KR101163004B1

KR101163004B1 - 기판 이송장치

Info

Publication number: KR101163004B1
Application number: KR1020080117787A
Authority: KR
Inventors: 장대현
Original assignee: 에프엔에스테크 주식회사
Priority date: 2008-11-26
Filing date: 2008-11-26
Publication date: 2012-07-09
Also published as: KR20100059128A

Abstract

본 발명은 기판 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판에 가해지는 충격, 특히, 수평방향의 충격을 완화시킬 수 있는 기판 이송장치에 관한 것이다.

본 발명에 의한 기판 이송장치는 이송수단; 상기 이송수단의 상부에 개재되어 기판을 지지하는 지지부; 및 상기 지지부를 상기 이송수단에 연결하되, 상기 지지부에 가해지는 수평방향의 충격을 완화시키는 제1완충수단;을 포함한다.

기판. 기립. 이송. 완충. 판스프링.

Description

기판 이송장치{APPARATUS FOR SUBSTRATE TRANSFER}

일반적으로 반도체나 평판디스플레이 패널을 제조하기 위하여는 웨이퍼 또는 유리 등의 기판에 다양한 처리를 하게 된다. 이 때, 상기 기판에 소정의 처리를 위하여 각 스테이지로 이송하거나 또는 이송하면서 공정을 수행하게 되는데, 이를 위해 기판 이송장치가 요구된다.

통상적으로 기판 이송장치는 기판을 수평상태로 이송하게 되는데, 이 경우, 기판의 폭만큼의 공간이 필요하므로 기판이 대형화되면서 설치면적 및 설치비가 증가되는 문제점이 있었다.

따라서 종래에도 기판을 수직 또는 수직으로부터 소정각도 기울어지게 기립시킨 상태에서 이송하는 방식이 개시되었는바, 도 1 및 도 2를 참조하여 종래 기립상태의 기판 이송장치(1)를 설명한다.

도시된 바와 같이, 상면에 프레임(20)이 고정설치된 컨베이어밸트(10)와, 상 기 컨베이어밸트(10)를 구동하는 구동부(11)와, 기판(S)을 기립상태로 지지하는 지지부(30)로 구성된다.

특히, 상하방향의 충격으로부터 기판(S)을 보호하기 위하여 완충수단이 구비되는 바, 상기 완충수단은 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 지지부(30)의 하부에 구비되는 제1자석(31)과, 상기 프레임(20)의 하부에 구비되며 상기 제1자석(31)과 같은 극성을 갖는 제2자석(21)으로 구성된다. 따라서 상기 제1자석(31)과 제2자석(21)의 척력에 의해 상기 지지부(30)를 부상시키고, 이로 인해 상기 지지부(30)는 상하방향으로 움직임이 가능하다. 따라서 외부환경으로부터 지지부(30)에 전달되는 상하방향의 충격을 완화시키 기판(S)을 보호할 수 있는 것이다.

그러나 외부환경으로부터 기판에 전달되는 충격은 상하방향만 있는 것이 아니라 좌우방향 또는 전후방향 등 다양한 방향의 충격이 있을 수 있으며, 따라서 종래의 완충수단으로는 기판을 효과적으로 보호할 수 없는 문제점이 있다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 기판에 가해지는 충격, 특히, 수평방향의 충격을 완화시킬 수 있는 기판 이송장치를 제공함에 있다.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 기판 이송장치는 이송수단; 상기 이송수단의 상부에 개재되어 기판을 지지하는 지지부; 및 상기 지지부를 상기 이송수단에 연결하되, 상기 지지부에 가해지는 수평방향의 충격을 완화시키는 제1완충수단;을 포함한다.

또한 상기 제1완충수단은 상기 이송수단에 수직방향으로 설치되는 탄성체인 것이 바람직하다.

또한 상기 탄성체는 판스프링인 것이 바람직하다.

또한 상기 지지부의 양단에 각각 연결되도록 상기 판스프링은 한 쌍이 구비되는 것이 바람직하다.

또한 상기 지지부에 가해지는 상하방향의 충격을 완화시키는 제2완충수단을 더 구비하는 것이 바람직하다.

또한 상기 제2완충수단은 상기 이송수단과 제1완충수단 사이에 구비되는 것이 바람직하다.

또한 상기 제2완충수단은, 상기 이송수단 상면에 고정설치되는 프레임; 상기 프레임의 내부에서 상기 제1완충수단을 지지하는 지지플레이트; 및 상기 지지플레이트를 상기 프레임의 내부에서 부양시키는 부양수단;을 포함한다.

또한 상기 부양수단은 상기 프레임의 하면과 지지플레이트에 각각 구비되는 서로 같은 극성의 자석인 것이 바람직하다.

또한 상기 부양수단은 상기 프레임의 내부에서 상기 지지플레이트를 지지하는 압축스프링인 것이 바람직하다.

또한 상기 부양수단은 상기 지지플레이트를 상기 프레임의 내부에서 공기부양시키는 에어블로워인 것이 바람직하다.

또한 상기 지지부는 상기 기판을 기립상태로 지지하는 것이 바람직하다.

또한 상기 지지부는 상기 기판의 기립상태에서 저면이 안착되는 홈이 형성되는 것이 바람직하다.

또한 상기 이송수단은 컨베이어밸트인 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 기판에 가해지는 좌우(X)방향 또는 전후(Y)방향 등 수평방향의 충격을 완화시킬 수 있는 효과가 있다.

특히, 기립상태로 기판을 이송할 때 좌우 또는 전후 등 수평방향의 충격으로부터 기판을 보호할 수 있다.

또한 기판에 가해지는 상하방향의 충격도 완화시킬 수 있는 효과가 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 실시예의 구성 및 작용을 설 명한다.

도 3을 참조하면, 본 발명에 의한 제1실시예(100)는 기립상태의 기판(S)을 지지하는 홈(123)이 형성된 지지부(122)의 양단에 제1완충수단으로서 수직으로 설치되는 판스프링(121)이 구비되는 것을 알 수 있다.

상기 지지부(122)에 외부충격이 가해지면, 상기 판스프링(121)은 좌우 또는 전후방향으로 유동이 가능하고, 또 탄성복원된다. 따라서 이러한 수평방향의 외부충격에 의해 기판(S)이 손상되는 것을 방지한다.

또한 제1실시예(100)는 상하방향의 충격을 완화시키는 제2완충수단을 구비하는데, 상기 제2완충수단은 이송수단으로서 컨베이어밸트 상면에 고정설치되는 프레임(110)과, 상기 프레임(110)의 내부에서 상기 판스프링(121)을 지지하는 지지플레이트(120)와, 상기 지지플레이트(120)를 상기 프레임(110)의 내부에서 부양시키는 부양수단으로 구성된다.

특히, 본 실시예(100)에서 상기 부양수단은 상기 프레임(110)의 하면에 자석(111)이 구비되고, 상기 자석과 같은 극성의 자석이 지지플레이트(120)에 각각 구비된다.

이로 인해, 본 실시예(100)의 주위 환경에서 상하방향의 외부충격이 발생되는 경우, 상기 기판(S)을 지지하는 지지부(122)가 상하방향으로 유동가능하므로, 상하방향의 외부충격으로부터 기판(S)의 손상을 방지할 수 있다.

즉, 기판(S)의 수평방향의 외부충격과, 상하방향의 외부충격 모두에 대하여 지지부(122)를 완충함으로써 기판을 보호하는 것이다.

도 4를 참조하면, 본 발명에 의한 제2실시예(200)는 제1완충수단으로서 판스프링(221)과, 지지부(222)의 구성은 상기 제1실시예와 동일하다.

다만, 제2완충수단의 부양수단으로서 서로 같은 극성의 자석 대신에 프레임(210)의 내부에서 지지플레이트(220)를 지지하는 압축스프링(230)으로 대체한 것이다.

도 5를 참조하면, 본 발명에 의한 제3실시예(300)는 제1완충수단으로서 판스프링(321)과, 지지부(322)의 구성은 상기 제1실시예(100)와 동일하다.

다만, 제2완충수단의 부양수단으로서 서로 같은 극성의 자석 대신에 프레임(310)의 내부에서 지지플레이트(320)를 공기부양하는 에어블로워(330)로 대체한 것이다. 상기 에어블로워(330)는 공기분사구(331)가 형성되어 있다.

도 1 및 도 2는 종래 기판 이송장치를 나타낸 것이다.

도 3 내지 도 5는 본 발명에 의한 기판 이송장치의 각각 다른 실시예를 나타낸 것이다.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**

100: 제1실시예

110: 프레임 111: 자석

120: 지지플레이트 121: 판스프링

122: 지지부 123: 홈

200: 제2실시예

210: 프레임 220: 지지플레이트

221: 판스프링 222: 지지부

223: 홈 230: 압축스프링

300: 제3실시예

310: 프레임 320: 지지플레이트

321: 판스프링 322: 지지부

323: 홈 330: 에어블로워

331: 분사구

Claims

이송수단;

상기 이송수단의 상부에 개재되어 기판을 지지하는 지지부; 및

상기 지지부를 상기 이송수단에 연결하되, 상기 지지부에 가해지는 수평방향의 충격을 완화시키는 제1완충수단;을 포함하고,

상기 제1완충수단은 상기 이송수단에 수직방향으로 설치되는 탄성체이며, 상기 탄성체는 상기 지지부의 양단에 각각 연결되는 한 쌍의 판스프링인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
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제1항에 있어서,

상기 지지부에 가해지는 상하방향의 충격을 완화시키는 제2완충수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
제5항에 있어서,

상기 제2완충수단은 상기 이송수단과 제1완충수단 사이에 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
제6항에 있어서,

상기 제2완충수단은,

상기 이송수단 상면에 고정설치되는 프레임;

상기 프레임의 내부에서 상기 제1완충수단을 지지하는 지지플레이트; 및

상기 지지플레이트를 상기 프레임의 내부에서 부양시키는 부양수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
제7항에 있어서,

상기 부양수단은 상기 프레임의 하면과 지지플레이트에 각각 구비되는 서로 같은 극성의 자석인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
제7항에 있어서,

상기 부양수단은 상기 프레임의 내부에서 상기 지지플레이트를 지지하는 압축스프링인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
제7항에 있어서,

상기 부양수단은 상기 지지플레이트를 상기 프레임의 내부에서 공기부양시키는 에어블로워인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
제1항에 있어서,

상기 지지부는 상기 기판을 기립상태로 지지하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
제11항에 있어서,

상기 지지부는 상기 기판의 기립상태에서 저면이 안착되는 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
제1항에 있어서,

상기 이송수단은 컨베이어밸트인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.