KR101084103B1 - 기판 이송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판에 가해지는 충격이 어느 방향이든 그 충격을 완화시킬 수 있는 기판 이송장치에 관한 것이다.

본 발명에 의한 기판 이송장치는 이송수단; 기판을 지지하는 기판지지수단; 및 상기 기판지지수단을 상기 이송수단에 연결하되, 상기 기판지지수단에 가해지는 충격을 완화시키는 완충수단;을 포함한다.

기판. 이송. 기립. 완충. 스프링.

Description

기판 이송장치{APPARATUS FOR SUBSTRATE TRANSFER}

본 발명은 기판 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판에 가해지는 충격이 어느 방향이든 그 충격을 완화시킬 수 있는 기판 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체나 평판디스플레이 패널을 제조하기 위하여는 웨이퍼 또는 유리 등의 기판에 다양한 처리를 하게 된다. 이 때, 상기 기판에 소정의 처리를 위하여 각 스테이지로 이송하거나 또는 이송하면서 공정을 수행하게 되는데, 이를 위해 기판 이송장치가 요구된다.

통상적으로 기판 이송장치는 기판을 수평상태로 이송하게 되는데, 이 경우, 기판의 폭만큼의 공간이 필요하므로 기판이 대형화되면서 설치면적 및 설치비가 증가되는 문제점이 있었다.

따라서 종래에도 기판을 수직 또는 수직으로부터 소정각도 기울어지게 기립시킨 상태에서 이송하는 방식이 개시되었는바, 도 1 및 도 2를 참조하여 종래 기립상태의 기판 이송장치(1)를 설명한다.

도시된 바와 같이, 상면에 하우징(20)이 고정설치된 컨베이어밸트(10)와, 상 기 컨베이어밸트(10)를 구동하는 구동부(11)와, 기판(S)을 기립상태로 지지하는 지지부(30)로 구성된다.

특히, 상하방향의 충격으로부터 기판(S)을 보호하기 위하여 완충수단이 구비되는 바, 상기 완충수단은 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 지지부(30)의 하부에 구비되는 제1자석(31)과, 상기 하우징(20)의 하부에 구비되며 상기 제1자석(31)과 같은 극성을 갖는 제2자석(21)으로 구성된다. 따라서 상기 제1자석(31)과 제2자석(21)의 척력에 의해 상기 지지부(30)를 부상시키고, 이로 인해 상기 지지부(30)는 상하방향으로 움직임이 가능하다. 따라서 외부환경으로부터 지지부(30)에 전달되는 상하방향의 충격을 완화시키 기판(S)을 보호할 수 있는 것이다.

그러나 외부환경으로부터 기판에 전달되는 충격은 상하방향만 있는 것이 아니라 좌우방향 또는 전후방향 등 다양한 방향의 충격이 있을 수 있으며, 따라서 종래의 완충수단으로는 기판을 효과적으로 보호할 수 없는 문제점이 있다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 기판에 가해지는 충격이 어느 방향이든 그 충격을 완화시킬 수 있는 기판 이송장치를 제공함에 있다.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 기판 이송장치는 이송수단; 기판을 지지하는 기판지지수단; 및 상기 기판지지수단을 상기 이송수단에 연결하되, 상기 기판지지수단에 가해지는 충격을 완화시키는 완충수단;을 포함한다.

특히, 상기 완충수단은 X,Y,Z방향의 충격을 완화시킬 수 있다.

또한 상기 완충수단은, 상기 이송수단의 상면에 설치되는 프레임; 및 양단이 상기 프레임과 기판지지수단에 각각 연결되되, 이들 사이에 수평방향으로 개재되는 적어도 하나 이상의 제1탄성체를 포함하는 것이 바람직하다. 이 경우, 상기 탄성체는 인장스프링인 것이 더욱 바람직하다.

또한 상기 완충수단은 상기 이송수단의 상면과 상기 기판지지수단의 저면에 연결되도록 수직상태로 설치되는 제2탄성체인 것이 바람직하다. 이 경우, 상기 제2탄성체는 압축스프링인 것이 더욱 바람직하다.

또한 상기 기판지지수단은 상기 기판을 기립상태로 지지하는 것이 바람직하다.

또한 상기 기판지지수단은 지지플레이트와, 상기 지지플레이트상에 수직으로 설치되는 지지부로 구성되는 것이 바람직하다.

또한 상기 지지부는 상기 기판의 기립상태에서 저면이 안착되는 홈이 형성되는 것이 바람직하다.

또한 상기 이송수단은 컨베이어밸트인 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 기판에 가해지는 충격이 어느 방향이든 그 충격을 완화시킬 수 있는 효과가 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 구성 및 작용을 설명한다.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명에 의한 제1실시예(100)는 기판(S)을 이송하는 컨베이어밸트(110)와, 상기 컨베이어밸트(110)를 구동하는 구동부(120)를 포함한다.

또한 기판(S)의 기립상태에서 저면(l)을 지지하는 기판지지수단(130)을 구비하는데, 상기 기판지지수단(130)은 수평방향으로 연장형성되는 지지플레이트(131)와, 상기 지지플레이트(131)상에 수직으로 설치되는 지지부(132)로 구성되며, 상기 지지부(132)의 중심은 상기 기판의 저면(l)이 안착되는 홈(N)이 형성된다.

또한 상기 기판지지수단(130)에 가해지는 충격을 완화시키는 완충수단(140)이 구비되는데, 상기 완충수단(140)은 컨베이어(110)의 상면에 고정설치되는 프레임(141)과, 직사각형 형태인 지지플레이트(131)와 프레임(141)의 모서리를 각각 연 결하여 수평방향으로 개재되는 인장스프링(142)으로 구성된다.

이와 같은 구성으로 인해, 기판(S) 이송 중 주변환경으로부터 X(좌우)방향, Y(전후)방향, Z(상하)방향 등 어떤 방향의 충격이 지지부(132)에 전달된다 하더라도 이를 완충시켜 기판(S)에 전달되지 않게 된다. 예를 들어 기판(S)이 지지부(132)에 로딩될 때 지지부(132)가 하강하면서 그 충격(Z축방향 충격)을 완화하여 기판의 저면(l)이 손상되는 것이 방지된다.

도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명에 의한 제2실시예(200)는 컨베이어밸트(210)상에 고정플레이트(241)가 고정설치되고, 상기 고정플레이트(241)상에 완충수단(240)으로서 수직상태로 설치되는 압축스프링(242)이 구비되며, 상기 압축스프링(242)의 상단에 지지플레이트(231) 및 지지부(232)로 구성되는 기판지지수단(230)이 연결된다.

이와 같은 구성으로 인해, 제1실시예(100)와 마찬가지로 어떤 방향이라도 충격이 지지부(232)에 전달된다 하더라도 이를 완충시켜 기판(S)을 보호할 수 있게 된다.

도 1 및 도 2는 종래 기판 수직이송장치를 나타낸 것이다.

도 3 내지 도 5는 본 발명에 의한 제1실시예를 나타낸 것이다.

도 6 및 도 7은 본 발명에 의한 제2실시예를 나타낸 것이다.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**

100: 제1실시예 110: 컨베이어밸트

120: 구동부 130: 기판 지지수단

131: 지지플레이트 132: 지지부

140: 완충수단 141: 프레임

142: 인장스프링

200: 제2실시예 210: 컨베이어밸트

220: 구동부 230: 기판 지지수단

231: 지지플레이트 232: 지지부

240: 완충수단 241: 고정플레이트

242: 압축스프링

Claims (10)

1. 이송수단;

   기판을 지지하는 기판지지수단; 및

   상기 기판지지수단을 상기 이송수단에 연결하되, 상기 기판지지수단에 가해지는 충격을 완화시키는 완충수단;을 포함하고,

   상기 완충수단은 상기 이송수단의 상면에 설치되는 프레임 및 양단이 상기 프레임과 상기 기판지지수단에 각각 연결되되, 이들 사이에 상기 프레임의 바닥면과 수평방향으로 개재되는 적어도 하나 이상의 탄성체를 포함하며, X,Y,Z방향의 충격을 완화시키는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
2. 삭제
3. 삭제
4. 제1항에 있어서,

   상기 탄성체는 인장스프링인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
5. 삭제
6. 삭제
7. 제1항에 있어서,

   상기 기판지지수단은 상기 기판을 기립상태로 지지하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
8. 제7항에 있어서,

   상기 기판지지수단은 지지플레이트와, 상기 지지플레이트상에 수직으로 설치되는 지지부로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
9. 제8항에 있어서,

   상기 지지부는 상기 기판의 기립상태에서 저면이 안착되는 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
10. 제1항에 있어서,

    상기 이송수단은 컨베이어밸트인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.

Images