TW201725099A - 用於在進行電子設備製造時輸送基板的機械手組件、基板處理裝置及方法 - Google Patents

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Abstract

機械手組件允許載具支撐機械手的遠端致動。該機械手組件包含一軌道；一載具，該載具可沿著該軌道移動；及一機械手，該機械手裝設至該載具。該機械手包含至少一第一臂及一第一從動構件，該第一從動構件耦合至該第一臂。該機械手組件進一步包含一驅動組件，該驅動組件具有一第一驅動構件，一第一傳輸構件，該第一傳輸構件耦合至該第一驅動構件及該第一從動構件，及一第一驅動馬達，該第一驅動馬達耦合至該第一驅動構件。該第一驅動馬達經配置以移動該第一驅動構件，造成該第一從動構件的遠端旋轉及該第一臂的旋轉。也提供基板處理裝置內傳輸基板的基板處理裝置及方法，如其他眾多態樣。

Description

用於在進行電子設備製造時輸送基板的機械手組件、基板處理裝置及方法
本發明相關於電子設備製造，且更特定地，相關於機械手組件、基板處理裝置、及操作用於傳輸基板的機械手的方法。
傳統的電子設備製造系統可包含多個處理腔室及一個或更多個裝載鎖腔室。該等處理腔室及一個或更多個裝載鎖腔室可包含於叢集工具中，例如，基板在其中可於個別處理腔室及一個或更多個裝載鎖腔室之間傳輸。該等系統可採用一個或更多個機械手以在多種腔室之間移動基板，且在一些實施例中一個或更多個機械手可駐於傳輸腔室中。
在該等移動期間，基板可被支撐於一個或更多個機械手的末端效應器(有時稱作「葉片」)上。針對快速系統生產率，可需要多種腔室之間有效及精確的基板傳輸，因而可能降低全體操作的成本。
據此，需要具有用於傳輸腔室內的有效及精確的基板移動能力之機械手組件、基板處理裝置及方法。
在一個態樣中，提供一機械手組件。該機械手組件包含一軌道；一載具，該載具可沿著該軌道移動；一機械手，該機械手裝設至該載具，該機械手包含至少一第一臂及一第一從動構件，該第一從動構件耦合至該第一臂；及一驅動組件，包含：一第一驅動構件，一第一傳輸構件，該第一傳輸構件耦合至該第一驅動構件及該第一從動構件，該第一傳輸構件沿著該軌道的一長度延伸，及一第一驅動馬達，該第一驅動馬達耦合至該第一驅動構件，該第一驅動馬達經配置以移動該第一驅動構件，造成該第一從動構件的旋轉及該第一臂的旋轉。
在另一態樣中，提供一基板處理裝置。該基板處理裝置，包含：一傳輸腔室；複數個處理腔室，該等處理腔室沿著該傳輸腔室的一長度安置；一機械手組件，該機械手組件經配置以移動基板至該等處理腔室及自該等處理腔室移出，該機械手組件包括：一軌道；一載具，該載具可沿著該軌道移動；一機械手，該機械手裝設至該載具，該機械手包含至少一第一臂及一第一從動構件，該第一從動構件耦合至該第一臂；一驅動組件，包含：一第一驅動構件，一第一傳輸構件，該第一傳輸構件耦合至該第一驅動構件及該第一從動構件，該第一傳輸構件沿著該軌道的一長度延伸，及一第一驅動馬達，該第一驅動馬達耦合至該第一驅動構件，該第一驅動馬達經配置以移動該第一驅動構件，造成該第一從動構件的旋轉及該第一臂的旋轉。
在另一態樣中，提供在一基板處理裝置內傳輸基板的方法。該方法包含以下步驟：提供機械手組件，該機械手組件包含：一載具、一機械手、一驅動組件，該載具可沿著一軌道移動，該機械手裝設至該載具且包含至少一第一臂及一第一從動構件，該第一從動構件耦合至該第一臂，該驅動組件包含：一第一驅動構件、耦合至該第一驅動構件及該第一從動構件的一第一傳輸構件、及一第一驅動馬達，該第一傳輸構件沿著該軌道的一長度延伸，該第一驅動馬達耦合至該第一驅動構件；及操作該第一驅動馬達，以旋轉該第一驅動構件，造成該第一從動構件的旋轉、該第一臂的旋轉、及該基板的移動。
由以下詳細描述，藉由圖示數個範例實施例及實作(包含用於實現本發明所思量的最佳模式)，本發明之其他態樣、特徵、及優點可為顯而易見的。本發明也可能用於其他及不同的實施例，且在多個觀點中可修改本發明的數個細節，而皆不遠離本發明的範圍。據此，圖式及說明書應視為本質上的圖示，而不應視為限制。本發明涵蓋落於所附申請專利範圍的範圍內的所有修改、等效物、及替代物。
電子設備製造工具可使用針對達到該工具內位置之間的基板移動的一個或更多個機械手。例如，一個或更多個機械手可駐於傳輸腔室中，且可使用以在多種處理腔室及/或處理工具的一個或更多個裝載鎖腔室之間傳輸一個或更多個基板(例如，矽晶圓、玻璃平板、遮罩、諸如此類)。在許多例子中，該處理及/或一個或更多個裝載鎖腔室可在真空下操作。據此，可將機械手組件放置於且能夠操作於真空環境內。在一些情況中，機械手組件可經設計以具有銜接能力，能夠存取非徑向腔室(例如，偏移腔室，亦即，自機械手的肩軸偏移的該等腔室)。此外，為了減低傳輸腔室的整體大小，可需要具有小的操作包絡的機械手。
在一些處理工具中，可加長傳輸腔室，具有沿著傳輸腔室的長度安置的數個處理腔室(例如，多至6個或更多個)。在一些實施例中，可採用傳輸腔室中的多個機械手且可經配置以交接基板至交接位置或彼此交接。然而，額外的機械手增加額外的系統費用以及額外的控制需求。
根據本發明的一個或更多個實施例，提供具有能力以服務沿著加長傳輸腔室的長度安置的多個腔室的機械手組件，例如，具有單一機械手組件。特定地，機械手組件包含載具裝設機械手，可沿著安置於加長傳輸腔室中的軌道移動。機械手的載具及臂藉由驅動組件遠端移動。驅動組件包含驅動構件(例如，滑輪)且載具可包含從動構件(例如，滑輪)。傳輸構件(例如，帶)耦合至驅動及從動構件，且允許載具裝設機械手的遠端致動。
參考第1至8圖，下方描述基板處理裝置內傳輸基板的機械手組件、基板處理裝置及方法的範例實施例之進一步細節。
第1圖根據本發明的一個或更多個實施例圖示基板處理裝置100(將蓋移除以便於圖示)的範例實施例的頂部平面視圖，包含機械手組件105。基板處理裝置100包含主框架外殼101，主框架外殼101具有界定加長的傳輸腔室102的壁，亦即，具有大於寬度的長度。壁包含側壁101S、底壁101B、及由頂部蓋形成的頂壁(將蓋移除以便於圖示)。可密封傳輸腔室102，且在一些實施例中可操作傳輸腔室102以包含真空。根據本發明的另一特徵，機械手組件105至少可部分地收容於傳輸腔室102內。
特定地，機械手組件105可包含機械手106，包含收容於傳輸腔室102內的一個或更多個可移動臂。如將為明顯的，機械手106的驅動組件的驅動馬達可駐於傳輸腔室102的外部。據此，對驅動馬達組件的控制及通過的功率電纜可優勢地位於真空環境的外部。
機械手106可經配置以經由機械手106的操作放置或提取基板104至目的地或自目的地放置或提取基板104，將於下方完整描述。於此使用的基板104應意指用以製作電子設備或電路元件的物件，例如含矽晶圓、薄晶圓、矽晶圓子組件、矽晶圓封裝及組件，例如矽穿孔(TSV)及晶圓層級封裝(WLP)、遮罩晶圓、切片晶圓、藍寶石晶圓及/或晶圓載具、玻璃平板、玻璃遮罩、玻璃面板、諸如此類。目的地可為處理腔室108A至108L，該等處理腔室耦合至主框架外殼101且藉由機械手106可自傳輸腔室102存取。可沿著加長的傳輸腔室102的長度以並排安置方式提供處理腔室108A至108L，且在一些實施例中該等處理腔室可具有一般為平行的小平面。在處理腔室108A至108L之每一者中的點線圓表示處理腔室108A至108L之個別處理腔室內的用於基板104的台座或處理位置。可選地，目的地可為一個或更多個裝載鎖腔室110，裝載鎖腔室110可例如在傳輸腔室102的縱軸端處耦合至傳輸腔室102。
可適用處理腔室108A至108L以實現基板104上的任何數量的處理，例如沉積、氧化、氮化、蝕刻、研磨、清理、微影、諸如此類。可在該等處理腔室中實現其他處理。一個或更多個裝載鎖腔室110可經配置以與工廠介面112(或稱作前端儀器模組，EFEM)交界及自工廠介面112接收基板104，及/或在處理後提供基板104至工廠介面112。例如，一個或更多個裝載鎖腔室110可自基板載具114接收一個或更多個基板104，該等基板載具114可停駐在工廠介面112的裝載埠處。基板104可藉由可操作於工廠介面112的工廠介面機械手115而在基板載具114及一個或更多個裝載鎖腔室110之間傳輸。可在任何序列或方向上進行傳輸。
處理腔室108A至108L之每一者及一個或更多個裝載鎖腔室110可包含在該等腔室的入口/出口處的狹縫閥116(標示出幾個)，當放置或提取基板104至處理腔室108A至108L及一個或更多個裝載鎖腔室110及自處理腔室108A至108L及一個或更多個裝載鎖腔室110放置或提取基板104時，可適用狹縫閥116以開啟及關閉。狹縫閥116可為任何合適的傳統架構。
在所描繪的實施例中，可藉由來自控制器118的合適命令來控制機械手組件105的多種可移動元件(例如，臂)的移動，如自以下而將為明顯的。控制器118可包含合適的處理器、記憶體、一個或更多個功率模組、及電子元件，例如驅動器、D/A轉換器、放大器或能夠產生驅動信號以達成驅動組件的驅動馬達的移動之其他電子元件。
更詳細地，機械手組件105可包含基底120，基底120包含軌道122。基底120可為平板且可緊固至外殼101，例如緊固至底壁101B(例如，藉由螺釘、螺絲、諸如此類)，或在一些實施例中可與底壁101B整合。如果基底120為分開的元件，基底120可密封至底壁101B。基底120功能上可支撐機械手組件105的多種元件。
機械手組件105包含載具124，載具124可沿著軌道122以往返方式移動及平移，以便沿著傳輸腔室102輸送機械手106至多種縱軸位置，因而允許基板104被放置進入或自處理腔室108A至108L之其中一者或更多者或裝載鎖腔室110移出。軌道122可包含一個或更多個線性軌123或針對線性平移動作可裝設載具124於上的其他特徵。在所描繪的實施例中，載具124可接合至一個或更多個線性承載325(第3圖)，該等線性承載325跨坐於軌道122的一個或更多個軌123上，且提供沿著主框架外殼101的加長的長度在縱向上載具124相對低的摩擦平移動作。線性承載325可為滑動接觸承載、滾動元件承載(滾筒或球類型)、流體靜力或空氣線性動作承載、或甚至磁性動作線性乘載。在所描繪的實施例中，提供兩個側向間隔的軌，且可提供線性球乘載。然而，可使用提供載具124之平滑線性平移的其他形式的軌道122及線性乘載或滑動構件。
現在參照第2及3圖，機械手106經由合適乘載(例如第一乘載326及第二乘載328)的使用裝設至載具124。可使用任何合適的乘載，例如密封滾筒球乘載、密封針乘載、或其他乘載類型。機械手106可包含至少第一臂230(例如，上臂)，第一臂230可相對於載具124繞著肩軸284旋轉，例如+/-360度或更多。機械手106也可包含其他臂，例如第二臂231及第三臂234。末端效應器235可耦合至第三臂234且經配置以載送位於其上的基板104。在一些實施例中，可藉由造成第三臂234與末端效應器235整合來達成末端效應器235的耦合。機械手106可為選擇順應性裝配機械手臂(SCARA)的機械手。可使用其他類型的多臂機械手。在一些實施例中，可提供獨立及遠端控制的臂。
如第3圖中所最佳地展示，機械手106可包含耦合至第一臂230的第一從動構件332，且經配置以經由第一從動軸件333的旋轉而造成第一臂230的旋轉。機械手106可包含耦合至第二臂231的第二從動構件336，且經配置以經由第二從動軸件337的旋轉而造成第二臂231的旋轉。第三臂234可基於運動連接而旋轉，該運動連接由固定第三臂驅動構件239至第一臂230且耦合第三臂滑輪241與一個或更多個驅動帶243(例如，金屬帶)而造成。
現在參照第2至4圖，機械組件105進一步包含驅動組件238，驅動組件238包含第一驅動構件440、第一傳輸構件242，第一傳輸構件242耦合至第一驅動構件440且也耦合至第一從動構件332。第一傳輸構件242沿著軌道122的長度延伸，且可採用帶的形式(例如，無端帶)。驅動組件238可進一步包含耦合至第一驅動構件440的第一驅動馬達448，其中第一驅動馬達448經配置以旋轉第一驅動構件440，造成第一傳輸構件242的動作及第一從動構件332的旋轉，因而造成第一臂230自遠端位置的旋轉。
機械手組件105進一步包含第二驅動構件444及耦合至第二驅動構件444的第二傳輸構件246。第二傳輸構件246可沿著軌道122的長度延伸，可在多個位置處耦合至載具124。第二傳輸構件246經配置以在第二驅動構件444旋轉之後沿著軌道122移動載具124。第二傳輸構件246可經由任何合適的緊固機制(例如螺釘或螺絲)以緊固第二傳輸構件246的個別末端至接合構件345 (可位於載具124側面上，見第3圖)來耦合至載具124。驅動組件238可包含耦合至第二驅動構件444的第二驅動馬達450，且經配置以在造成第二驅動構件444旋轉之後沿著軌道122移動載具124。
機械人組件105可經配置以包含耦合至第二臂231的第二從動構件336、第三驅動構件452、及在第三驅動構件452及第二從動構件336之間耦合的第三傳輸構件254。如同先前，第三傳輸構件254沿著軌道122的長度延伸。驅動組件238可包含耦合至第三驅動構件452的第三驅動馬達451，且經配置以造成第三驅動構件452的旋轉，因而造成第二傳輸構件246的動作，而依序旋轉第二從動構件336及旋轉第二臂231以及第三臂234。不會在此進一步描述SCARA機械手的動作。然而，第二從動構件336的旋轉驅動第二臂驅動滑輪245，第二臂驅動滑輪245經由一個或更多個驅動帶247驅動第二臂231。帶243、247可包括如同SCARA機械手中公知的金屬帶。
驅動組件238的驅動馬達448、450、451可個別經由巢狀軸件耦合至驅動構件440、444、及452。可於馬達外殼480及個別軸件之間、軸件之間(或同時以上兩者)提供一個或更多個支撐承載。支撐承載可為任何合適構件以允許旋轉及限制沿著驅動軸482的軸件之垂直動作。支撐承載可為例如密封球承載。可使用其他類型的承載或軸套。
在所描繪的實施例中，驅動馬達448、450、451可為具有轉子(例如，包含一系列磁鐵)的電馬達，例如，轉子可接合至可固定或接合至馬達外殼480的個別軸件及定子(例如，一系列捲繞)。特定地，在一些實施例中，可在一面積提供定子，該面積不處於真空下、處於較傳輸腔室102低的真空下、或至少物理上與傳輸腔室102分隔開。在此實施例中，可使用任何合適的三軸驅動組件。遠端提供馬達448、450、451於傳輸腔室102外部消除了傳統上由載具124載送的繞線，且將顆粒的一個來源放置於傳輸腔室102外部。
雖然描述了三軸系統，應理解可藉由增加額外驅動馬達及從動構件、空載構件、及從動構件來增加額外功能性。例如，因此，可達成機械手106之上臂、前臂、及腕部的獨立動作。可選地或額外地，藉由增加額外的驅動馬達，在一些實施例中，可提供及遠端控制多於一個末端效應器。
如第5圖中所展示，機械手組件105可進一步包含一個或更多個空載組件562、564、566，該等空載組件包含空載構件156、158、160以允許傳輸構件(例如，第一傳輸構件242、第二傳輸構件246、及第三傳輸構件254)在軌道122相對於驅動組件238的第二端處的支撐。第一空載組件562的第一空載構件156可耦合至第一傳輸構件242，且第二空載構件158耦合至第二傳輸構件246。機械手組件105可進一步包含耦合至第三傳輸構件254的第三空載構件160。
在機械手組件105的一個或更多個實施例中，驅動組件238可耦合至基底120的第一端，且至少兩個空載滑輪(例如，空載構件156、160)可耦合至基底120相對於第一端的第二端。在第5圖中展示所描繪的實施例中，空載構件156、158、160之其中一者或更多者(在一些實施例中為該等空載構件之全部)沿著軌道122的長度的位置中可為可調整的，使得可調整傳輸構件242、246、254的張力。
更詳細地，機械手組件105可包含第一空載組件562，第一空載組件562包含可旋轉地裝設至第一空載外殼568的第一空載構件156，其中第一空載構件156與第一傳輸構件242接觸以提供其支撐。第一空載外殼568可在沿著基底120的第一縱向位置處緊固至基底120。
相似地，，第二空載構件158可旋轉地裝設至第二空載外殼570，且可提供與第二傳輸構件246的接觸。相似地，第二空載外殼570可在與第一縱向位置間隔的第二縱向位置處緊固至基底120。
在一些實施例中，可提供第三空載組件566，包含第三空載構件160，第三空載構件160可旋轉地裝設至第三空載外殼572且與第三傳輸構件254接觸。如同其他構件，第三空載外殼572可在位於第一縱向位置及第二縱向位置之間的縱向位置處緊固至基底120。
在一些實施例中，空載組件562、564、566之其中一者或更多者可包含縱向位置調整能力。該調整能力允許調整傳輸構件242、246、254之其中一者或更多者的張力。可提供任何用於調整的合適構件，例如在個別空載外殼568、570、572中形成的縱向定向的插槽，該等空載外殼經配置以接收該等空載外殼中的螺釘或螺絲，其中該等插槽允許例如約+/-12 mm的位置調整。因此，第一空載組件562、第二空載組件564、及第三空載組件566可經配置以個別調整第一傳輸構件242、第二傳輸構件246、及第三傳輸構件254的張力。
傳輸構件242、246、254之其中一者或更多者(在一些實施例中為該等傳輸構件之全部)可包含以定義的區間(沿著區間長度)間隔的孔洞474。該等孔洞474與在驅動構件440、444、452之其中一者或更多者(在所描繪的實施例中為該等驅動構件之全部)上形成的突出476接合。進一步地，突出476可在第一從動構件332及第二從動構件336之其中一者或更多者上形成。相似地，突出476可在空載構件156、158、160之其中一者或更多者上形成。
在操作中，驅動組件238經配置及適用以造成機械手106基於來自控制器118的訊號經由驅動第一驅動馬達448而繞著肩軸284旋轉。可經由驅動第二從動構件336來達成X-Y平面中第二及第三臂231、234相對於第一臂230的延伸及回縮。可藉由同時驅動第一從動構件332及第二從動構件336來達成機械手106的協調動作，以實現末端效應器235所需的動作剖面。
在另一實施例中，可於基底120的一個末端上提供空載滑輪，且驅動馬達可為可包含共同馬達配置的個別驅動馬達。如第6圖中所展示，驅動組件638可包含縱向間隔及可個別控制的第一、第二、及第三驅動馬達648、650、651，可在縱向位置中調整該等驅動馬達(相似於先前描述的空載組件562、564、566)，使得可個別調整第一、第二、及第三傳輸構件242、246、254(例如，金屬驅動帶)中的張力。個別的第一、第二、及第三驅動馬達648、650、651(每一者可包含共同結構)可包含：緊固至基底120的馬達外殼680、在馬達外殼680中支撐且電性耦合至控制器118的靜止定子681、及可耦合至個別的第一、第二及第三驅動構件640、644、652的轉子683。第一、第二、及第三驅動馬達648、650、651的致動造成個別的第一、第二、及第三驅動構件640、644、652的旋轉及第一、第二及第三傳輸構件242、246、及254的動作。可個別控制第一、第二、及第三驅動馬達648、650、651之每一者。可使用任何類型的合適馬達。可使用編碼器以提供回饋至控制器118。
在第7圖中展示堆疊空載組件790的額外實施例。堆疊空載組件790可包含框架792，框架792緊固至基底120或與基底120整合，第一、第二、及第三空載組件762、764、766裝設至框架792且由框架792支撐。第一、第二、及第三空載組件762、764、766可包含第一、第二、及第三空載構件756、758、760(例如，滑輪)。第一、第二、及第三空載構件756、758、760可經由承載(例如，球承載)支撐於第一、第二、及第三支撐構件794、796、798上。第一、第二、及第三空載組件762、764、766可相互相同且一般可為同軸。在一些實施例中，框架792可經由任何合適的調整機制在相對於基底120的縱向位置中為可調整的。
在第8圖中提供根據本發明的一個或更多個實施例的基板處理裝置100(例如，電子設備製造系統)內傳輸基板(例如，基板104)的方法。根據方法800，在步驟802中，提供機械手組件(例如，機械手組件105)，該機械手組件包含可沿著軌道(例如，軌道122)移動的載具(例如，載具124)、機械手(例如，機械手106)，該機械手裝設至載具且包含至少第一臂(例如，第一臂230)、耦合至第一臂的第一從動構件(例如，第一從動構件332)、驅動組件(例如，驅動組件238、638)，驅動組件包含第一驅動構件(例如，第一驅動構件440、640)、耦合至第一驅動構件及第一從動構件的第一傳輸構件(例如，第一傳輸構件242)，第一傳輸構件沿著軌道的長度延伸，且第一驅動馬達(例如，第一驅動馬達448、648)耦合至第一驅動構件。
在步驟804中，方法800包含操作第一驅動馬達(例如，第一驅動馬達448、648)以旋轉第一驅動構件(例如，第一驅動構件440、660)，造成第一從動構件(例如，第一從動構件332)的旋轉、第一臂(例如，第一臂230)的旋轉、及基板(例如，基板104)的動作。
藉由驅動組件(例如，驅動組件238、638)的一個或更多個額外的驅動構件(例如，第三驅動構件452、652)的加入，可遠端驅動額外的機械手臂(例如，第二臂231及第三臂234)。進一步地，藉由甚至另一驅動構件、從動構件及內部滑輪、軸件及傳輸構件(未展示)的加入(例如美國專利第8,777,547號中所描述)，可提供第三臂的獨立旋轉。藉由第二驅動構件(例如，第二驅動構件444、644)的旋轉依序旋轉耦合至載具124的第二傳輸構件254，可遠端實現載具124的平移動作。
在一個態樣中，本發明的實施例精於提供第一臂230、第二臂231及第三臂234的協調動作且耦合末端效應器235，將變得明顯，以便提供沿著任何數量的所需動作剖面的基板的動作。
已展示範例的實施例，發明所屬領域具有通常知識者將理解：可能有許多變體且仍落於所主張發明的範圍內。因此，意圖僅藉由申請專利範圍的範圍所指示來限制本發明。
100‧‧‧基板處理裝置
101‧‧‧主框架外殼
101B‧‧‧底壁
101S‧‧‧側壁
102‧‧‧傳輸腔室
104‧‧‧基板
105‧‧‧機械手組件
106‧‧‧機械手
108A-L‧‧‧處理腔室
110‧‧‧裝載鎖腔室
112‧‧‧工廠介面
114‧‧‧基板載具
115‧‧‧工廠介面機械手
116‧‧‧狹縫閥
118‧‧‧控制器
120‧‧‧基底
122‧‧‧軌道
123‧‧‧線性軌
124‧‧‧載具
156‧‧‧第一空載構件
158‧‧‧第二空載構件
160‧‧‧第三空載構件
230‧‧‧第一臂
231‧‧‧第二臂
234‧‧‧第三臂
235‧‧‧末端效應器
238‧‧‧驅動組件
239‧‧‧第三臂驅動構件
241‧‧‧第三臂滑輪
242‧‧‧第一傳輸構件
243‧‧‧驅動帶
245‧‧‧第二臂驅動滑輪
246‧‧‧第二傳輸構件
247‧‧‧驅動帶
254‧‧‧第三傳輸構件
284‧‧‧肩軸
325‧‧‧線性承載
326‧‧‧第一承載
328‧‧‧第二承載
332‧‧‧第一從動構件
333‧‧‧第一從動軸件
336‧‧‧第二從動構件
337‧‧‧第二從動軸件
345‧‧‧接合構件
440‧‧‧第一驅動構件
444‧‧‧第二驅動構件
448‧‧‧第一驅動馬達
450‧‧‧第二驅動馬達
451‧‧‧第三驅動馬達
452‧‧‧第三驅動構件
474‧‧‧孔洞
476‧‧‧突出
480‧‧‧馬達外殼
482‧‧‧驅動軸
562‧‧‧第一空載組件
564‧‧‧第二空載組件
566‧‧‧第三空載組件
568‧‧‧第一空載外殼
570‧‧‧第二空載外殼
572‧‧‧第三空載外殼
638‧‧‧驅動組件
640‧‧‧第一驅動構件
644‧‧‧第二驅動構件
648‧‧‧第一驅動馬達
650‧‧‧第二驅動馬達
651‧‧‧第三驅動馬達
652‧‧‧第三驅動構件
680‧‧‧馬達外殼
681‧‧‧靜止定子
683‧‧‧轉子
756‧‧‧第一空載構件
758‧‧‧第二空載構件
760‧‧‧第三空載構件
762‧‧‧第一空載組件
764‧‧‧第二空載組件
766‧‧‧第三空載組件
790‧‧‧堆疊空載組件
792‧‧‧框架
794‧‧‧第一支撐構件
796‧‧‧第二支撐構件
798‧‧‧第三支撐構件
800‧‧‧方法
802‧‧‧步驟
804‧‧‧步驟
藉由參考所採用的詳細描述與以下圖式，將更佳地理解本發明。
第1圖根據一個或更多個實施例圖示基板處理裝置的頂部平面視圖，包含具有遠端從動的裝設載具的機械手的機械手組件。
第2圖根據實施例圖示機械手的元件的等距視圖。
第3圖根據一個或更多個實施例圖示機械手組件的橫截面部分側面視圖。
第4圖根據一個或更多個實施例圖示機械手組件的驅動組件的橫截面側面視圖。
第5圖根據一個或更多個實施例圖示機械手組件的空載滑輪組件的橫截面側面視圖。
第6圖根據一個或更多個實施例圖示機械手組件的其他驅動組件的橫截面側面視圖。
第7圖根據一個或更多個實施例圖示機械手組件的其他空載滑輪組件的橫截面側面視圖。
第8圖根據一個或更多個實施例圖示一流程圖，描繪在基板處理裝置內傳輸基板的方法。
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國外寄存資訊 (請依寄存國家、機構、日期、號碼順序註記) 無
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106‧‧‧機械手
122‧‧‧軌道
124‧‧‧載具
230‧‧‧第一臂
231‧‧‧第二臂
234‧‧‧第三臂
235‧‧‧末端效應器
239‧‧‧第三臂驅動構件
241‧‧‧第三臂滑輪
242‧‧‧第一傳輸構件
243‧‧‧驅動帶
245‧‧‧第二臂驅動滑輪
246‧‧‧第二傳輸構件
247‧‧‧驅動帶
254‧‧‧第三傳輸構件
284‧‧‧肩軸
325‧‧‧線性承載
326‧‧‧第一承載
328‧‧‧第二承載
332‧‧‧第一從動構件
333‧‧‧第一從動軸件
336‧‧‧第二從動構件
337‧‧‧第二從動軸件
345‧‧‧接合構件

Claims (20)

  1. 一種機械手組件，包括： 一軌道；一載具，該載具可沿著該軌道移動；一機械手，該機械手裝設至該載具，該機械手包含至少一第一臂及一第一從動構件，該第一從動構件耦合至該第一臂；及一驅動組件，包含：一第一驅動構件，一第一傳輸構件，該第一傳輸構件耦合至該第一驅動構件及該第一從動構件，該第一傳輸構件沿著該軌道的一長度延伸，及一第一驅動馬達，該第一驅動馬達耦合至該第一驅動構件，該第一驅動馬達經配置以移動該第一驅動構件，造成該第一從動構件的旋轉及該第一臂的旋轉。
  2. 如請求項1所述之機械手組件，包括： 一第二驅動構件；一第二傳輸構件，該第二傳輸構件耦合至該第二驅動構件，該第二傳輸構件耦合至該載具且沿著該軌道的一長度延伸；及一第二驅動馬達，該第二驅動馬達耦合至該第二驅動構件，且經配置以在造成該第二驅動構件的旋轉之後，沿著該軌道移動該載具。
  3. 如請求項1所述之機械手組件，其中該機械手包括一第二臂、耦合至該第二臂的一第三從動構件、一第三驅動構件、及一第三傳輸構件，該第三傳輸構件耦合於該第三驅動構件及該第三從動構件之間，該第三傳輸構件沿著該軌道的一長度延伸。
  4. 如請求項1所述之機械手組件，包括一第三臂、耦合至該第三臂的一末端效應器，其中該末端效應器經配置以載送一基板。
  5. 如請求項1所述之機械手組件，包括一第一空載構件及一第二空載構件，該第一空載構件耦合至該第一傳輸構件，該第二空載構件耦合至一第二傳輸構件。
  6. 如請求項5所述之機械手組件，包括一第三空載構件，該第三空載構件耦合至一第三傳輸構件。
  7. 如請求項1所述之機械手組件，包括： 一基底、耦合至該基底的一第一端的一驅動組件、及耦合至該基底的一第二端的至少兩個空載構件。
  8. 如請求項1所述之機械手組件，包括一第一空載組件，包含： 一第一空載構件，該第一空載構件可旋轉地裝設至一第一空載外殼且與該第一傳輸構件接觸，該第一空載外殼在一第一縱軸位置處可緊固至一基底。
  9. 如請求項8所述之機械手組件，包括一第二空載組件，包含： 一第二空載構件，該第二空載構件可旋轉地裝設至一第二空載外殼且與該第二傳輸構件接觸，該第二空載外殼在一第二縱軸位置處可緊固至該基底，該第二縱軸位置與該第一縱軸位置間隔開來。
  10. 如請求項9所述之機械手組件，包括一第三空載組件，包含： 一第三空載構件，該第三空載構件可旋轉地裝設至一第三空載外殼且與該第三傳輸構件接觸，該第三空載外殼在一縱軸位置處可緊固至該基底，該縱軸位置位於該第一縱軸位置及該第二縱軸位置之間。
  11. 如請求項1所述之機械手組件，包括一空載組件，包含縱軸位置調整能力。
  12. 如請求項1所述之機械手組件，包括一第一空載組件、一第二空載組件、及一第三空載組件，經配置以調整該第一傳輸構件、一第二傳輸構件、及一第三傳輸構件的張力。
  13. 如請求項1所述之機械手組件，包括一個或更多個空載滑輪組件，每一空載滑輪組件包含一空載構件，該空載構件可旋轉地裝設至一空載外殼，其中該空載外殼可緊固至一基底且包含縱軸位置調整能力。
  14. 如請求項1所述之機械手組件，其中該傳輸構件包含沿著該傳輸構件的一長度的孔洞，該等孔洞與該第一驅動構件及該第一從動構件上的突出可接合。
  15. 如請求項1所述之機械手組件，包括一第二傳輸構件，該第二傳輸構件包含沿著該第二傳輸構件的一長度的孔洞，該等孔洞與一第二驅動構件上的突出可接合。
  16. 如請求項1所述之機械手組件，包括一第三傳輸構件，該第三傳輸構件包含沿著該第三傳輸構件的一長度的孔洞，該等孔洞與該第三驅動構件及該第二從動構件上的突出可接合。
  17. 一種基板處理裝置，包括： 一傳輸腔室；複數個處理腔室，該等處理腔室沿著該傳輸腔室的一長度安置；及一機械手組件，該機械手組件經配置以移動基板至該等處理腔室及自該等處理腔室移出，該機械手組件包括：一軌道；一載具，該載具可沿著該軌道移動；一機械手，該機械手裝設至該載具，該機械手包含至少一第一臂及一第一從動構件，該第一從動構件耦合至該第一臂；及一驅動組件，包含：一第一驅動構件，一第一傳輸構件，該第一傳輸構件耦合至該第一驅動構件及該第一從動構件，該第一傳輸構件沿著該軌道的一長度延伸，及一第一驅動馬達，該第一驅動馬達耦合至該第一驅動構件，且該第一驅動馬達經配置以移動該第一驅動構件，造成該第一從動構件的旋轉及該第一臂的旋轉。
  18. 如請求項17所述之基板處理裝置，包括： 一第二驅動構件；一第二傳輸構件，該第二傳輸構件耦合至該第二驅動構件，該第二傳輸構件耦合至該載具且沿著該軌道的一長度延伸；及一第二驅動馬達，該第二驅動馬達耦合至該第二驅動構件，且經配置以在造成該第二驅動構件的旋轉之後，沿著該軌道移動該載具。
  19. 如請求項18所述之基板處理裝置，其中該機械手包括一第二臂、耦合至該第二臂的一第三從動構件、一第三驅動構件、及一第三傳輸構件，該第三傳輸構件耦合於該第三驅動構件及該第三從動構件之間，該第三傳輸構件沿著該軌道的一長度延伸。
  20. 一種在一基板處理裝置內傳輸一基板的方法，包括以下步驟： 提供機械手組件，該機械手組件包含：一載具、一機械手、一驅動組件，該載具可沿著一軌道移動，該機械手裝設至該載具且包含至少一第一臂及一第一從動構件，該第一從動構件耦合至該第一臂，該驅動組件包含：一第一驅動構件、耦合至該第一驅動構件及該第一從動構件的一第一傳輸構件、及一第一驅動馬達，該第一傳輸構件沿著該軌道的一長度延伸，該第一驅動馬達耦合至該第一驅動構件；及操作該第一驅動馬達，以旋轉該第一驅動構件，造成該第一從動構件的旋轉、該第一臂的旋轉、及該基板的移動。
TW105133190A 2015-10-23 2016-10-14 用於在進行電子設備製造時輸送基板的機械手組件、基板處理裝置及方法 TWI704038B (zh)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI837471B (zh) * 2020-05-15 2024-04-01 中國大陸商拓荆科技股份有限公司 基片傳輸模組及半導體處理系統

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10043689B2 (en) * 2015-06-05 2018-08-07 Hirata Corporation Chamber apparatus and processing system
TWI707754B (zh) 2016-06-28 2020-10-21 美商應用材料股份有限公司 包括間隔上臂與交錯腕部的雙機器人以及包括該者之方法
US10453725B2 (en) 2017-09-19 2019-10-22 Applied Materials, Inc. Dual-blade robot including vertically offset horizontally overlapping frog-leg linkages and systems and methods including same
US10943805B2 (en) 2018-05-18 2021-03-09 Applied Materials, Inc. Multi-blade robot apparatus, electronic device manufacturing apparatus, and methods adapted to transport multiple substrates in electronic device manufacturing
US11850742B2 (en) 2019-06-07 2023-12-26 Applied Materials, Inc. Dual robot including splayed end effectors and systems and methods including same
KR102211252B1 (ko) * 2019-06-26 2021-02-04 세메스 주식회사 기판 처리 장치
US11565402B2 (en) * 2020-03-09 2023-01-31 Applied Materials, Inc. Substrate transfer devices, systems and methods of use thereof

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0123025Y1 (ko) * 1992-09-28 1998-10-01 이범창 차량 배기가스의 소음저감구조
AU7361096A (en) 1995-09-13 1997-04-01 Silicon Valley Group, Inc. Concentric dual elbow
JP2003209156A (ja) * 2002-01-17 2003-07-25 Juki Corp 基板搬送装置
US8960099B2 (en) 2002-07-22 2015-02-24 Brooks Automation, Inc Substrate processing apparatus
US7905960B2 (en) 2004-03-24 2011-03-15 Jusung Engineering Co., Ltd. Apparatus for manufacturing substrate
US7798764B2 (en) 2005-12-22 2010-09-21 Applied Materials, Inc. Substrate processing sequence in a cartesian robot cluster tool
WO2006088757A1 (en) 2005-02-12 2006-08-24 Applied Materials, Inc. Multi-axis vacuum motor assembly
TWI342597B (en) 2005-11-21 2011-05-21 Applied Materials Inc Methods and apparatus for transferring substrates during electronic device manufacturing
WO2007139052A1 (ja) * 2006-05-29 2007-12-06 Ulvac, Inc. 基板搬送装置
KR101263857B1 (ko) 2006-08-11 2013-05-13 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 로봇 손목 조립체를 위한 장치 및 방법
US8419341B2 (en) 2006-09-19 2013-04-16 Brooks Automation, Inc. Linear vacuum robot with Z motion and articulated arm
JP5195745B2 (ja) 2007-03-14 2013-05-15 株式会社安川電機 基板搬送ロボット
WO2008150484A1 (en) 2007-05-31 2008-12-11 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for extending the reach of a dual scara robot linkage
JP4824645B2 (ja) 2007-08-03 2011-11-30 株式会社アルバック 基板搬送装置
KR101190872B1 (ko) 2008-02-26 2012-10-12 삼성테크윈 주식회사 기판 이송장치
US8784033B2 (en) 2009-01-11 2014-07-22 Applied Materials, Inc. Robot systems, apparatus and methods for transporting substrates
US8264187B2 (en) 2009-01-11 2012-09-11 Applied Materials, Inc. Systems, apparatus and methods for making an electrical connection
US8777547B2 (en) 2009-01-11 2014-07-15 Applied Materials, Inc. Systems, apparatus and methods for transporting substrates
CN102709221A (zh) 2011-06-28 2012-10-03 清华大学 一种平面三自由度晶圆传输装置
US9076830B2 (en) 2011-11-03 2015-07-07 Applied Materials, Inc. Robot systems and apparatus adapted to transport dual substrates in electronic device manufacturing with wrist drive motors mounted to upper arm
WO2013090181A1 (en) 2011-12-12 2013-06-20 Applied Materials, Inc Fully-independent robot systems, apparatus, and methods adapted to transport multiple substrates in electronic device manufacturing
WO2013154863A1 (en) 2012-04-12 2013-10-17 Applied Materials, Inc Robot systems, apparatus, and methods having independently rotatable waists
CN104428884B (zh) * 2012-07-05 2017-10-24 应用材料公司 吊杆驱动装置、多臂机械手装置、电子器件处理系统及用于在电子器件制造系统中传送基板的方法
WO2014085479A1 (en) 2012-11-30 2014-06-05 Applied Materials, Inc Multi-axis robot apparatus with unequal length forearms, electronic device manufacturing systems, and methods for transporting substrates in electronic device manufacturing
KR20210014778A (ko) 2013-03-15 2021-02-09 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 기판 증착 시스템, 로봇 이송 장치, 및 전자 디바이스 제조 방법
CN105814677B (zh) 2013-10-18 2019-06-18 布鲁克斯自动化公司 处理设备
TWI641458B (zh) 2014-01-05 2018-11-21 美商應用材料股份有限公司 用於傳輸電子裝置製造中之基板之機器人設備、驅動組件，及方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI837471B (zh) * 2020-05-15 2024-04-01 中國大陸商拓荆科技股份有限公司 基片傳輸模組及半導體處理系統

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Publication number Publication date
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