CN105579201B - 运送装置以及真空装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种在能够同时运送一对运送物的运送装置中，使定位作业容易，提高基板运送之际的通过量的技术。本发明具备以旋转轴为中心同心状地配置、并设置成能够在水平面内分别独立地旋转的第1以及第2伸缩驱动轴（11、12），和第1以及第2回转驱动轴（15、16）。第1以及第2运送机构隔着旋转轴配置在运送物运送方向的两侧，被第1以及第2伸缩驱动轴（11、12）驱动而伸缩，将运送物沿着运送物运送方向运送。第1以及第2运送机构通过第1以及第2回转驱动部件（31、32）以旋转轴为中心分别微小地回转。

Description

运送装置以及真空装置
技术领域
本发明涉及例如运送基板等运送物的运送装置，尤其涉及适于半导体制造装置等中的真空装置中的运送装置的技术。
背景技术
图17以及图18用于说明现有技术的课题。
以往，作为真空装置，公知有图17（a）所示那样在四边形的运送室的各边具有两个处理室的装置。
例如图17（a）所示，在该真空处理装置101中，在运送室100周围的边上设有一对处理室102和103、104和105、108和109（附图标记106、107是准备、取出室）。
另一方面，作为这种运送装置，公知有为了提高基板运送的通过量而具有一对基板载置部121、122的运送装置120。
但是，在这种现有技术中，例如大多是处理室102、103的间隔、即基板110、111与运送装置120的基板载置部121、122的间隔不相等，有定位作业困难的课题。
此外，若基板110、111与运送装置120的基板载置部121、122的间隔大，则例如图17（b）所示，不能够将两个基板110、111同时载置在运送装置120的基板载置部121、122上。
在这种情况下，例如图18（a）、图18（b）所示，也通过使运送装置120回转而将基板载置部121、122倾斜，将两个基板110、111逐个载置在基板载置部121、122上。
但是，若进行这种作业，则有通过量降低的课题。
专利文献：日本国特开2013－084823号公报。
发明内容
本发明是为了解决这种现有技术的课题而提出的，其目的在于提供一种在能够同时运送一对运送物的运送装置中，使定位作业容易，并且提高基板运送之际的通过量。
为了实现上述目的的本发明的运送装置具备：第1以及第2伸缩驱动轴，以规定的旋转轴为中心同心状地配置，并设置成能够在水平面内分别独立地旋转，用于驱动第1以及第2运送机构伸缩；第1以及第2回转驱动轴，与前述第1以及第2伸缩驱动轴为同心状地配置，用于使前述第1以及第2运送机构回转；前述第1运送机构被前述第1伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第1运送部沿着运送物运送方向运送，并且前述第2运送机构被前述第2伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第2运送部沿着运送物运送方向运送，前述第1以及第2运送机构具有第1以及第2回转驱动部件，分别被前述第1以及第2回转驱动轴驱动，使该第1以及第2运送机构分别以前述旋转轴为中心回转，前述第1运送机构和前述第2运送机构隔着前述旋转轴配置在前述运送物运送方向的两侧。
此外，本发明的运送装置中，前述第1以及第2运送机构配置在相同的高度位置。
此外，本发明的运送装置具有第1运送装置和第2运送装置，前述第1运送装置具备：第1以及第2伸缩驱动轴，以规定的旋转轴为中心同心状地配置，并设置成能够在水平面内分别独立地旋转，用于驱动第1以及第2运送机构伸缩；第1以及第2回转驱动轴，与前述第1以及第2伸缩驱动轴为同心状地配置，用于使前述第1以及第2运送机构回转，前述第1运送机构被前述第1伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第1运送部沿着运送物运送方向运送，并且前述第2运送机构被前述第2伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第2运送部沿着运送物运送方向运送，前述第1以及第2运送机构具有第1以及第2回转驱动部件，分别被前述第1以及第2回转驱动轴驱动，使该第1以及第2运送机构分别以前述旋转轴为中心回转，前述第1运送机构和前述第2运送机构隔着前述旋转轴配置在前述运送物运送方向的两侧，前述第2运送装置具有第3以及第4伸缩驱动轴，与前述旋转轴为中心同心状地配置，并设置成能够在水平面内分别独立地旋转，用于分别驱动与前述第1以及第2运送机构相对应的第3以及第4运送机构伸缩，前述第3以及第4运送机构以相对于前述第1以及第2运送机构不同的高度位置、隔着前述旋转轴配置在前述运送物运送方向的两侧，并且分别被前述第3以及第4伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第3以及第4运送部分别沿着运送物运送方向运送，前述第3以及第4运送机构具有分别与设在前述第1以及第2运送机构上的前述第1以及第2回转驱动部件相连的联杆机构，通过该联杆机构使前述第3以及第4运送机构分别以前述旋转轴为中心回转。
此外，本发明的运送装置中，前述第1以及第2运送机构和前述第3以及第4运送机构分别配置在相同的高度位置。
此外，本发明的真空装置具有真空槽和设在前述真空槽内的运送装置，前述运送装置具备：第1以及第2伸缩驱动轴，以规定的旋转轴为中心同心状地配置，并设置成能够在水平面内分别独立地旋转，用于驱动第1以及第2运送机构伸缩；第1以及第2回转驱动轴，与前述第1以及第2伸缩驱动轴为同心状地配置，用于使前述第1以及第2运送机构回转，前述第1运送机构被前述第1伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第1运送部沿着运送物运送方向运送，并且前述第2运送机构被前述第2伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第2运送部沿着运送物运送方向运送，前述第1以及第2运送机构具有第1以及第2回转驱动部件，分别被前述第1以及第2回转驱动轴驱动，使该第1以及第2运送机构分别以前述旋转轴为中心回转，前述第1运送机构和前述第2运送机构隔着前述旋转轴配置在前述运送物运送方向的两侧。
此外，本发明的真空装置中具有：一对运送物检测传感器，由设在前述真空槽内的多个传感器构成，分别检测由前述第1以及第2运送机构运送的一对运送物；控制部，基于由前述一对运送物检测传感器检测到的结果，将前述第1以及第2回转驱动轴的动作分别控制成前述一对运送物分别配置在一对运送物配置部上。
在本发明的情况下，由于将用于分别使第1以及第2运送机构回转的第1以及第2回转驱动轴配置成与分别驱动第1以及第2运送机构伸缩的第1以及第2伸缩驱动轴为同心状，通过这些第1以及第2回转驱动轴分别驱动第1以及第2回转驱动部件，使第1以及第2运送机构分别以旋转轴为中心回转，所以能够使隔着旋转轴在运送物运送方向的两侧配置在例如相同的高度位置的第1以及第2运送机构的运送物载置部离开或接近，从而调整其间的间隔。
其结果，根据本发明，在两个运送物并排配置的情况下，由于能够将第1以及第2运送机构的基板载置部相对于这些运送物或者配置该运送物的部分正确地定位，所以能够容易地进行定位作业，此外，能够提高基板运送之际的通过量。
此外，作为第1运送装置具有上述的运送装置，作为第2运送装置具有第3以及第4伸缩驱动轴，以旋转轴为中心同心状地配置，并设置成能够在水平面内分别独立地旋转，用于分别驱动与第1以及第2运送机构相对应的第3以及第4运送机构伸缩，第3以及第4运送机构以相对于第1以及第2运送机构不同的高度位置、隔着旋转轴配置在运送物运送方向的两侧，并且分别被第3以及第4伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第3以及第4运送部分别沿着运送物运送方向运送，第3以及第4运送机构具有分别与设在第1以及第2运送机构上的第1以及第2回转驱动部件相连的联杆机构，在通过联杆机构使第3以及第4运送机构分别以旋转轴为中心回转的情况下，能够通过第3以及第4伸缩驱动轴使第3以及第4运送机构伸缩，并且使第3以及第4运送机构的基板载置部离开或接近，从而调整其间的间隔。
其结果，根据本发明，由于能够通过第1以及第2运送机构、第3以及第4运送机构进行基板的运送，所以能够进一步提高基板运送之际的通过量。
根据本发明，能够提供一种在能够同时运送一对运送物的运送装置中，使定位作业容易，并且提高基板运送之际的通过量的技术。
附图说明
图1（a）、图1（b）是表示本发明所涉及的运送装置的实施方式的下侧运送装置的俯视图；
图2（a）、图2（b）是表示同一实施方式的上侧运送装置的俯视图；
图3（a）表示同一运送装置的结构，是从运送方向下游一侧观察的附图，图3（b）是表示同一运送装置的结构的俯视图，图3（c）表示同一运送装置的结构，是从运送方向上游一侧观察的附图；
图4是表示下侧运送机构的伸长动作的俯视图；
图5是表示上侧运送机构的伸长动作的俯视图；
图6（a）、图6（b）是表示本实施方式中的上侧运送装置以及下侧运送装置的微小回转动作的说明图（之一）；
图7（a）、图7（b）是表示本实施方式中的上侧运送装置以及下侧运送装置的微小回转动作的说明图（之二）；
图8（a）、图8（b）是表示本实施方式中的上侧运送装置以及下侧运送装置的微小回转动作的说明图（之三）；
图9（a）、图9（b）是表示本实施方式中的上侧运送装置以及下侧运送装置的微小回转动作的说明图（之四）；
图10是表示本发明所涉及的真空装置的实施方式的俯视图（之一）；
图11是表示本发明所涉及的真空装置的实施方式的俯视图（之二）；
图12是表示本发明所涉及的真空装置的实施方式的俯视图（之三）；
图13是表示本发明所涉及的真空装置的其它实施方式的结构的俯视图；
图14是表示本发明所涉及的真空装置的其它实施方式的要部结构的说明图；
图15是表示本发明所涉及的真空装置的其它实施方式的回路系统的结构的框图；
图16（a）～图16（e）是表示本实施方式中的基板的位置检测动作的说明图；
图17（a）、图17（b）是用于说明现有技术的课题的附图（之一）；
图18（a）、图18（b）是用于说明现有技术的课题的附图（之二）。
附图标记说明
1：运送装置，1A：下侧运送装置（第1运送装置），1B：上侧运送装置（第2运送装置），2L：左下侧运送机构（第1运送机构），2R：右下侧运送机构（第2运送机构），3a：第1左下侧平行曲柄机构，3b：第2左下侧平行曲柄机构，4a：第1右下侧平行曲柄机构，4b：第2右下侧平行曲柄机构，5a：第1左上侧平行曲柄机构，5b：第2左上侧平行曲柄机构，6a：第1右上侧平行曲柄机构，6b：第2右上侧平行曲柄机构，7L：左上侧运送机构（第3运送机构），7R：右上侧运送机构（第4运送机构），10：真空装置，11：第1伸缩驱动轴，12：第2伸缩驱动轴，13：第3伸缩驱动轴，14：第4伸缩驱动轴，15：第1回转驱动轴，16：第2回转驱动轴，20：基板（运送物），20L、20R：基板配置部（运送物配置部），31：第1回转驱动部件，31a：连结部件，32：第2回转驱动部件，32a：连结部件，80：运送室（真空槽），81、82、83、84、87、88：处理室，O：旋转轴，V：基板运送方向（运送物运送方向）。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的优选实施方式详细地进行说明。
图1（a）、图1（b）是表示本发明所涉及的运送装置的实施方式的下侧运送装置的俯视图，图2（a）、图2（b）是表示同一实施方式的上侧运送装置的俯视图。
图3（a）～图3（c）表示同一运送装置的结构，图3（a）是从运送方向下游一侧观察的附图，图3（b）是俯视图，图3（c）是从运送方向上游一侧观察的附图。
本发明的运送装置1例如在真空槽（未图示）内进行基板等运送物的运送，具有图1（a）、图1（b）所示的作为第1运送装置的下侧运送装置1A，和图2（a）、图2（b）所示的作为第2运送装置的上侧运送装置1B。
如图3（a）～图3（c）所示，下侧运送装置1A和上侧运送装置1B分别重合地上下配置。
如图1（a）、图1（b）所示，在本实施方式中，具有从独立的驱动源（未图示）分别传递顺时针方向或者逆时针方向的旋转动力的同心状的第1、第2、第3和第4伸缩驱动轴11、12、13、14，以及第1和第2回转驱动轴15、16。
在此，第1、第2、第3和第4伸缩驱动轴11～14以及第1和第2回转驱动轴15、16例如设计成沿竖直方向延伸。
如图1（a）、图1（b）所示，下侧运送装置1A具有设在从旋转轴O沿基板运送方向V（运送物运送方向）延伸的直线Y的两侧、即在此是设在左侧的左下侧运送机构2L，和设在右侧的右下侧运送机构2R。
左下侧运送机构2L具有由左下侧驱动臂21、第1回转驱动部件31、第1左下侧从动臂22、第2左下侧从动臂23构成的第1左下侧平行曲柄机构3a。
在此，左下侧驱动臂21的一方的端部（基端部）与第1伸缩驱动轴11相连，以旋转轴O为中心向水平方向旋转。
而且，左下侧驱动臂21的动作范围被控制成相对于通过旋转轴O与基板运送方向V平行地延伸的直线Y位于左侧方一侧。
另一方面，第1回转驱动部件31例如由平板状的座部件构成，并设置成相对于旋转轴O向基板运送方向V的下游一侧延伸。
该第1回转驱动部件31设在左下侧驱动臂21的下方，其一方的端部（基端部）与第1回转驱动轴15相连，以旋转轴O为中心向水平方向旋转规定角度。
在左下侧驱动臂21的另一方的端部（顶端部），第1左下侧从动臂22的一方的端部（基端部）以支轴A为中心向水平方向旋转自如地安装在左下侧驱动臂21的上部。
此外，在第1回转驱动部件31的另一方的端部（顶端部），第2左下侧从动臂23的一方的端部（基端部）以支轴B为中心向水平方向旋转自如地安装在第1回转驱动部件31的上部。
该支轴B设成经由连结部件31a沿竖直方向延伸，与后述的第2右上侧从动臂63相连，构成联杆机构（参照图3（a））。
进而，第2左下侧从动臂23的另一方的端部（顶端部）以支轴C为中心向水平方向旋转自如地安装在第1左下侧从动臂22的下部。
在本实施方式的情况下，支轴AC之间的轴间距离设定成与旋转轴O和支轴B之间的轴间距离相同。此外，支轴BC之间的轴间距离设定成与旋转轴O和支轴A之间的轴间距离相同。
另外，支轴AC之间的轴间距离与旋转轴O和支轴B之间的轴间距离比支轴BC之间的轴间距离与旋转轴O和支轴A之间的轴间距离短。
在第1左下侧平行曲柄机构3a的顶端部、即动作侧端部连结有第2左下侧平行曲柄机构3b。
该第2左下侧平行曲柄机构3b由第1左下侧平行曲柄机构3a的第1左下侧从动臂22、第3左下侧从动臂25、第4左下侧从动臂26、左下侧末端执行器30L的支撑部35L构成。
在此，在第1左下侧从动臂22的左下侧驱动臂21一侧的端部，第3左下侧从动臂25的一方的端部（基端部）以上述的支轴A为中心向水平方向旋转自如地安装在第1左下侧从动臂22的上部。
此外，在第1左下侧从动臂22的第2左下侧从动臂23一侧的端部，第4左下侧从动臂26的一方的端部（基端部）以上述的支轴C为中心向水平方向旋转自如地安装在第1左下侧从动臂22的上部。
进而，第3以及第4左下侧从动臂25、26的另一方的端部（顶端部）以设在离开与支轴AC之间的轴间距离相同的轴间距离的位置的支轴D、支轴E为中心向水平方向旋转自如地安装在具有基板载置部36L的左下侧末端执行器30L的支撑部35L的下部。这些第3以及第4左下侧从动臂25、26构成为各自的支轴D、支轴E相对于支轴A、支轴C位于通过旋转轴O与基板运送方向V平行地延伸的直线Y一侧。
在本实施方式中，在第1左下侧从动臂22上设有由齿轮箱构成的动力传递机构24，该动力传递机构24构成为左下侧驱动臂21和第4左下侧从动臂26的旋转方向为相反方向并且为相同的角度。即、左下侧驱动臂21的动力经由第1左下侧从动臂22的动力传递机构24传递，第4左下侧从动臂26与左下侧驱动臂21以相同的角度向相反方向旋转。
在本实施方式的情况下，支轴AC之间的轴间距离设定成与支轴DE之间的轴间距离相同。此外，支轴AD之间的轴间距离设定成与支轴CE之间的轴间距离相同。
另外，支轴DE之间的轴间距离和支轴AC之间的轴间距离比支轴AD之间的轴间距离和支轴CE之间的轴间距离短。
另一方面，在本实施方式中，支轴AD以及支轴CE之间各自的轴间距离设定成比旋转轴O和支轴A之间的轴间距离、以及支轴BC之间的轴间距离短。
而且，根据这种结构，在使左下侧运送机构2L沿着基板运送方向V或者相反方向动作的情况下，左下侧末端执行器30L不与第1～第4伸缩驱动轴11～14以及支轴B、F相接触。
另一方面，本实施方式的右下侧运送机构2R具有由右下侧驱动臂41、第2回转驱动部件32、第1右下侧从动臂42、第2右下侧从动臂43构成的第1右下侧平行曲柄机构4a。
在此，右下侧驱动臂41的一方的端部（基端部）与第2伸缩驱动轴12相连，以旋转轴O为中心向水平方向旋转。
而且，右下侧驱动臂41的动作范围被控制成相对于通过旋转轴O与基板运送方向V平行地延伸的直线Y位于右侧方一侧。
另一方面，第2回转驱动部件32例如由平板状的座部件构成，且设置成相对于旋转轴O向基板运送方向V的上游一侧延伸。
该第2回转驱动部件32设在上述的第1回转驱动部件31的下方，其一方的端部（基端部）与第2回转驱动轴16相连，以旋转轴O为中心向水平方向旋转规定角度。
在右下侧驱动臂41的另一方的端部（顶端部），第1右下侧从动臂42的一方的端部（基端部）以支轴H为中心向水平方向旋转自如地安装在右下侧驱动臂41的上部。
此外，在第2回转驱动部件32另一方的端部（顶端部），第2右下侧从动臂43的一方的端部（基端部）以支轴F为中心向水平方向旋转自如地安装在第2回转驱动部件32的上部。
该支轴F设成经由连结部件32a沿竖直方向延伸，与后述的第2左上侧从动臂53相连（参照图3（c））。
进而，第2右下侧从动臂43的另一方的端部（顶端部）以支轴G为中心向水平方向旋转自如地安装在第1右下侧从动臂42的下部。
在本实施方式的情况下，支轴HG之间的轴间距离设定成与旋转轴O和支轴F之间的轴间距离相同。此外，支轴FG之间的轴间距离设定成与旋转轴O和支轴H之间的轴间距离相同。
另外，支轴HG之间的轴间距离与旋转轴O和支轴F之间的轴间距离比支轴FG之间的轴间距离与旋转轴O和支轴H之间的轴间距离短。
在第1右下侧平行曲柄机构4a的顶端部、即动作侧端部连结有第2右下侧平行曲柄机构4b。
该第2右下侧平行曲柄机构4b由第1右下侧平行曲柄机构4a的第1右下侧从动臂42、第3右下侧从动臂44、第4右下侧从动臂45、右下侧末端执行器30R的支撑部35R构成。
在此，在第1右下侧从动臂42的右下侧驱动臂41一侧的端部，第3右下侧从动臂44的一方的端部（基端部）以上述的支轴H为中心向水平方向旋转自如地安装在第1右下侧从动臂42的上部。
此外，在第1右下侧从动臂42的第2右下侧从动臂43一侧的端部，第4右下侧从动臂45的一方的端部（基端部）以上述的支轴G为中心向水平方向旋转自如地安装在第1右下侧从动臂42的上部。
进而，第3以及第4右下侧从动臂44、45的另一方的端部（顶端部）以设在离开与支轴HG之间的轴间距离相同的轴间距离的位置的支轴J、支轴I为中心向水平方向旋转自如地安装在具有基板载置部36R的右下侧末端执行器30R的支撑部35R的下部。
这些第3以及第4右下侧从动臂44、45构成为各自的支轴J、支轴I相对于支轴H、支轴G位于通过旋转轴O与基板运送方向V平行地延伸的直线Y一侧。
在本实施方式中，在第1右下侧从动臂42上设有由齿轮箱构成的动力传递机构46，该动力传递机构46构成为右下侧驱动臂41和第4右下侧从动臂45的旋转方向为相反方向并且为相同的角度。
即、右下侧驱动臂41的动力经由第1右下侧从动臂42的动力传递机构46传递，第4右下侧从动臂45与右下侧驱动臂41以相同的角度向相反方向旋转。在本实施方式的情况下，支轴GH之间的轴间距离与支轴IJ之间的距离相等。此外，支轴GI之间的轴间距离与支轴HJ之间的轴间距离相等。
另外，在本实施方式中，支轴IJ之间的轴间距离与支轴GH之间的轴间距离比支轴GI之间的轴间距离与支轴HJ之间的轴间距离短。
另一方面，支轴GI以及支轴HJ之间各自的轴间距离设定成比旋转轴O和支轴H之间的轴间距离、以及支轴FG之间的轴间距离短。
而且，根据这种结构，在使右下侧运送机构2R沿着基板运送方向V动作的情况下，右下侧末端执行器30R不与第1～第4伸缩驱动轴11～14以及支轴B、F相接触。
另外，在本实施方式的情况下，左下侧运送机构2L的第1左下侧平行曲柄机构3a和右下侧运送机构2R的第1右下侧平行曲柄机构4a构成为各自相对应的臂的轴间距离相同。
此外，左下侧运送机构2L的第2左下侧平行曲柄机构3b和右下侧运送机构2R的第2右下侧平行曲柄机构4b构成为各自相对应的臂的轴间距离相同。
本实施方式的右下侧末端执行器30R构成为基板载置部36R相对于旋转轴O的距离与左下侧末端执行器30L上的基板载置部36L相对于旋转轴O的距离相等，基板运送方向V上的支撑部35R的长度比左下侧末端执行器30L的支撑部35L的长度长。
进而，在本实施方式中，左下侧运送机构2L以及右下侧运送机构2R的各部件的形状以及配置结构确定成左下侧末端执行器30L的高度位置与右下侧末端执行器30R的高度位置相等。
如图2（a）、图2（b）所示，上侧运送装置1B具有设在从旋转轴O沿基板运送方向V延伸的直线Y的两侧中的两侧、即在此设在左侧的左上侧运送机构7L，和设在右侧的右上侧运送机构7R。
左上侧运送机构7L具有由左上侧驱动臂51、上述的第2回转驱动部件32、第1左上侧从动臂52、第2左上侧从动臂53构成的第1左上侧平行曲柄机构5a。
在此，左上侧驱动臂51的一方的端部（基端部）与第4伸缩驱动轴14相连，以旋转轴O为中心向水平方向旋转。
而且，左上侧驱动臂51的动作范围被控制成相对于通过旋转轴O与基板运送方向V平行地延伸的直线Y位于左侧方一侧。
在左上侧驱动臂51的另一方的端部（顶端部），第1左上侧从动臂52的一方的端部（基端部）以支轴K为中心向水平方向旋转自如地安装在左上侧驱动臂51的下部。
此外，在第2回转驱动部件32的另一方的端部（顶端部），第2左上侧从动臂53的一方的端部（基端部）以支轴F为中心向水平方向旋转自如地安装在第2回转驱动部件32的上方。
在此，支轴F如上所述，经由沿竖直方向延伸的连结部件32a设置，第2左上侧从动臂53以与左上侧驱动臂51相同的高度安装在支轴F上。
而且，第2左上侧从动臂53的另一方的端部（顶端部）以支轴L为中心向水平方向旋转自如地安装在第1左上侧从动臂52的上部。
在本实施方式的情况下，支轴KL之间的轴间距离设定成与旋转轴O和支轴F之间的轴间距离相同。此外，支轴FL之间的轴间距离设定成与旋转轴O和支轴K之间的轴间距离相同。
另外，支轴KL之间的轴间距离与旋转轴O和支轴F之间的轴间距离比支轴FL之间的轴间距离与旋转轴O和支轴K之间的轴间距离短。
在第1左上侧平行曲柄机构5a的顶端部、即动作侧端部连结有第2左上侧平行曲柄机构5b。
该第2左上侧平行曲柄机构5b由第1左上侧平行曲柄机构5a的第1左上侧从动臂52、第3左上侧从动臂55、第4左上侧从动臂56、左上侧末端执行器70L的支撑部75L构成。
在此，在第1左上侧从动臂52的左上侧驱动臂51一侧的端部，第4左上侧从动臂56的一方的端部（基端部）以上述的支轴K为中心向水平方向旋转自如地安装在第1左上侧从动臂52的下部。
此外，在第1左上侧从动臂52的第2左上侧从动臂53一侧的端部，第3左上侧从动臂55的一方的端部（基端部）以上述的支轴L为中心向水平方向旋转自如的安装在第1左上侧从动臂52的下部。
进而，第3以及第4左上侧从动臂55、56的另一方的端部（顶端部）以设在离开与支轴LK之间的轴间距离相同的轴间距离的位置的支轴M、支轴P为中心向水平方向旋转自如地安装在具有基板载置部76L的左上侧末端执行器70L的支撑部75L的下部。这些第3以及第4左上侧从动臂55、56构成为各自的支轴M、支轴P相对于支轴L、支轴K位于通过旋转轴O与基板运送方向V平行地延伸的直线Y一侧。
在本实施方式中，在第1左上侧从动臂52上设有由齿轮箱构成的动力传递机构54，该动力传递机构54构成为左上侧驱动臂51和第3左上侧从动臂55的旋转方向为相反方向并且为相同的角度。即、左上侧驱动臂51的动力经由第1左上侧从动臂52的动力传递机构54传递，第3左上侧从动臂55与左上侧驱动臂51以相同的角度向相反方向旋转。
在本实施方式的情况下，支轴KL之间的轴间距离设定成与支轴PM之间的轴间距离相同。此外，支轴KP之间的轴间距离设定成与支轴LM之间的轴间距离相同。
另外，支轴PM之间的轴间距离与支轴KL之间的轴间距离比支轴LM之间的轴间距离与支轴KP之间的轴间距离短。
另一方面，在本实施方式中，支轴LM与支轴KP之间各自的轴间距离设定成比旋转轴O和支轴K之间的轴间距离、以及支轴FL之间的轴间距离短。
进而，本实施方式的左上侧末端执行器70L配置成其上表面的高度位置比第1左上侧平行曲柄机构5a的左上侧驱动臂51以及第2左上侧从动臂53的下部的高度位置靠下方。
而且，根据这种结构，在使左上侧运送机构7L沿着基板运送方向V或者相反方向动作的情况下，左上侧末端执行器70L通过左上侧驱动臂51以及第2左上侧从动臂53的下方，并且不与第1～第4伸缩驱动轴11～14以及支轴B、F相接触。
另一方面，本实施方式的右上侧运送机构7R具有由右上侧驱动臂61、第1回转驱动部件31、第1右上侧从动臂62、第2右上侧从动臂63构成的第1右上侧平行曲柄机构6a。
在此，右上侧驱动臂61的一方的端部（基端部）与第3伸缩驱动轴13相连，以旋转轴O为中心向水平方向旋转。
而且，右上侧驱动臂61的动作范围被控制成相对于通过旋转轴O与基板运送方向V平行地延伸的直线Y位于右侧方一侧。
在右上侧驱动臂61的另一方的端部（顶端部），第1右上侧从动臂62的一方的端部（基端部）以支轴Q为中心向水平方向旋转自如地安装在右上侧驱动臂61的下部。
此外，在第1回转驱动部件31的另一方的端部（顶端部），第2右上侧从动臂63的一方的端部（基端部）以支轴B为中心向水平方向旋转自如地安装在第1回转驱动部件31的上方。
在此，支轴B如上所述，经由沿竖直方向延伸的连结部件31a设置，第2右上侧从动臂63以与右上侧驱动臂61相同的高度安装在支轴B上。
进而，第2右上侧从动臂63的另一方的端部（顶端部）以支轴R为中心向水平方向旋转自如地安装在第1右上侧从动臂62的上部。
在本实施方式的情况下，支轴RQ之间的轴间距离设定成与旋转轴O和支轴B之间的轴间距离相同。此外，支轴BR之间的轴间距离设定成与旋转轴O和支轴Q之间的轴间距离相同。
另外，支轴QR之间的轴间距离与旋转轴O和支轴B之间的轴间距离比支轴BR之间的轴间距离与旋转轴O和支轴Q之间的轴间距离短。
在第1右上侧平行曲柄机构6a的顶端部、即动作侧端部连结有第2右上侧平行曲柄机构6b。
该第2右上侧平行曲柄机构6b由第1右上侧平行曲柄机构6a的第1右上侧从动臂62、第3右上侧从动臂64、第4右上侧从动臂65、右上侧末端执行器70R的支撑部75R构成。
在此，在第1右上侧从动臂62的右上侧驱动臂61一侧的端部，第4右上侧从动臂65的一方的端部（基端部）以上述的支轴Q为中心向水平方向旋转自如地安装在第1右上侧从动臂62的下部。
此外，在第1右上侧从动臂62的第2右上侧从动臂63一侧的端部，第3右上侧从动臂64的一方的端部（基端部）以上述的支轴R为中心向水平方向旋转自如地安装在第1右上侧从动臂62的下部。
进而，第3以及第4右上侧从动臂64、65的另一方的端部（顶端部）以设在离开与支轴QR之间的轴间距离相同的轴间距离的位置的支轴T、支轴S为中心向水平方向旋转自如地安装在右上侧末端执行器70R的支撑部75R的下部。
这些第3以及第4右上侧从动臂64、65构成为各自的支轴S、支轴T相对于支轴R、支轴Q位于通过旋转轴O与基板运送方向V平行地延伸的直线Y一侧。
在本实施方式中，在第1右上侧从动臂62上设有由齿轮箱构成的动力传递机构66，该动力传递机构66构成为右上侧驱动臂61和第3右上侧从动臂64的旋转方向为相反方向并且为相同的角度。即。右上侧驱动臂61的动力经由第1右上侧从动臂62的动力传递机构66传递，第3右上侧从动臂64与右上侧驱动臂61以相同的角度向相反方向旋转。
在本实施方式的情况下，支轴RQ之间的轴间距离与支轴ST之间的轴间距离相等。此外，支轴QT之间的轴间距离与支轴RS之间的轴间距离相等。
另外，在本实施方式中，支轴ST之间的轴间距离与支轴RQ之间的轴间距离比支轴QT之间的轴间距离与支轴RS之间的轴间距离短。
另一方面，在本实施方式中，支轴QT以及支轴RS之间各自的轴间距离比旋转轴O和支轴Q之间的轴间距离、以及支轴BR之间的轴间距离短。
进而，本实施方式的右上侧末端执行器70R配置成其上表面的高度位置比第1右上侧平行曲柄机构6a的右上侧驱动臂61以及第2右上侧从动臂63的下部的高度位置靠下方。
而且，根据这种结构，在使右上侧运送机构7R沿着基板运送方向V或者相反方向动作的情况下，右上侧末端执行器70R通过右上侧驱动臂61以及第2右上侧从动臂63的下方，并且不与第1～第4伸缩驱动轴11～14以及支轴B、F相接触。
另外，在本实施方式的情况下，左上侧运送机构7L的第1左上侧平行曲柄机构5a和右上侧运送机构7R的第1右上侧平行曲柄机构6a构成为各自相对应的臂的轴间距离相同。
此外，左上侧运送机构7L的第2左上侧平行曲柄机构5b和右上侧运送机构7R的第2右上侧平行曲柄机构6b构成为各自相对应的臂的轴间距离相同。
本实施方式的右上侧末端执行器70R构成为基板载置部76R相对于旋转轴O的距离与左上侧末端执行器70L上的基板载置部76L相对于旋转轴O的距离相等，基板运送方向V上的支撑部75R的长度比左上侧末端执行器70L的支撑部75L的长度短。
以下，对本实施方式的动作进行说明。
首先，对使下侧运送装置1A伸长的情况进行说明。
这种情况下，使第1伸缩驱动轴11从图1（b）以及图3（b）所示的原位向顺时针方向旋转规定角，并且使第2伸缩驱动轴12向逆时针方向旋转规定角度（例如相同大小的角度）。
这样一来，通过与第1伸缩驱动轴11相连的下侧运送装置1A的左下侧驱动臂21的旋转动力，第1左下侧平行曲柄机构3a和第2左下侧平行曲柄机构3b向基板运送方向V被施力而向相同方向移动，并且通过与第2伸缩驱动轴12相连的下侧运送装置1A的右下侧驱动臂41的旋转动力，第1右下侧平行曲柄机构4a和第2右下侧平行曲柄机构4b向基板运送方向V被施力而向相同方向移动。
而且，通过以上的动作，如图1（a）以及图4所示，下侧运送装置1A的左下侧末端执行器30L和右下侧末端执行器30R均相对于旋转轴O配置在基板运送方向V的下游一侧。
另一方面，相对于上侧运送装置1B，由于不使第3以及第4伸缩驱动轴13、14动作，所以不被赋予旋转动力而保持静止。
这样一来，如图4所示，能够为使下侧运送装置1A的左下侧运送机构2L以及右下侧运送机构2R伸长的状态。
另一方面，在将下侧运送装置1A的左下侧运送机构2L和右下侧运送机构2R向原位返回的情况下，能够通过与上述的动作相反的动作、即使第1伸缩驱动轴11向逆时针方向旋转，并且使第2伸缩驱动轴12向顺时针方向旋转而进行。
另一方面，在使上侧运送装置1B伸长的情况下，使第4伸缩驱动轴14从图2（b）以及图3（b）所示的原位向顺时针方向旋转规定角度，并且使第3伸缩驱动轴13向逆时针方向旋转规定角度（例如相同大小的角度）。
这样一来，通过与第4伸缩驱动轴14相连的上侧运送装置1B的左上侧驱动臂51的旋转动力，第1左上侧平行曲柄机构5a和第2左上侧平行曲柄机构5b沿基板运送方向V被施力而向相同方向移动，并且通过与第3伸缩驱动轴13相连的上侧运送装置1B的右上侧驱动臂61的旋转动力，第1右上侧平行曲柄机构6a和第2右上侧平行曲柄机构6b向基板运送方向V被施力而向相同方向移动。
而且，通过以上的动作，如图2（a）以及图5所示，上侧运送装置1B的左上侧末端执行器70L和右上侧末端执行器70R均相对于旋转轴O配置在基板运送方向V的下游一侧。
另一方面，相对于下侧运送装置1A，由于不使第1以及第2伸缩驱动轴11、12动作，所以不被赋予旋转动力而保持静止。
这样一来，如图5所示，能够为使上侧运送装置1B的左上侧运送机构7L以及右上侧运送机构7R伸长的状态。
另一方面，在将下侧运送装置1A的左下侧运送机构2L和右下侧运送机构2R向原位返回的情况下，能够通过与上述的动作相反的动作、即使第1伸缩驱动轴11向逆时针方向旋转，并且使第2伸缩驱动轴12向顺时针方向旋转而进行。
图6（a）、图6（b）～图9（a）、图9（b）是表示本实施方式中的上侧运送装置以及下侧运送装置的微小回转动作的说明图。
另外，在以下的说明中，为了使动作的理解容易而以在伸直了下侧运送装置1A或者上侧运送装置1B的状态下进行微小回转动作的情况为例进行说明，但本发明并不仅限于此，也能够在上述的下侧运送装置1A或者上侧运送装置1B的伸长动作之际进行微小回转动作。
图6（a）是表示下侧运送装置1A的离开动作的说明图，图6（b）是表示伴随于此的上侧运送装置1B的动作的说明图。
在这种情况下，在将下侧运送装置1A伸直了的状态下（参照图4），通过来自第1回转驱动轴15的旋转动力，使第1回转驱动部件31以旋转轴O为中心向逆时针方向旋转规定的微小角度（例如5度左右），并且通过来自第2回转驱动轴16的旋转动力，使第2回转驱动部件32以旋转轴O为中心向顺时针方向旋转规定的微小角度（例如5度左右）。
这样一来，通过来自第1回转驱动部件31的旋转动力，第1左下侧平行曲柄机构3a以旋转轴O为中心向逆时针方向旋转移动，并且第2左下侧平行曲柄机构3b以支轴A为中心向逆时针方向旋转移动。
其结果，如图6（a）所示，左下侧运送机构2L向左下侧末端执行器30L相对于从旋转轴O沿基板运送方向V延伸的直线Y离开的方向回转微小角度。
另一方面，通过来自第2回转驱动部件32的旋转动力，第1右下侧平行曲柄机构4a以旋转轴O为中心向顺时针方向旋转移动，并且第2右下侧平行曲柄机构4b以支轴H为中心向顺时针方向旋转移动。
其结果，如图6（a）所示，右下侧运送机构2R向右下侧末端执行器30R相对于从旋转轴O沿基板运送方向V延伸的直线Y离开的方向回转。
通过以上的动作，进行使下侧运送装置1A的左下侧末端执行器30L和右下侧末端执行器30R离开（张开）的动作。
另一方面，在本实施方式中，如图3（a）、图3（b）所示，由于下侧运送装置1A的第2左下侧从动臂23经由沿竖直方向延伸的连结部件31a与上侧运送装置1B的第2右上侧从动臂63相连，这些第2左下侧从动臂23和第2右上侧从动臂63安装成能够以支轴B为中心向水平方向旋转，所以随着第1回转驱动部件31的旋转，上侧运送装置1B的第1右上侧平行曲柄机构6a以旋转轴O为中心向逆时针方向旋转移动，并且第2右上侧平行曲柄机构6b以支轴Q为中心向逆时针方向旋转移动。
其结果，如图6（b）所示，右上侧运送机构7R向上侧运送装置1B的右上侧末端执行器70R相对于从旋转轴O沿基板运送方向V延伸的直线Y接近的方向回转。
进而，如图3（b）、图3（c）所示，由于下侧运送装置1A的第2右下侧从动臂43经由沿竖直方向延伸的连结部件32a与上侧运送装置1B的第2左上侧从动臂53相连，这些第2右下侧从动臂43和第2左上侧从动臂53安装成能够以支轴F为中心向水平方向旋转，所以随着第2回转驱动部件32的旋转，上侧运送装置1B的第1左上侧平行曲柄机构5a以旋转轴O为中心向顺时针方向旋转移动，并且第2左上侧平行曲柄机构5b以支轴K为中心向顺时针方向旋转移动。
其结果，如图6（b）所示，左上侧运送机构7L向上侧运送装置1B的左上侧末端执行器70L相对于从旋转轴O沿基板运送方向V延伸的直线Y接近的方向回转。
在上述的动作中，随着下侧运送装置1A的左下侧运送机构2L以及右下侧运送机构2R的动作，上侧运送装置1B的左上侧运送机构7L以及右上侧运送机构7R也同时接近地动作，但由于上侧运送装置1B处于缩回的状态地位于原位，所以不会特别发生问题。
图7（a）是表示下侧运送装置1A的接近动作的说明图，图7（b）是表示伴随于此的上侧运送装置1B的动作的说明图。
在这种情况下，在将下侧运送装置1A伸直了的状态下，通过来自第1回转驱动轴15的旋转动力，使第1回转驱动部件31以旋转轴O为中心向顺时针方向旋转微小角度（例如5度左右），并且通过来自第2回转驱动轴16的旋转动力，使第2回转驱动部件32以旋转轴O为中心向逆时针方向旋转微小角度（例如5度左右）。
这样一来，与上述的下侧运送装置1A的离开动作相反方向的动力被传递（省略详细说明），左下侧运送机构2L以及右下侧运送机构2R向下侧运送装置1A的左下侧末端执行器30L以及右下侧末端执行器30R相对于从旋转轴O沿基板运送方向V延伸的直线Y接近的方向回转。
其结果，能够进行使下侧运送装置1A的左下侧末端执行器30L和右下侧末端执行器30R接近（闭合）的动作。
另外，针对伴随着该动作的上侧运送装置1B的左上侧运送机构7L以及右上侧运送机构7R的离开动作，如上所述，由于上侧运送装置1B处于缩回的状态地位于原位，所以不会特别发生问题（参照图7（b））。
图8（a）表示上侧运送装置1B的离开动作。
在这种情况下，在将上侧运送装置1B伸直了的状态下（参照图5），通过来自第1回转驱动轴15的旋转动力，使第1回转驱动部件31以旋转轴O为中心向顺时针方向旋转规定的微小角度（例如5度左右），并且通过来自第2回转驱动轴16的旋转动力，使第2回转驱动部件32以旋转轴O为中心向逆时针方向旋转规定的微小角度（例如5度左右）。
这样一来，通过来自第1回转驱动部件31的旋转动力，第1右上侧平行曲柄机构6a以旋转轴O为中心向顺时针方向旋转移动，并且第2右上侧平行曲柄机构6b以支轴Q为中心向顺时针方向旋转移动。
其结果，如图8（a）所示，右上侧运送机构7R向右上侧末端执行器70R相对于从旋转轴O沿基板运送方向V延伸的直线Y离开的方向回转。
另一方面，通过来自第2回转驱动部件32的旋转动力，第1左上侧平行曲柄机构5a以旋转轴O为中心向逆时针方向旋转移动，并且第2左上侧平行曲柄机构5b以支轴K为中心向逆时针方向旋转移动。
其结果，如图8（a）所示，左上侧运送机构7L向左上侧末端执行器70L相对于从旋转轴O沿基板运送方向V延伸的直线Y离开的方向回转。
通过以上的动作，能够进行使上侧运送装置1B的左上侧末端执行器70L和右上侧末端执行器70R离开的动作。
另一方面，在本实施方式中，如图3（a）、图3（b）所示，由于上侧运送装置1B的第2右上侧从动臂63经由沿竖直方向延伸的连结部件31a与下侧运送装置1A的第2左下侧从动臂23相连，这些第2右上侧从动臂63和第2左下侧从动臂23安装成能够以支轴B为中心向水平方向旋转，所以随着第1回转驱动部件31的旋转，下侧运送装置1A的第1左下侧平行曲柄机构3a以旋转轴O为中心向顺时针方向旋转移动，并且第2左下侧平行曲柄机构3b以支轴A为中心向顺时针方向旋转移动。
其结果，如图8（b）所示，左下侧运送机构2L向下侧运送装置1A的左下侧末端执行器30L相对于从旋转轴O沿基板运送方向V延伸的直线Y接近的方向回转。
进而，如图3（b）、图3（c）所示，由于上侧运送装置1B的第2左上侧从动臂53经由沿竖直方向延伸的连结部件32a与下侧运送装置1A的第2右下侧从动臂43相连，这些第2左上侧从动臂53和第2右下侧从动臂43安装成能够以支轴F为中心向水平方向旋转，所以随着第2回转驱动部件32的旋转，下侧运送装置1A的第1右下侧平行曲柄机构4a以旋转轴O为中心向逆时针方向旋转移动，并且第2右下侧平行曲柄机构4b以支轴H为中心向逆时针方向旋转移动。
其结果，如图8（b）所示，右下侧运送机构2R向下侧运送装置1A的右下侧末端执行器30R相对于从旋转轴O沿基板运送方向V延伸的直线Y接近的方向回转。
另外，针对伴随该动作的下侧运送装置1A的左下侧运送机构2L以及右下侧运送机构2R的接近动作，如上所述，由于下侧运送装置1A处于缩回的状态地位于原位，所以不会特别发生问题。
图9（a）表示上侧运送装置的接近动作。
在这种情况下，在将上侧运送装置1B伸直了的状态下，通过来自第1回转驱动轴15的旋转动力，第1回转驱动部件31以旋转轴O为中心向逆时针方向旋转规定的微小角度（例如5度左右），并且通过来自第2回转驱动轴16的旋转动力，第2回转驱动部件32以旋转轴O为中心向顺时针方向旋转规定的微小角度（例如5度左右）。
这样一来，与上述的上侧运送装置1B的离开动作的情况相反方向的动力被传递（省略详细说明），右上侧运送机构7R以及左上侧运送机构7L向上侧运送装置1B的右上侧末端执行器70R以及左上侧末端执行器70L相对于从旋转轴O沿基板运送方向V延伸的直线Y接近的方向回转。
其结果，能够进行使上侧运送装置1B的右上侧末端执行器70R和左上侧末端执行器70L接近的动作。
另外，针对伴随该动作的下侧运送装置1A的左下侧运送机构2L以及右下侧运送机构2R的离开动作，如上所述，由于下侧运送装置1A处于缩回的状态地位于原位，所以不会特别发生问题（参照图9（b））。
在以上所述的本实施方式中，由于将用于分别使下侧运送机构1A的左下侧运送机构2L以及右下侧运送机构2R回转的第1以及第2回转驱动轴15、16配置成与第1以及第2伸缩驱动轴11、12为同心状，通过这些第1以及第2回转驱动轴15、16，分别驱动第1以及第2回转驱动部件31、32，使左下侧运送机构2L以及右下侧运送机构2R分别以旋转轴O为中心回转，所以能够使隔着旋转轴O以相同高度配置在基板运送方向V的两侧的左下侧运送机构2L以及右下侧运送机构2R的左下侧末端执行器30L和右下侧末端执行器30R离开或接近，从而调整其间的间隔。
其结果，根据本实施方式，在两个基板排列地配置的情况下，由于能够将下侧运送装置1A的左下侧末端执行器30L和右下侧末端执行器30R相对于这些基板正确地定位，所以能够容易地进行定位作业，此外，能够提高基板运送之际的通过量。
此外，在本实施方式中，通过下侧运送装置1A和设在下侧运送装置1A的上方的上侧运送装置1B构成了以下这种运送装置1。
即、在本实施方式中，设置以旋转轴O为中心同心状地配置、能够在水平面内分别独立地旋转的第3以及第4伸缩驱动轴13、14，并且上侧运送装置1B具有在下侧运送装置1A的左下侧运送机构2L以及右下侧运送机构2R的上方隔着旋转轴O配置在基板运送方向V的两侧的右上侧运送机构7R以及左上侧运送机构7L，这些右上侧运送机构7R以及左上侧运送机构7L能够借助第3以及第4伸缩驱动轴13、14伸缩移动。
而且，通过分别与第1以及第2回转驱动部件31、32相连的联杆机构，使上侧运送装置1B的右上侧运送机构7R以及左上侧运送机构7L分别以旋转轴O为中心回转。
根据具有这种结构的本实施方式，能够通过第3以及第4伸缩驱动轴13、14使上侧运送装置1B的右上侧运送机构7R以及左上侧运送机构7L伸缩，并且使左上侧末端执行器70L和右上侧末端执行器70R离开或接近，从而调整其间的间隔，其结果，由于能够通过下侧运送装置1A和上侧运送装置1B进行基板的运送，所以能够进一步提高基板运送之际的通过量。
另外，本发明的运送装置并不仅限于上述的实施方式，也能够进行各种变更。
例如，在上述实施方式中，在下侧运送装置1A和上侧运送装置1B中，进行相对于左下侧运送机构2L（左上侧运送机构7L）和右下侧运送机构2R（右上侧运送机构7R）离开以及接近动作，但由于下侧运送装置1A的左下侧运送机构2L和右下侧运送机构2R、以及上侧运送装置1B的左上侧运送机构7L和右上侧运送机构7R能够分别独立地伸缩以及回转，所以也能够与一对基板的配置相对应地进行各种动作。
图10～图12是表示本发明所涉及的真空装置的实施方式的俯视图。
如图10所示，本实施方式的真空装置10具有与未图示的真空排气系统相连的作为真空槽的矩形状的运送室80。
而且，在该运送室80周围的三边分别设有分别与未图示的真空排气系统相连的作为真空槽的一对处理室81和82、83和84、以及87和88，在剩余的一边设有一对准备室85和取出室86。
在这些处理室81和82、83和84、87和88、以及准备室85和取出室86内分别设有作为运送物配置部的基板配置部20L、20R。
在运送室80的内部设有上述的运送装置1。
在此，运送装置1能够旋转地设在运送室80内，下侧运送装置1A以及上侧运送装置1B能够在运送室80内伸缩地构成。
即、如图10～图12所示，例如在上侧运送装置1B的左上侧末端执行器70L和右上侧末端执行器70R的基板载置部76L、76R上分别载置处理前的基板20，通过使上侧运送装置1B伸长，在将这一对基板20配置在了一对处理室81、82内的基板配置部20L、20R上（参照图11）后，通过使上侧运送装置1B缩回，进行将上侧运送装置1B的左上侧末端执行器70L和右上侧末端执行器70R向原来的位置返回的动作（针对下侧运送装置1A也进行相同的动作。此外，在针对其它的一对处理室83和84、87和88、以及一对准备室85和取出室86进行运送的情况下也同样）。
在具有这种结构的本实施方式的真空装置10中，由于在运送装置1的伸长动作之际，通过使上侧运送装置1B的左上侧末端执行器70L和右上侧末端执行器70R离开、接近地调整间隔，此外，通过使下侧运送装置1A的左下侧末端执行器30L和右下侧末端执行器30R离开、接近地调整间隔，能够将上侧运送装置1B的左上侧末端执行器70L和右上侧末端执行器70R以及下侧运送机构1A的左下侧末端执行器30L和右下侧末端执行器30R相对于一对处理室内的基板配置部（例如处理室81、82的基板配置部20L、20R）正确地定位，所以能够容易地进行基板20的定位作业，并且提高基板20向各室运入以及运出之际的通过量。
图13～图15表示本发明所涉及的真空装置的其它实施方式的结构，图13是俯视图，图14是表示要部的配置结构的说明图，图15是表示回路系统的结构的框图。以下，对于与上述实施方式相对应的部分赋予相同的附图标记，省略其详细的说明。
如图13所示，在本实施方式的真空装置10A中，在上述的处理室81和82、83和84、87和88、以及准备室85和取出室86内设有多个（在本实施方式中为3个）位置传感器91～93（运送物检测传感器）。
这些位置传感器91～93例如由光学式的检测元件构成，在各室内配置在运送室80与基板配置部20L或者基板配置部20R之间。
在此，位置传感器91～93在相对于图14所示的基板运送方向V相交叉的方向上隔开规定的间隔地配置。
如图14所示，位置传感器91～93中两侧的位置传感器91、93隔开比基板20的宽度小的间隔、并且比上侧运送装置1B的左上侧末端执行器70L的基板载置部76L以及右上侧末端执行器70R的基板载置部76R的宽度大的间隔设置。
而且，根据这种结构，在将左上侧末端执行器70L以及右上侧末端执行器70R沿基板运送方向V运送的情况下，由位置传感器91、93检测基板20的两侧部的端缘部（关于下侧运送装置1A的左下侧末端执行器30L和右下侧末端执行器30R也具有相同的结构）。
另一方面，在上侧运送装置1B的左上侧末端执行器70L和右上侧末端执行器70R上分别设有用于由位置传感器92检测基板20的位置以及左上侧末端执行器70L和右上侧末端执行器70R的位置的检测用孔部70a（在下侧运送装置1A的左下侧末端执行器30L和右下侧末端执行器30R上也设有未图示的相同的检测用孔部）。
该检测用孔部70a例如形成为沿基板运送方向V延伸的形状，并跨在左上侧末端执行器70L和右上侧末端执行器70R的基板载置部76L、76R的缘部地设置（下侧运送装置1A的左下侧末端执行器30L和右下侧末端执行器30R的检测用孔部也具有相同的结构）。
另一方面，位置传感器91～93中配置在中央的位置传感器92设在与基板运送方向V平行、并且分别穿过左上侧末端执行器70L和右上侧末端执行器70R的检测用孔部70a的直线上，这样一来，在将左上侧末端执行器70L和右上侧末端执行器70R沿基板运送方向V运送的情况下，由位置传感器92分别检测基板20的中央部分的端缘部和左上侧末端执行器70L和右上侧末端执行器70R的检测用孔部70a的基板运送方向上游一侧的端部（关于下侧运送装置1A的左下侧末端执行器30L和右下侧末端执行器30R也具有相同的结构）。
如图15所示，本实施方式的位置传感器91～93与具有计算机的控制部94相连，将由位置传感器91～93检测到的结果分别向控制部94送出。
在该控制部94中存储有在将预定的特定基板20向上述各室的基板配置部20L、20R运送之际该基板20所通过的轨迹的数据。
进而，在控制部94上分别连接有用于驱动上述的第1以及第2回转驱动轴15、16的驱动源95、96，基于从位置传感器91～93送出的信息，根据来自控制部94的命令控制这些驱动源95、96的动作。
图16（a）～图16（e）是表示本实施方式中的基板的位置检测动作的说明图。
以下，在图16（a）～图16（e）中，以将基板20载置在上侧运送装置1B的左上侧末端执行器70L的基板载置部76L上进行运送的情况为例进行说明。
若将基板20载置在上侧运送装置1B的左上侧末端执行器70L的基板载置部76L上，使左上侧运送机构7L动作，将左上侧末端执行器70L沿基板运送方向V运送，则如图16（a）所示，首先，基板20的中央部分的基板运送方向下游一侧的端缘部由中央的位置传感器92检测。因此，将由位置传感器92得到的结果向控制部94送出，在控制部94中变换成位置坐标并存储在控制部94中（检测位置坐标1）。
接着，若继续左上侧末端执行器70L的运送，则如图16（b）所示，在基板20的两侧部的基板运送方向下游一侧的端缘部分别由两侧的位置传感器91、93检测后，各自的检测结果向控制部94送出，在控制部94中分别变换成位置坐标并存储在控制部94中（检测位置坐标2、3）。
进而，若继续左上侧末端执行器70L的运送，则如图16（c）所示，在基板20的两侧部的基板运送方向上游一侧的端缘部分别由两侧的位置传感器91、93检测后，各自的检测结果向控制部94送出，在控制部94中分别变换成位置坐标并存储在控制部94中（检测位置坐标4、5）。
进而，若继续左上侧末端执行器70L的运送，则如图16（d）所示，在基板20的中央部分的基板运送方向上游一侧的端缘部经由检测用孔部70a而由中央的位置传感器92检测后，将其检测结果向控制部94送出，在控制部94中变换成位置坐标并存储在控制部94中（检测位置坐标6）。
接着，若继续左上侧末端执行器70L的运送，则如图16（e）所示，在左上侧末端执行器70L的检测用孔部70a的基板运送方向上游一侧的端部由中央的位置传感器92检测后，将其检测结果向控制部94送出，在控制部94中变换成位置坐标并存储在控制部94中（检测位置坐标7）。
该检测位置坐标7用于特定出检测位置坐标1～6的原点坐标。
通过以上的动作，基于存储在控制部94中的检测位置坐标1～7，计算出基板20例如通过位置传感器91～93的时刻的位置坐标，通过将该基板20的位置坐标的数据和预先存储在控制部94中的位置坐标的数据进行比较，针对该运送中的基板20计算出相对于向基板配置部20L运送之际原本应通过的轨迹的差分（位置坐标的偏差量）的数据。
而且，基于该计算出的位置坐标的偏差量的数据使驱动源95动作，如上述的图8、图9所示，驱动第1回转驱动轴15，使第1回转驱动部件31以旋转轴O为中心向顺时针方向或者逆时针方向旋转规定的微小角度，使载置在上侧运送装置1B的左上侧末端执行器70L的基板载置部76L上的基板20位于基板运送之际原本应通过的轨迹上。
之后，通过按照预定的次序使上侧运送装置1B的左上侧运送机构7L动作，运送该基板20并配置在处理室81内的基板配置部20L上。
另一方面，针对上侧运送装置1B的右上侧末端执行器70R，也进行与左上侧末端执行器70L的情况实质上相同的动作。
即、针对右上侧末端执行器70R，与左上侧末端执行器70L的情况同样地将基板20载置在基板载置部76R上进行运送，分别由位置传感器91～93检测基板20的各端缘部以及检测用孔部70a的基板运送方向上游一侧的端部，将其结果向控制部94送出，基于在控制部94中变换的各位置坐标的数据计算出该基板20的位置坐标的数据，通过与预先存储的位置坐标进行比较处理，针对该运送中的基板20计算出相对于向基板配置部20R运送之际原本应通过的轨迹的位置坐标的偏差量的数据。
而且，基于该计算出的位置坐标的偏差量的数据使驱动源96动作，如上述的图8、图9所示，驱动第2回转驱动轴16，使第2回转驱动部件32以旋转轴O为中心向顺时针方向或者逆时针方向旋转规定的微小角度，使载置在上侧运送装置1B的右上侧末端执行器70R的基板载置部76R上的基板20位于基板运送之际原本应通过的轨迹上。
之后，按照预定的次序使上侧运送装置1B的右上侧运送机构7R动作，运送该基板20并配置在处理室82内的基板配置部20R上。
以上，以将基板20载置在上侧运送装置1B的左上侧末端执行器70L和右上侧末端执行器70R的基板载置部76L、76R上进行运送的情况为例进行了说明，但在将基板20载置在下侧运送装置1A的左上侧末端执行器30L和右上侧末端执行器30R的基板载置部36L、36R上进行运送的情况下，也能够通过进行实质上相同的动作，将一对基板20配置在一对处理室81、82内的各基板配置部20L、20R上。
在以上所述的本实施方式的真空装置10A中，在运送基板20并配置在一对、例如处理室81、82内的基板配置部20L、20R上之际，通过对基于由位置传感器91～93检测到的结果计算出的基板20的位置坐标和预先存储在控制部94中的位置坐标进行比较，计算出相对于该基板20原本应通过的轨迹的位置坐标的偏差量，基于该计算出的位置坐标的偏差量，例如使上侧运送装置1B的左上侧末端执行器70L和右上侧末端执行器70R的基板载置部76L、76R上的基板20分别位于基板运送之际原本应通过的轨迹上，从而能够将由上侧运送装置1B运送的一对基板20分别正确地配置在各处理室81、82内的基板配置部20L、20R上，这样一来，能够提高基板20向各室的运入以及运出之际的通过量。
此外，根据本实施方式，由于能够分别移动载置在上侧运送装置1B的左上侧末端执行器70L和右上侧末端执行器70R的基板载置部76L、76R上的一对基板20，使其位于原本应通过的轨迹上，所以与不能够相对于一对基板同时修正位置偏离的现有技术相比，能够迅速地将一对基板20配置在正确的位置。
另一方面，如根据上述的说明所理解的那样，在将基板20载置在具有与上侧运送装置1B实质上相同的结构的下侧运送装置1A的左上侧末端执行器30L和右上侧末端执行器30R的基板载置部36L、36R上进行运送以及配置的情况下，当然也具有上述的效果。
另外，本发明的真空装置并不仅限于上述的实施方式，也能够进行各种变更。
例如，针对检测运送物的位置的运送物检测传感器的数量、配置并不仅限于上述的3个位置传感器91～93，也能够使用多种数量不同的配置的传感器，此外，针对运送物的位置坐标的计算方法也能够适用各种方法。
此外，在上述实施方式中，在计算出各基板20的位置坐标后，使基板位于基板运送之际原本应通过的轨迹上，但本发明并不仅限于此，也可以在将各基板20运送到基板配置部20L、20R的附近后使各基板20移动而配置在基板配置部20L、20R上。

Claims (6)

1.一种运送装置，具备：第1以及第2伸缩驱动轴，以规定的旋转轴为中心同心状地配置，并设置成能够在水平面内分别独立地旋转，用于驱动第1以及第2运送机构伸缩；第1以及第2回转驱动轴，与前述第1以及第2伸缩驱动轴为同心状地配置，用于使前述第1以及第2运送机构回转；
前述第1运送机构被前述第1伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第1运送部沿着运送物运送方向运送，并且前述第2运送机构被前述第2伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第2运送部沿着运送物运送方向运送，
前述第1以及第2运送机构具有第1以及第2回转驱动部件，分别被前述第1以及第2回转驱动轴驱动，使该第1以及第2运送机构分别以前述旋转轴为中心向顺时针方向或逆时针方向回转，
前述第1运送机构和前述第2运送机构隔着前述旋转轴配置在前述运送物运送方向的两侧，
令前述第1以及第2回转驱动部件以前述旋转轴为中心分别回转，从而令前述第1以及第2运送机构离开并且接近，调整前述第1以及第2运送部的间隔。
2.如权利要求1所述的运送装置，其特征在于，
前述第1以及第2运送机构配置在相同的高度位置。
3.一种运送装置，具有第1运送装置和第2运送装置，
前述第1运送装置具备：第1以及第2伸缩驱动轴，以规定的旋转轴为中心同心状地配置，并设置成能够在水平面内分别独立地旋转，用于驱动第1以及第2运送机构伸缩；第1以及第2回转驱动轴，与前述第1以及第2伸缩驱动轴为同心状地配置，用于使前述第1以及第2运送机构回转，前述第1运送机构被前述第1伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第1运送部沿着运送物运送方向运送，并且前述第2运送机构被前述第2伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第2运送部沿着运送物运送方向运送，前述第1以及第2运送机构具有第1以及第2回转驱动部件，分别被前述第1以及第2回转驱动轴驱动，使该第1以及第2运送机构分别以前述旋转轴为中心向顺时针方向或逆时针方向回转，前述第1运送机构和前述第2运送机构隔着前述旋转轴配置在前述运送物运送方向的两侧，
令前述第1以及第2回转驱动部件以前述旋转轴为中心分别回转，从而令前述第1以及第2运送机构离开并且接近，调整前述第1以及第2运送部的间隔，
前述第2运送装置具有第3以及第4伸缩驱动轴，以前述旋转轴为中心同心状地配置，并设置成能够在水平面内分别独立地旋转，用于分别驱动与前述第1以及第2运送机构相对应的第3以及第4运送机构伸缩，前述第3以及第4运送机构以相对于前述第1以及第2运送机构不同的高度位置、隔着前述旋转轴配置在前述运送物运送方向的两侧，并且分别被前述第3以及第4伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第3以及第4运送部分别沿着运送物运送方向运送，前述第3以及第4运送机构具有分别与设在前述第1以及第2运送机构上的前述第1以及第2回转驱动部件相连的联杆机构，通过该联杆机构使前述第3以及第4运送机构分别以前述旋转轴为中心回转，令前述第1以及第2回转驱动部件以前述旋转轴为中心分别向顺时针方向或逆时针方向回转、利用前述联杆机构令前述第3以及第4运送机构以前述旋转轴为中心分别向顺时针方向或逆时针方向回转，从而令前述第3以及第4运送机构离开并且接近，调整前述第3以及第4运送部的间隔。
4.如权利要求3所述的运送装置，其特征在于，
前述第1以及第2运送机构和前述第3以及第4运送机构分别配置在相同的高度位置。
5.一种真空装置，具有真空槽和设在前述真空槽内的运送装置，
前述运送装置具备：第1以及第2伸缩驱动轴，以规定的旋转轴为中心同心状地配置，并设置成能够在水平面内分别独立地旋转，用于驱动第1以及第2运送机构伸缩；第1以及第2回转驱动轴，与前述第1以及第2伸缩驱动轴为同心状地配置，用于使前述第1以及第2运送机构回转，前述第1运送机构被前述第1伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第1运送部沿着运送物运送方向运送，并且前述第2运送机构被前述第2伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第2运送部沿着运送物运送方向运送，前述第1以及第2运送机构具有第1以及第2回转驱动部件，分别被前述第1以及第2回转驱动轴驱动，使该第1以及第2运送机构分别以前述旋转轴为中心向顺时针方向或逆时针方向回转，前述第1运送机构和前述第2运送机构隔着前述旋转轴配置在前述运送物运送方向的两侧，令前述第1以及第2回转驱动部件以前述旋转轴为中心分别回转，从而令前述第1以及第2运送机构离开并且接近，调整前述第1以及第2运送部的间隔。
6.如权利要求5所述的真空装置，其特征在于，
具有：分别控制前述第1以及第2回转驱动轴的动作的控制部和一对运送物检测传感器，所述一对运送物检测传感器由与前述控制部连接且设在前述真空槽内的多个传感器构成，分别检测借助前述第1以及第2运送机构的伸长而沿前述运送物运送方向朝向一对运送物配置部分别运送的一对运送物，
前述控制部如下地进行控制，基于比较由前述一对运送物检测传感器检测到的前述一对运送物的位置信息和预先存储于前述控制部的前述一对运送物的位置信息而算出的前述一对运送物的位置坐标的偏差量，驱动前述第1以及第2回转驱动轴而令前述第1以及第2回转驱动部件以前述旋转轴为中心分别旋转微小角度，从而令前述一对运送物位于本来应该通过的轨迹上而同时进行位置偏差的修正，之后将前述一对运送物分别配置在前述一对运送物配置部上。
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