単一のものであってもよい。更に、３以上のエア吸引口を形成することもできる。また、エア噴射口は、少なくとも第１エア噴射口１２５ａ及び第２エア噴射口１２５ｂを含むものであればよく、それ以上のエア噴射口を備えるものであってもよい。

以上、本発明の実施の形態及び各部の変形例を説明したが、この実施の形態や各部の変形例は、一例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上述したこれら新規な実施の形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施の形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明に含まれる。

本発明に係るクリーニングヘッドは、被クリーニング体の表面から効率的に塵埃を除去することができるという効果を有し、気体噴射口からエア等の気体を被クリーニング体の表面に対して噴射するとともに、前記被クリーニング体に対向する気体吸引口を通して外気を吸引することにより前記被クリーニング体の表面から塵埃を除去するようにしたクリーニングヘッドとして有用である。

１０クリーニングヘッド
１１ヘッド本体
１２ノズルヘッド
１３排気ダクト
１４、１５端部カバー
１６排気ポート
１７給気ポート
１８蓋体
２０引き上げ固定機構
２１支持ブロック
２２引き上げボルト
２３ａ、２３ｂナット
２４固定ブロック
２５収容空間
２６調整ナット
１１１ａ、１１１ｂ溝部
１１２エア噴射室
１１３ａ第１エア吸引室
１１３ｂ第２エア吸引室
１１４、１１５ａ、１１５ｂ、１１６ａ、１１６ｂ通孔
１２１仕切り壁
１２２ａ第１空間
１２２ｂ第２空間
１２３ａ、１２３ｂ開放部
１２４ａ第１隙間
１２４ｂ第２隙間
１２５ａ第１エア噴射口
１２５ｂ第２エア噴射口
１２６ａ第１エア吸引口
１２６ｂ第２エア吸引口

Claims

長尺体であって、長手方向に延びるスリット状の気体噴射口と、該気体噴射口に並んで配置され、長手方向に延びるスリット状の気体吸引口とを備え、前記気体噴射口及び前記気体吸引口を被クリーニング体の表面に対向させた状態で、前記気体噴射口から気体を噴射させるとともに前記気体吸引口から外気を吸引しつつ前記被クリーニング体に対して相対動させるクリーニングヘッドであって、
前記気体噴射口は、互いに隣接して配置される第１気体噴射口と第２気体噴射口とを含み、
前記第１気体噴射口と前記第２気体噴射口とは、前記第１気体噴射口から噴射される気体の流れと前記第２気体噴射口から噴射される気体の流れとが前記被クリーニング体の表面に達する前に干渉するように、かつ、前記第１気体噴射口の気体の噴射方向と、前記第２気体噴射口の気体の噴射方向とが平行となるように形成されたクリーニングヘッド。
長尺体であって、長手方向に延びるスリット状の気体噴射口と、該気体噴射口に並んで配置され、長手方向に延びるスリット状の気体吸引口とを備え、前記気体噴射口及び前記気体吸引口を被クリーニング体の表面に対向させた状態で、前記気体噴射口から気体を噴射させるとともに前記気体吸引口から外気を吸引しつつ前記被クリーニング体に対して相対動させるクリーニングヘッドであって、
前記気体噴射口は、互いに隣接して配置される第１気体噴射口と第２気体噴射口とを含み、
前記第１気体噴射口は、前記第２気体噴射口側に傾いた方向に気体を噴射するように形成され、
前記第２気体噴射口は、前記第１気体噴射口側に傾いた方向に気体を噴射するように形成されたクリーニングヘッド。
前記気体吸引口は、第１気体吸引口及び第２気体吸引口を含み、
前記第１気体噴射口及び前記第２気体噴射口の双方は、前記第１気体吸引口と前記第２気体吸引口との間に配置される請求項１または２記載のクリーニングヘッド。