KR100828422B1 - 기판 이송 장치 - Google Patents

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KR100828422B1
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이상준
김승준
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세메스 주식회사
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Abstract

보다 안정적으로 기판을 이송할 수 있는 기판 이송 장치가 제공된다. 기판 이송 장치는 구동 부재에 의해 회전되며 서로 대향하도록 설치된 다수의 샤프트, 각 샤프트에 하나 이상 설치되며, 회전하여 기판을 이송시키는 롤러 및 각 롤러의 외주면에 설치되고, 사다리꼴 단면을 갖으며, 일면이 이송되는 기판에 대해 경사지게 형성되어 기판의 외측 부분과 접촉되는 접촉부재를 포함한다.
롤러, 접촉 부재, 사다리꼴 단면

Description

기판 이송 장치{Apparatus for transferring substrate}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 구비된 롤러의 절개 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 일부분을 상세히 나타낸 단면도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 설명*
100: 공정 챔버 110a: 상부 브러시
110b: 하부 브러시 120: 회전축
130a: 상부 브라켓 130b: 하부 브라켓
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로 더욱 상세하게는, 기판의 처짐 현상을 방지할 수 있는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이(Flat Panel Display) 장치는 액정 표시소 자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes) 등을 말한다. 이러한 평판 디스플레이 장치는 기판 상에 사진(photo), 확산(diffusion), 증착(deposition), 식각(etching), 세정(cleaning), 건조(drying) 및 이온 주입(ion implant) 등과 같은 공정들을 반복하여 제조한다.
이와 같은 공정들은 해당 공정을 수행하기 위한 각 공정 챔버에서 이루어지며, 각각의 공정을 연속적으로 수행하기 위해 기판을 각각의 공정 챔버로 이송하는 기판 이송 장치가 공정 챔버들에 걸쳐 설치된다.
이러한 기판 이송 장치는 대형의 유리 기판을 지지하고 이송시키기 위한 다수의 샤프트(shaft)가 소정 간격으로 설치되어 있다. 그리고 샤프트는 공정 챔버 내에서 수평으로 배치될 뿐만 아니라 상하로도 설치되어 있어, 기판 이송시 상, 하부의 샤프트 사이로 기판이 이송될 수 있다.
또한, 각 샤프트에는 회전하여 기판을 이송시키는 롤러가 하나 이상 설치되어 있으며, 각 롤러들에는 기판 이송시 기판의 미끄러짐을 방지하기 위해 롤러의 외주면에는 오링(O-ring)이 구비된다.
그런데, 롤러에 구비되는 오링은 원형 단면을 가지고 있어 기판과의 접촉 면적이 작으므로, 기판이 대면적화됨에 따라 상, 하부의 샤프트를 통과하는 기판이 중앙 부분에서 처지는 현상이 발생할 수 있다. 특히, 기판의 끝부분과 접촉되는 상, 하부의 오링에 의해 기판이 들리는 현상이 발생할 수 있다. 이에 따라, 기판의 처짐 현상은 보다 심화될 수 있으며, 이와 같은 상태로 기판을 이송할 경우 세정 또는 건조 공정 등에서 약액이 기판의 중앙 부분에 집중되는 현상이 발생하여 공정 불량의 원인이 될 수 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 고려하여 안출된 것으로서, 기판의 처짐 현상을 방지하여 보다 안정적으로 기판을 이송할 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 구동 부재에 의해 회전되며 서로 대향하도록 설치된 다수의 샤프트, 각 샤프트에 하나 이상 설치되며, 회전하여 기판을 이송시키는 롤러 및 각 롤러의 외주면에 설치되고, 사다리꼴 단면을 갖으며, 일면이 이송되는 기판에 대해 경사지게 형성되어 기판의 외측 부분과 접촉되는 접촉부재를 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 평면도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 단면도이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 기판 이송 장치는 장방형의 공정 챔버(10)를 포함하며, 공정 챔버(10)의 양측에는 기판(G)이 반송되는 출입구(미도시)가 형성되어 있다.
이러한 공정 챔버(10) 내에는 다수의 샤프트(20)들이 수평으로 소정 간격으로 이격되어 설치되어 있어, 다수의 샤프트(20)들 상부로 기판(G)이 이동된다. 그리고, 수평으로 설치되는 샤프트(20)들은 서로 대향되게 상하로 설치될 수 있으며, 기판(G)이 상하의 샤프트(20)들 사이로 이송될 수 있다. 이러한 샤프트(20)들은 이송되는 물체의 크기에 따라 길이가 결정되며, 평판 디스플레이 장치에 이용되는 대형 기판(G)을 이송하기 위해 길이가 긴 장축의 샤프트(20)들이 이용된다.
이러한 샤프트(20)들의 양 끝단에는 풀리(30)가 설치되어 있으며, 각각의 풀리(30)는 벨트(40)에 의해 상호 연결되어 있다. 그리고 다수의 풀리(30)들 중 하나에는 샤프트(20)에 구동력을 제공하는 구동 부재(50)가 벨트(40)에 의해 연결되어 있다. 따라서, 구동 부재(50)로부터 동력을 전달받아 샤프트(20)들이 동일 방향으 로 회전할 수 있다.
그리고, 각각의 샤프트(20)들에는 기판(G)을 지지하며, 일정 방향으로 회전하여 기판(G)을 이송시키는 다수의 롤러(60)들이 일정 간격으로 설치된다. 즉, 롤러(60)에 샤프트(20)를 관통시키고 결합 수단(80; 예를 들어, 나사 또는 너트 등)을 이용하여 샤프트(20)의 소정 영역에 고정시킬 수 있다.
이하, 도 3 및 도 4를 참조하여 롤러 및 접촉 부재에 대해 보다 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 구비된 롤러의 절개 사시도이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 일부분을 상세히 나타낸 단면도이다.
도 3을 참조하면, 각각의 롤러(60)들은 원형의 몸체(62)를 가지며, 중앙에는 샤프트(20)가 삽입 관통할 수 있도록 축공(64)이 형성되어 있다. 그리고 몸체(62)의 외주면 중앙에는 접촉 부재(70)의 일부가 삽입될 수 있는 홈(63)이 형성되어 있다.
롤러(60)의 외주면의 홈(63)에 삽입되는 접촉 부재(70)는 기판(G) 이송시 기판(G)이 미끄러지는 것을 방지한다. 접촉 부재(70)는 환형으로 형성되어 있으며, 사다리꼴 형태의 단면을 갖는다. 또한, 접촉 부재(70)는 평판 디스플레이 장치를 제조하기 위한 공정들에서 약액 또는 가스에 의해 부식 또는 변질되는 것을 방지하기 위해, 에틸렌 프로필렌 디엔 모노머(Etthylene Propylene Diene Monomer: EPDM) 등과 같이 내부식성이 우수한 물질로 형성된다.
보다 상세히 설명하면, 사다리꼴 단면을 갖는 접촉 부재970)는 롤러(60)의 홈(63)으로 삽입되는 일면이 평면을 갖도록 형성되어 있어, 롤러(60)의 홈 내에 삽입되어 밀착될 수 있다. 그리고, 롤러(60) 상으로 이송되는 기판(G)과 마주하는 다른 일면은 이송되는 기판(G)에 대해 경사지도록 형성되어 있다. 즉, 경사진 일면에서 일측 끝단만이 기판(G)과 접촉될 수 있다.
그리고, 도 4에 도시된 바와 같이, 샤프트(20)가 서로 대향하여 설치되어 있어, 롤러(60)들 또한 상하로 위치한다. 따라서 롤러(60)들에 설치된 접촉 부재(70)가 이송되는 기판(G)의 상, 하부면과 접촉될 수 있다. 이 때, 접촉 부재(70)는 기판(G)을 중심으로 상하 대칭으로 위치하게 된다. 그러므로 상하의 접촉 부재(70)가 각 롤러(60)를 중심으로 외측에 위치하는 기판(G)의 소정 영역에 힘을 가하게 된다. 따라서, 기판(G)이 이송될 때, 기판(G)이 중앙으로 처지거나, 기판(G)의 가장자리가 들리는 현상을 방지할 수 있다.
이와 같은 접촉 부재(70)는 기판 이송 장치에 포함된 모든 롤러(60)에 설치될 수 있으며, 특히, 기판(G)의 가장자리와 접촉되는 롤러(60)들에 설치되는 것이 기판(G)의 들림 또는 처짐을 방지하는데 보다 바람직할 것이다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으 로 이해해야만 한다.
본 발명에 따르면, 롤러의 외주면에 사다리꼴 단면을 갖는 접촉 부재를 설치함으로써, 대면적의 기판 이송시 기판의 중앙 부분이 처지거나, 기판의 가장자리가 들리는 현상을 방지할 수 있다.
따라서, 평판 디스플레이 장치의 제조 공정시 약액이 기판의 중앙으로 집중되어 세정 및 건조 공정 등에서 공정 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

Claims (3)

  1. 구동 부재에 의해 회전되며 서로 대향하도록 설치된 다수의 샤프트;
    상기 각 샤프트에 하나 이상 설치되며, 회전하여 기판을 이송시키는 롤러; 및
    상기 각 롤러의 외주면에 설치되고, 사다리꼴 단면을 갖으며, 일면이 이송되는 상기 기판에 대해 경사지게 형성되어 상기 기판의 외측 부분과 접촉되는 접촉부재를 포함하는 기판 이송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 롤러는 외주면에 상기 접촉 부재가 삽입 고정될 수 있는 홈이 형성된 기판 이송 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 접촉 부재는 서로 대향하는 상기 샤프트에 설치된 상기 각 롤러에, 상기 기판을 중심으로 상하 대칭되도록 설치된 기판 이송 장치.
KR1020060135661A 2006-12-27 2006-12-27 기판 이송 장치 KR100828422B1 (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101131181B1 (ko) * 2009-02-24 2012-03-28 (유)에스엔티 기판이송장치

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040060101A (ko) * 2002-12-30 2004-07-06 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시장치의 기판이송장치

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