JP2003042169A - 軸受装置及びこれを備えた基板処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】内部ベアリングに腐食性の高い処理流体が浸透
するのを確実に防止することができる軸受装置、及びこ
れを備えた基板処理装置を提供する。 【解決手段】回転軸１１１を回転自在に支持するベアリ
ング１１と、貫通孔１３ａ，１３ｂ，１３ｃを備え、貫
通孔の一方側１３ａにベアリング１１を保持するハウジ
ング１２と、一方端から他方端に貫通する孔であって、
回転軸１１１が挿通される挿通孔２１を有し、一方端側
がハウジング貫通孔の他方側１３ｃに気密状に嵌挿され
る封止部材２０と、ハウジング１２の貫通孔１３ｃ内で
あって、ベアリング１１と封止部材２０との間の空間１
７に圧力流体を供給する圧力流体供給手段１８，３５と
を設ける。圧力流体供給手段１８，３５から供給される
圧力流体によって空間１７内が陽圧となり、同空間１７
から挿通孔２１と回転軸１１１との間を通って外部に流
れる流体流を生じる。これにより、腐食性の高い処理流
体が同部から進入するのを阻止することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、腐食性の高い薬液
が使用される装置に用いて好適な軸受装置、並びに、基
板搬送用の回転軸がこの軸受装置によって回転自在に支
持された基板処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、液晶基板を構成するＴＦＴ基板
は、種々の工程を経て製造され、各工程では、現像液や
レジスト膜の塗布、その剥離用の薬液，エッチング液或
いは洗浄液の塗布など、ＴＦＴ基板に対して各種の処理
液が塗布される。

【０００３】この内、例えば、エッチング工程では、基
板を支持して水平搬送し、搬送される基板に対しエッチ
ング液を噴射して処理を行うように構成されたエッチン
グ装置が用いられている。かかるエッチング装置の一例
を図３に示す。

【０００４】同図３に示すように、このエッチング装置
１００はＴＦＴ基板（以下、単に基板という）Ｋにエッ
チング処理を施す装置であって、上部が開口した槽本体
１０１と、この槽本体１０１の開口部を閉塞する蓋体１
０３と、前記槽本体１０１内に配設されたエッチング液
噴射装置１０５、及び基板Ｋを水平方向に搬送する搬送
装置１１０などからなる。

【０００５】前記エッチング液噴射装置１０５は、複数
のエッチング液噴射ノズル１０６と、加圧されたエッチ
ング液を前記エッチング液噴射ノズル１０６に供給する
エッチング液供給手段（図示せず）などからなる。エッ
チング液噴射ノズル１０６は、前記搬送装置１１０によ
って搬送される基板Ｋの上方に、その幅方向及び搬送方
向に沿って配列され、搬送される基板Ｋの上面にエッチ
ング液を噴射する。

【０００６】前記搬送装置１１０は、上下に並設された
一対の回転軸１１１，１２１を紙面に対し直交する方向
に多列に配設して構成される。上方の回転軸１１１は、
その一方端が槽本体１０１内に配設された軸受装置１２
０によって回転自在に支持される一方、その他方端は、
槽本体１０１の側板１０２を貫通して外部に突出し、同
側板１０２に設けられた軸受装置１３０によって回転自
在に支持されており、更に、その先端部にはプーリ１２
４が取り付けられている。また、下方の回転軸１２１
は、その両端部が槽本体１０１内に配設された軸受装置
１２０によってそれぞれ回転自在に支持されている。

【０００７】前記プーリ１２４には、駆動モータ（図示
せず）の回転動力を伝達する伝動ベルト１２５が巻き掛
けられており、伝動ベルト１２５及びプーリ１２４を介
して前記駆動モータ（図示せず）の回転動力が回転軸１
１１に伝達され、更に、回転軸１１１に伝達された回転
動力が、この回転軸１１１に設けられたギヤ１１９及び
前記回転軸１２１に設けられ前記ギヤ１１９に噛合する
ギヤ１２３を介して回転軸１２１に伝達され、これによ
り、両回転軸１１１，１２１がその軸中心に回転する。

【０００８】また、下方の回転軸１１１には、基板Ｋの
幅より若干広い間隔をあけて一対のフランジ付ローラ１
１７が設けられ、更に、このフランジ付ローラ１１７，
１１７の間に適宜間隔で複数のローラ１１８が設けられ
ている。また、上方の回転軸１２１には、前記フランジ
付ローラ１１７の上方位置にローラ１２２が設けられて
いる。

【０００９】斯くして、このエッチング装置１００によ
れば、搬送装置１１０の回転軸１１１，１２１の回転に
より、基板Ｋが前記フランジ付ローラ１１７及びローラ
１２２の間に挟持された状態で、紙面に対して直交する
方向に搬送され、搬送される基板Ｋに対して、その上面
にエッチング液噴射ノズル１０６からエッチング液が噴
射され、これにより、当該基板Ｋがエッチング処理され
る。

【００１０】ところで、前記エッチング液は極めて腐食
性が高い。このため、前記槽本体１０１内に配設される
前記軸受装置１２０については、前記エッチング液に対
して耐腐食性を有する樹脂製のベアリングを使用してい
る。

【００１１】一方、槽本体１０１から突出するように設
けられた回転軸１１１の前記他方端部を支持する軸受装
置１３０については、前記駆動モータ（図示せず）の動
力が伝達される側であり、軸受装置１３０のベアリング
に作用する負荷が大きいため、当該ベアリングには金属
製のものが使用されている。そして、金属製のベアリン
グはエッチング液によって容易に腐食されることから、
前記槽本体１０１内のエッチング液が当該ベアリングに
到達しないように、前記軸受装置１３０には、図４に示
すような構造のものが採用されている。

【００１２】即ち、この軸受装置１３０は、同図４に示
すように、中心軸１１２及びこの中心軸１１２に外嵌さ
れるスリーブ１１３からなる回転軸１１１を回転自在に
支持するベアリング１３１、このベアリング１３１を保
持する縦断面Ｌ字形状をしたブラケット１３２、前記側
板１０２の取付孔に装着され、且つ取付板１４２の取付
孔に装着されて支持される封止部材１３４、この封止部
材１４６の先端部をカバーする保護カップ１４６などか
らなる。尚、前記回転軸１２１も同様に、中心軸とスリ
ーブからなる二重構造となっている。

【００１３】前記封止部材１３４は、外周部が大径部１
３７と小径部１３８の段付状に形成された軸状の部材か
らなり、中心部には前記回転軸１１１が挿通される挿通
孔１３５が形成され、前記小径部１３８側の端面には止
り孔１３６が形成されている。そして、この封止部材１
３４は、その小径部１３８が前記側板１０２の取付孔に
嵌挿，装着されとともに、大径部１３７が前記取付板１
４２によって支持され、且つ大径部１３７端面がブラケ
ット１３２に当接した状態となっている。

【００１４】前記スリーブ１１３は、その先端部が小径
部１１４，大径部１１５及びフランジ部１１６からなる
段付状に形成されており、大径部１１５には、前記封止
部材１３４の小径部１３８端面に密接する第２シール部
材（回転シール）１４５が外嵌され、小径部１１４に
は、前記封止部材１３４に形成された止り孔１３６の底
面に密接する第１シール部材（回転シール）１４４が外
嵌されている。

【００１５】前記保護カップ１４６は、テーパ孔１４７
を備えた椀状の部材からなり、前記封止部材１３４の小
径部１３８先端が前記テーパ孔１４７内に位置するよう
に、前記スリーブ１１３に外嵌されている。

【００１６】また、前記ブラケット１３２には、前記ベ
アリング１３１の外輪の抜けを防止する押え蓋１３３が
設けられており、この押え蓋１３３は図示しない取付ボ
ルトによって、ブラケット１３２及び封止部材１３４と
共に一体的に結合されている。尚、図４中の符号１２６
はプーリ１２４の抜けを防止する止め具であり、符号１
３９はベアリング１３１の内輪の抜けを防止すべく設け
られたスリーブであり、符号１４３は、前記ブラケット
１３２及び取付板１４２を支持する支持板である。ま
た、符号１４０，１４１，１４８はそれぞれOリングで
ある。

【００１７】斯くして、この軸受装置１００によれば、
側板１０２の取付孔と封止部材１３４の小径部１３８と
の間がＯリング１４１によって封止され、更に取付板１
４２の取付孔と封止部材１３４の大径部１３７との間が
Ｏリング１４０によって封止されているので、槽本体１
０１内のエッチング液が前記各取付孔を介して漏出する
のが、かかるＯリング１４０，１４１によって防止され
る。

【００１８】また、スリーブ１１３には、封止部材１３
４の小径部１３８端面に密接する第２シール部材１４５
及び止り孔１３６底面に密接する第１シール部材１４４
が外嵌されているので、封止部材１３４の止り孔１３６
及び挿通孔１３５とスリーブ１１３との間からエッチン
グ液が進入するのが、かかる第１及び第２シール部材１
４４，１４５によって阻止される。

【００１９】更に、封止部材１３４の小径部１３８先端
が、保護カップ１４６のテーパ孔１４７内に位置するよ
うに配設されているので、槽本体１０１内で、エッチン
グ液が、直接、前記第２シール部材１４５に掛からない
ようになっており、この面でも、封止部材１３４の止り
孔１３６及び挿通孔１３５とスリーブ１１３との間から
エッチング液が進入し難くなっている。

【００２０】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記の如く
エッチング液の進入を防止すべく構成された軸受装置１
３０であっても、依然として完全にはエッチング液の進
入を防止することができず、進入したエッチング液によ
ってベアリング１３１やプーリ１２４が腐食，損傷し、
早期にこれを交換しなければならないという事態を招い
ていた。

【００２１】これは、エッチング液が気化し易く、ま
た、浸透性が高いという性状を有すること、並びに、前
記第１及び第２シール部材１４４，１４５が封止部材１
３４に対して密接状に回転接触しているため、封止部材
１３４との間に僅かな隙間を生じ易いことなどに起因す
るものであり、気化したエッチングガスやミスト状にな
ったエッチング液が、第１及び第２シール部材１４４，
１４５と封止部材１３４との間に生じた極僅かな隙間か
ら進入するからである。

【００２２】このため、エッチング液など腐食性の高い
処理流体を用いる装置の分野では、かかる処理流体の進
入を、更に、強固に防止することが可能な封止構造を備
えた軸受装置が望まれていた。

【００２３】本発明は、以上の実情に鑑みなされたもの
であって、内部ベアリングに腐食性の高い処理流体が進
入，浸透するのを確実に防止することができる軸受装
置、及びこれを備えた基板処理装置の提供を目的とす
る。

【００２４】

【課題を解決するための手段及びその効果】上記課題を
解決するための本発明の請求項１に記載した発明は、回
転軸を回転自在に支持するベアリングと、貫通孔を備
え、該貫通孔の一方側に前記ベアリングを保持するハウ
ジングと、一方端から他方端に貫通する孔であって、前
記回転軸が挿通される挿通孔を有し、前記一方端側が前
記ハウジング貫通孔の他方側に気密状に嵌挿される封止
部材と、前記ハウジングの貫通孔内であって、前記ベア
リングと封止部材との間の空間に圧力流体を供給する圧
力流体供給手段とを設けて構成したことを特徴とする軸
受装置に係る。

【００２５】この軸受装置によれば、前記圧力流体供給
手段により、前記ハウジングの貫通孔内であって、前記
ベアリングと封止部材との間の空間内に、圧力流体が供
給されるので、当該空間内が陽圧となり、同空間から前
記封止部材の挿通孔と回転軸との間を通って外部に流れ
る流体流が生じる。

【００２６】したがって、エッチング液など腐食性の高
い処理流体が使用される処理装置であって、その処理槽
内に前記封止部材側を挿入した状態で、処理槽内に配設
された回転軸を支持するように、当該軸受装置が使用さ
れても、前記封止部材の挿通孔と回転軸との間に生じた
流体流によって、前記処理流体が前記挿通孔と回転軸と
の間に進入するのを確実に阻止することができる。そし
て、かかる作用により、前記ハウジング内に保持された
ベアリングが前記処理流体によって腐食，損傷するのを
確実に防止することが可能となる。

【００２７】また、本発明の請求項２に記載した発明
は、上記請求項１記載の軸受装置において、前記封止部
材の、前記ハウジング貫通孔に嵌挿される端部とは反対
側の端部端面に、前記挿通孔と同軸の止り孔を形成する
とともに、前記回転軸によって軸通され、外径が前記止
り孔の内径より僅かに小径となったリング状の邪魔板
を、前記止り孔内に位置するように配設したことを特徴
とする軸受装置に係る。

【００２８】この軸受装置によれば、上記処理槽内にお
いて、前記挿通孔と回転軸との間に向けて進行する前記
処理流体が、前記邪魔板によってその進行が阻止される
とともに、前記封止部材の挿通孔と回転軸との間を流通
した流体が、前記止り孔と邪魔板との間隙から流出し、
かかる流体流の作用により、前記処理流体が前記挿通孔
と回転軸との間に更に進入し難くなる。

【００２９】また、本発明の請求項３に記載した発明
は、請求項１又は２記載の軸受装置において、前記封止
部材に挿通される回転軸、及び前記封止部材の双方に密
接して、前記回転軸と封止部材との間を封止するシール
部材を設けて構成したことを特徴とする軸受装置に係
る。

【００３０】この軸受装置によれば、前記回転軸と封止
部材との間がシール部材によって封止されるので、前記
回転軸と封止部材との間に前記処理流体が進入するの
を、かかるシール部材によって阻止することができる。
しかも、前記ベアリング，封止部材，回転軸及びシール
部材によって形成される空間内が、前記圧力流体供給手
段から供給される圧力流体によって陽圧に保たれるの
で、シール部材による封止部に僅かな隙間を生じても、
かかる隙間から前記空間内の圧力流体が流出する流体流
を生じ、この流体流によって、前記回転軸と封止部材と
の間に前記処理流体が進入する確実に防止することがで
きる。斯くして、この軸受装置によれば、かかる作用に
より、例え、前記処理流体が浸透性の高いものであって
も、これが前記ベアリング，封止部材，回転軸及びシー
ル部材によって形成される空間内に進入するのを確実に
防止することができ、ベアリングが前記処理流体によっ
て腐食，損傷するのを効果的に防止することができる。

【００３１】また、本発明の請求項４に記載した発明
は、上記請求項２記載の軸受装置において、前記ハウジ
ングの貫通孔内であって、前記ベアリングと封止部材と
の間に配設され、前記封止部材の一方端部端面及び前記
回転軸の双方に密接して、前記回転軸と封止部材との間
を封止する第１シール部材と、前記封止部材の止り孔内
に配設され、前記封止部材の止り孔底面及び前記回転軸
の双方に密接して、前記回転軸と封止部材との間を封止
する第２シール部材とを設けて構成したことを特徴とす
る軸受装置に係る。

【００３２】この軸受装置によれば、第１シール部材及
び第２シール部材の２つのシール部材により、前記回転
軸と封止部材との間を封止するようにしているので、前
記処理流体が前記ベアリング，封止部材，回転軸及びシ
ール部材によって形成される空間内に進入するのを更に
確実に防止することができ、ベアリングが前記処理流体
によって腐食，損傷するのをより効果的に防止すること
ができる。

【００３３】また、本発明の請求項５に記載した発明
は、上記請求項４記載の軸受装置において、前記ハウジ
ングの貫通孔内であって、前記ベアリングと封止部材と
の間の空間と、前記封止部材の止り孔内の空間とを連通
せしめる連通孔を、前記封止部材に形成したことを特徴
とする軸受装置に係る。

【００３４】この軸受装置によれば、前記圧力流体供給
手段から前記ベアリングと封止部材との間の空間に供給
された圧力流体が、前記連通孔を介して前記封止部材の
止り孔内に流入し、当該止り孔内が陽圧となって、当該
止り孔内の圧力流体が前記邪魔板との間隙から流出する
流体流を生じる。斯くして、この流体流により、前記邪
魔板との間隙から前記止り孔内に処理流体が進入するの
をより確実に防止することが可能となる。

【００３５】また、本発明の請求項６に記載した発明
は、上記請求項４又は５記載の軸受装置において、封止
部材の挿通孔内であって、前記第１シール部材と第２シ
ール部材との間の空間に接続する流体排出孔を前記封止
部材に形成するとともに、前記流体排出孔に接続し、前
記空間内の流体を外部に排出する流体排出手段を設けた
ことを特徴とする軸受装置に係る。

【００３６】この軸受装置によれば、仮に、前記第２シ
ール部材による封止が不十分で、その封止部から第１シ
ール部材と第２シール部材との間の空間内に前記処理流
体が進入したとしても、同空間内に進入した処理流体が
前記流体排出孔を介し前記流体排出手段によって外部に
排出されるので、前記空間内に進入した処理流体が、同
空間から前記ベアリング，封止部材，回転軸及び第１シ
ール部材によって形成される空間内に進入するのを一層
効果的に防止することができる。

【００３７】また、本発明の請求項７に記載した発明
は、上記請求項６記載の軸受装置において、前記第１シ
ール部材と第２シール部材との間の封止部材の挿通孔に
環状溝を形成するとともに、前記流体排出孔を、前記環
状溝内に開口せしめたことを特徴とする軸受装置に係
る。

【００３８】この軸受装置によれば、第１シール部材と
第２シール部材との間の空間内に存在する前記処理流体
を前記環状溝内に収集することができ、同空間内に進入
した処理流体をより効果的に外部に排出することがで
き、ひいては前記空間内に進入した処理流体が、前記ベ
アリング，封止部材，回転軸及び第２シール部材によっ
て形成される空間内に進入するのをより効果的に防止す
ることができる。

【００３９】また、本発明の請求項８に記載した発明
は、処理槽と、端部が外部に突出するように前記処理槽
内に配設された回転軸を有し、該回転軸の回転によって
基板を搬送する基板搬送手段とを備えて構成され、基板
を前記基板搬送手段によって搬送しながら該基板に対し
処理流体を吐出して処理を行う基板処理装置であって、
前記回転軸の端部が、前記請求項１乃至７記載のいずれ
かの軸受装置によって回転自在に支持されてなり、その
前記封止部材の他方端側が前記処理槽内に挿入されると
ともに、前記封止部材の前記一方端側及びハウジングが
前記処理槽外に位置するように配設されてなる基板処理
装置に係る。

【００４０】この基板処理装置では、前記処理流体が、
腐食性が強く、しかも浸透性が高い性状のものであって
も、これが内部に浸透し難い構造の前記軸受装置によっ
て、前記基板搬送手段の回転軸を支持しているので、軸
受装置に内蔵されるベアリングを前記処理流体による腐
食から効果的に保護することができ、ひいては当該ベア
リングの寿命を延ばすことができる。このため、ベアリ
ングの交換といったメンテナンスの頻度を低減すること
ができ、その分、当該装置の稼働率を向上させることが
できる。

【００４１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施形態
について添付図面に基づき説明する。図１は、本実施形
態に係る基板処理装置の概略構成を示した縦断面図であ
り、図２は、図１に示した軸受装置を拡大して示す縦断
面図である。

【００４２】尚、本例の基板処理装置１は、軸受装置１
０を除いて、図３に示した従来の基板処理装置１００と
同じ構成を備えるものであり、したがって、同一の構成
については、同一の符号を用いるとともに、その詳しい
説明を省略する。

【００４３】図２に示すように、本例の軸受装置１０
は、中心軸１１２及びこの中心軸１１２に外嵌されるス
リーブ１１３’ａ，１１３’ｂからなる回転軸１１１を
回転自在に支持するベアリング１１、このベアリング１
１を保持するハウジング１２、一方端がハウジング１２
に嵌挿され、他方端が槽本体１０１の側板１０２に嵌挿
された封止部材２０などからなる。

【００４４】前記ハウジング１２は、中心部に貫通孔１
３ｂを備え、更に、その図示左側に止り孔１３ａを、図
示右側に止り孔１３ｃをそれぞれ備えてなる。そして、
前記止り孔１３ａには前記ベアリング１１が嵌挿され、
止り孔１３cには前記封止部材２０が嵌挿されている。

【００４５】尚、ベアリング１１は、前記スリーブ１１
３’ａから延在するように前記中心軸１１２に外嵌され
たスリーブ１１３’ｂに外嵌しており、前記中心軸１１
２及びスリーブ１１３’ａ，１１３’ｂから構成される
回転軸１１１を回転自在に支持する。また、スリーブ１
１３’ｂにはプーリ１２４も外嵌しており、更に、ベア
リング１１とプーリ１２４との間には間座１４が配設さ
れており、ベアリング１１は、この間座１４によってそ
の内輪の抜けが防止されている。一方、ベアリング１１
の外輪は、ハウジング１２に固設された押え蓋１６によ
ってその抜けが防止される。

【００４６】また、このハウジング１２は、その図示右
側端部が支持板３８の取付孔に嵌挿された状態で、当該
支持板３８に固設されており、支持板３８は、貫通孔４
１を備えたブラケット４０に固設され、ブラケット４０
は前記槽本体１０１の側板１０２に固設されている。

【００４７】前記封止部材２０は、中心部に前記回転軸
１１１が挿通される挿通孔２１を備え、その図示右側に
は止り孔２２を、更にこの止り孔２２より小径のテーパ
状をした止り孔２３を備えてなる。そして、その一方端
側がＯリング３０を介して前記ハウジング１１の止り孔
１３ｃに気密状に嵌挿され、他方端側がＯリング３１を
介して前記側板１０２の取付孔に気密状に嵌挿されてい
る。尚、側板１０２には補助板３９が固設されており、
封止部材２０はこの補助板３９の取付孔にも、Ｏリング
３２を介して気密状に嵌挿されている。

【００４８】前記スリーブ１１３’ａは、前記封止部材
２０の止り孔２２，２３に対応する位置にフランジ部１
１６’を備えており、このフランジ部１１６’の右隣に
は、外径が前記止り孔２２の内径より僅かに小径となっ
たリング状の邪魔板３７が、前記止り孔２２内に位置す
るように気密状に外嵌され、左隣には、前記止り孔２３
の底面に密接する第２シール部材（回転シール）３４が
気密状に外嵌されている。また、スリーブ１１３’ａの
左端には、前記封止部材２０の端面に密接する第１シー
ル部材（回転シール）３３が気密状に外嵌されている。

【００４９】また、封止部材２０には、前記ハウジング
１２の止り孔１３ｃ内であって、前記ベアリング１１と
当該封止部材２０との間の空間１７と、前記止り孔２
２，２３内の空間２４，２５とを連通せしめる連通孔２
６が形成されている。また、前記挿通孔２１には環状溝
２８が形成されるとともに、当該封止部材２０には、環
状溝２８の底面に開口する流体排出孔２９が形成されて
おり、更に、この流体排出孔２９には、吸引ポンプ（図
示せず）に接続した排出管３６が前記ハウジング１２を
貫通して接続している。

【００５０】また、ハウジング１２には、前記止り孔１
３ｃ内の空間１７に開口する給気孔１８が形成されてお
り、この給気孔１８には、加圧した空気を供給するコン
プレッサ（図示せず）が、管継手３５を介して接続して
いる。

【００５１】斯くして、以上の構成を備えた本例の軸受
装置１０及びこれを備えた基板処理装置１によると、前
記コンプレッサ（図示せず）から管継手３５及び給気孔
１８介して、ハウジング１２の止り孔１３ｃ内の空間１
７に加圧空気が供給され、この加圧空気によって同空間
１７内が陽圧に維持される。

【００５２】また、前記空間１７内に供給された加圧空
気は、前記連通孔２６を通って止り孔２２，２３内の空
間２４，２５に流入し、この加圧空気によって同空間２
４，２５内が陽圧に維持され、当該空間２４，２５内に
流入した加圧空気は、止り孔２２と前記邪魔板３７との
間隙を通って槽本体１０１内に流出する。

【００５３】槽本体１０１内では、エッチング液噴射ノ
ズル１０４からエッチング液が噴射されており、ミスト
状になったエッチング液や気化したエッチングガスが存
在する。そして、その一部には、前記止り孔２２と邪魔
板３７との間隙に向けて進行するものがあるが、かかる
エッチング液やエッチングガスは、前記間隙から流出す
る加圧空気流によってその進行が阻止され、前記止り孔
２２内への進入が当該加圧空気流によって一次的に防止
される。

【００５４】また、回転軸１１１と封止部材２０との
間、より具体的にはスリーブ１１３’ａと封止部材２０
との間の挿通孔２１は、第２シール部材３４及び第１シ
ール部材３３によって封止されているので、仮に、前記
止り孔２２と邪魔板３７との間隙から止り孔２２内にエ
ッチング液やエッチングガスが流入したとしても、これ
らが、前記挿通孔２１を通りハウジング１２の止り孔１
３ｃ内に進入して、前記ベアリング１１に到達するの
が、前記第２シール部材３４及び第１シール部材３３に
よって、二次，三次的に防止される。

【００５５】更に、前記止り孔１３ｃ内の空間１７が加
圧空気によって陽圧に維持されるので、第１シール部材
３３の封止部に僅かな隙間を生じるようなことがあって
も、かかる隙間から前記空間１７内の加圧空気が流出す
る空気流を生じるので、この空気流により、前記エッチ
ング液やエッチングガスが前記隙間から前記空間１７内
に進入するのを効果的に防止することができる。

【００５６】また、前記挿通孔２１には、環状溝２８の
底面に開口した流体排出孔２９及びこれに接続した排出
管３６を介して、吸引ポンプ（図示せず）が接続してお
り、前記挿通孔２１内の流体（雰囲気及び液体）が吸引
ポンプ（図示せず）の作用によって、挿通孔２１内から
吸い出され、外部に排出される。また、環状溝２８を設
けているので、挿通孔２１内に液体が存在する場合に
は、これが環状溝２８内に収集され、これをより効果的
に外部に排出することができる。したがって、仮に、前
記第２シール部材３４による封止が不十分で、その封止
部から挿通孔２１内に、前記エッチング液やエッチング
ガスが進入するようなことがあったとしても、これを吸
引ポンプ（図示せず）の作用によって効果的に外部に排
出することができる。

【００５７】このように、本例の軸受装置１０及びこれ
を備えた基板処理装置１によれば、 前記空間２４，２５内を陽圧にして、止り孔２２と邪
魔板３７との間隙から加圧空気が流出する空気流を生じ
させたこと、第１及び第２のシール部材３３，３４を
設けて前記挿通孔２１を２重に封止たこと、前記空間
１７内を陽圧に維持させたこと、挿通孔２１内の流体
を吸引ポンプ（図示せず）によって吸引排除するように
したことによって、槽本体１０１内のエッチング液やエ
ッチングガスが、回転軸１１１を支持するベアリング１
１に到達するのを多次的に阻止することができる。

【００５８】斯くして、かかる作用により、前記ハウジ
ング１２内に保持されたベアリング１１が前記エッチン
グ液やエッチングガスによって腐食，損傷するのを確実
に防止することが可能となる。このため、ベアリング１
１の交換といったメンテナンスの頻度を低減させること
ができ、その分、当該基板処理装置１の稼働率を向上さ
せることができる。

【００５９】以上、本発明の一実施形態について説明し
たが、本発明が採り得る具体的な態様は、何らこれに限
定されるものではない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係る基板処理装置の概略
構成を示した縦断面図である。

【図２】図１に示した軸受装置を拡大して示す縦断面図
である。

【図３】従来の基板処理装置の概略構成を示した縦断面
図である。

【図４】図３に示した軸受装置を拡大して示す縦断面図
である。

【符号の説明】

１ 基板処理装置 １０ 軸受装置 １１ ベアリング １２ ハウジング １３ａ，１３ｃ 止り孔 １３ｂ 貫通孔 １８ 給気孔 ２０ 封止部材 ２１ 挿通孔 ２２，２３ 止り孔 ２６ 連通孔 ２８ 環状溝 ３７ 邪魔板 １１１ 回転軸

フロントページの続き (72)発明者 松元 俊二 兵庫県尼崎市扶桑町１番10号 住友精密工 業株式会社内 Ｆターム(参考） 3B201 AA03 AB14 BB33 BB77 CD11 CD36 3J016 AA01 AA02 BB02 CA08 3J042 AA04 AA11 BA03 DA09

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転軸を回転自在に支持するベアリング
   と、 貫通孔を備え、該貫通孔の一方側に前記ベアリングを保
   持するハウジングと、 一方端から他方端に貫通する孔であって、前記回転軸が
   挿通される挿通孔を有し、前記一方端側が前記ハウジン
   グ貫通孔の他方側に気密状に嵌挿される封止部材と、 前記ハウジングの貫通孔内であって、前記ベアリングと
   封止部材との間の空間に圧力流体を供給する圧力流体供
   給手段とを設けて構成したことを特徴とする軸受装置。
2. 【請求項２】 前記封止部材の、前記ハウジング貫通孔
   に嵌挿される端部とは反対側の端部端面に、前記挿通孔
   と同軸の止り孔を形成するとともに、 前記回転軸によって軸通され、外径が前記止り孔の内径
   より僅かに小径となったリング状の邪魔板を、前記止り
   孔内に位置するように配設したことを特徴とする請求項
   １記載の軸受装置。
3. 【請求項３】 前記封止部材に挿通される回転軸、及び
   前記封止部材の双方に密接して、前記回転軸と封止部材
   との間を封止するシール部材を設けて構成したことを特
   徴とする請求項１又は２記載の軸受装置。
4. 【請求項４】 前記ハウジングの貫通孔内であって、前
   記ベアリングと封止部材との間に配設され、前記封止部
   材の一方端部端面及び前記回転軸の双方に密接して、前
   記回転軸と封止部材との間を封止する第１シール部材
   と、 前記封止部材の止り孔内に配設され、前記封止部材の止
   り孔底面及び前記回転軸の双方に密接して、前記回転軸
   と封止部材との間を封止する第２シール部材とを設けて
   構成したことを特徴とする請求項２記載の軸受装置。
5. 【請求項５】 前記ハウジングの貫通孔内であって、前
   記ベアリングと封止部材との間の空間と、前記封止部材
   の止り孔内の空間とを連通せしめる連通孔を、前記封止
   部材に形成したことを特徴とする請求項４記載の軸受装
   置。
6. 【請求項６】 封止部材の挿通孔内であって、前記第１
   シール部材と第２シール部材との間の空間に接続する流
   体排出孔を前記封止部材に形成するとともに、 前記流体排出孔に接続し、前記空間内の流体を外部に排
   出する流体排出手段を設けたことを特徴とする請求項４
   又は５記載の軸受装置。
7. 【請求項７】 前記第１シール部材と第２シール部材と
   の間の封止部材の挿通孔に環状溝を形成するとともに、 前記流体排出孔を、前記環状溝内に開口せしめたことを
   特徴とする請求項６記載の軸受装置。
8. 【請求項８】 処理槽と、端部が外部に突出するように
   前記処理槽内に配設された回転軸を有し、該回転軸の回
   転によって基板を搬送する基板搬送手段とを備えて構成
   され、基板を前記基板搬送手段によって搬送しながら該
   基板に対し処理流体を吐出して処理を行う基板処理装置
   であって、 前記回転軸の端部が、前記請求項１乃至７記載のいずれ
   かの軸受装置によって回転自在に支持されてなり、その
   前記封止部材の他方端側が前記処理槽内に挿入されると
   ともに、前記封止部材の前記一方端側及びハウジングが
   前記処理槽外に位置するように配設されてなる基板処理
   装置。