KR20190123412A - 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR20190123412A
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Abstract

예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치는 챔버, 스테이지, 및 기판 이송 어셈블리를 포함할 수 있다. 상기 챔버는 기판을 대상으로 공정을 수행하기 위한 공간을 제공하도록 구비될 수 있다. 상기 스테이지는 상기 챔버로 투입되는 상기 기판이 위치하도록 구비될 수 있다. 상기 기판 이송 어셈블리는 상기 스테이지에 위치하는 상기 기판을 상기 스테이지를 따라 이송시키도록 구비될 수 있다. 그리고 기판 이송 어셈블리는 기판 지지부, 제1 자력부, 연결부, 이송 가이드, 제2 자력부, 및 구동부를 포함할 수 있다.

Description

기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치{Apparatus for transferring substrate and Apparatus for processing substrate having the same}
본 발명은 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 챔버로 투입되는 기판의 측면을 지지하여 이송이 이루어지는 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
액정 표시 소자, 유기 EL 소자 등과 같은 표시 장치의 제조에서는 기판의 이송이 빈번하게 이루어진다. 기판의 이송은 공정이 이루어지는 챔버 내부에서도 이루어진다.
챔버 내부에서의 기판을 이송시키기 위한 이송 장치는 기판의 측면을 지지하는 지지부 및 기판을 지지하는 지지부를 이송 방향을 따라 구동시키는 구동부로 이루어질 수 있다. 구동부는 주로 모터로 이루어질 수 있다.
그러나 고온 등과 같은 가혹 조건에서 공정이 이루어지는 챔버 내부에는 모터 등과 같은 구동부를 구비하는 것에 어려움이 있다.
본 발명의 일 목적은 챔버 외부에 구동부를 배치시킬 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 챔버 외부에 구동부를 배치시킬 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는데 있다.
상기 본 발명의 일 목적을 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치는 기판 지지부, 제1 자력부, 연결부, 이송 가이드, 제2 자력부, 및 구동부를 포함할 수 있다. 상기 기판 지지부는 챔버로 투입되는 기판의 측면을 지지하여 상기 기판을 이송하도록 상기 챔버 내에 구비될 수 있다. 상기 제1 자력부는 상기 기판의 이송 방향을 기준으로 수직 방향의 상기 챔버 내부 벽체 쪽을 향하도록 배치되고, 제1 자력을 갖도록 구비될 수 있다. 상기 연결부는 상기 기판 지지부와 상기 자력부가 서로 마주하게 연결되도록 구비될 수 있다. 상기 이송 가이드는 상기 기판 지지부의 이송시 상기 기판 지지부의 이송을 가이드할 수 있게 상기 연결부와는 연결되는 구조를 가지면서 상기 기판의 이송 방향을 따라 연속되게 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 상기 제2 자력부는 상기 제1 자력부와 마주하는 상기 챔버 외부 벽체 쪽을 향하도록 배치되고, 상기 제1 자력과는 인력이 작용하는 제2 자력을 갖도록 구비될 수 있다. 상기 구동부는 상기 챔버 외부에 상기 제2 자력부와 연결되도록 배치되고, 상기 제2 자력부를 상기 기판의 이송 방향과 동일 방향으로 구동시킬 수 있게 상기 제2 자력부에 구동력을 제공하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 기판 지지부는 상기 기판을 파지할 수 있는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 기판 지지부는 상기 기판을 진공 흡착할 수 있는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 자력부 및 상기 제2 자력부가 N극 및 S극이 반복되는 구조를 갖도록 구비될 때, 상기 제1 자력부의 N극 및 S극이 상기 제2 자력부의 S극 및 N극과 서로 마주하도록 배치되게 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 구동부는 상기 기판의 이송 방향과 동일 방향을 따라 상기 제2 자력부를 구동시킬 수 있는 리니어 모터로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 리니어 모터에 의해 상기 제2 자력부가 구동할 때, 상기 기판의 이송 방향과 동일 방향을 따라 상기 제2 자력부의 구동 방향을 가이드할 수 있게 상기 구동부와 상기 제2 자력부 사이에 구비되는 구동 가이드를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 구동부가 상기 제2 자력부에 구동력을 제공하는 모터, 및 상기 제2 자력부와 상기 모터를 연결하는 벨트로 이루어질 때, 상기 기판의 이송 방향과 동일 방향을 따라 상기 제2 자력부의 구동 방향을 가이드할 수 있게 상기 구동부와 상기 제2 자력부 사이에 구비되는 구동 가이드를 더 포함할 수 있다.
상기 본 발명의 일 목적을 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치는 챔버, 스테이지, 및 기판 이송 어셈블리를 포함할 수 있다. 상기 챔버는 기판을 대상으로 공정을 수행하기 위한 공간을 제공하도록 구비될 수 있다. 상기 스테이지는 상기 챔버로 투입되는 상기 기판이 위치하도록 구비될 수 있다. 상기 기판 이송 어셈블리는 상기 스테이지에 위치하는 상기 기판을 상기 스테이지를 따라 이송시키도록 구비될 수 있다. 그리고 기판 이송 어셈블리는 기판 지지부, 제1 자력부, 연결부, 이송 가이드, 제2 자력부, 및 구동부를 포함할 수 있다. 상기 기판 지지부는 챔버로 투입되는 기판의 측면을 지지하여 상기 기판을 이송하도록 상기 챔버 내에 구비될 수 있다. 상기 제1 자력부는 상기 기판의 이송 방향을 기준으로 수직 방향의 상기 챔버 내부 벽체 쪽을 향하도록 배치되고, 제1 자력을 갖도록 구비될 수 있다. 상기 연결부는 상기 기판 지지부와 상기 자력부가 서로 마주하게 연결되도록 구비될 수 있다. 상기 이송 가이드는 상기 기판 지지부의 이송시 상기 기판 지지부의 이송을 가이드할 수 있게 상기 연결부와는 연결되는 구조를 가지면서 상기 기판의 이송 방향을 따라 연속되게 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 상기 제2 자력부는 상기 제1 자력부와 마주하는 상기 챔버 외부 벽체 쪽을 향하도록 배치되고, 상기 제1 자력과는 인력이 작용하는 제2 자력을 갖도록 구비될 수 있다. 상기 구동부는 상기 챔버 외부에 상기 제2 자력부와 연결되도록 배치되고, 상기 제2 자력부를 상기 기판의 이송 방향과 동일 방향으로 구동시킬 수 있게 상기 제2 자력부에 구동력을 제공하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 스테이지는 상기 기판을 부상시킬 수 있는 부상 스테이지로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 자력부 및 상기 제2 자력부가 N극 및 S극이 반복되는 구조를 갖도록 구비될 때, 상기 제1 자력부의 N극 및 S극이 상기 제2 자력부의 S극 및 N극과 서로 마주하도록 배치되게 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 구동부는 상기 기판의 이송 방향과 동일 방향을 따라 상기 제2 자력부를 구동시킬 수 있는 리니어 모터로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 리니어 모터에 의해 상기 제2 자력부가 구동할 때, 상기 기판의 이송 방향과 동일 방향을 따라 상기 제2 자력부의 구동 방향을 가이드할 수 있게 상기 구동부와 상기 제2 자력부 사이에 구비되는 구동 가이드를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 구동부가 상기 제2 자력부에 구동력을 제공하는 모터, 및 상기 제2 자력부와 상기 모터를 연결하는 벨트로 이루어질 때, 상기 기판의 이송 방향과 동일 방향을 따라 상기 제2 자력부의 구동 방향을 가이드할 수 있게 상기 구동부와 상기 제2 자력부 사이에 구비되는 구동 가이드를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치 및 기판 처리 장치는 구동부를 외부에 배치시키는 구조를 갖도록 이루어질 수 있기 때문에 고온 등과 같은 가혹 조건에서 공정이 이루어지는 챔버에 용이하게 적용할 수 있을 것이다.
예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치 및 기판 처리 장치는 구동부를 외부에 배치시킴으로써 구동부에서 발생하는 파티클 등과 같은 오염원으로 인한 공정 불량을 최소화할 수 있을 것이다.
예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치 및 기판 처리 장치는 구동부에 이상이 발생하여도 용이하게 조치할 수 있기 때문에 원가 절감 측면에서도 보다 유리할 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1 및 도 2는 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.
도 3은 도 1 및 도 2에서의 제1 자력부 및 제2 자력부의 배치 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 도 1 및 도 2에서와는 다른 구조를 갖는 구동부를 설명하기 위한 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1 및 도 2는 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(200)는 액정 표시 소자, 유기 EL 소자 등과 같은 표시 장치의 제조에 사용하기 위한 것으로써, 고온 등과 같은 가혹 조건에서 공정이 수행되도록 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(200)는 챔버(21), 스테이지(25), 기판 이송 장치(100)(이하에서는 '기판 이송 어셈블리'라 함) 등을 포함할 수 있다.
챔버(21)는 기판(10)을 대상으로 공정을 수행하기 위한 공간을 제공하도록 구비될 수 있다.
특히, 챔버(21)는 언급한 고온 등과 같은 공정 조건이 형성되도록 구비될 수 있다. 이에, 챔버(21)에는 각 공정 조건의 형성에 부합되는 부재들이 구비될 수 있다. 예를 들면, 고온을 형성하기 위한 가열부가 구비되거나, 진공을 형성하기 위한 진공 펌프가 연결되는 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이다.
스테이지(25)는 챔버(21) 내부에 구비될 수 있다. 스테이지(25)는 챔버(21)로 투입되는 기판(10)이 위치하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(200)에서의 스테이지(25)는 스테이지(25) 상에 위치하는 기판(10)을 부상시킬 수 있는 부상 스테이지로 이루어질 수 있다. 이에, 스테이지(25)에는 기판(10) 이면을 향하여 에어를 분사하는 에어홀들 및 진공으로 흡입하는 진공홀들이 형성될 수 있을 것이다. 또한, 에어홀들 및 진공홀들 각각은 에어를 분사하는 에어 컴프레셔 등과 같은 부재 및 진공 흡입이 이루어지는 진공 펌프 등과 같은 부재와 연결될 수 있을 것이다.
이에, 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(200)는 챔버(21) 내부를 설정된 공정 조건으로 형성함과 아울러 챔버(21) 내부로 투입되는 기판(10)을 스테이지(25)에 위치시켜 기판(10)을 대상으로 건조 공정, 박막 형성 공정, 식각 공정 등과 같은 처리 공정을 수행할 수 있다.
그리고 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(200)는 스테이지(25) 상에 위치시킨 기판(10)을 스테이지(25)를 따라 이송시키면서 공정을 수행할 수 있다. 따라서 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(200)는 챔버(21) 내부에 투입되는 기판(10)을 스테이지(25)를 따라 이송시킬 수 있는 기판 이송 어셈블리(100)를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 어셈블리(100)는 챔버(21) 내부에 투입되어 스테이지(25) 상에 위치하는 기판(10)의 측면을 지지하여 스테이지(25)를 따라 이송시킬 수 있도록 구비될 수 있다. 특히, 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 어셈블리(100)는 기판(10)의 이송에 따른 구동력을 제공할 수 있는 구동부(31)를 챔버(21) 내부가 아닌 챔버(21) 외부에 배치되도록 구비시킬 수 있다.
따라서 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 어셈블리(100)는 기판 지지부(13), 제1 자력부(11), 연결부(15), 이송 가이드(17), 제2 자력부(19), 구동부(31), 구동 가이드(33) 등을 포함할 수 있다.
기판 지지부(13)는 기판(10)의 이송시 기판(10)의 측면을 지지하도록 챔버(21) 내부에 구비될 수 있다. 기판 지지부(13)는 기판(10) 측면 전체 부분이 아닌 일부분만을 지지하도록 구비될 수 있다. 이에, 기판 지지부(13)는 다수개가 일정 간격 마다로 배치되도록 구비될 수 있다.
기판 지지부(13)는 기판(10)을 파지하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 이 경우, 기판 지지부(13)는 기판(10)의 측면을 기준으로 상측 단부 및 하측 단부를 파지하도록 구비될 수 있을 것이다. 이와 달리, 기판 지지부(13)는 기판(10)을 진공 흡착하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 이 경우, 기판 지지부(13)는 기판(10)의 측면을 기준으로 하측 단부를 진공 흡착하도록 구비될 수 있을 것이다.
제1 자력부(11)는 챔버(21) 내부에 배치되도록 구비되는 것으로써, 기판(10)의 이송 방향을 기준으로 수직 방향의 챔버(21) 내부 뱍체(23)를 향하도록 배치되게 구비될 수 있다. 그리고 제1 자력부(11)는 제1 자력을 제공하도록 구비될 수 있다.
연결부(15)는 기판 지지부(13)와 제1 자력부(11)를 서로 연결하도록 구비될 수 있다. 연결부(15)는 기판 지지부(13)와 제1 자력부(11)가 서로 마주하게 연결되도록 구비될 수 있다.
언급한 바와 같이, 기판 지지부(13)는 다수개가 구비될 수 있기 때문에 제1 자력부(11) 또한 기판 지지부(13)와 같은 개수로 구비될 수 있다. 이에, 연결부(15)는 일대일로 대응되게 기판 지지부(13)와 제1 자력부(11)를 연결하도록 구비될 수 있다.
이송 가이드(17)는 기판(10)을 이송시키기 위한 기판 지지부(13)의 이송시 기판 지지부(13)의 이송을 가이드할 수 있도록 구비될 수 있다. 이에, 이송 가이드(17)는 기판(10)의 이송 방향을 따라 연속되게 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 즉, 이송 가이드(17)는 기판(10)의 이송이 이루어지는 시점부터 기판(10)의 이송이 종료되는 종점까지 기판(10)의 이송 방향을 따라 레일 구조를 갖도록 챔버(21) 내부에 배치되도록 구비될 수 있는 것이다.
특히, 이송 가이드(17)는 연결부(15)가 이송 가이드(17)를 따라 이송이 이루어지도록 구비될 수 있다. 이에, 이송 가이드(17)는 연결부(15)와 연결되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 이와 같이, 연결부(15)가 이송 가이드(17)를 따라 이송되기 때문에 연결부(15)에 의해 서로 마주하게 연결되는 기판 지지부(13) 및 제1 자력부(11)가 함께 이송 가이드(17)를 따라 이송이 이루어지질 수 있는 것이다.
예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 어셈블리(100)에서 기판 지지부(13), 제1 자력부(11), 연결부(15), 및 이송 가이드(17)만이 챔버(21) 내부에 배치될 수 있다.
그리고 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 어셈블리(100)는 기판 지지부(13)가 기판(10)을 지지한 상태에서 이송 가이드(17)를 따라 이송이 이루어질 수 있는 것이다.
예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 어셈블리(100)는 기판 지지부(13)에 구동력을 제공해야만 기판 지지부(13)의 이송을 달성할 수 있을 것이다. 이에, 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 어셈블리(100)는 기판 지지부(13)에 구동력을 제공하도록 언급한 제2 자력부(19), 구동부(31), 구동 가이드(33) 등과 같은 부재들을 구비하는 것이다.
특히, 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 어셈블리(100)에서 제2 자력부(19), 구동부(31), 구동 가이드(33) 등과 같은 부재들은 챔버(21) 외부에 배치될 수 있다.
제2 자력부(19)는 제1 자력부(11)와 마주하게 구비될 수 있다. 제2 자력부(19)는 언급한 바와 같이 챔버(21) 외부에 배치되기 때문에 제1 자력부(11)와 마주하는 챔버(21) 외부 뱍체(23)를 향하도록 구비될 수 있다. 그리고 제1 자력부(11)가 다수개로 구비되기 때문에 제2 자력부(19) 또한 제1 자력부(11)와 같은 개수로 구비될 수 있다. 제2 자력부(19)는 제1 자력부(11)의 제1 자력과는 인력이 작용하는 제2 자력을 갖도록 구비될 수 있다.
이하, 언급한 인력이 작용하도록 구비되는 제1 자력부(11)와 제2 자력부(19)의 배치 구조를 대하여 설명하기로 한다.
도 3은 도 1 및 도 2에서의 제1 자력부 및 제2 자력부의 배치 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 3을 참조하면, 제1 자력부(11)는 좌측 단부를 시점으로 N극 및 S극이 반복되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 제2 자력부(19)는 좌측 단부를 시점으로 S극 및 N극이 반복되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 즉, 제1 자력부(11)와 제2 자력부(19)는 제1 자력부(11)의 N극과 제2 자력부(19)의 S극이 그리고 제1 자력부(11)의 S극과 제2 자력부(19)의 N극이 챔버(21)의 뱍체(23)를 사이에 두고 서로 마주하게 배치되도록 구비될 수 있는 것이다.
다시 도 1 및 도 2를 참조하면, 구동부(31)는 제2 자력부(19)와 연결되도록 구비될 수 있다. 특히, 구동부(31)는 챔버(21) 외부에 배치되도록 구비될 수 있다. 즉, 구동부(31)는 챔버(21) 외부에 제2 자력부(19)와 연결되도록 배치되게 구비될 수 있는 것이다.
구동부(31)는 제2 자력부(19)에 구동력을 제공하도록 구비될 수 있다. 구동부(31)는 제2 자력부(19)를 기판(10)의 이송 방향과 동일 방향으로 구동시킬 수 있게 구비될 수 있다.
이에, 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 어셈블리(100)는 구동부(31)를 사용하여 제2 자력부(19)를 기판(10)의 이송 방향과 동일 방향으로 구동시킴에 따라 제2 자력부(19)와 함께 제1 자력부(11) 및 기판 지지부(13)도 기판(10)의 이송 방향과 동일 방향으로 이송이 이루어질 수 있다.
따라서 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 어셈블리(100)는 챔버(21) 외부에 배치되는 구동부(31)를 사용하여 챔버(21) 내부에 투입되는 기판(10)을 스테이지(25)를 따라 용이하게 이송시킬 수 있는 것이다.
그리고 구동부(31)는 리니어 모터(32)로 이루어질 수 있다. 즉, 구동부(31)는 기판(10)의 이송 방향과 동일 방향의 직선 운동이 가능한 리액션 레일을 구비하는 리니어 모터(32)로 이루어질 수 있는 것이다.
이와 같이, 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 어셈블리(100)는 리니어 모터(32)를 구동부(31)로 구비함으로써 기판(10)의 이송 방향과 동일 방향을 따라 제2 자력부(19)를 구동시킬 수 있다.
구동 가이드(33)는 구동부(31)와 제2 자력부(19) 사이에 구비될 수 있다. 구동 가이드(33)는 기판(10)의 이송 방향을 따라 제2 자력부(19)의 구동 방향을 가이드하도록 구비될 수 있다. 특히, 구동 가이드(33)는 이송 가이드(17)와 나란한 배치 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 즉, 챔버(21) 내부에는 제1 자력부(11)의 이송을 가이드하도록 이송 가이드(17)가 배치될 수 있고, 챔버(21) 외부에는 제2 자력부(19)이 구동을 가이드하도록 구동 가이드(33)가 배치될 수 있는 것이다.
이에, 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 어셈블리(100)는 서로 인력이 작용하는 제1 자력부(11)와 제2 자력부(19)가 일정 간격을 유지한 상태에서 기판(10)의 이송 방향을 따라 동작할 수 있는 것이다.
구동부(31)는 리니어 모터(32) 이외에도 다른 구성을 갖도록 이루어질 수 있다.
도 4는 도 1 및 도 2에서와는 다른 구조를 갖는 구동부를 설명하기 위한 도면이다.
도 4를 참조하면, 구동부(31)는 모터(41) 및 벨트(43)로 이루어질 수 있다. 모터(41)는 제2 자력부(19)에 구동력을 제공하도록 구비될 수 있고, 벨브는 제2 자력부(19)와 모터(41)를 연결하도록 구비될 수 있다.
이에, 모터(41) 및 벨트(43)로 이루어지는 구동부(31)는 모터(41)의 구동력을 벨트(43)를 통하여 제2 자력부(19)에 전달할 수 있을 것이고, 이를 통하여 제1 자력부(11) 및 기판 지지부(13)까지도 동작시킬 수 있을 것이다.
그리고 구동부(31)가 모터(41) 및 벨트(43)로 이루어질 경우에는 제2 자력부(19)의 구동 방향을 가이드할 수 있게 구동부(31)와 제2 자력부(19) 사이에 구동 가이드(33)를 구비할 수 있다.
특히, 구동부(31)가 도 1에서와 같이 리니어 모터(32)로 이루어질 경우에는 리액션 레일이 구동 가이드(33)의 역할을 할 수도 있기 때문에 구동 가이드(33)를 생략할 수도 있으나, 도 4에서와 같이 구동부(31)가 모터(41) 및 벨트(43)로 이루어질 경우에는 리니어 모터(32)의 리액션 레일이 없기 때문에 제2 자력부(19)의 구동을 가이드하는 구동 가이드(33)를 반드시 구비해야 한다.
따라서 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 어셈블리(100)는 모터(41) 및 벨트(43)를 통하여 제2 자력부(19)에 구동력을 전달할 수 있고, 이를 통하여 서로 인력이 작용하는 제1 자력부(11)와 제2 자력부(19)가 일정 간격을 유지한 상태에서 기판(10)의 이송 방향을 따라 동작할 수 있는 것이다.
예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 어셈블리(100) 및 기판 처리 장치(200)는 챔버(21) 외부에 구비되는 구동부(31) 및 제2 자력부(19)의 회전 구동을 통하여 챔버(21) 내부에 구비되는 제1 자력부(11) 및 기판 지지부(13)를 회전 구동시킴으로써 기판 지지부(13)에 지지되는 기판(10)을 챔버(21) 내부에서 스테이지(25)를 따라 이송시킬 수 있는 것이다.
언급한 바와 같이, 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 어셈블리(100) 및 기판 처리 장치(200)는 구동부(31)를 챔버(21) 외부에 배치시킬 수 있기 때문에 어떠한 공정 조건에 관계없이 모든 챔버(21)에 그 적용이 가능할 것이고, 구동부(31)로 인하여 챔버(21) 내부에 끼칠 수 있는 나쁜 영향을 최소화할 수 있기 때문에 공정 신뢰로를 향상시킬 수 있을 것이고, 용이한 유지 보수를 통하여 장치적 신뢰도까지도 향상시킬 수 있을 것이다.
예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 어셈블리 및 기판 처리 장치는 표시 장치로 제조하기 위한 기판의 이송에 적용할 수 있을 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 기판 11 : 제1 자력부
13 : 기판 지지부 15 : 연결부
17 : 이송 가이드 19 : 제2 자력부
21 : 챔버 23 : 벽체
25 : 스테이지 31 : 구동부
32 : 리니어 모터 33 : 구동 가이드
41 : 모터 43 : 벨트
100 : 기판 이송 어셈블리, 기판 이송 장치
200 : 기판 처리 장치

Claims (13)

  1. 챔버로 투입되는 기판의 측면을 지지하여 상기 기판을 이송하도록 상기 챔버 내에 구비되는 기판 지지부;
    상기 기판의 이송 방향을 기준으로 수직 방향의 상기 챔버 내부 벽체 쪽을 향하도록 배치되고, 제1 자력을 갖도록 구비되는 제1 자력부;
    상기 기판 지지부와 상기 자력부가 서로 마주하게 연결되도록 구비되는 연결부;
    상기 기판 지지부의 이송시 상기 기판 지지부의 이송을 가이드할 수 있게 상기 연결부와는 연결되는 구조를 가지면서 상기 기판의 이송 방향을 따라 연속되게 배치되는 구조를 갖도록 구비되는 이송 가이드;
    상기 제1 자력부와 마주하는 상기 챔버 외부 벽체 쪽을 향하도록 배치되고, 상기 제1 자력과는 인력이 작용하는 제2 자력을 갖도록 구비되는 제2 자력부; 및
    상기 챔버 외부에 상기 제2 자력부와 연결되도록 배치되고, 상기 제2 자력부를 상기 기판의 이송 방향과 동일 방향으로 구동시킬 수 있게 상기 제2 자력부에 구동력을 제공하도록 구비되는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 기판 지지부는 상기 기판을 파지할 수 있는 구조를 갖도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 기판 지지부는 상기 기판을 진공 흡착할 수 있는 구조를 갖도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 자력부 및 상기 제2 자력부가 N극 및 S극이 반복되는 구조를 갖도록 구비될 때, 상기 제1 자력부의 N극 및 S극이 상기 제2 자력부의 S극 및 N극과 서로 마주하도록 배치되게 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 기판의 이송 방향과 동일 방향을 따라 상기 제2 자력부를 구동시킬 수 있는 리니어 모터로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 리니어 모터에 의해 상기 제2 자력부가 구동할 때, 상기 기판의 이송 방향과 동일 방향을 따라 상기 제2 자력부의 구동 방향을 가이드할 수 있게 상기 구동부와 상기 제2 자력부 사이에 구비되는 구동 가이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 구동부가 상기 제2 자력부에 구동력을 제공하는 모터, 및 상기 제2 자력부와 상기 모터를 연결하는 벨트로 이루어질 때, 상기 기판의 이송 방향과 동일 방향을 따라 상기 제2 자력부의 구동 방향을 가이드할 수 있게 상기 구동부와 상기 제2 자력부 사이에 구비되는 구동 가이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  8. 기판을 대상으로 공정을 수행하기 위한 공간을 제공하도록 구비되는 챔버;
    상기 챔버로 투입되는 상기 기판이 위치하도록 구비되는 스테이지;
    상기 스테이지에 위치하는 상기 기판을 상기 스테이지를 따라 이송시키도록 구비되는 기판 이송 어셈블리를 포함하고,
    상기 기판 이송 어셈블리는
    상기 챔버로 투입되는 상기 기판의 측면을 지지하여 상기 기판을 이송하도록 상기 챔버 내에 구비되는 기판 지지부;
    상기 기판의 이송 방향을 기준으로 수직 방향의 상기 챔버 내부 벽체 쪽을 향하도록 배치되고, 제1 자력을 갖도록 구비되는 제1 자력부;
    상기 기판 지지부와 상기 제1 자력부를 연결하도록 구비되는 연결부;
    상기 기판 지지부의 이송시 상기 기판 지지부의 이송을 가이드할 수 있게 상기 연결부와 연결되는 구조를 갖도록 구비되는 이송 가이드;
    상기 제1 자력부와 마주하는 상기 챔버 외부 벽체 쪽을 향하도록 배치되고, 상기 제1 자력과 인력이 작용하는 제2 자력을 갖도록 구비되는 제2 자력부;
    상기 제2 자력부와 연결되고, 상기 제2 자력부를 상기 기판의 이송 방향과 동일 방향으로 구동시킬 수 있게 상기 제2 자력부에 구동력을 제공하도록 구비되는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 스테이지는 상기 기판을 부상시킬 수 있는 부상 스테이지로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  10. 제8 항에 있어서,
    상기 제1 자력부 및 상기 제2 자력부가 N극 및 S극이 반복되는 구조를 갖도록 구비될 때, 상기 제1 자력부의 N극 및 S극이 상기 제2 자력부의 S극 및 N극과 서로 마주하도록 배치되게 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  11. 제8 항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 기판의 이송 방향과 동일 방향을 따라 상기 제2 자력부를 구동시킬 수 있는 리니어 모터로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 리니어 모터에 의해 상기 제2 자력부가 구동할 때, 상기 기판의 이송 방향과 동일 방향을 따라 상기 제2 자력부의 구동 방향을 가이드할 수 있게 상기 구동부와 상기 제2 자력부 사이에 구비되는 구동 가이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  13. 제8 항에 있어서,
    상기 구동부가 상기 제2 자력부에 구동력을 제공하는 모터, 및 상기 제2 자력부와 상기 모터를 연결하는 벨트로 이루어질 때, 상기 기판의 이송 방향과 동일 방향을 따라 상기 제2 자력부의 구동 방향을 가이드할 수 있게 상기 구동부와 상기 제2 자력부 사이에 구비되는 구동 가이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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