KR20080104479A - 기판 이송 장치 - Google Patents

기판 이송 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20080104479A
KR20080104479A KR1020070051314A KR20070051314A KR20080104479A KR 20080104479 A KR20080104479 A KR 20080104479A KR 1020070051314 A KR1020070051314 A KR 1020070051314A KR 20070051314 A KR20070051314 A KR 20070051314A KR 20080104479 A KR20080104479 A KR 20080104479A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
carrier
substrate
substrate transfer
stator
permanent magnet
Prior art date
Application number
KR1020070051314A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101409524B1 (ko
Inventor
최승헌
이기조
여영진
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020070051314A priority Critical patent/KR101409524B1/ko
Publication of KR20080104479A publication Critical patent/KR20080104479A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101409524B1 publication Critical patent/KR101409524B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67709—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using magnetic elements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/067—Sheet handling, means, e.g. manipulators, devices for turning or tilting sheet glass
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67712—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrate being handled substantially vertically

Abstract

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는 기판을 수직 상태로 안착시키는 캐리어(carrier), 캐리어의 상부를 자기 부상시킨 상태에서 자석의 인력을 이용하여 비접촉 상태로 수평 유지하는 자기 부상 모듈, 캐리어의 하부에 추력을 발생시켜 수평 이송하는 하부 이송 유닛 및 자기 부상 모듈에 의해 부상된 캐리어의 중심을 잡아주어 상기 캐리어가 한 쪽으로 치우치는 것을 방지하는 하부 댐퍼(Damper) 유닛을 포함한다.
기판 이송 장치, 비접촉, 리니어모터, 인력, 댐퍼

Description

기판 이송 장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATES}
도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송 장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 적용한 기판 처리 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타낸 단면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 기판 이송 장치를 나타낸 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에서 하부 이송 유닛의 작동 원리를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에서 하부 댐퍼 유닛이 장착된 구조를 설명하기 위한 도면이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
1: 기판 처리 장치 2: 기판 도입부
3: 처리부 4: 기판 토출부
31: 제1 세정부 32: 제2 세정부
33: 저압수 공급부 34: 고압수 공급부
35: 세정수 공급부 36: 순수 공급부
37: 건조부 110: 기판
120: 캐리어 122; 몸체
124: 헤드부 126: 말단부
122a: 안착부 130: 하부 이송 유닛
132: 고정자 134: 가동자
140: 자기 부상 모듈 142, 144: 제1,2 영구자석
150: 하부 댐퍼 유닛 152: 하우징
152a: 걸림턱 154: 복수의 댐퍼들
154a: 제1 댐퍼 154b: 제2 댐퍼
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체나 액정 표시 장치, 플라즈마 표시 장치 등의 평판 표시 장치를 제조하기 위해서는 매우 복잡한 공정을 거치게 된다.
각 제조 공정은 서로 상이한 단위 공정들로 연결되어 있고, 각 단위 공정을 행하는 장비가 다르기 때문에 각 장비들로 평판 표시 장치의 기판을 운반하는 컨베이어(conveyor) 즉, 이송 장치가 마련되어야 한다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송 장치를 나타낸 사시도이다.
도 1을 참조하면, 종래의 기판 이송 장치는 동일 평면상에 복수의 이송 롤러(10)가 병렬로 배치되어 있고, 이러한 이송 롤러(10) 상에 기판(20)이 로딩되면 이송 롤러(10)가 회전하면서 미끄럼 구동으로 기판(20)을 이송하게 된다.
그런데, 종래의 기판 이송 장치는 기판(20)이 회전하는 이송 롤러(10)에 접촉한 상태로 이송되기 때문에 이송 롤러(10)와 기판(20)이 접촉하는 접촉면 사이에서 마찰력이 발생하고, 이로 인해 기판(20)이 손상되거나 파티클이 발생할 수 있는 문제점이 있다.
또한, 종래의 기판 이송 장치는 기판(20)을 수평 방향으로 뉘어서 이송하기 때문에 기판(20)이 차지하는 면적 이상의 공간이 필요한 단점이 있다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 기판을 수직 상태로 장착한 캐리어를 수평 이송함으로써 기판의 손상이나 파티클 문제를 방지할 수 있는 기판 이송 장치를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 자기 부상하는 캐리어의 중심을 유지하여 캐리어의 치우침을 방지함으로써 안정적인 반송 시스템을 제공하는 기판 이송 장치를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는, 기판을 수직 상태로 안착시키는 캐리어(carrier), 상기 캐리어의 상부를 자기 부상시킨 상태에서 자석의 인력을 이용하여 비접촉 상태로 수평 유지하는 자기 부상 모듈, 상기 캐리어의 하부에 추력을 발생시켜 수평 이송하는 하부 이송 유닛, 및 상기 자기 부상 모듈에 의해 부상된 캐리어의 중심을 잡아주어 상기 캐리어가 한 쪽으로 치우치는 것을 방지하는 하부 댐퍼(Damper) 유닛을 포함한다.
상기 자기 부상 모듈은, 상기 캐리어의 상부에 고정되는 제1 영구자석, 및 상기 제1 영구자석에 대향되며 상기 제1 영구자석과 서로 다른 극성을 갖는 제2 영구자석을 포함한다.
상기 하부 이송 유닛은 타이밍벨트, 롤러, 랙피니언 기어 중 어느 하나를 이용할 수 있다.
또는, 상기 하부 이송 유닛은 리니어모터(linear motor)일 수 있다.
이때, 상기 하부 이송 유닛은, 특정 극성을 갖는 고정자, 상기 고정자에 대향되며 상기 고정자와 동일한 극성 또는 반대되는 극성을 갖는 가동자를 포함한다.
상기 고정자는 상기 캐리어의 하부에 고정되며, 상기 가동자는 상기 고정자의 하부에 구비될 수 있다.
또는, 상기 가동자가 상기 캐리어의 하부에 고정되며, 상기 고정자는 상기 가동자 하부에 구비될 수 있다.
상기 고정자는 코일을 이용한 전자석 또는 영구자석일 수 있다.
상기 가동자는 코일을 이용한 전자석 또는 영구자석일 수 있다.
상기 하부 댐퍼 유닛은, 상기 캐리어 하부의 양측부를 감싸는 하우징, 및 상기 하우징 내부에 구비되어 상기 캐리어의 하부 중심을 유지하고, 상기 하우징과 상기 캐리어와의 마찰을 감소시키는 복수의 댐퍼들을 포함한다.
상기 하우징은, 상단 및 하단에 상기 캐리어의 이탈을 방지하기 위한 걸림턱이 구비될 수 있다.
상기 복수의 댐퍼들은, 상기 캐리어의 측면과 상기 하우징 사이에 구비되어 상기 캐리어가 위치된 방향과 수직하는 방향의 축을 중심으로 배열되는 제1 댐퍼, 및 상기 하우징의 걸림턱과 상기 캐리어 사이에 구비되어 상기 캐리어가 부상하는 방향의 축을 중심으로 배열되는 제2 댐퍼를 포함한다.
상기 복수의 댐퍼들은 바퀴 모양의 롤러일 수 있다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 대하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 적용한 기판 처리 장치를 설명하기 위한 설명도이다.
도 2를 참조하면, 일반적으로 기판 처리 장치(1)는 전 공정으로부터의 기판(B)이 유입되는 기판 유입부(2), 기판(B)을 각종 제조 공정에 따라 처리하는 처리부(3), 처리 후 기판(B)을 후 공정으로 배출시키는 기판 토출부(4)가 인라인(in-line) 형태로 배치되어 있다.
이러한 기판 처리 장치(1)는 기판 유입부(2)와 처리부(3) 및 기판 토출부(4)의 순서대로 기판(B)을 이송하면서 기판(B)에 소정의 처리를 실시한다.
이때, 기판(B)은 액정 표시 장치뿐만 아니라 평판 표시 장치 등을 제작하기 위한 기판이며, 반도체의 웨이퍼(wafer)도 가능하다.
처리부(3)는 제1 세정부(31), 제2 세정부(32), 건조부(37)로 구성되며, 제2 세정부(32)는 세부적으로 저압수 공급부(33), 고압수 공급부(34), 세정수 공급부(35), 순수 공급부(36)로 구분될 수 있다.
제1 세정부(31)는 이송 수단(5)에 의해 이송되는 기판(B)의 표면에 소정의 약액을 공급하여 기판(B)을 세정하고, 제2 세정부(32)는 약품 세정 후, 이송 수단(5)에 의해 이송되는 기판(B)에 세정수를 공급하여 기판(B)을 2차 세정한다.
이와 같이 구성되는 기판 처리 장치(1)에서, 각 공정을 수행하기 위한 공간 사이에는 기판(B)을 이송하기 위한 이송 수단(5)이 마련되고, 이러한 이송 수단(5)으로는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치를 사용함으로써 기판의 손상이나 파티클의 문제를 방지한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타낸 단면도이고, 도 4는 도 3에 도시된 기판 이송 장치를 나타낸 사시도이며, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에서 하부 이송 유닛의 작동 원리를 설명하기 위한 도면이다.
먼저 도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 이송 장치는 기판(110)이 안착되는 캐리어(120)와, 캐리어(120)를 수평 이송시키는 하부 이송 유닛(130), 캐리어(110)의 상부를 자기 부상시켜 비접촉 상태로 수평 유지하는 자기 부상 모듈(140), 및 자기 부상된 캐리어(110)의 하부 중심을 잡아주는 하부 댐퍼(Damper) 유닛(150)을 포함한다.
캐리어(120)는 지면에 대하여 수직 상태로 배치되며, 기판이 장착되는 몸체(122), 몸체(122) 상부의 헤드부(124), 몸체(122) 하부의 말단부(126)로 구성된다.
몸체(122)에는 기판(110)을 안착하기 위한 안착부(122a)가 마련되며, 헤드부(124)와 말단부(126)는 몸체(122)의 두께(d2)보다 큰 두께(d4, d6)를 가질 수 있다.
이러한 캐리어(120)는 도시된 바와 같이 안착부(122a)에 기판(110)을 수직 상태로 장착하여 이송시킴으로써 공간적인 측면이나 기판(110)의 처짐 등에 있어 효율적이다.
기판(110)은 액정 표시 장치뿐만 아니라 평판 표시 장치 등을 제작하기 위한 기판이며, 반도체의 웨이퍼(wafer)도 가능하다.
자기 부상 모듈(140)은 캐리어(120)의 헤드부(124)와 대응되는 위치에 구비되며, 두 개의 자석을 이용하여 인력에 의해 캐리어(120)의 상부를 수평 유지시키게 된다.
구체적으로 설명하면, 자기 부상 모듈(140)은 캐리어(120)의 헤드부(124)에 고정되는 제1 영구자석(142), 제1 영구자석(142)과 대향되는 제2 영구자석(144)을 포함한다.
제1 영구자석(142)은 특정 극성을 가지며, 제2 영구자석(144)은 이러한 제1 영구자석(142)과 반대되는 극성을 가진다.
따라서, 제1 영구자석(142)과 제2 영구자석(144) 사이에는 인력이 작용하게 되고, 이러한 인력에 의해 자기 부상한 캐리어(120)가 한쪽으로 치우치거나 이탈되지 않고 비접촉 상태로 수평을 유지할 수 있다.
제1 영구자석(142)은 캐리어(120)의 헤드부(124) 형상을 따라 길게 하나로 형성될 수 있으며, 또는 일정한 패턴을 형성하여 캐리어(120)의 헤드부(124)에 복수 개 구비될 수 있다.
이에 따라, 제2 영구자석(144)이 제1 영구자석(124)의 형상에 대응되도록 형성된다.
하부 이송 유닛(130)은 캐리어(120)의 하부에 추력을 발생시켜 캐리어(120)를 이송하기 위한 것으로, 서보 모터(servo motor) 또는 리니어 모터(linear motor)를 적용할 수 있다.
이중 서보 모터를 적용한 경우, 동력 전달을 타이밍벨트(Timing Belt)나 롤 러(Roller), 랙피니언(Rack Pinion) 기어 중 어느 하나를 선택하여 구성할 수 있다.
리니어 모터를 적용한 경우, 하부 이송 유닛(130)은 자석을 이용하여 비접촉식으로 캐리어(120)를 이송할 수 있다. 이로써, 마찰에 의한 파티클의 발생 요인들을 거의 해소할 수 있는 이점이 있다.
리니어 모터를 적용한 하부 이송 유닛(130)은 도 3에 도시된 바와 같이 특정 극성을 가지는 고정자(132)와, 고정자(132)에 대향되며 고정자(132)와 동일한 극성 또는 반대되는 극성을 가지는 가동자(134)를 포함한다.
이때, 고정자(132)는 캐리어(120)의 말단부(126) 하부에 구비되고, 가동자(134)는 고정자(132)의 하부에 캐리어(120)를 이송하고자 하는 방향으로 복수 개 배열될 수 있다.
또는, 가동자(134)가 캐리어(120)의 하부에 말단부(126)를 따라 구비되고, 고정자(132)는 가동자(134)의 하부에 구비될 수 있다.
이와 같이 고정자(132)와 가동자(134)는 이송하려는 방향에 따라 그 위치를 변경하여 장착할 수 있다.
고정자(132)과 가동자(134)은 코일을 이용한 전자석 또는 영구자석으로 구비될 수 있다.
이와 같이 구성되는 하부 이송 유닛(130)은 고정자(132)와 가동자(134) 사이에 작용하는 척력에 의해 캐리어(120)가 가동자(134)로부터 자기 부상하게 되고, 이와 동시에 이웃하는 가동자(134) 사이에 작용하는 인력에 의해 고정자(132)가 당 겨짐으로써 캐리어(120)가 이동하게 된다.
도 5를 참조하면, 캐리어(120)의 하부인 말단부에 S극성을 가지는 고정자(132)가 구비되어 있고, 그 하부에 S극성 및 N극성을 갖는 가동자(134)가 구비되어 있다.
이때, 가동자(134)는 도시된 바와 같이 캐리어(120)를 이송하고자 하는 방향을 따라 일렬로 N극-S극-N극-S극 순서대로 배열될 수 있다.
또는, N극-N극-S극-S극 순서대로 배열될 수 있으며, 이 외에도 자석간 척력과 인력에 의해 추력을 발생할 수 있는 구조라면 다양하게 구성될 수 있다.
고정자(132) 또는 가동자(134)는 코일을 이용한 전자석 또는 영구자석으로 구비될 수 있는데, 코일을 이용한 전자석의 경우에는 고정자(132) 또는 가동자(134)에 특정 극성의 자력을 공급하기 위한 전원공급부(P)가 별도로 필요하다.
도시된 바와 같이 가동자(134)가 전자석으로 구비되는 경우, 전원공급부(P)는 가동자(134)에 각각 구비되거나, 또는 같은 극성을 갖는 자석끼리 구분하여 극성별로 구비할 수 있다.
이를 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 하부 이송 유닛(130)의 작용을 설명하면, S극성을 띄는 고정자(132)는 고정자(132)와 동일한 극성, S극성을 가지는 가동자(134) 사이의 척력(F2)에 의해 고정자(132)가 가동자(134)로부터 멀어지게 된다. 따라서, 캐리어(120)가 가동자(134)로부터 자기 부상하게 되며, 이와 동시에 고정자(132)와 반대되는 N극성을 가지는 가동자(134)에 의해 인력(F1)이 작용하게 된다.
결과적으로, 기판이 안착된 캐리어(120)는 하부 이송 유닛(130)을 통해 자기 부상한 상태에서 비접촉으로 수평 이송하게 된다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에서 하부 댐퍼 유닛이 장착된 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 3 및 도 4를 연계하여 설명하면, 하부 댐퍼 유닛(150)은 자기 부상한 캐리어(120)의 하부 중심을 잡아주어 캐리어(120)가 정 위치에서 이탈되는 것을 방지하기 위한 것으로, 하부 이송 유닛(150)의 상부이면서 캐리어(120)의 말단부(126)와 대응되는 위치에 구비된다.
이러한 하부 댐퍼 유닛(150)은 캐리어(120)의 하부인 말단부(126)의 외곽을 감싸는 하우징(152)과, 하우징(152) 내부에 구비되는 복수의 댐퍼들(154)을 포함할 수 있다.
하우징(152)은 말단부(154)의 양쪽에 전면과 후면으로 각각 구비되어 캐리어(120)의 양측부를 감쌀 수 있으며, 또는 하나의 캡 형태로 구비되어 캐리어(120) 하부의 양측부를 감쌀 수 있다.
그리고, 하우징(152)의 상, 하단에는 걸림턱(152a)이 구비된다.
걸림턱(152a)은 자기 부상한 캐리어(120)가 자기 부상 모듈(140)로 인해 작용하는 인력에 의해 캐리어(120)가 상부로 이탈되는 것을 방지해 준다.
복수의 댐퍼들(154)은 하우징(152) 내에서 서로 대향되는 면이 캐리어(120)와 하우징(152)의 내측면과 각각 접촉하도록 구비되어, 하우징(152)과 캐리어(120)의 마찰을 감소시키는 역할을 한다.
이러한 복수의 댐퍼들(154)은 하우징(152) 내부에서 장착되는 위치에 따라 제1 댐퍼(154a)와 제2 댐퍼(154b)로 구분될 수 있다.
도 6을 참조하면, 제1 댐퍼(154a)는 캐리어(120)의 측면과 하우징(152) 사이에 캐리어(120)가 위치한 방향과 수직하는 방향의 축(B)을 중심으로 배열되고, 제2 댐퍼(154b)는 하우징(152)의 걸림턱(152a)과 캐리어(120) 사이에 구비되어 캐리어(120)가 부상하는 방향의 축(A)을 중심으로 배열된다.
일 예로, 제1 댐퍼(154a) 및 제2 댐퍼(154b)는 바퀴 모양의 롤러일 수 있으나 이에 한정되지는 않는다.
이러한 구성으로, 제1 댐퍼(154a)는 캐리어(120)가 위치한 방향과 수직하는 방향의 축(B)을 중심으로 회전하여 캐리어(120)의 측면과 하우징(152)간 마찰을 감소시키며, 제2 댐퍼(154b)는 캐리어(120)가 부상하는 방향의 축(A)을 중심으로 회전하여 하우징(152)의 걸림턱(152a)과 캐리어(120)간 마찰을 감소시킨다.
따라서, 하부 댐퍼 유닛(150)은 캐리어(120)의 하부 중심을 정 위치에서 이탈되지 않도록 유지하며, 캐리어(120)와 하우징(152)간의 마찰을 감소시켜 파티클 발생을 방지한다.
한편, 자기 부상 모듈(140)은 외부 환경이나 캐리어(120)에 무게에 따라 캐리어(120)의 상부에 작용하는 인력이 달라지고, 이에 따라 캐리어(120)의 부상력이 달라질 수 있는데, 이 경우 하부 댐퍼 유닛(150)의 하우징(152)에 구비된 걸림턱(152a)에 의해 캐리어(120)의 부상력을 제한할 수 있다. 따라서, 자기 부상한 캐리어(120)가 안정적으로 기판(110)을 이송할 수 있도록 제공한다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
따라서, 이상에서 기술한 실시예들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이므로, 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 하며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는 기판이 장착된 캐리어를 수직 상태로 이송시키기 때문에 기판과의 마찰로 인한 파티클 발생, 기판의 손상 등의 문제점을 완전히 해소할 수 있으며, 공간적인 측면에 있어서도 효율적이다.
또한, 자기 부상하는 캐리어의 하부 중심을 댐퍼를 이용하여 잡아줌으로써 캐리어가 한쪽으로 치우짐 없이 안정적으로 이송할 수 있도록 할 수 있다.

Claims (13)

  1. 기판을 수직 상태로 안착시키는 캐리어(carrier);
    상기 캐리어의 상부를 자기 부상시킨 상태에서 자석의 인력을 이용하여 비접촉 상태로 수평 유지하는 자기 부상 모듈;
    상기 캐리어의 하부에 추력을 발생시켜 수평 이송하는 하부 이송 유닛; 및
    상기 자기 부상 모듈에 의해 부상된 캐리어의 중심을 잡아주어 상기 캐리어가 한 쪽으로 치우치는 것을 방지하는 하부 댐퍼(Damper) 유닛
    을 포함하는 기판 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 자기 부상 모듈은,
    상기 캐리어의 상부에 고정되는 제1 영구자석; 및
    상기 제1 영구자석에 대향되며 상기 제1 영구자석과 서로 다른 극성을 갖는 제2 영구자석
    을 포함하는 기판 이송 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 하부 이송 유닛은 타이밍벨트, 롤러, 랙피니언 기어 중 어느 하나를 이용한 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 하부 이송 유닛은 리니어모터(linear motor)인 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 하부 이송 유닛은,
    특정 극성을 갖는 고정자;
    상기 고정자에 대향되며 상기 고정자와 동일한 극성 또는 반대되는 극성을 갖는 가동자
    를 포함하는 기판 이송 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 고정자는 상기 캐리어의 하부에 고정되며,
    상기 가동자는 상기 고정자의 하부에 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 가동자는 상기 캐리어의 하부에 고정되며,
    상기 고정자는 상기 가동자 하부에 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 고정자는 코일을 이용한 전자석 또는 영구자석인 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  9. 제5항에 있어서,
    상기 가동자는 코일을 이용한 전자석 또는 영구자석인 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 하부 댐퍼 유닛은,
    상기 캐리어 하부의 양측부를 감싸는 하우징; 및
    상기 하우징 내부에 구비되어 상기 캐리어의 하부 중심을 유지하고, 상기 하우징과 상기 캐리어와의 마찰을 감소시키는 복수의 댐퍼들
    을 포함하는 기판 이송 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 하우징은,
    상단 및 하단에 상기 캐리어의 이탈을 방지하기 위한 걸림턱이 구비된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 복수의 댐퍼들은,
    상기 캐리어의 측면과 상기 하우징 사이에 구비되어 상기 캐리어가 위치된 방향과 수직하는 방향의 축을 중심으로 배열되는 제1 댐퍼; 및
    상기 하우징의 걸림턱과 상기 캐리어 사이에 구비되어 상기 캐리어가 부상하는 방향의 축을 중심으로 배열되는 제2 댐퍼
    를 포함하는 기판 이송 장치.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 복수의 댐퍼들은 바퀴 모양의 롤러인 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
KR1020070051314A 2007-05-28 2007-05-28 기판 이송 장치 KR101409524B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070051314A KR101409524B1 (ko) 2007-05-28 2007-05-28 기판 이송 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070051314A KR101409524B1 (ko) 2007-05-28 2007-05-28 기판 이송 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080104479A true KR20080104479A (ko) 2008-12-03
KR101409524B1 KR101409524B1 (ko) 2014-06-20

Family

ID=40366091

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070051314A KR101409524B1 (ko) 2007-05-28 2007-05-28 기판 이송 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101409524B1 (ko)

Cited By (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101006459B1 (ko) * 2008-11-26 2011-01-06 에프엔에스테크 주식회사 기판 이송장치
KR101067709B1 (ko) * 2009-05-28 2011-09-28 주식회사 태성기연 자기부상방식 판유리 이송장치
KR101224122B1 (ko) * 2010-12-01 2013-01-21 주식회사 에스에프에이 비접촉식 기판 이송장치
KR20130138387A (ko) * 2012-06-11 2013-12-19 세메스 주식회사 자기 부상 이송 장치
US8852687B2 (en) 2010-12-13 2014-10-07 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
US8859043B2 (en) 2011-05-25 2014-10-14 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8859325B2 (en) 2010-01-14 2014-10-14 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8865252B2 (en) 2010-04-06 2014-10-21 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
KR101454302B1 (ko) * 2012-10-31 2014-10-28 한국전기연구원 디스플레이 제조설비용 자기부상 이송 시스템
US8871542B2 (en) 2010-10-22 2014-10-28 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light emitting display apparatus, and organic light emitting display apparatus manufactured by using the method
US8876975B2 (en) 2009-10-19 2014-11-04 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8882922B2 (en) 2010-11-01 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
US8882556B2 (en) 2010-02-01 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8894458B2 (en) 2010-04-28 2014-11-25 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8906731B2 (en) 2011-05-27 2014-12-09 Samsung Display Co., Ltd. Patterning slit sheet assembly, organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and the organic light-emitting display apparatus
US8945974B2 (en) 2012-09-20 2015-02-03 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light-emitting display device using an organic layer deposition apparatus
US8951610B2 (en) 2011-07-04 2015-02-10 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
US8968829B2 (en) 2009-08-25 2015-03-03 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8973525B2 (en) 2010-03-11 2015-03-10 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US9018647B2 (en) 2010-09-16 2015-04-28 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US9051636B2 (en) 2011-12-16 2015-06-09 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same, and organic light-emitting display apparatus
US9234270B2 (en) 2011-05-11 2016-01-12 Samsung Display Co., Ltd. Electrostatic chuck, thin film deposition apparatus including the electrostatic chuck, and method of manufacturing organic light emitting display apparatus by using the thin film deposition apparatus
US9246377B2 (en) 2013-12-30 2016-01-26 Samsung Display Co., Ltd. Apparatus for transferring substrate
US9249493B2 (en) 2011-05-25 2016-02-02 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the same
US9257649B2 (en) 2012-07-10 2016-02-09 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic layer on a substrate while fixed to electrostatic chuck and charging carrier using contactless power supply module
US9279177B2 (en) 2010-07-07 2016-03-08 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US9347886B2 (en) 2013-06-24 2016-05-24 Samsung Display Co., Ltd. Apparatus for monitoring deposition rate, apparatus provided with the same for depositing organic layer, method of monitoring deposition rate, and method of manufacturing organic light emitting display apparatus using the same
WO2016085277A1 (ko) * 2014-11-27 2016-06-02 한국알박㈜ 기판 이송 장치
KR20160063970A (ko) * 2015-09-17 2016-06-07 한국알박(주) 기판 이송 장치
US9388488B2 (en) 2010-10-22 2016-07-12 Samsung Display Co., Ltd. Organic film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US9450140B2 (en) 2009-08-27 2016-09-20 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same
CN105993068A (zh) * 2014-11-27 2016-10-05 Ulvac韩国股份有限公司 基板转移装置
US9496524B2 (en) 2012-07-10 2016-11-15 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same, and organic light-emitting display apparatus manufactured using the method
US9496317B2 (en) 2013-12-23 2016-11-15 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light emitting display apparatus
US9512515B2 (en) 2011-07-04 2016-12-06 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US9748483B2 (en) 2011-01-12 2017-08-29 Samsung Display Co., Ltd. Deposition source and organic layer deposition apparatus including the same
US10246769B2 (en) 2010-01-11 2019-04-02 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
KR102001970B1 (ko) * 2018-11-23 2019-07-19 김형용 비접촉식 기판 이송 장치
WO2020045942A1 (ko) * 2018-08-27 2020-03-05 엘지전자 주식회사 반송 장치
WO2020177842A1 (en) * 2019-03-01 2020-09-10 Applied Materials, Inc. Magnetic levitation system, carrier for a magnetic levitation system, and method of operating a magnetic levitation system
CN112218971A (zh) * 2018-05-24 2021-01-12 应用材料公司 用于运输载体的磁悬浮系统、用于磁悬浮系统的载体、用于竖直处理基板的处理系统以及运输载体的方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07435Y2 (ja) * 1988-10-11 1995-01-11 旭硝子株式会社 真空処理炉の搬送装置
KR20040006101A (ko) * 2002-07-09 2004-01-24 황규선 구동력 발생장치
JP4471708B2 (ja) * 2004-03-31 2010-06-02 キヤノンアネルバ株式会社 基板搬送装置
JP4632091B2 (ja) * 2005-08-30 2011-02-16 株式会社ダイフク 物品搬送設備

Cited By (50)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101006459B1 (ko) * 2008-11-26 2011-01-06 에프엔에스테크 주식회사 기판 이송장치
KR101067709B1 (ko) * 2009-05-28 2011-09-28 주식회사 태성기연 자기부상방식 판유리 이송장치
US8968829B2 (en) 2009-08-25 2015-03-03 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US9450140B2 (en) 2009-08-27 2016-09-20 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same
US8876975B2 (en) 2009-10-19 2014-11-04 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US9224591B2 (en) 2009-10-19 2015-12-29 Samsung Display Co., Ltd. Method of depositing a thin film
US10287671B2 (en) 2010-01-11 2019-05-14 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US10246769B2 (en) 2010-01-11 2019-04-02 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8859325B2 (en) 2010-01-14 2014-10-14 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8882556B2 (en) 2010-02-01 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8973525B2 (en) 2010-03-11 2015-03-10 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US9453282B2 (en) 2010-03-11 2016-09-27 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8865252B2 (en) 2010-04-06 2014-10-21 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US9136310B2 (en) 2010-04-28 2015-09-15 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8894458B2 (en) 2010-04-28 2014-11-25 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US9279177B2 (en) 2010-07-07 2016-03-08 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US9018647B2 (en) 2010-09-16 2015-04-28 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US9388488B2 (en) 2010-10-22 2016-07-12 Samsung Display Co., Ltd. Organic film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8871542B2 (en) 2010-10-22 2014-10-28 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light emitting display apparatus, and organic light emitting display apparatus manufactured by using the method
US8882922B2 (en) 2010-11-01 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
KR101224122B1 (ko) * 2010-12-01 2013-01-21 주식회사 에스에프에이 비접촉식 기판 이송장치
US8852687B2 (en) 2010-12-13 2014-10-07 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
US9748483B2 (en) 2011-01-12 2017-08-29 Samsung Display Co., Ltd. Deposition source and organic layer deposition apparatus including the same
US9234270B2 (en) 2011-05-11 2016-01-12 Samsung Display Co., Ltd. Electrostatic chuck, thin film deposition apparatus including the electrostatic chuck, and method of manufacturing organic light emitting display apparatus by using the thin film deposition apparatus
US9249493B2 (en) 2011-05-25 2016-02-02 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the same
US8859043B2 (en) 2011-05-25 2014-10-14 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8906731B2 (en) 2011-05-27 2014-12-09 Samsung Display Co., Ltd. Patterning slit sheet assembly, organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and the organic light-emitting display apparatus
US9512515B2 (en) 2011-07-04 2016-12-06 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US9777364B2 (en) 2011-07-04 2017-10-03 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8951610B2 (en) 2011-07-04 2015-02-10 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
US9051636B2 (en) 2011-12-16 2015-06-09 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same, and organic light-emitting display apparatus
KR20130138387A (ko) * 2012-06-11 2013-12-19 세메스 주식회사 자기 부상 이송 장치
US10431779B2 (en) 2012-07-10 2019-10-01 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same, and organic light-emitting display apparatus manufactured using the method
US9496524B2 (en) 2012-07-10 2016-11-15 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same, and organic light-emitting display apparatus manufactured using the method
US9257649B2 (en) 2012-07-10 2016-02-09 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic layer on a substrate while fixed to electrostatic chuck and charging carrier using contactless power supply module
US8945974B2 (en) 2012-09-20 2015-02-03 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light-emitting display device using an organic layer deposition apparatus
KR101454302B1 (ko) * 2012-10-31 2014-10-28 한국전기연구원 디스플레이 제조설비용 자기부상 이송 시스템
US9347886B2 (en) 2013-06-24 2016-05-24 Samsung Display Co., Ltd. Apparatus for monitoring deposition rate, apparatus provided with the same for depositing organic layer, method of monitoring deposition rate, and method of manufacturing organic light emitting display apparatus using the same
US9496317B2 (en) 2013-12-23 2016-11-15 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light emitting display apparatus
US9246377B2 (en) 2013-12-30 2016-01-26 Samsung Display Co., Ltd. Apparatus for transferring substrate
CN105993068B (zh) * 2014-11-27 2019-05-31 Ulvac韩国股份有限公司 基板转移装置
WO2016085277A1 (ko) * 2014-11-27 2016-06-02 한국알박㈜ 기판 이송 장치
CN105993068A (zh) * 2014-11-27 2016-10-05 Ulvac韩国股份有限公司 基板转移装置
TWI575643B (zh) * 2014-11-27 2017-03-21 Ｕｌｖａｃ韓國股份有限公司 基板轉移裝置
KR20160063970A (ko) * 2015-09-17 2016-06-07 한국알박(주) 기판 이송 장치
CN112218971A (zh) * 2018-05-24 2021-01-12 应用材料公司 用于运输载体的磁悬浮系统、用于磁悬浮系统的载体、用于竖直处理基板的处理系统以及运输载体的方法
WO2020045942A1 (ko) * 2018-08-27 2020-03-05 엘지전자 주식회사 반송 장치
KR20200023767A (ko) * 2018-08-27 2020-03-06 엘지전자 주식회사 반송 장치
KR102001970B1 (ko) * 2018-11-23 2019-07-19 김형용 비접촉식 기판 이송 장치
WO2020177842A1 (en) * 2019-03-01 2020-09-10 Applied Materials, Inc. Magnetic levitation system, carrier for a magnetic levitation system, and method of operating a magnetic levitation system

Also Published As

Publication number Publication date
KR101409524B1 (ko) 2014-06-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20080104479A (ko) 기판 이송 장치
US9246377B2 (en) Apparatus for transferring substrate
KR101854034B1 (ko) 비접촉 주행 모듈 및 이를 포함하는 이송 장치
KR101288599B1 (ko) 기판 이송 장치
KR102327286B1 (ko) 기판의 양면 처리를 위한 시스템 및 방법
KR101386685B1 (ko) 기판 처리 장치
KR100707390B1 (ko) 기판 이송장치
KR100745371B1 (ko) 자기부상형 웨이퍼 스테이지
KR101271112B1 (ko) 진공 처리 장치
KR20080014578A (ko) 기판 이송 장치
KR101848849B1 (ko) 기판 이송 장치
KR20160063969A (ko) 기판 이송 장치
KR20110049936A (ko) 자기부상 및 자기베어링을 이용한 직선이송장치
JP2016103633A (ja) 基板搬送装置
JP2021086987A (ja) 基板搬送装置及び基板処理システム
KR20120016835A (ko) 마그네트를 이용한 무레일 및 비접촉 이송 시스템
JP3808709B2 (ja) 基板処理装置
TW201932999A (zh) 載體的對準方法、載體的對準設備、真空系統以及攜帶遮罩裝置的遮罩載體
KR101400156B1 (ko) 기판이송장치
KR20080107069A (ko) 이송 로봇 장치
JPS60107451A (ja) 移送装置
KR101708710B1 (ko) 기판 이송 장치
KR101681192B1 (ko) 반송 로봇
JP2009123722A (ja) 基板搬送装置
KR20230035953A (ko) 천장 이송 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
J201 Request for trial against refusal decision
B701 Decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee