KR100807250B1 - 기판이송장치 - Google Patents

Abstract

기판을 지지하는 지지대가 마련된 이송테이블과, 지지대에 지지된 기판의 하측에 마련되어 기판의 하면과 접촉하는 하부롤러부재와 하부기어로 이루어진 하부이송롤러와 기판의 상측에 마련되어 기판의 상면과 접촉하는 상부롤러부재와 하부기어와 맞물림되는 상부기어로 이루어진 상부이송롤러로 이루어져 지지대에 지지된 기판을 이송시키는 이송롤러와, 하부이송롤러와 연결되어 하부이송롤러에 회전력을 전달하는 구동원을 구비하는 기판이송장치를 개시한다. 이러한 기판이송장치는 상부기어가 하부기어와 맞물림 됨으로써 구동원에 의한 하부기어의 회전 시 상부기어도 회전되어 상부이송롤러가 미끄럼짐 없이 회전되게 되어 기판을 원활하게 이송시킬 수 있다.

Description

기판이송장치{The substrate transfer}

도 1은 본 발명에 따른 기판이송장치를 도시한 사시도이다.

도 2는 도 2는 본 발명에 따른 기판이송장치를 도시한 정면도이다.

도 3은 본 발명에 따른 기판이송장치 중 이송롤러와 구동원을 발췌한 도면이다.

도 4a, b는 본 발명에 따른 기판이송장치의 승강유닛을 설명하기 위해 도시한 도면이다.

**도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명**

10 : 기판이송장치 11 : 이송테이블

13 : 지지대 20 : 이송롤러

21 : 하부이송롤러 22 : 하부기어

23 : 하부롤러부재 26 : 상부이송롤러

27 : 상부기어 28 : 상부롤러부재

30 : 구동원 40 : 승강유닛

41 : 회동축 42 : 하우징

43 : 실린더 44 : 탄성부재

S : 기판

본 발명은 기판이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판의 가장자리 상하부에 이송롤러가 각각 마련되어 기판에 적절한 마찰력을 부여함으로써 기판을 이송시키는 기판이송장치에 관한 것이다.

일반적으로, LCD(Liquid crystal display:액정디스플레이)나 PDP(Plasma display pannel:플라즈마 디스플레이 패널)와 같은 펑판표시장치에 사용되는 기판은 고정밀도 가동을 요구하는 부품으로 그 제조과정에 있어서 유전체, 절연체 또는 반도체막을 형상하는 박막형성공정과, 이를 원하는 형상으로 패터닝하는 식각공정 등 여러공정을 거쳐 제조하게 된다.

상기와 같은 공정을 거쳐 평판표시장치를 제조하기 위해서는 각 공정 간 기판이송장치를 통해 기판을 이송하게 되는데, 통상적인 기판이송장치는 기판의 하부에 배치되는 다수의 이송롤러를 가지는 다수의 이송축이 구동원에 의해 회전됨으로써 기판을 이송하게 된다.

그러나, 기판의 하부에 배치되는 다수의 이송롤러 등을 설치하기 위한 공간이 제약되는 경우에는 기판의 양쪽 가장자리부분의 상하부에 이송롤러를 배치하여 이 이송롤러에 의한 마찰력에 의해 기판을 이송하는 기판이송장치가 마련된다. 즉, 하부롤러에 구동모터를 연결하여 이 구동모터의 구동에 따라 하부롤러가 회전되고, 이 하부롤러의 회전 시 하부롤러에 접촉되는 상부롤러가 회전됨으로써 기판이 이송 되는 것이다.

하지만 상기와 같은 경우 하부롤러의 회전 시 이 하부롤러의 회전력이 상부롤러에 전달되지 않아 상부롤러가 회전되지 못하고 미끄러짐으로써 기판의 이송불량이 발생할 수 있고, 기판 및 이송롤러가 손상되는 문제점이 발생할 수 있다. 특히, 설치공간 등의 제약으로 인해 기판의 양쪽 가장자리 중 어느 한쪽의 가장자리에만 이송롤러가 설치되는 경우에는 상부롤러가 회전되지 못하고 미끄러지게 되는 현상이 심해지게 되어 정상적인 기판 이송이 되지 못하는 문제점이 발생된다.

따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로서, 본 발명의 목적은 기판의 가장자리 상하부에 배치된 이송롤러에 의한 기판의 이송 시 원활하게 기판을 이송시킬 수 있는 기판이송장치를 제공하는데 있다.

이와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명에 따른 기판이송장치는 기판을 지지하는 지지대가 마련된 이송테이블과, 상기 지지대에 지지된 상기 기판의 하측에 마련되도록 배치되는 하부이송롤러와 상기 기판의 상측에 마련되도록 배치되는 상부이송롤러로 이루어져 마찰력에 의해 상기 지지대에 지지된 기판을 이송시키는 이송롤러와, 상기 하부이송롤러와 연결되어 상기 하부이송롤러에 회전력을 전달하는 구동원을 포함하며,

상기 하부이송롤러에는 상기 구동원과 연결되는 하부기어와, 상기 하부기어의 일측에 마련되어 상기 기판과 접촉되는 하부롤러부재가 구비되고, 상기 상부이송롤러에는 상기 하부기어와 접촉되어 상기 구동원에 의한 상기 하부기어의 회전 시 회전되는 상부기어와 상기 상부기어의 일측에 마련되어 상기 기판과 접촉되는 상부롤러부재가 구비된 것을 특징으로 한다.

상기 하부롤러부재는 상기 하부기어로부터 착탈 가능하게 마련되며, 상기 상부롤러부재는 상부기어로부터 착탈 가능하게 마련된 것을 특징으로 한다.

상기 하부롤러부재와 상기 상부롤러부재는 상기 기판의 손상을 방지하도록 우레탄 또는 고무재질로 이루어진 것을 특징으로 한다.

상기 지지대에 상기 기판의 공급 시 상기 기판에 의한 상기 이송롤러의 손상을 방지하도록 상기 상부이송롤러를 승강시키는 승강유닛이 더 마련된 것을 특징으로 한다.

상기 승강유닛은 상기 지지대의 상측에 마련된 회동축과, 상기 회동축에 의해 축지지되며 일측에 상부이송롤러가 고정된 하우징과, 상기 하우징의 타측 상부에 마련되어 수직이동되며 상기 하우징을 상기 회동축을 중심으로 회동시켜 상기 상부이송롤러를 승강시키는 실린더와, 상기 실린더에 대응되는 상기 하우징의 타측 하부에 마련되는 탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 이송롤러는 상기 지지대에 지지된 상기 기판의 한쪽 가장자리에 마련되도록 한 것을 특징으로 한다.

이하에서는 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명에 따른 기판이송장치를 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 기판이송장치를 도시한 정면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 기판이송장치 중 이송롤러와 구동원을 발췌한 도면이고, 도 4a, b는 본 발명에 따른 기판이송장치의 승강유닛을 설명하기 위해 도시한 도면이다.

먼저 도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 기판이송장치(10)는 기판(S)을 지지하는 지지대(13)가 마련된 이송테이블(11)과, 이 지지대(13)에 지지된 기판(S)을 이송시키기 위하여 기판(S)의 하면과 접촉되는 하부이송롤러(21)와 기판(S)의 상면과 접촉되는 상부이송롤러(26)로 이루어진 이송롤러(20)와, 이송롤러(20) 중 하부이송롤러(21)와 연결되어 하부이송롤러(21)에 회전력을 전달하는 구동원(30) 및 이송롤러(20) 중 상부이송롤러(26)를 승강시키는 승강유닛(40)을 포함한다.

구체적으로, 이송테이블(11)에는 상술한 바와 같이 이송되는 기판(S)의 양측을 지지하는 지지대(13)가 마련되며, 이 지지대(13)에는 기판(S)이 지지될 수 있도록 단차면이 형성되어 있다.

구동원(30)은 이송테이블(11)의 일측 외면에 구비되는데, 이때의 구동원(30)은 구동모터(31)와, 이 구동모터(31)의 회전에 따라 회전되는 구동축(32)을 포함한다.

이송롤러(20)는 도 3에 도시된 바와 같이 지지대(13)의 하부에 마련되는 하 부이송롤러(21)와, 지지대(13)의 상부에 마련되며 하부이송롤러(21)와 서로 마주보는 위치에 배치된 상부이송롤러(26)를 포함한다.

여기서, 하부이송롤러(21)는 상술한 구동원(30)의 구동축(32) 일측 끝단에 마련되는 하부기어(22)와, 이 하부기어(22)와 결합되어 지지대(13)에 지지된 기판(S)의 하면과 접촉되는 하부롤러부재(23)로 이루어진다.

그리고, 상부이송롤러(26)는 하부기어(22)와 맞물림되어 구동원(30)에 의한 하부기어(22)의 회전 시 하부기어(22)의 회전력이 전달되는 상부기어(27)와, 이 상부기어(27)와 결합되어 지지대(13)에 지지된 기판(S)의 상면과 접촉되는 상부롤러부재(28)로 이루어진다.

이때, 하부롤러부재(23)와 상부롤러부재(28)는 기판(S)의 재질 및 두께에 따라 각 기어(22,27)로부터 다양한 직경의 롤러부재(23,28)를 적용할 수 있도록 착탈 가능하도록 마련되며, 각 롤러부재(23,28)는 기판(S)과의 접촉 시 손상을 방지하도록 우레탄 및 고무재질로 이루어지는 것이 바람직하다.

한편, 이송롤러(20)는 지지대(13)의 양측에 마련되어 기판(S)의 양측 상하부에 접촉되는데, 도시된 바와 같이 기판의 일측 상하부에만 접촉될 수도 있다. 즉, 본 발명에서 각 이송롤러(20)는 기어(22,27)에 의해 맞물림되어 회전함으로써 기판(S)의 상면에 접촉되는 상부이송롤러(26)가 미끄러지지 않고 회전됨으로써 지지대(13)의 일측에만 이송롤러(20)가 마련될 수도 있는 것이다.

승강유닛(40)은 이송테이블(11)의 일측 구체적으로 지지대(13)의 상측에 마련된 회동축(41)과, 이 회동축(41)에 의해 축지지되며 일측에 상부이송롤러(26)가 고정되는 하우징(42)과, 회동축(41)을 중심으로 상부이송롤러(26)가 승강가능하도록 하우징(42)의 타측 상부에 마련된 실린더(43) 및 하우징(42)의 타측 하부 즉, 실린더(43)와 대응되는 위치에 하우징(42)의 타측을 탄성지지하는 탄성부재(44)를 포함한다.

이하 도면을 참조하여 본 발명에 따른 기판이송장치의 동작 및 작용효과를 설명하면 다음과 같다.

먼저, 본 발명에 따른 기판이송장치(10)는 도 4b에 도시된 바와 같이 기판(S)의 공급 시 기판(S)에 의해 이송롤러(20)가 손상받을 수 있으므로 승강유닛(40)의 실린더(43)가 하강되어 상부이송롤러(26)가 고정된 하우징(42)의 일측을 상승시킨 상태로 유지되어 있다.

상기와 같이 상부이송롤러(26)가 상승된 상태에서 일정 공정이 수행된 기판(S)이 이송테이블(11)의 지지대(13)에 공급되면 도 4a에 도시된 바와 같이 실린더(43)를 상승시켜 상부이송롤러(26)의 상부기어(27)를 하부이송롤러(21)의 하부기어(22)에 맞물림시킨다.

이 후 구동원(30)의 구동모터(31)가 회전되면, 구동모터(31)와 연결된 구동축(32)은 하부이송롤러(21)의 하부기어(22)로 회전력을 전달한다. 이 과정에서 하부기어(22)와 이 하부기어(22)와 맞물림된 상부기어(27)는 회전되고, 하부기어(22)와 상부기어(27)에 각각 결합된 하부롤러부재(23)와 상부롤러부재(28)가 회전됨으로써 기판(S)을 강제로 밀어내게 되어 기판(S)을 후속공정이 진행될 위치로 이송하게 된다.(도 1참조)

한편, 본 발명은 상술한 바와 같이 각 기어(22,27)의 맞물림으로 인하여 기판(S)을 이송하게 함으로써 기판(S)의 상면과 접촉되는 상부롤러부재(28)가 미끄럼 없이 회전하게 되어 기판(S)이 완전히 이송되지 못하여 손상되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명에서는 상기의 과정에서 기판(S)의 두께와 재질이 서로 다른 다양한 기판(S)을 적용시키기 위하여 적절한 직경의 하부롤러부재(23)와 상부롤러부재(28)를 각 기어(22,27)에 탈,장착시킬 수 있으며, 각 롤러부재(23,28)는 우레탄과 고무재질 등으로 이루어져 각 롤러부재(23,28)에 접촉되는 기판(S)의 손상을 방지하며 기판(S)에 작용하는 마찰력을 높일 수 있다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 기판이송장치는 기판의 상하면에 접촉되어 기판을 이송시키는 각 이송롤러를 기어를 통해 맞물림함으로써 기판의 상면에 접촉되는 상부이송롤러가 기판을 따라 회전하지 않고 미끄러지는 현상을 사전에 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (6)

1. 기판을 지지하는 지지대가 마련된 이송테이블과, 상기 지지대에 지지된 상기 기판의 하측에 마련되도록 배치되는 하부이송롤러와 상기 기판의 상측에 마련되도록 배치되는 상부이송롤러로 이루어져 마찰력에 의해 상기 지지대에 지지된 기판을 이송시키는 이송롤러와, 상기 하부이송롤러와 연결되어 상기 하부이송롤러에 회전력을 전달하는 구동원을 포함하는 기판이송장치에 있어서,

   상기 하부이송롤러에는 상기 구동원과 연결되는 하부기어와, 상기 하부기어의 일측에 마련되어 상기 기판과 접촉되는 하부롤러부재가 구비되고, 상기 상부이송롤러에는 상기 하부기어와 접촉되어 상기 구동원에 의한 상기 하부기어의 회전 시 회전되는 상부기어와 상기 상부기어의 일측에 마련되어 상기 기판과 접촉되는 상부롤러부재가 구비되며,

   상기 이송롤러는 상기 지지대에 지지되는 상기 기판의 한쪽 가장자리에 마련된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 하부롤러부재는 상기 하부기어로부터 착탈 가능하게 마련되며, 상기 상부롤러부재는 상부기어로부터 착탈 가능하게 마련된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 하부롤러부재와 상기 상부롤러부재는 상기 기판의 손상을 방지하도록 우레탄 또는 고무재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
4. 제 1항에 있어서,

   상기 지지대에 상기 기판의 공급 시 상기 기판에 의한 상기 이송롤러의 손상을 방지하도록 상기 상부이송롤러를 승강시키는 승강유닛이 더 마련된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
5. 제 4항에 있어서,

   상기 승강유닛은 상기 지지대의 상측에 마련된 회동축과, 상기 회동축에 의해 축지지되며 일측에 상부이송롤러가 고정된 하우징과, 상기 하우징의 타측 상부에 마련되어 수직이동되며 상기 하우징을 상기 회동축을 중심으로 회동시켜 상기 상부이송롤러를 승강시키는 실린더와, 상기 실린더에 대응되는 상기 하우징의 타측 하부에 마련되는 탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
6. 삭제

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