KR100695230B1 - 기판 반송 유닛 및 이를 가지는 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판을 반송하는 유닛에 관한 것이다. 기판 반송 유닛은 회전하는 샤프트들 및 각각의 샤프트에 이와 함께 회전하도록 설치되는 롤러들을 가진다. 본 발명에서 롤러는 표면에 오목 볼록한 요철이 형성되어, 기판이 이송될 때 미끄러지는 것을 방지하고, 기판에 미세 진동을 가하여 세척 효율을 향상시킨다.
기판 반송 유닛, 샤프트, 롤러, 요철, 세척

Description

기판 반송 유닛 및 이를 가지는 기판 처리 장치{UNIT FOR CONVEYING SUBSTRATE AND APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATE WITH THE UNIT}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 보여주는 도면;
도 2는 도 1의 기판 처리 장치의 평면도;
도 3은 도 1의 슬릿 노즐의 사시도;
도 4는 도 1의 기판 반송 유닛의 사시도;
도 5는 도 4의 롤러의 사시도; 그리고
도 6은 도 5의 롤러의 다른 예를 보여주는 사시도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 기판 100 : 챔버
200 : 처리액 공급부재 300 : 기판 반송 유닛
320 : 샤프트 340 : 구동부재
360 : 동력 전달 부재 380 : 롤러
384 : 요철
본 발명은 집적 회로 제조에 사용되는 기판을 처리하는 장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 샤프트들을 이용하여 기판을 반송하는 기판 반송 유닛에 관한 것이다.
최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 가동된 정보를 표시하기 위해 디스플레이 장치를 가진다. 지금까지는 디스플레이 장치로 브라운관(cathode ray tube) 모니터가 주로 사용되었으나, 최근에는 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판 디스플레이 장치의 사용이 급격히 증대하고 있다. 평판 디스플레이로는 다양한 종류가 있으며, 이들 중 전력 소모와 부피가 작고 저전압 구동형인 액정 디스플레이(liquid crystal display)가 널리 사용되고 있다.
이러한 평판 표시 패널을 제조하기 위해 다양한 공정들이 수행되며, 평판 표시 패널에 사용되는 기판은 반송 유닛을 통해 각각의 공정들이 수행되는 챔버로 이송된다. 반송 유닛은 서로 평행하게 배치된 회전하는 샤프트들과, 각각의 샤프트를 삽입하며 샤프트와 함께 회전하도록 결합하는 롤러들을 가진다. 그러나 일반적으로 사용되는 롤러는 그 표면이 매끄럽게 형성된다. 따라서 기판이 이송되는 도중에 기판이 미끄러지기 쉽다.
또한, 챔버 내에서 공정이 수행되는 도중, 기판으로 세척액과 같은 처리액이 공급된다. 그러나 일반적인 장치 사용시 이들 세척액이 기판 상에 잔류하여 세척 효율이 저하된다.
본 발명은 기판이 반송될 때 기판이 미끄러지는 것을 방지할 수 있는 구조를 가지는 기판 반송 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 처리액을 이용하여 기판을 처리할 때, 처리액이 기판 상에 잔류하는 것을 방지할 수 있는 구조를 가지는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 기판을 반송하는 유닛을 제공한다. 기판 반송 유닛은 서로 나란하게 배열되며 회전 가능한 복수의 샤프트들과 상기 샤프트를 삽입하며 상기 샤프트와 함께 회전되도록 설치되며 기판의 후면과 접촉되는 롤러들을 가진다. 본 발명에 의하면, 상기 롤러의 표면에는 요철이 형성된다. 상술한 요철은 기판이 이송될 때 기판이 미끄러지는 것을 방지한다.
일 에에 의하면, 상기 요철은 상기 샤프트의 길이방향과 나란하게 형성된 요부와 철부를 가지며, 상기 요부와 철부는 상기 롤러의 회전방향을 따라 반복하여 형성된다.
다른 예에 의하면, 상기 요철은 엠보싱 형상으로 제공된다.
또한, 본 발명은 기판을 처리하는 장치를 제공한다. 상기 기판 처리 장치는 챔버, 상기 챔버 내에 배치되며 기판을 반송하는 기판 반송 유닛과 상기 기판 반송 유닛에 의해 반송되는 기판 상으로 처리액을 공급하는 처리액 공급부재를 포함한다.
상기 기판 반송 유닛은 서로 일방향으로 나란하게 배열된 샤프트들, 각각의 상기 샤프트에 설치되며 서로 간에 회전력을 전달하는 동력 전달 부재, 상기 동력 전달 부재들 중 적어도 어느 하나에 회전력을 제공하는 구동부재, 상기 샤프트가 삽입되는 통공이 형성되며 상기 샤프트와 함께 회전되도록 상기 샤프트에 복수개 설치되는 롤러들을 가진다. 상기 롤러의 표면에는 요철이 형성된다. 본 발명에 의하면, 기판이 이송될 때, 기판이 미끄러지는 것을 방지할 뿐 아니라, 기판으로 처리액을 공급하여 공정 진행시 기판에 미세 진동을 가함으로써 기판 처리 효율을 향상시킨다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 6을 참조하면서 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석돼서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장된 것이다.
본 실시예에서 기판(10)으로는 유리 기판(10)과 같이 평판 디스플레이(Flat Panel Display)를 제조에 사용되는 기판(10)을 예로 들어 설명한다. 그러나 기판(10)은 상술한 유리기판(10) 이외에 반도체 칩 제조에 사용되는 웨이퍼일 수 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 기판 처리 장치(1)를 개략적으로 보여주는 도면이고, 도 2는 도 1의 장치의 평면도이다. 도 1과 도 2를 참조하면, 기판 처리 장치(1)는 챔버(100)들, 처리액 공급 부재(200), 그리고 기판 반송 유닛(300)을 가진다. 각각의 챔버(100)는 대체로 직육면체 형상을 가지며, 내부에 공정이 수행되는 공간을 제공한다. 챔버(100)들은 서로 인접하여 배치된다. 챔버(100)들 사이에 위치되는 측벽(120)에는 기판(10)이 통과하는 개구(122)가 형성되고, 챔버(100)의 바닥벽(140)에는 공정에 사용된 처리액을 배출하는 배출구(142)가 형성된다. 기판(10)은 각각의 챔버(100)들을 순차적으로 이송하면서 일련의 공정이 수행될 수 있다.
각각의 챔버(100)들 내에는 기판(10)을 반송하는 기판 반송 유닛(300)이 제공된다. 또한, 각각의 챔버(100)들 내에는 기판(10) 상으로 처리액(또는 처리 가스)을 공급하는 처리액 공급 부재(200)가 설치될 수 있다. 아래에서는 세척액을 공급하여 기판(10)을 세척하는 공정이 수행하는 챔버(100)를 예로 들어 설명한다.
기판 반송 유닛(300)은 기판(10)을 챔버(100)들 간에 이송시킨다. 기판 반송 유닛(300)의 상부에는 기판(10)으로 세척액을 공급하는 처리액 공급 부재(200)가 설치된다. 세척액으로는 탈이온수가 사용될 수 있다. 처리액 공급 부재(200)는 도 3에 도시된 바와 같이 분사구(220)가 긴 슬릿 형상으로 제공된 슬릿노즐을 가진다. 슬릿노즐은 기판(10)이 이송되는 방향과 일정각도 경사지도록 배치되거나, 수직하 게 배치될 수 있다.
도 4는 기판 반송 유닛(300)의 사시도이다. 도 4를 참조하면, 기판 반송 유닛(300)은 샤프트(320)들, 구동 부재(340), 동력 전달 부재(360), 그리고 롤러(380)들을 포함한다. 샤프트(320)들은 상기 챔버(100)의 측벽(120)에 형성된 개구(122)에 대응되는 높이에 서로 평행하게 배치된다. 샤프트(320)들은 수평하게 배치되거나 일단이 타단에 비해 높게 위치되도록 경사지게 배치될 수 있다.
샤프트(320)들 중 어느 하나는 이에 회전력을 제공하는 구동 부재(340)가 결합된다. 예컨대, 구동 부재(340)로는 모터(342)가 사용될 수 있다. 또한, 각각의 샤프트(320)에는 인접하는 샤프트(320)들간에 회전력을 전달하는 동력 전달 부재(360)가 결합된다.
일 예에 의하면, 도 2에 도시된 바와 같이, 동력 전달 부재(360)로는 기어(362)들이 사용될 수 있다. 즉, 각각의 샤프트(320)들의 양단에는 기어(362)가 결합되고, 인접하는 샤프트(320)들에 설치되는 기어(362)는 서로 맞물리도록 위치된다. 이와 달리, 동력 전달 부재(360)로는 각각의 샤프트(320)의 끝단에 설치된 풀리(도시되지 않음)와 이들을 연결하는 벨트(도시되지 않음)가 사용될 수 있다. 선택적으로 기계적 마찰에 의해 파티클이 발생되지 않도록 동력 전달 부재(360)로는 자력을 이용하여 회전력을 전달하는 자석 부재(도시되지 않음)가 사용될 수 있다.
각각의 샤프트(320)에는 그 길이 방향으로 복수의 롤러(380)들이 결합된다. 각각의 롤러(380)에는 샤프트(320)가 삽입되는 통공(382)이 형성된다. 롤러(380)들은 샤프트(320)와 함께 회전하도록 샤프트(320)에 결합된다. 기판(10)은 롤러(380) 의 상부에 놓여져 롤러(380)에 접촉되며, 샤프트(320) 및 롤러(380)의 회전에 따라 일방향으로 이송된다.
일반적으로 사용되고 있는 반송 유닛에서 롤러는 매끄러운 표면을 가진다. 이 경우, 기판(10)이 이송되는 도중 미끄러지기 쉽다. 본 발명에서 롤러(380)의 표면에는 요철(384)이 형성된다. 요철(384)은 롤러(380)와 기판(10) 사이의 미끄럼 마찰을 증대시켜 기판(10)이 미끄러지는 것을 방지한다. 롤러(380)는 테프론(teflon) 재질로 이루어진다.
본 발명에서 롤러(380)의 표면에 요철(凹凸)(384)이 제공된다는 것의 의미는 도 5와 같이 롤러(380)의 표면에 요부와 철부가 규칙적으로 제공된 경우뿐만 아니라 도 6과 같이 롤러(380)의 표면에 돌기가 형성된 경우나 롤러(380)의 표면에 함입부가 형성된 경우 등을 모두 포함한다.
도 5는 롤러(380)에 형성된 요철(384)의 일 예를 보여주는 롤러(380)의 사시도이다. 도 5를 참조하면, 요철(384)은 각각 샤프트(320)의 길이방향과 나란하게 형성된 요부(384a)와 철부(384b)를 가진다. 요부(384a)와 철부(384b)는 롤러(380)의 회전방향을 따라 반복하여 형성된다. 각각의 요부(384a)와 철부(384b)는 라운드진 형상으로 제공되는 것이 바람직하다. 롤러(380)가 회전됨에 따라 기판(10)은 미세하게 진동하면서 이송된다. 이는 기판(10)이 이송될 때 기판(10)이 미끄러지는 것을 방지한다. 또한, 상술한 미세 진동은 기판(10) 상에 잔류하는 세척액을 기판(10) 외부로 유도한다. 따라서 기판(10) 상에 잔류하는 세척액에 의해 기판(10)에 물반점 형성 등과 같은 공정 불량을 방지할 수 있다.
도 6은 롤러(380)에 형성된 요철(384)의 다른 예를 보여주는 롤러(380)의 사시도이다. 도 6을 참조하면, 요철(384)은 롤러(380)의 표면 전체에 엠보싱 형상으로 제공된다. 즉, 롤러(380)의 표면에 반구 형상의 돌기(384c)가 제공될 수 있다.
상술한 바와 같이 각각의 샤프트(320)에는 복수의 롤러(380)들이 설치된다. 각각의 샤프트(320)에 설치되는 모든 롤러(380)들의 표면에 요철(384)이 제공될 수 있다. 선택적으로 각각의 샤프트(320)에 설치되는 복수의 롤러(380)들 중 선택된 일부 롤러(380)들의 표면에만 요철(384)이 제공될 수 있다.
본 실시예에서는 도 5 및 도 6과 같은 형상의 요철(384)이 제공된 롤러(380)를 예로 들어 설명하였다. 그러나 롤러(380)는 기판(10)의 미끄럼을 방지하거나 기판(10)에 미세 진동을 가할 수 있는 다양한 형상의 요철(384)을 가질 수 있다.
상술한 실시예에서 기판(10) 반송 장치는 기판(10) 상으로 탈이온수와 같은 세척액을 분사하여 기판(10)을 세척하는 공정을 수행하는 기판 처리 장치(1)에 제공되는 경우를 예로 들어 설명하였다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 세척액 이외의 처리액을 사용하여 공정을 수행하는 장치 및 기판(10) 반송만을 수행하는 장치에도 적용된다.
본 발명에 의하면, 롤러의 표면에 오목볼록한 요철을 제공함으로써 기판이 이송될 때 기판이 미끄러지는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 기판으로 처리액을 공급하여 공정 진행시 기판에 미세 진동을 가함으로써 기판 처리 효율을 향상시킨다.

Claims (7)

  1. 기판 반송 유닛에 있어서,
    서로 나란하게 배열되며, 회전 가능한 복수의 샤프트들과;
    상기 샤프트를 삽입하며 상기 샤프트와 함께 회전되도록 설치되는, 그리고 기판의 후면과 접촉되는 롤러들을 포함하되,
    상기 롤러의 표면에는 엠보싱 형상으로 제공된 요철이 형성된 것을 특징으로 하는 기판 반송 유닛.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 롤러의 표면은 테프론(teflon) 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 반송 유닛.
  5. 제 1항 또는 제 4항에 있어서,
    상기 기판은 평판 표시 패널 제조에 사용되는 기판 또는 반도체 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 기판 반송 유닛.
  6. 챔버와;
    상기 챔버 내에 배치되며, 기판을 반송하는 기판 반송 유닛과;
    상기 기판 반송 유닛에 의해 반송되는 기판 상으로 처리액을 공급하는 처리액 공급부재를 포함하되,
    상기 기판 반송 유닛은,
    서로 일방향으로 나란하게 배열된 샤프트들과;
    각각의 상기 샤프트에 설치되며, 서로 간에 회전력을 전달하는 동력 전달 부재와;
    상기 동력 전달 부재들 중 적어도 어느 하나에 회전력을 제공하는 구동부재와;
    상기 샤프트가 삽입되는 통공이 형성되며, 상기 샤프트와 함께 회전되도록 상기 샤프트에 복수개 설치되는 롤러들을 구비하며,
    상기 롤러의 표면에는 엠보싱 형상으로 제공된 요철이 형성된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  7. 삭제
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