CN101542171B - 基板搬运装置及包含该装置的真空处理装置 - Google Patents

基板搬运装置及包含该装置的真空处理装置 Download PDF

Info

Publication number
CN101542171B
CN101542171B CN2007800422088A CN200780042208A CN101542171B CN 101542171 B CN101542171 B CN 101542171B CN 2007800422088 A CN2007800422088 A CN 2007800422088A CN 200780042208 A CN200780042208 A CN 200780042208A CN 101542171 B CN101542171 B CN 101542171B
Authority
CN
China
Prior art keywords
arm
parallel connected
connected element
live axle
substrate transfer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN2007800422088A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101542171A (zh
Inventor
武者和博
南展史
川口崇文
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ulvac Inc
Original Assignee
Ulvac Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ulvac Inc filed Critical Ulvac Inc
Publication of CN101542171A publication Critical patent/CN101542171A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101542171B publication Critical patent/CN101542171B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
    • B25J9/041—Cylindrical coordinate type
    • B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
    • B25J9/043—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm double selective compliance articulated robot arms [SCARA]
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J11/00—Manipulators not otherwise provided for
    • B25J11/0095—Manipulators transporting wafers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J18/00—Arms
    • B25J18/02—Arms extensible
    • B25J18/04—Arms extensible rotatable
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
    • B25J9/106—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links
    • B25J9/1065—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links with parallelograms
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
    • F16J15/32—Sealings between relatively-moving surfaces with elastic sealings, e.g. O-rings
    • F16J15/324—Arrangements for lubrication or cooling of the sealing itself
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
    • F16J15/40—Sealings between relatively-moving surfaces by means of fluid
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/54—Other sealings for rotating shafts
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T74/00—Machine element or mechanism
    • Y10T74/20—Control lever and linkage systems
    • Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Sealing With Elastic Sealing Lips (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

本发明提供了一种将大气一侧的旋转运动传送到真空中、并且结构简单滑动阻力低的长寿命旋转导入机构、回转半径小并且产生的灰尘少的基板搬运装置、以及真空处理装置。在真空密封机构上安装润滑剂保持部件(5)。基板搬运装置的结构是，第1连接机构(20a)包括第1臂(21a)和第4臂(21b)，第2连接机构(20b)包括第2臂(22a)和第3臂(22b)，第1臂(21a)固定安装在第1驱动轴(25)上，第2臂(22a)固定安装在第2驱动轴(26)上，第3臂(22b)可旋转地安装在第1驱动轴(25)上，第4臂(21b)可旋转地安装在第2驱动轴(26)上。真空处理装置包括该基板搬运装置。

Description

基板搬运装置及包含该装置的真空处理装置
技术领域
本发明涉及旋转导入机构、基板搬运装置和真空处理装置，特别涉及用于将大气一侧的旋转运动传送到真空中的旋转导入机构、将基板等处理对象物搬运到规定的位置的基板搬运装置、以及具有该基板搬运装置的真空处理装置。 
背景技术
在半导体元件的制造装置中，由于在用来处理作为处理对象物的基板的装置内需要维持真空或严格控制的气体气氛，所以成为气密的结构。因此，要求处理装置内搬运作为处理对象物的基板的搬运装置具有尽可能地节省空间，并且加工处理中的灰尘、擦损粉末、脱气(气体排出)等少的机构。这是由于这样的灰尘、擦损粉末等或者作为杂质附着在处理的基板上，或者作为杂质混入到在基板表面上形成的薄膜中。而且，从生产工艺过程的方面考虑，由于基板搬运装置、以及延长真空处理装置维修周期与基板处理片数的增加有关系，所以对装置寿命和真空密封部的寿命延长的要求也逐渐变强。 
作为现有的基板搬运装置，例如已知在处理装置内，不使移换臂进行多次往复运动就能够进行半导体晶片等基板的移换操作的移换装置(例如参照专利文献1)。 
专利文献1：特开平4-30447号公报(权利要求的范围) 
发明内容
发明要解决的问题 
在特开平4-30447号中，作为旋转导入机构，采用磁流体密封、油密封、O形环等，但是这种磁流体密封价格高。作为真空搬运装置的旋转导入机构，除了这样的密封手段之外，比较简便的方式有如图5所示的威尔逊(ウイルソ：Wilson)密封，这种密封机构与其他固体接触式的密封机构相比，有滑动阻力小的优点，但是由于存在产生灰尘、发热、润滑寿命短等问题，所以还要求清洁的、寿命长的旋转导入机构。在图5中，61是旋转轴，62是润滑剂，63是保持润滑剂的弹性密封，64是O形环。 
此外，在特开平4-30447号中公开的基板搬运装置中，没有基板升降机构，而且由于分别由一对臂构成的第1平行连接部件和第2平行连接部件彼此独立，与两根驱动轴和两根从动轴共四根轴相结合，所以存在着装置的总重量和制作费用增加的问题。而且，由于隔着间隔配置两根驱动轴和两根从动轴共四根轴，所以还存在着回转半径变大，不能将装置本身制作得紧凑的问题。 
本发明的课题在于解决上述现有技术的问题，提供一种不需要复杂的结构，滑动阻力小，产生的灰尘少、润滑寿命长的旋转导入机构，同时提供通过节省空间化而使回转半径变小、装置的总重量和制作费用降低了的基板搬运装置、以及包括该基板搬运装置的真空处理装置。 
解决问题的手段 
为了解决上述问题，技术方案1的发明是一种旋转导入机构，将设置在大气一侧的驱动源的旋转运动传送到真空中，其特征在于，具有由凸出部、润滑剂、和润滑剂保持部件构成的真空密封机构，形成凸出部使得所述凸出部与旋转轴的接触面积变小。 
技术方案2的发明是一种旋转导入机构，其特征在于，在所述真空密封机构中，形成凸出部使得所述凸出部与旋转轴接触的部分的剖面至少是线接触。 
技术方案3的发明是一种旋转导入机构，其特征在于，所述真空密封机构还具有用来将所述凸出部推压到旋转轴上的压紧部件。 
技术方案4的发明是一种基板搬运装置，其特征在于，包括第1连接机构和第2连接机构，所述第1连接机构包含第1臂和第4臂，所述第2连接机构包含第2臂和第3臂，所述第1臂固定安装在第1驱动轴上，所述第2臂固定安装在第2驱动轴上，所述第3臂可旋转地安装在所述第1驱动轴上，所述第4臂可旋转地安装在所述第2驱动轴上。 
技术方案5的发明是技术方案4的基板搬运装置，其特征在于，所述第1连接机构由第1平行连接部件和第3平行连接部件构成，所述第2连接机构由第2平行连接部件和第4平行连接部件构成，所述第1平行连接部件包含第1臂和第4臂，所述第2平行连接部件包含第2臂和第3臂。 
技术方案6的发明是技术方案4或5的基板搬运装置，其特征在于，为了使从外部向壳体的内部构造物施加的力不使所述驱动源的构成部件或所述内部构造物变形，而用刚性大的部件作为保护所述驱动源的保护部件，其中所述壳体的内部构造物相对于容纳所述基板搬运装置的驱动源的壳体的中心轴不对称。 
技术方案7的发明是技术方案4～6中任何一个的基板搬运装置，其特征在于，包括使所述第1连接机构和第2连接机构向垂直方向移动的垂直移动机构。 
技术方案8的发明是一种基板搬运装置，其特征在于，包括第1连接机构和第2连接机构，所述第1连接机构包含第1臂和第4臂，所述第2连接机构包含第2臂和第3臂，所述第1臂固定安装在第1驱动轴上，所述第2臂固定安装在第2驱动轴上，所述第3臂可旋转地安装在所述第1驱动轴上，所述第4臂可旋转地安装在所述第2驱动轴上，该基板搬运装置设置了旋转导入机构，通过所述第1驱动轴和第2驱动轴将在大气一侧设置的驱动源的旋转运动传送到真空中，该旋转导入机构具有由凸出部、润滑剂、和润滑剂保持部件构成的真空密封机构，形成凸出部使得所述凸出部与旋转轴的接触面积变小。该真空密封机构如技术方案2或3中所记载的那样，在所述真空密封机构中，形成凸 出部使得所述凸出部与旋转轴接触的部分的剖面至少是线接触，而且还可具有用来将所述凸出部推压到旋转轴上的压紧部件。 
技术方案9的发明是技术方案8的基板搬运装置，其特征在于，所述第1连接机构由第1平行连接部件和第3平行连接部件构成，所述第2连接机构由第2平行连接部件和第4平行连接部件构成，所述第1平行连接部件包含第1臂和第4臂，所述第2平行连接部件包含第2臂和第3臂。 
技术方案10的发明是技术方案8或9的基板搬运装置，其特征在于，为了使从外部向壳体的内部构造物施加的力不使所述驱动源的构成部件或所述内部构造物变形，而用刚性大的部件作为保护所述驱动源的保护部件，其中所述壳体的内部构造物相对于容纳所述基板搬运装置的驱动源的壳体的中心轴不对称。 
技术方案11的发明是技术方案8～10中任何一个的基板搬运装置，其特征在于，包括使所述第1连接机构和第2连接机构向垂直方向移动的垂直移动机构。 
技术方案12的发明是一种基板搬运装置，其特征在于，包括由第1平行连接部件和第3平行连接部件构成的第1连接机构和由第2平行连接部件和第4平行连接部件构成的第2连接机构，所述第1平行连接部件由第1臂和第4臂构成，所述第2平行连接部件由第2臂和第3臂构成，所述第1臂固定安装在第1驱动轴上，所述第2臂固定安装在第2驱动轴上，所述第3臂可旋转地安装在所述第1驱动轴上，所述第4臂可旋转地安装在所述第2驱动轴上，其结构使得随第1驱动轴的旋转，通过齿轮将所述第1平行连接部件的旋转传送给所述第3平行连接部件，使第3平行连接部件与第1平行连接部件反向旋转，使在所述第3平行连接部件的前端设置的基板保持部在连接第1驱动轴和第2驱动轴的直线上直线移动，此外，其结构使得随第2驱动轴的旋转，通过齿轮将所述第2平行连接部件的旋转传送给所述第4平行连接部件，使第4平行连 接部件与第2平行连接部件反向旋转，使在所述第4平行连接部件的前端设置的基板保持部在连接第1驱动轴和第2驱动轴的直线上直线移动。 
技术方案13的发明是技术方案12的基板搬运装置，其特征在于，为了使从外部向壳体的内部构造物施加的力不使所述驱动源的构成部件或所述内部构造物变形，而用刚性大的部件作为保护所述驱动源的保护部件，其中所述壳体的内部构造物相对于容纳所述基板搬运装置的驱动源的壳体的中心轴不对称。 
技术方案14的发明是技术方案12或13中任何一个的基板搬运装置，其特征在于，包括使所述第1连接机构和第2连接机构向垂直方向移动的垂直移动机构。 
技术方案15的发明是技术方案12～14中任何一个的基板搬运装置，其特征在于，分别在所述第1驱动轴和第2驱动轴上设置技术方案1～3中任何一个的旋转导入机构，通过所述第1驱动轴和第2驱动轴将设置在大气一侧的驱动源的旋转运动传送到真空中。 
权利要求16的发明是真空处理装置，其特征在于，包括：具有权利要求4～15中任何一个的基板搬运装置的搬运室；与所述搬运室连结，用所述基板搬运装置传递处理对象物的至少一个真空处理室。 
发明效果 
根据本发明的旋转导入机构，由于能够封入更多的润滑剂，所以润滑材料的填充周期变长，此外，由于凸出部与旋转轴的接触面积小所以滑动阻力小，从而产生的擦损粉末少，清洁，同时寿命长，能够取得可以期待在真空一侧设置的结构物的处理效率提高的效果。 
根据本发明的基板搬运装置，在平行连接机构中第1平行连接部件和第2平行连接部件的安装轴共用，省去了从动轴，所以能够减少构成部件，能够起到可以降低基板搬运装置的总重量和制作费用的效果。此外，由于共用安装轴，所以与隔着间隔设置驱动轴和从动轴共四根轴的现有基板搬运装置相比，基于 其间隔的回转半径变小，所以能够起到实现省空间化的效果。 
根据本发明的真空处理装置，由于使用所述的基板搬运装置，所以能够在一个工序中高效率地依次连续进行将处理对象物装入到真空处理室的规定位置或取出的操作，由于还能够缩短操作时间，所以能够缩短处理对象物的加工时间，同时还能够取得不会在处理对象物上附着杂质的效果。 
具体实施方式
下面参照附图说明本发明的实施方式。 
如图1所示，根据本发明涉及的旋转导入机构的一个实施方式，在用来通过驱动轴(旋转轴)1将在大气一侧A设置的驱动电动机等驱动源的旋转运动传送到在真空一侧B设置的应旋转的结构物(未图示)的旋转导入机构中，作为真空密封机构提供旋转导入机构S，其具有凸出部2、安装在该凸出部2上将凸出部的一部分推压到旋转轴上从而实现真空密封的弹簧等压紧部件3、凸出部2用的润滑剂4、用来保持润滑剂4的润滑剂保持部件5、和用来固定凸出部的固定部件6。 
该凸出部2的形状没有特别的限制，例如形成为与旋转轴1相接触的部分的剖面至少成为线接触的形状，从而使与旋转轴1的接触面积变小，由此能够由凸出部2对旋转轴1进行真空密封就行。凸出部2的一个端部与润滑剂4接触或者浸在其中，向凸出部提供润滑剂，从而维持真空密封机构的润滑功能。润滑剂保持部件5被固定在旋转轴1上，与其一起旋转。为了防止润滑剂4的泄漏，优选用O形环8等进行润滑剂保持部件5与旋转轴1的固定。固定部件6被固定在外壳7上。 
凸出部2例如用天然橡胶、合成橡胶和弹性塑料等弹性体制作，此外，固定部件6牢固地固定凸出部2，能够保持与外壳7的气密性就行，此外可以用金属等制作。在用金属制作的情况下，为了提高气密性，优选在固定部件6和外壳7 之间涂布与润滑剂4相同的润滑剂进行安装。 
作为现有技术中的在真空搬运装置中采用的旋转导入机构中比较简便的方式，有图5中示出的威尔逊密封结构，与其他固体接触式密封结构相比具有滑动阻力小的优点，但是存在产生灰尘、发热、润滑寿命短等问题。本发明的旋转导入机构S与威尔逊密封结构相比，由于安装了润滑剂保持部件5，所以能够封入更多的润滑剂4，从而具有润滑剂的填充周期长的优点。本发明的旋转导入机构S与威尔逊密封结构相比，由于凸出部2和旋转轴1的接触面积小，所以还具有滑动阻力小、产生很少的擦损粉末所以清洁，同时寿命长的优点。因此，能够期待在真空一侧设置的如被加工基板那样的处理对象物的处理效率的提高。再有，由于进行旋转运动等的驱动器一般被纵置固定，所以润滑剂保持部件5的形状没有必要如图5中示出的威尔逊密封那样成为在两个密封构件之间封入润滑剂的结构，可以是如盘子那样的开口部大的形状。 
通过事先在上述的润滑剂保持部件5内预先填充适量的润滑剂4，而适宜地向凸出部2供给润滑剂，所以保持长时间的润滑，其结果是能够连续长时间进行真空密封。 
参照图2和图3说明本发明涉及的基板搬运装置的一个实施方式，其中图2示出连接机构的动作状态，图3示出连接机构的立体图。 
如图2和图3所示，本发明的基板搬运装置中的连接机构由第1连接机构20a和第2连接机构20b构成，第1连接机构20a由第1平行连接部件21和第3平行连接部件23构成，第2连接机构20b由第2平行连接部件22和第4平行连接部件24构成。 
第1平行连接部件21包括第1臂21a和第4臂21b，第2平行连接部件22包括第2臂22a和第3臂22b，第3平行连接部件23包括第5臂23a和第6臂23b，第4平行连接部件24包括第7臂24a和第8臂24b。 
第1臂21a固定安装在第1驱动轴25上，第2臂22a固定安装在第2驱动 轴26上，第3臂22b可旋转地安装在第1驱动轴25上，第4臂21b可旋转地安装在第2驱动轴26上。从而使上述如第1臂21a和第4臂21b、第2臂22a和第3臂22b的成对臂可以同向旋转。在该情况下，固定安装手段和可旋转地安装的手段没有特别的限制，采用公知的键等和轴承等手段就可以。 
在第1臂21a的一端固定有齿轮箱27中的齿轮27a，在该齿轮27a上还可回转地连结第5臂23a的一端。在齿轮27b上固定第6臂23b的一端，还可回转地连结第4臂21b的一端。在第3臂22b的一端固定有齿轮箱28中的齿轮28a，在该齿轮28a上还可回转地连结第7臂24a的一端，在齿轮28b上固定有第8臂24b的一端，还可回转地连结第2臂22a的一端。这些齿轮27a、27b、28a和28b使连接起来的平行连接部件，即第1平行连接部件和第3平行连接部件之间，以及第2平行连接部件和第4平行连接部件之间的旋转相互反向。此外，上述如第5臂和第6臂、第7臂和第8臂的成对臂同向旋转。 
贯通轴支承台30设置第1驱动轴25和第2驱动轴26，轴支承台30是设置了驱动源的壳体29的凸缘部。 
如下所述进行包含上述各个臂的各个平行连接部件的安装。首先，在第1驱动轴25和第2驱动轴26上安装第1平行连接部件21时，通过键等固定连结第1平行连接部件的第1臂21a和第1驱动轴25，通过轴承等可进行旋转运动的部件可旋转地安装第1平行连接部件21的第4臂21b和第2驱动轴26。在第1驱动轴25和第2驱动轴26上安装第2平行连接部件22时，通过键等固定连接第2平行连接部件22的第2臂22a和第2驱动轴26，通过轴承等可进行旋转运动的部件可旋转地安装第2平行连接部件22的第3臂22b和第1驱动轴25。 
如上所述，第1平行连接部件21和第2平行连接部件22的安装轴为两根，按照在一根安装轴上安装两个臂的方式共用轴。从而能够减少构成部件，减少基板搬运装置的总重量和制作费用。此外，由于仅用第1驱动轴25和第2驱动轴26两根轴来安装两个平行连接部件，所以与如现有技术那样的，隔着间隔设 置两根驱动轴和两根从动轴共四根轴，安装两个平行连接部件的搬运装置的情况相比，由于基于其间隔的回转半径变小，所以能够提供节省空间的装置。 
在上述的第3平行连接部件23和第4平行连接部件24的前端分别安装第1保持部31a和第2保持部32a，在这两个31a和32a每一个的前端安装用来进行基板等处理对象物的传递的第1拾取器31b和第2拾取器32b。 
为了实现进行旋转运动的驱动器的小型化，有时不得不相对于中心轴非对称地设置其内部的构造物，但是在这样的情况下，进行真空排气时不能向各个内部构造物均等地施加力。因此，存在向驱动器的内部施加不均匀的外力的情况使内部构造物发生应变的可能性。作为对这样的应变所采取的对策，通常是提高构造物本身的刚性，或者另外安装保持部件，但是存在驱动器本身变大了的问题。于是，本发明为了保护驱动器的内部构造物(壳体的内部构造物)，而使安装在驱动器外部的保护部件具有刚性，具有与驱动器一侧连接的多个安装接点，从而抑制由于真空排气等施加给驱动器的不均匀的力造成的驱动器的应变等变形，而不使驱动器本身变大。该保护部件例如优选用如不锈钢、铁等那样的杨氏模量大的材料，按照剖面的二次力矩变大的形状来制作。 
接下来，参照图4以及前述的图2和图3说明本发明的基板搬运装置的动作方式，其中图4示出了安装了上述的第1驱动轴25和第2驱动轴26的基板搬运装置整体的结构(未图示整个第1连接机构20a和第2连接机构20b)。在图4中，如果事先没有特别的限定，就给与图2和图3相同的构成部件赋予相同的参考符号。 
根据示出本发明的基板搬运装置的整体结构的剖面示意图4，贯通壳体40(相当于图3中的29)的凸缘部41(相当于图2和图3中的轴支承台30)设置第1驱动轴25和第2驱动轴26，在该第1驱动轴和第2驱动轴的下端，在壳体40内分别设置电动机等第1驱动源42a和第2驱动源42b。 
所述第1驱动源42a和第2驱动源42b分别使第1驱动轴25和第2驱动轴 26旋转，并使第1平行连接部件21和第2平行连接部件22随着其旋转而旋转。 
所述第1平行连接部件21和第2平行连接部件22的旋转分别通过齿轮给第3平行连接部件23和第4平行连接部件24施加反向的旋转。从而使第1保持部31a和第2保持部件32a能够在连接第1驱动轴25和第2驱动轴26的直线上前后直线运动。 
其结果是，第1拾取器31b和第2拾取器32b在把持基板的状态下直线运动，进行基板的搬运。在该情况下，第1连接机构20a和第2连接机构20b被设置为相对于水平面的高度相互不同，所以两个连接机构彼此即第1拾取器31b和第2拾取器32b彼此不会发生冲突地交错。 
在图2～4中，示出了设置为第1连接机构20a位于上方，此外第2连接机构20b位于下方的例子，但是也可以成相反的设置位置，这是自不必言的。 
在第1驱动轴25和第2驱动轴26的周围，对于每个驱动轴设置至少一个图1中示出的旋转导入机构S，使得相对于设置了驱动源等的壳体40的内部，保持含有第1连接机构20a和第2连接机构20b的基板搬运一侧的真空状态。 
通过使作为第1驱动源的驱动电动机42a运行，而由第1驱动轴25使第1平行连接部件21旋转。在第1平行连接部件21上通过齿轮箱27安装第3平行连接部件23，该第3平行连接部件与第1平行连接部件的旋转反向地同角度动作。从而使在第3平行连接部件23的前端安装的第1保持部31a和第1拾取器31b在连接第1驱动轴25和第2驱动轴26的直线上前后直线运动。 
同样，通过使作为第2驱动源的驱动电动机42b运行，而由第2驱动轴26使第2平行连接部件22旋转。在第2平行连接部件22上通过齿轮箱28安装第4平行连接部件24，该第4平行连接部件与第2平行连接部件的旋转反向地同角度动作。从而使在第4平行连接部件24的前端安装的第2保持部32a和第2拾取器32b在连接第2驱动轴26和第1驱动轴25的直线上前后直线运动。 
在该情况下，用安装在第1保持部31a上的第1拾取器31b和安装在第2 保持部32a上的第2拾取器32b进行基板等处理对象物的传递。相对于水平面相互上下隔着间隔地设置分别含有第1拾取器和第2拾取器的各个连接机构。 
此外，含有第1驱动轴25和第2驱动轴26的支承台43整体通过第1皮带轮44和第1皮带51与第3驱动电动机45连结。从而通过使第3驱动电动机45运行，而能够使第1保持部31a和第2保持部32a向任意方向回转，其中的第1保持部31a和第2保持部32a分别设置在通过齿轮分别与第1平行连接部件21和第2平行连接部件22连接的第3平行连接部件23和第4平行连接部件24的各个前端部上。在支承台43和支承部件46之间设置旋转导入机构S，从而即使在进行旋转动作时也能够维持基板搬运一侧的真空状态。由此使装载了本发明的基板搬运装置的真空处理装置可以自由地改变处理室的数目和设置等。在该情况下，第3驱动电动机45也可以直接与支承台43直接连结。 
而且，在本发明的基板搬运装置中，设置有使第1连接机构20a和第2连接机构20b向垂直方向移动的垂直移动机构。例如，如图4所示，支承部件46通过具有圆头螺栓47等升降功能的部件与第4电动机48以及第2皮带轮49和第2皮带52连结，所以通过使第4电动机48运行，从而使支承部件46升降，能够使第1保持部31a和第2保持部32a升降，其中的第1保持部31a和第2保持部32a分别设置在第1连接机构20a和第2连接机构20b、即分别与第1平行连接部件21和第2平行连接部件22连接的第3平行连接部件23和第4平行连接部件24的各个前端部上。由此，装载了本发明的基板搬运装置的真空处理装置可以自由地改变其设置等。在该情况下，第4驱动电动机48也可以直接与圆头螺栓47连结。 
在所述支承部件46和壳体40的凸缘部41之间，设置即使进行升降运动也能保持气密的如波纹管那样的伸缩性部件。 
如图4所示，为了保护壳体40的内部构造物，在壳体的外周上设置由不锈钢、铁等制作的杨氏模量大的保护部件50。该保护部件具有与壳体连接的多个 接点，能够抑制由于真空排气等施加给驱动器的不均匀的力造成的壳体内部构造物的应变等变形，而不使壳体本身变大。 
根据本发明的旋转导入机构，由于润滑剂的填充周期长，此外由于凸出部与旋转轴的滑动阻力小，所以产生的擦损粉末少从而清洁，同时寿命长，能够期待在真空一侧设置的处理对象物的处理效率的提高。此外，根据本发明的基板搬运装置，由于第1平行连接部件和第2平行连接部件的安装轴共用，所以能够减少构成部件，可以降低基板搬运装置的总重量和制作费用，并且由于共用安装轴而使回转半径变小，能够实现省空间化，所以能够通过一个工序高效率地依次连续进行将处理对象物装入真空处理室的规定位置和取出的操作，作业时间也缩短了，能够缩短处理对象物的处理时间，还不会在处理对象物上附着杂质。 
并且，包括上述的基板搬运装置的真空处理装置能够在半导体装置领域，在成膜等处理中有效地加以利用。 
附图说明
图1是示出本发明涉及的旋转导入机构的一个实施方式的剖面示意图。 
图2是示出本发明的基板搬运装置的一个实施方式的连接机构动作状态的机构说明图。 
图3是本发明涉及的基板搬运装置的一个实施方式的连接机构的立体图。 
图4是示出本发明涉及的基板搬运装置整体结构从图2的A-A线看的结构示意图。 
图5是示出威尔逊密封的一个方式的剖面示意图。 
符号说明 
1 驱动轴(旋转轴)      2 凸出部 
3 压紧部件            4 润滑剂 
5   润滑剂保持部件     6   固定部件 
7   外壳               S   旋转导入机构 
20a 第1连接机构        20b 第2连接机构 
21  第1平行连接部件    21a 第1臂 
21b 第4臂              22  第2平行连接部件 
22a 第2臂              22b 第3臂 
23  第3平行连接部件    23a 第5臂 
23b 第6臂              24  第4平行连接部件 
24a 第7臂              24b 第8臂 
25  第1驱动轴          26  第2驱动轴 
27，28 齿轮箱          27a，27b，28a，28b 齿轮 
29  壳体               30  轴支承台 
31a 第1保持部          31b 第1拾取器 
32a 第2保持部          32b 第2拾取器 
40  壳体               41  凸缘部 
42a 第1驱动源          42b 第2驱动源 
43  支承台             44  第1皮带轮 
45  第3驱动电动机      46  支承部件 
47  圆头螺栓           48  第4驱动电动机 
49  第2皮带轮          50  保护部件 
51  第1皮带            52  第2皮带 

Claims (9)

1.一种基板搬运装置，包括由设置在大气一侧的驱动源驱动旋转的第1驱动轴及第2驱动轴、第1连接机构、第2连接机构，其特征在于：
还包括真空密封机构，其由与各驱动轴线接触的凸出部、用来对旋转轴推压所述凸出部的压紧部件、以及用于保持提供给凸出部的润滑剂的润滑剂保持部件构成；
所述第1连接机构具有第1臂和第4臂，所述第2连接机构具有第2臂和第3臂，所述第1臂固定在第1驱动轴上，所述第2臂固定在第2驱动轴上，所述第3臂可旋转地安装在所述第1驱动轴上，所述第4臂可旋转地安装在所述第2驱动轴上。
2.如权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，所述第1连接机构由第1平行连接部件和第3平行连接部件构成，所述第2连接机构由第2平行连接部件和第4平行连接部件构成，所述第1平行连接部件具有所述第1臂和所述第4臂，所述第2平行连接部件具有第2臂和第3臂。
3.如权利要求1或2所述的基板搬运装置，其特征在于，包括容纳所述驱动源的壳体，在所述壳体的外周设置保护部件，保护相对于该壳体的中心轴不对称配置的壳体的内部构造物。
4.如权利要求1或2所述的基板搬运装置，其特征在于，包括使所述第1连接机构和第2连接机构向垂直方向移动的垂直移动机构。
5.一种基板搬运装置，其包括由第1平行连接部件和第3平行连接部件构成的第1连接机构；和由第2平行连接部件和第4平行连接部件构成的第2连接机构，其特征在于，所述第1平行连接部件具有第1臂和第4臂，所述第2平行连接部件具有第2臂和第3臂，所述第1臂固定在第1驱动轴上，所述第2臂固定在第2驱动轴上，所述第3臂可旋转地安装在所述第1驱动轴上，所述第4臂可旋转地安装在所述第2驱动轴上，其结构使得随第1驱动轴的旋转，通过齿轮将所述第1平行连接部件的旋转传送给所述第3平行连接部件，使第3平行连接部件与第1平行连接部件反向旋转，使在所述第3平行连接部件的前端设置的第1基板保持部在连接第1驱动轴和第2驱动轴的直线上直线移动，此外，其结构使得随第2驱动轴的旋转，由齿轮将所述第2平行连接部件的旋转传送给所述第4平行连接部件，使第4平行连接部件与第2平行连接部件反向旋转，使在所述第4平行连接部件的前端设置的第2基板保持部在连接第1驱动轴和第2驱动轴的直线上直线移动。
6.如权利要求5所述的基板搬运装置，其特征在于，包括容纳由所述驱动源驱动旋转的第1及第2驱动轴的壳体，在所述壳体的外周设置保护部件，保护相对于该壳体的中心轴不对称配置的壳体的内部构造物。
7.如权利要求5或6所述的基板搬运装置，其特征在于，包括使所述第1连接机构和第2连接机构向垂直方向移动的垂直移动机构。
8.如权利要求5或6所述的基板搬运装置，其特征在于，分别在所述第1驱动轴和第2驱动轴上设置真空密封机构，其由与各驱动轴线接触的凸出部、用来对旋转轴按压所述凸出部的压紧部件、以及用于保持提供给凸出部的润滑剂的润滑剂保持部件构成。
9.一种真空处理装置，其特征在于，包括：具有如权利要求1或5所述的基板搬运装置的搬运室；与所述搬运室连结，用所述基板搬运装置传递处理对象物的至少一个真空处理室。
CN2007800422088A 2006-11-14 2007-11-13 基板搬运装置及包含该装置的真空处理装置 Active CN101542171B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006307605 2006-11-14
JP307605/2006 2006-11-14
PCT/JP2007/071966 WO2008059815A1 (fr) 2006-11-14 2007-11-13 Dispositif d'introduction de rotation, dispositif de transfert de substrat, appareil de traitement à vide

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101542171A CN101542171A (zh) 2009-09-23
CN101542171B true CN101542171B (zh) 2012-07-18

Family

ID=39401623

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2007800422088A Active CN101542171B (zh) 2006-11-14 2007-11-13 基板搬运装置及包含该装置的真空处理装置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US8366375B2 (zh)
JP (1) JP5210878B2 (zh)
KR (1) KR101160242B1 (zh)
CN (1) CN101542171B (zh)
TW (1) TWI427732B (zh)
WO (1) WO2008059815A1 (zh)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7975726B2 (en) 2007-08-27 2011-07-12 Lmk Enterprises, Inc. Device and method for repairing pipe
JP5295265B2 (ja) * 2008-12-10 2013-09-18 株式会社アルバック 処理装置
JP2011047515A (ja) * 2009-07-28 2011-03-10 Canon Anelva Corp 駆動装置及び真空処理装置
CN102092045B (zh) * 2009-12-15 2012-09-05 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 一种基片处理系统及其机械手臂装置
JP5463367B2 (ja) * 2009-12-28 2014-04-09 株式会社アルバック 駆動装置及び搬送装置
JP5463174B2 (ja) * 2010-03-12 2014-04-09 株式会社アルバック 関節装置及び基板搬送装置
JP5286451B2 (ja) * 2010-08-24 2013-09-11 株式会社アルバック 搬送装置
JP5675258B2 (ja) * 2010-10-14 2015-02-25 Ntn株式会社 リンク作動装置
FR2979684B1 (fr) * 2011-09-07 2014-08-08 Commissariat Energie Atomique Dispositif de deplacement relatif de deux pieces sous pression differentielle
JP5993873B2 (ja) * 2011-12-15 2016-09-14 タツモ株式会社 ウエハ搬送ロボット
JP5522181B2 (ja) * 2012-01-26 2014-06-18 株式会社安川電機 搬送ロボット
KR101382145B1 (ko) * 2012-10-22 2014-04-17 주식회사 나온테크 이송 진공로봇
CN105579201B (zh) * 2014-09-03 2018-03-09 株式会社爱发科 运送装置以及真空装置
JP1534869S (zh) * 2015-01-30 2015-10-13
JP6625391B2 (ja) * 2015-10-15 2019-12-25 豊田鉄工株式会社 加熱炉へのワーク搬出入装置
CN106393117B (zh) * 2016-11-23 2018-12-07 绍兴市华锐汽车零部件有限公司 刹车泵油阀总成上料机构的上料装置
CN114709124A (zh) * 2017-06-14 2022-07-05 株式会社爱发科 真空处理装置
JP7412248B2 (ja) * 2020-03-30 2024-01-12 東京エレクトロン株式会社 搬送装置
KR102348261B1 (ko) * 2021-05-31 2022-01-10 (주) 티로보틱스 진공 챔버에서 기판을 이송하기 위한 기판 이송 로봇

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1495313A (zh) * 2002-09-19 2004-05-12 大和缝纫机制造株式会社 缝纫机的防漏油装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2808826B2 (ja) 1990-05-25 1998-10-08 松下電器産業株式会社 基板の移し換え装置
JPH0544852A (ja) * 1991-08-09 1993-02-23 Hitachi Ltd 真空ポンプ用オイルシール
JP3519510B2 (ja) 1995-06-28 2004-04-19 澁谷工業株式会社 無菌容器処理装置における回転シール装置
TW365568B (en) * 1996-03-22 1999-08-01 Komatsu Mfg Co Ltd Robotic machine for transporting articles
JPH1138909A (ja) * 1997-07-18 1999-02-12 Toa Resin Kk 看 板
JP2000150614A (ja) * 1998-11-17 2000-05-30 Tokyo Electron Ltd 搬送装置
JP2002166376A (ja) * 2000-11-30 2002-06-11 Hirata Corp 基板搬送用ロボット
KR100471088B1 (ko) * 2003-02-07 2005-03-10 삼성전자주식회사 이송장치

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1495313A (zh) * 2002-09-19 2004-05-12 大和缝纫机制造株式会社 缝纫机的防漏油装置

Also Published As

Publication number Publication date
WO2008059815A1 (fr) 2008-05-22
KR20090083452A (ko) 2009-08-03
JP5210878B2 (ja) 2013-06-12
TWI427732B (zh) 2014-02-21
CN101542171A (zh) 2009-09-23
TW200839930A (en) 2008-10-01
JPWO2008059815A1 (ja) 2010-03-04
KR101160242B1 (ko) 2012-06-26
US20100135751A1 (en) 2010-06-03
US8366375B2 (en) 2013-02-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101542171B (zh) 基板搬运装置及包含该装置的真空处理装置
JP5096930B2 (ja) 冷却循環通路を備えた基板搬送用ロボットの駆動装置
US9159601B2 (en) Workpiece transfer apparatus
CN202805210U (zh) 机器人的臂结构和机器人
KR100835202B1 (ko) 기판 이송 장치
TW201725099A (zh) 用於在進行電子設備製造時輸送基板的機械手組件、基板處理裝置及方法
US12104687B2 (en) Harmonic reducer with structure to prevent pressure buildup and industrial robot
CN101986425B (zh) 驱动装置及真空处理装置
UA80554C2 (en) Synchronization driving dispatch device of blast-furnace
JP5295265B2 (ja) 処理装置
KR101308517B1 (ko) 웨이퍼 이송 로봇
KR20160005647A (ko) 가공물 반송장치
KR101065329B1 (ko) 기판 이송 장치 및 이를 갖는 기판 세정 장치
CN101665189B (zh) 搬运系统
CN100453276C (zh) 工业用机械手装置
SU1049375A1 (ru) Промежуточный привод ленточного конвейера
KR20120054905A (ko) 장력으로 인한 변형을 최소화하기 위한 기판 이송 유닛 및 이를 포함하는 기판 이송 장치
KR20050059518A (ko) 링크 구동형 로봇아암
KR20090125984A (ko) 기판 이송 장치
KR20100129601A (ko) 클러스터 장비

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant