JPH0775650B2

JPH0775650B2 - 空気清浄装置

Info

Publication number: JPH0775650B2
Application number: JP2132091A
Authority: JP
Inventors: 恵司芳村
Original assignee: Nitta Corp
Current assignee: Nitta Corp
Priority date: 1990-05-22
Filing date: 1990-05-22
Publication date: 1995-08-16
Anticipated expiration: 2010-08-16
Also published as: JPH0427409A

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、空気を浄化する空気清浄装置に関し、特に軽
量・薄型・低騒音であって、塵埃の捕集効率に優れ、さ
らには浄化された空気が層流となって排出される空気清
浄装置に関する。

（従来の技術）半導体工業、電子工業、精密機械工業、バイオテクノロ
ジー、製薬工業などの分野においては、超高度の清浄空
間が必要とされる。清浄空間には、作業環境全域を清浄
化するクリーンルーム、作業環境を局部的に清浄化する
クリーンベンチやクリーンブースなどがある。このよう
な清浄空間を形成するために、ファンとエアーフィルタ
ーとを組合わせた空気清浄装置が用いられる。

従来の空気清浄装置では、ファンから送出される空気流
の動圧が不均一であるため、このような状態で空気流が
エアーフィルターを通過すると、エアーフィルターから
排出される空気は乱流となる。該乱流が、例えばクリー
ンルーム内に吹出されると、塵埃が滞留するので高度の
清浄度が得られない。また、防音、遮音について考慮さ
れておらず、騒音が高いという問題点がある。

（発明が解決しようとする課題）本発明は上記従来の問題点を解決するものであり、その
目的は、エアーフィルターから排出される空気の乱流の
発生を確実に防止して、風速分布の均一な層流を形成せ
しめることができ、例えばクリーンルーム内を高い清浄
度に保持し得る空気清浄装置を提供することにある。本
発明の他の目的は、軽量・薄型であり、しかも低騒音の
空気清浄装置を提供することにある。

（課題を解決するための手段）本発明の空気清浄装置は、内部に浄化室が設けられたケ
ーシングと、該浄化室内を、気流流入側のファン室およ
び該ファン室にその出口である送出口を介して連通する
消音室と気流排出側のフィルター室とに分割すると共
に、該消音室と該フィルター室とを連通する連通口を有
する盲板と、該ファン室内に配設され、該盲板に沿った
状態で該送出口から気流を送出するファンと、該消音室
内に設けられ、該送出口から該消音室の幅を徐々に拡大
させる気流案内板と、該フィルター室内に配設されたエ
アーフィルターと、該ファンから該消音室内に送出され
た気流を整流して該エアーフィルターに導くための、該
連通口に配設された相互に平行する複数の流路を形成す
る整流偏向板と、を具備しており、そのことによって上
記目的が達成される。

また、前記エアーフィルターの気流流入側の全面を覆う
多孔板を更に具備する構成とすることもし得る。

（実施例）本発明の実施例について以下に説明する。

第１図及び第２図に、本発明の空気清浄装置の一実施例
の斜視図及び平面図を示す。第３図に第２図のIII−III
線に沿った断面図を示す。尚、第１図および第２図で
は、空気清浄装置の上部の蓋部を除去して示してある。
本発明の空気清浄装置は、第１図および第２図に示すよ
うに、ファン室11と消音室14とフィルター室12とを有す
る浄化室10が設けられたケーシング１と、ファン室11内
に配設されたファン２およびフィルター室12内に設けら
れたエアーフィルター３を有する。浄化室10内を空気が
通流する間に、該空気は浄化される。

浄化室10は、盲板４により気流流入側のファン室11およ
び消音室14と、気流排出側のフィルター室12とに分割さ
れる。盲板４の４つの周側面のうち２側面は、浄化室10
の２つの周側面に当接しているが、他の２つの側面は、
該浄化面10の側面から離隔しており、この離隔した一方
の部分にて、ファン室11および消音室14とフィルター室
12とを連通する連通口13を形成している。

連通口13は、ケーシング１の幅方向の全域に亘って設け
られている。一方、ファン２の送出口21は、ケーシング
１の幅の略２分の１の幅を有している。連通口13と送出
口21との間には、ケーシング１の側壁および気流案内板
６によって、徐々に幅の変化する消音室14が形成されて
いる。気流案内板６はファン２およびケーシング１とは
気密に接している。ファン室11に配設されているファン
２よって盲板４に沿って消音室14へ送出される気流は、
徐々に幅の変化する消音室14の形状の拡散効果により、
連通口13に均等に導入される。また、ファン２から発生
する騒音も、この消音室14の拡散効果により低減され
る。

ファン２の送出口21の反対側には、遮音パネル16が浄化
室10の幅方向の全域に亘って設けられている。遮音パネ
ル16には金属板が使用されるが、制音鉄板、ゴム等の吸
音材を貼付した鉄板等も用い得る。

浄化室10のフィルター室12内には、盲板４とは所定間隔
をあけてエアーフィルター３が設けられている。該エア
ーフィルター３は、ケーシング１の四周面に対し気密状
に取付けられている。エアーフィルター３のフィルター
室12側には、該エアーフィルター３とは所定間隔を置い
て、多孔板であるパンチングプレート15が設けられてい
る。パンチングプレート15は連通口13を通過した気流を
分散、整流して、均等な空気流をエアーフィルタ３上の
全面に供給する機能を果たす。多孔板として、パンチン
グプレート15の代わりに金属、プラスチック等の網状物
も用い得る。

浄化室10における消音室14とフィルター室12とを連通す
る連通口13内には、３枚の整流偏向板51、52、及び53が
平行に配設されている。各整流偏向板51、52、及び53
は、連通口13の長さ方向（ケーシング１の幅方向）の全
域にわたって嵌合されている。また、各整流偏向板51、
52、及び53は、連通口13を４等分するように等間隔で配
列されている。各整流偏向板51、52、及び53の上下方向
の長さは、ファン２から近いものから遠いものへと、順
に長くなっている。即ち、ファン２に最も近くに位置す
る整流偏向板51が最も短く、ファン２から最も遠くに位
置する整流偏向板53が最も長い。各整流偏向板51、52、
及び53の上端部は、ファン２の気流流入方向に屈曲して
いる。また、各整流偏向板51、52、及び53の上端部は、
消音室14の上下方向の長さを４等分する位置に配設され
ている。各整流偏向板51、52、及び53の下端部は、気流
流出方向に屈曲している。このような整流偏向板51、5
2、及び53の構成により、相互に平行する４個の流路が
連通口13に形成される。４個の流路は、ファン２から消
音室14内に送出された気流を整流して、均等にパンチン
グプレート15上に供給する。

本実施例では３枚の整流偏向板を設けたが、本発明はこ
れに限定されるものではない。ファン２の送風量にもよ
るが、整流偏向板の数が３枚より少ない場合には、整流
効果が小さくなるので好ましくない。４枚以上の整流偏
向板を設けると、空気清浄装置の重量が増加し、また、
整流偏向板の取付工程の増加によりコストアップとなる
ので好ましくない。

本実施例では吸音効果を高めるため、盲板４は２枚の鉄
板を有し、これらの鉄板の間にはグラスウールが充填さ
れている。盲板４の厚さは約25mmである。充填されてい
るグラスウールは、48kg/m³のものである。また、消音
室14を囲むケーシング１、気流案内板６、および上部の
蓋17にも、吸音効果を高めるために、48kg/m³のグラス
ウールが約25mmの厚さに貼り付けられている。

上記構成を有する空気清浄装置を、空気の流れに沿って
説明する。ファン室11内のファン２は、その軸方向に沿
って空気をファン２内に吸引する。ファン２は、その送
出口21から盲板４に沿って気流を消音室14内に送出す
る。消音室14へ送出された気流は、徐々に幅の変化する
消音室14の形状の拡散効果により、連通口13に均等に導
入される。また、ファン２から発生する騒音も、消音室
14の拡散効果により低減される。

消音室14から流出した気流は、整流偏向板51、52及び53
によって形成される等間隔の４個の流路に導入される。
これらの流路に導入された気流は、各整流偏向板51、5
2、及び53に沿って移動する間に整流する。整流された
気流は、各整流偏向板は51、52、及び53の気流流出方向
な屈曲した下端部によってフィルター室12内に導入され
る。

フィルター室12内に導入された気流は、パンチングプレ
ート15によって分散され、均一化されてエアーフィルタ
ー３上の全面に供給される。パンチングプレート15を通
過した気流はエアーフィルター３を通過する間に浄化さ
れ、浄化室10外へ排出される。このように、整流偏向板
51、52、及び53によって整流された気流は、更にパンチ
ングプレート15によって分散、均一化されため、フィル
ター室12から排出される気流は層流となっている。

整流効果は、以下に示す式で表すことができる。

従来の空気清浄装置では、整流効果の値は0.205であっ
た。これに対し本実施例の空気清浄装置では、整流効果
の値は0.128であった。このように本実施例の空気清浄
装置は、高い整流効果を有している。

本実施例の空気清浄装置には、ファン２と連通口13との
間に、その幅が徐々に変化する消音室14が設けられてい
るので、高い騒音防止効果が得られる。また、本実施例
では、消音室14を囲むケーシング１、気流案内板６、及
ひ蓋17にはグラスウールが貼り付けられている。また、
盲板４は２枚の鉄板を有し、これらの鉄板の間にはグラ
スウールが充填されている。更に本実施例では、ファン
２の送出口21の反対側に遮音パネル16が設けられてい
る。このような構成により、防音効果が更に高められて
いる。運転中の空気清浄装置の下方1mに於ける騒音は、
従来の空気清浄装置では、例えば55dBであった。これに
対し、本実施例の空気清浄装置では50dBであった。この
ように、本実施例の空気清浄装置は、高い防音効果を有
していることがわかる。

（発明の効果）本発明の空気清浄装置では、このように、消音室内に、
ファン室と消音室との連通部分に設けられた送出口から
消音室内の幅を徐々に拡大させる気流案内板が設けられ
ているので、徐々に幅の拡大する消音室の形状の拡散効
果により、消音室を経た気流を前記連通口に均等に導入
させることができる。また、ファンから送出される気流
の流路が長く、気流整流効果の高い整流偏向板が設けら
れているため、気流は効率よく整流され、均一化されて
いる。従って、該気流は、均一な風速分布をもってゆる
やかにエアーフィルターに導入され、エアーフィルター
から層流として排出される。また、パンチングプレート
を設けた構成により、排出される気流は更に整流され均
一化されたものとなる。このように、本発明の空気清浄
装置を用いれば、排出される気流は層流となるため、ク
リーンルーム内の塵埃の滞留が防止され、高い清浄度が
確実に得られる。また、本発明の空気清浄装置の浄化室
内には消音室が設けられているので、低騒音の運転が可
能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の空気清浄装置の一例を示す一部破断斜
視図、第２図は第１図の空気清浄装置の平面図、第３図
は第２図のIII−III線に沿った断面図である。１……ケーシング、２……ファン、３……エアーフィル
ター、４……盲板、６……気流案内板、11……ファン
室、12……フィルター室、13……連通口、15……パンチ
ングプレート、16……遮音パネル、51,52,53……整流偏
向板。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】内部に浄化室が設けられたケーシングと、該浄化室内を、気流流入側のファン室および該ファン室
にその出口である送出口を介して連通する消音室と気流
排出側のフィルター室とに分割すると共に、該消音室と
該フィルター室とを連通する連通口を有する盲板と、該ファン室内に配設され、該盲板に沿った状態で該送出
口から気流を送出するファンと、該消音室内に設けられ、該送出口から該消音室の幅を徐
々に拡大させる気流案内板と、該フィルター室内に配設されたエアーフィルターと、該ファンから該消音室内に送出された気流を整流して該
エアーフィルターに導くための、該連通口に配設された
相互に平行する複数の流路を形成する整流偏向板と、を具備する空気清浄装置。
【請求項２】前記エアーフィルターの気流流入側の全面
を覆う多孔板を更に具備する、請求項１に記載の空気清
浄装置。