JP2003106465A

JP2003106465A - シール装置及びこのシール装置を用いた処理装置、微小流量制御装置

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Publication number: JP2003106465A
Application number: JP2001304375A
Authority: JP
Inventors: Satoshi Doi; 敏土井; Hiromi Nagamatsu; 廣海永松; Kenji Kazama; 憲治風間; Mitsuhiro Ishihara; 光浩石原; Naoki Wajima; 直樹輪島; Hiroyuki Gokan; 裕之後閑; Hitoshi Kobayashi; 仁小林; Harumichi Hirose; 治道廣瀬
Original assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Current assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Priority date: 2001-09-28
Filing date: 2001-09-28
Publication date: 2003-04-09
Anticipated expiration: 2021-09-28
Also published as: KR100909509B1; JP4727104B2; TW539817B; KR20030027772A

Abstract

(57)【要約】【課題】この発明は壁体を貫通して設けられる軸体を
液体によってシールする場合、液体が壁体側に漏れるの
を防止したシール装置を提供することにある。【解決手段】壁体の外面に一端面が気密に接合されこ
の壁体に形成された貫通孔８を貫通した搬送ローラ５の
端部が挿通される挿通孔２８が形成されたハウジング２
９と、このハウジングの一端面側の上記軸体の外周面と
上記挿通孔の内周面との間の第１の空間部５１に気体を
供給する気体供給路４２と、上記ハウジングの他端面側
の上記軸体の外周面と上記挿通孔の内周面との間の上記
空間部に液体を供給する液体供給路４３と、第１、第２
の空間部に設けられ上記液体供給手段から供給された液
体によって上記軸体の上記空間部内に位置する部分をシ
ールするとともに上記気体供給手段から供給された気体
を上記ハウジングの一端面側へ流出させる第１乃至第３
のシール部材３８〜４０とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は壁体の貫通孔に挿
通された軸体をシールするためのシール装置、基板を搬
送しながら処理液で処理するための上記シール装置が用
いられた処理装置及び液体の流量を制御する微小流量制
御装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】たとえば液晶表示装置や半導体装置の製
造工程においては、基板としての液晶用ガラス基板や半
導体ウエハをエッチング処理したり、レジストの剥離処
理を行なう工程がある。このような基板の処理工程で
は、基板を一枚づつ搬送しながら処理する枚葉方式が採
用されることがある。

【０００３】枚葉方式によって基板を処理する場合、基
板を搬送しながらその上下面或いは上面にシャワ−ノズ
ルから処理液を噴射して処理する処理装置が知られてい
る。この処理装置は処理槽を有し、この処理槽内には上
記基板の搬送方向に沿って軸体としての複数の搬送ロ−
ラを所定間隔で回転自在に設け、これらの搬送ロ−ラを
回転駆動することで、上記基板を搬送するようになって
いる。

【０００４】上記搬送ローラの両端部は上記処理槽の両
側壁に形成された貫通孔から外部に突出し、その突出部
分はそれぞれ軸受体によって回転可能に支持されてい
る。搬送ローラの一方の端部には従動歯車が設けられ、
この従動歯車には駆動源によって回転駆動される駆動歯
車が噛合している。それによって、処理槽内に供給され
た基板を上記搬送ローラによって所定方向に搬送するよ
うになっている。

【０００５】上記搬送ロ−ラによって搬送される基板に
処理液を噴射すると、この処理液はミスト状となって処
理槽内に充満する。処理液としてはエッチング液や剥離
液などの薬液が用いられる。そのため、たとえばエッチ
ング液の場合には、金属を腐食したり、作業環境を悪化
させるため、処理槽から外部に流出するのを防止しなけ
ればならない。

【０００６】処理液が処理槽から流出する虞のある箇所
としては、基板を搬入する搬入口、搬出する搬出口及び
上記搬送ローラの両端部が貫通した貫通孔がある。上記
搬入口と搬出口はシャッタによって開閉することで、処
理液の流出を防止しており、上記貫通孔は上記搬送ロー
ラにシール装置を設けてシールすることで、処理液の流
出を防止している。

【０００７】回転駆動される軸体をシールするシール装
置としては、メカニカルシールが知られている。しかし
ながら、メカニカルシールは構造が複雑で、高価である
ため、処理装置の処理槽のように多数の搬送ローラが設
けられる場合には、装置全体のコストが大幅に上昇する
ことになる。

【０００８】そこで、従来は、上記軸体の端部に挿通孔
が形成されたハウジングを設け、この挿通孔の内周面と
軸体の外周面との間の空間部に液体を供給することで、
上記軸体の回転部分をシールする液体式のシール装置が
採用されている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】液体によって軸体をシ
ールするシール装置によれば、比較的簡単かつ安価な構
造で、上記軸体のシールを確実に行なうことが可能とな
る。しかしながら、ハウジングの挿通孔の内周面と軸体
の外周面との間の空間部に供給された液体は、ハウジン
グから流出し、軸体の軸方向に沿って流れ、処理槽内に
流入することがある。

【００１０】処理槽内で用いられる処理液がエッチング
液や剥離液などのように高価なものであると、その処理
液を回収して再使用するということが行なわれる。その
場合、処理槽から回収される処理液に、シール装置から
処理槽内に流入した液体が混じるため、処理液の再使用
に制限を受けることになる。

【００１１】この発明は、軸体を液体によってシールし
た場合に、そのシールを安価な構造で確実に行なうこと
ができるようにするとともに、シール用の液体が軸体の
軸方向に漏れ出ることがないようにしたシール装置及び
このシール装置を用いた処理装置、シール装置に用いる
ことで、シール装置の性能を向上させることができる微
小流量制御装置を提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、壁体
に形成された貫通孔から突出する軸体をシールするシー
ル装置において、上記壁体の外面に一端面が気密に接合
され上記貫通孔を貫通した上記軸体が挿通される挿通孔
が形成されたハウジングと、このハウジングの一端面側
の上記軸体の外周面と上記挿通孔の内周面との間の空間
部に気体を供給する気体供給手段と、上記ハウジングの
他端面側の上記軸体の外周面と上記挿通孔の内周面との
間の上記空間部に液体を供給する液体供給手段と、上記
挿通孔の内周面と上記軸体の外周面との間の空間部に設
けられ上記液体供給手段から供給された液体によって上
記軸体の上記空間部内に位置する部分をシールするとと
もに上記気体供給手段から供給された気体を上記ハウジ
ングの一端面側へ流出させるシール手段とを具備したこ
とを特徴とするシール装置にある。

【００１３】請求項２の発明は、上記ハウジングの上記
気体供給手段が設けられた箇所と対応する箇所には、上
記液体供給手段から供給された液体を排出するための排
液路が形成され、この排液路には上記液体をその粘性に
よって排液路内に溜めるとともに毛細管現象によって排
出する細孔を有するノズル部材が設けられていることを
特徴とする請求項１記載のシール装置にある。

【００１４】請求項３の発明は、上記シール手段は、上
記挿通孔の内周面と上記気体の外周面との間の空間部
を、上記気体供給手段によって気体が供給される第１の
空間部と、上記液体供給手段によって液体が供給される
第２の空間部とに隔別するリング状の第１乃至第３のシ
ール部材からなることを特徴とする請求項１記載のシー
ル装置にある。

【００１５】請求項４の発明は、基板を所定方向に搬送
しながら処理する処理装置において、上記基板の搬送方
向の一端に搬入口、他端に搬出口を有し上記搬送方向と
交差する方向に位置する一対の壁体に所定間隔で貫通孔
が対応して形成された処理槽と、この処理槽内に上記基
板の搬送方向に沿って所定間隔で配置され両端部をそれ
ぞれ上記一対の壁体に形成された貫通孔から外部へ突出
させた軸体と、上記処理槽の貫通孔から突出した上記軸
体の両端部をそれぞれ回転可能に支持した軸受体と、上
記壁体の外面に設けられ上記軸体の上記貫通孔から突出
した端部をシールするシール装置とを具備し、上記シー
ル装置は請求項１に記載された構成であることを特徴と
する処理装置にある。

【００１６】請求項５の発明は、上記軸体の一端部には
従動歯車が設けられ、この従動歯車には駆動源によって
回転駆動される駆動歯車が噛合しており、上記液体供給
手段は、液体供給槽と、この液体供給槽の液体を上記ハ
ウジングの挿通孔と軸体の外周面との間の空間部に供給
する液体供給管と、上記液体供給槽の液面を一定に保つ
オーバフロー管と、上記従動歯車と駆動歯車との噛合部
分に対向して設けられ、上記オーバフロー管から排出さ
れる液体を貯えて上記各歯車の噛合部分を潤滑する潤滑
槽とを具備したことを特徴とする請求項４記載の処理装
置にある。

【００１７】請求項６の発明は、上記液体供給管には外
周面に螺旋溝が形成され上記液体供給槽の液体の圧力を
低減して上記空間部へ流す流量調整部材が設けられてい
ることを特徴とする請求項５記載の処理装置にある。

【００１８】請求項７の発明は、液体が流れる管体に設
けられるものであって、外周面に螺旋溝が形成されると
ともに、上記管体の内周面に外周面を接触させて圧入さ
れ上記管体を流れる液体を上記螺旋溝に沿って流す流量
調整部材からなることを特徴とする微小流量制御装置に
ある。

【００１９】この発明によれば、ハウジングの挿通孔の
内周面と軸体の外周面との間の空間部に液体を供給する
とともに、上記空間部の上記液体よりも壁体側の空間部
に気体を供給するようにしたため、この気体によって液
体の流れを制限することができる。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながらこの発
明の一実施の形態を説明する。

【００２１】図１はこの発明の処理装置の概略的構成を
示す平面図で、図２は縦断面図である。上記処理装置は
処理槽１を備えている。この処理槽１は箱型状に形成さ
れていて、一端面には搬入口２、他端面には搬出口３が
形成されている。上記搬入口２から送り込まれた基板Ｗ
は後述する搬送装置によって上記搬出口３へ搬送される
ようになっており、その間に上記基板Ｗの上下面或いは
上面には図示しないシャワーノズルからエッチング液や
剥離液などの処理液が噴射されるようになっている。

【００２２】なお、上記搬入口２と搬出口３とは図示し
ないシャッタによって開閉されるようになっており、基
板Ｗを搬入及び搬出するとき以外は閉塞されている。そ
れによって、処理槽１内の雰囲気が上記搬入口２や搬出
口３から外部に漏れ出るのが防止されている。

【００２３】上記搬送装置は上記基板Ｗの搬送方向に沿
って所定間隔で平行に配置された複数の軸体としての搬
送ローラ５を有する。搬送ローラ５の両端部は上記処理
槽１の一対の側壁７に形成された貫通孔８を貫通して外
部に突出している。側壁７の外側にはそれぞれ機械室９
が隔別形成され、この機械室９で上記搬送ローラ５の両
端部は軸受体１１によって回転可能に支持されている。

【００２４】上記搬送ローラ５の側壁７の貫通孔８を貫
通した部分はシ−ル装置１３によって後述するごとくシ
−ルされる。上記搬送ローラ５には塩化ビニルによって
形成された支持リング１４が軸方向に所定間隔で設けら
れている。この支持リング１４には図１１（ａ）〜
（ｃ）に示すように周方向の一部に切断部１５が角度
θ、この実施の形態では約４５度の角度で形成されてい
る。それによって、支持リング１４が塩化ビニル製であ
っても、拡径して上記搬送ローラ５の外周面に容易に取
着することが可能となっている。

【００２５】各搬送ローラ５の一端部にはそれぞれ従動
歯車１７が嵌着されている。各従動歯車１７には駆動歯
車１８が噛合している。駆動歯車１８は従動歯車１７の
径方向下方に位置していて、複数の駆動歯車１８は上記
搬送ローラ５と軸線を直交させて回転可能に配置された
駆動軸１９に嵌着されている。

【００２６】上記駆動軸１９には従動プーリ２１が設け
られている。上記機械室９には駆動源としての駆動モー
タ２２が配置されている。この駆動モータ２２の回転軸
には駆動プーリ２３が嵌着されている。この駆動プーリ
２３と上記従動プーリ２１とにはベルト２４が張設され
ている。したがって、駆動モータ２２が作動すること
で、上記駆動歯車１８を介して従動歯車１７が回転され
るから、この従動歯車１７が設けられた搬送ローラ５が
回転される。それによって、処理槽１の搬入口２から搬
入された基板Ｗは搬出口３に向けて搬送されるようにな
っている。

【００２７】なお、上記駆動歯車１８の下方には潤滑槽
２５が設けられ、この駆動歯車１８の一部は潤滑槽２５
に後述するごとく供給される純水に浸漬される。それに
よって、駆動歯車１８と従動歯車１７との噛合部分は純
水によって潤滑される。上記各歯車１７，１８は樹脂製
であるから、発錆を招くことなく水潤滑することが可能
である。

【００２８】上記シール装置１３は、図３に示すように
上記搬送ローラ５の端部が嵌挿される挿通孔２８が形成
されたハウジング２９を有する。このハウジング２９
は、側壁７に穿設された貫通孔８に挿通孔２８を対向さ
せて上記側壁７の外面に、リング状のパッキング３１を
介して一端面が気密に接合固定されている。

【００２９】上記貫通孔８から突出した搬送ローラ５の
端部はこの搬送ローラ５よりも十分に大径な上記挿通孔
２８に挿入される。上記ハウジング２９の一端には挿通
孔２８よりも小径で、搬送ローラ５の外形よりも大径な
突条３２が全周にわたって設けられ、他端面には内径寸
法が上記搬送ローラ５の外形寸法よりも大径なリング状
の鍔部材３３が取付け固定されている。この鍔部材３３
の内面側の内周部には段部３４が形成されている。

【００３０】上記挿通孔２８の上記突条３２と上記鍔部
材３３との間の部分には、第１のカラー３６と第２のカ
ラー３７とが設けられている。各カラー３６，３７の外
周面には外周溝３６ａ，３７ａが形成されているととも
に、第１のカラー３６には図４に示すように周方向に等
間隔で４つの通孔３６ｂが形成され、第２のカラー３７
には図５に示すように８つの通孔３７ｂが周方向に等間
隔で形成されている。

【００３１】上記突条３２と第１のカラー３６の一端面
との間には環状の第１のシール部材３８が設けられ、第
１のカラー３６の他端面と第２のカラー３７の一端面と
の間には環状の第２のシール部材３９が設けられてい
る。さらに、上記第２のカラー３７の他端面には上記鍔
部材３３の段部３４に位置する環状の第３のシール部材
４０が設けられている。

【００３２】第１のシール部材３８は、内周面が搬送ロ
ーラ５の外周面に密接し、外周面はハウジング２９の挿
通孔２８よりも小径に形成されていて、拡径方向に変形
し易くなっている。第２のシール部材３９は、内周面と
搬送ローラ５の外周面との間にわずかな隙間を有する内
径寸法に設定されている。第３のシール部材４０は、そ
の内周面と搬送ローラ５の外周面との間に第２のシール
部材３９よりも小さな隙間を有する内径寸法に設定され
ている。

【００３３】上記ハウジング２９には、上記第１のカラ
ー３６の外周溝３６ａに対応する部位に気体供給路４２
が形成され、第２のカラー３７の外周溝３７ａに対応す
る部位には液体供給路４３が形成されている。

【００３４】図６に示すように、上記気体供給路４２に
は気体供給管４４の一端が接続されている。この気体供
給管４４の他端はマニホールド４５に形成された多数の
供給孔４６のうちの１つに接続されている。他の供給孔
４６には他のシール装置１３の気体供給管４４が接続さ
れる。

【００３５】上記マニホールド４５には気体供給源（図
示せず）から気体としてのエアーがレギュレータ４７を
介して所定の圧力、たとえば２ｋｇ／ｃｍ^２で供給さ
れる。それによって、エアーはマニホールド４５の各供
給孔４６からシール装置１３の気体供給路４２に供給さ
れ、この気体供給路４２から第１のカラー３６の通孔３
６ｂを通って搬送ローラ５の外周面と挿通孔２８との間
の、第１、第２のシール材３８，３９によって隔別され
た空間部に流入する。この空間部を第１の空間部５１と
する。

【００３６】上記液体供給路４３には液体供給管５２の
一端が接続されている。この液体供給管５２の他端は液
体供給槽５３に設けられた多数の供給孔５４のうちの１
つに接続されている。他の供給孔５４には他のシール装
置１３の液体供給管５２が接続される。

【００３７】上記液体供給槽５３には純水の水源（図示
せず）に連通する主給水管５５が弁５５ａを介して接続
されている。上記液体供給槽５３内には図８と図９に示
すようにオーバフロー管５６が一端面を所定の高さに位
置させて設けられている。このオーバフロー管５６の他
端には第１の導水管７１の一端が接続されている。

【００３８】上記主給水管５５から上記液体供給槽５３
に供給された純水は上記液体供給管５２を通じてシール
装置１３の液体供給路４３に供給される。液体供給路４
３に供給された純水は第２のカラー３７の通孔３７ａか
ら搬送ローラ５の外周面と挿通孔２８との間の、第２、
第３のシール材３９，４０によって隔別された空間部に
流入する。この空間部を第２の空間部６１とする。

【００３９】図７に示すように、上記液体供給槽５３の
液面はオーバフロー管５６によって所定の高さに維持さ
れている。そのため、液体供給槽５３から液体供給管５
２を通じて第２の空間部６１に供給される純水の圧力は
同図にＨで示す水頭以上に上昇することがない。

【００４０】さらに、上記液体供給管５２には、この液
体供給管５２を水頭Ｈの圧力で流れる純水の流量を調節
する流量調整部材６２が設けられている。この流量調整
部材６２は図１０に示すように外周面に螺旋溝６３が形
成され、上記液体供給管５２の中途部に圧入された円柱
状の部材からなる。

【００４１】したがって、上記液体供給槽５３から上記
液体供給管５２を流れる液体は、供給管５２に比べて断
面積が十分に小さく、しかも流路長が十分に長い上記流
量調整部材６２の外周面の螺旋溝６３を流れることにな
るから、少量の純水が一定量で上記シール装置１３の液
体供給路４３を通じて第２の空間部５２に滴下する。

【００４２】なお、流量調整部材６２は、液体供給管５
２が柔軟性を有する合成樹脂によって形成されているた
め、その中途部に容易に圧入することができる。液体供
給管５２が合成樹脂製でなく、たとえばアルミニウムや
銅などの金属製であっても、上記流量調整部材６２を圧
入することは可能である。

【００４３】第２の空間部５２に滴下した純水は、この
第２の空間部５２に溜まるとともに、第２のシール部材
３９の内周面や外周面を通って第１の空間部５１へ流れ
る。さらに、第２のシール部材３９の両側面と第１、第
２のカラー３６，３７との端面との接触部分にも浸入す
る。

【００４４】上記シール装置１３のハウジング２９に
は、上記第１の空間部５１に対応する部分に、一端を上
記挿通孔２８に連通させ、他端をハウジング２９の下面
に開口させた排液路６５が形成されている。この排液路
６５には細孔６６が穿設されたノズル部材６７が螺合さ
れている。

【００４５】第２の空間部５１に流入した純水は、この
空間部５１から排液路６５に滴下する。この排液路６５
に設けられたノズル部材６７の細孔６６は純水の粘性に
よってその純水を直ちに流出させることのない小さな内
径寸法に形成されている。

【００４６】そのため、純水は上記細孔６６内及びノズ
ル部材６７の上端面側に溜まるとともに、毛細管現象に
よって上記細孔６６から沁み出すごとく流出する。つま
り、ノズル部材６７の細孔６６は純水によって閉塞され
ているから、第１の空間部５１に供給された気体が上記
細孔６６から外部に流出することはない。

【００４７】このような純水の流れによって第１の空間
部５１は第２の空間部５２と気密に隔別される。それに
よって、気体供給管４４から気体供給路４２を通じて第
１の空間部５１に供給された気体は、第２の空間部５２
へはほとんど流れず、第１のシール部材３８の内周面と
搬送ローラ５の外周面との隙間を通って処理槽１の側壁
７に形成された貫通孔８から上記処理槽１内へ流入す
る。したがって、このような気体の流れによって、上記
処理槽１内の雰囲気が貫通孔８から外部に漏れ出るのが
防止される。

【００４８】しかも、第１の空間部５１に気体を流すよ
うにしたので、この第１の空間部５１は気体の供給圧と
同程度に圧力が上昇する。一方、第２の空間部５２に供
給される純水波少量である。そのため、第２の空間部５
２から第１の空間部５１に純水が沁み込んでも、その純
水は第１の空間部５１に供給された気体の圧力によって
第１のシール部材３８と搬送ローラ５との隙間を通って
処理槽１側へ漏れ出るようなことがない。

【００４９】一方、上記液体供給槽５３に設けられたオ
ーバフロー管５６に流れる純水は、図６に示すように第
１の導水管７１を通じて上記搬送ローラ５を回転駆動す
るための駆動歯車１８の下方に設けられた上記潤滑槽２
５に流入する。また、この潤滑槽２５には上記液体供給
槽５３の供給孔５４の１つに接続された第２の導水管７
２を通じても純水が供給されるようになっている。この
第２の導水管７２の中途部には上記液体供給管５２と同
様に、液体の流量を低減させるための流量調整部材６２
が設けられている。

【００５０】このような構成の処理装置によれば、搬送
ローラ５の処理槽１の側壁７に形成された貫通孔８から
突出させた両端部分はシール装置１３によってシールさ
れている。このシール装置１３のハウジング２９の内部
には、第１乃至第３のシール部材３８〜４０によって第
１の空間部５１と第２の空間部５２とが隔別形成されて
いる。第１の空間部５１には気体が供給され、第２の空
間部５２には純水が供給される。第１の空間部５１は第
２の空間部５２よりも処理槽１の側壁７側に位置してい
る。

【００５１】純水は液体供給管５２に設けられた流量調
整部材６２によって流量が少量なので、気体の圧力は純
水の圧力に比べて十分に高く、この実施の形態では約２
ｋｇ／ｃｍ^２である。

【００５２】そのため、第２の空間部５２に供給された
純水が第２、第３のシール部材３９，４０の内周面と搬
送ローラ５の外周面との隙間に入り込むことで、この搬
送ローラ５の外周面がシールされる。しかも、第１の空
間部５１に供給された気体が第１のシール部材３８の内
周面と搬送ローラ５の外周面との隙間を通じて処理槽１
の側壁７の貫通孔８から処理槽１内へ流れ込む。

【００５３】したがって、これらのことで、処理槽１内
のたとえばミスト状となったエッチング液を含む雰囲気
が上記貫通孔８から処理槽１の外部に漏れ出るのを防止
できる。

【００５４】それと同時に、第２の空間部５２に供給さ
れた純水は少量であり、しかも、この第２の空間部５２
よりも側壁７側に設けられた第１の空間部５１には気体
が供給されるため、上記純水が第１の空間部５１から搬
送ローラ５の外周面を伝わって処理槽１内へ流入するの
が防止される。

【００５５】そのため、処理槽１内で使用される処理液
を回収して再使用する場合、回収された処理液に純水が
含まれて劣化するのが防止されるから、その処理液の再
使用を比較的長期にわたって行なうことが可能となる。

【００５６】第２の空間部５２に滴下した純水は第２の
シール部材３９と搬送ローラ５との隙間を通って第１の
空間部５１に沁み込み、この第１の空間部５１に形成さ
れた排液路６５に流れ、ここに溜まってノズル部材６７
の細孔６６から毛細管現象によって沁み出て排出され
る。

【００５７】そのため、搬送ローラ５をシールするため
の純水が第１の空間部５１に溜まり過ぎ、第１のシール
部材３８を通って処理槽１側へ流れ出ることがない。し
かも、上記細孔６６が十分に小径であることにより、こ
の細孔６６が純水の粘性によって塞がれるから、第１の
空間部５１に供給された気体が上記細孔６６から外部に
流出するのが防止される。よって、上記気体は第１のシ
ール部材３８から処理槽１内に向かって流出し、処理槽
１の雰囲気がシール装置１３側に流入するのを阻止す
る。

【００５８】さらに、圧力がほぼ０の純水を第２の空間
部５２にわずかに供給することで、その純水により液体
シールを行なうようにしているから、純水の使用量が非
常に少なくてすむばかりか、純水の使用量が少ないこと
によって、その純水が搬送ローラ５を伝わって処理槽１
内へ流入し難くい。

【００５９】また、複数のシール装置１３に供給される
純水は、液体供給槽５３の水頭Ｈが一定であり、しかも
同一の流量調整部材６２を介して供給されるため、各シ
ール装置１３に同じ量の純水を供給することが可能とな
る。

【００６０】シール装置１３に純水を供給する液体供給
槽５３の水頭を一定に保つため、この液体供給槽５３に
オーバフロー管５６を設け、このオーバフロー管５６か
らオーバフローした純水を潤滑槽２５に流し、搬送ロー
ラ５を駆動するための従動歯車１７と駆動歯車１８とを
水潤滑するために用いるようにした。

【００６１】そのため、従動歯車１７と駆動歯車１８と
を水潤滑するために専用の純水を供給しなくてすむか
ら、純水の使用量を少なくすることができる。

【００６２】

【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、軸体を
シールする液体がハウジングの一端面側から流出するの
を防止でき、またハウジングの一端面側から流出する気
体によって軸体が貫通する壁体の貫通孔から壁体の内側
の雰囲気が外側に漏れ出るのを防止できる。しかも、液
体と気体を用いたシール構造であるから、構成が簡単
で、コストの低減を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施の形態を示す処理装置の一部
断面した平面図。

【図２】処理装置の縦断面図。

【図３】シール装置の断面図。

【図４】図３のＡ−Ａ線に沿う断面図。

【図５】図３のＢ−Ｂ線に沿う断面図。

【図６】気体と純水との配管系統図。

【図７】液体供給槽とシール装置との高低差を示す説明
図。

【図８】液体供給槽の平面図。

【図９】液体供給槽のオーバフロ−管が設けられた部分
の断面図。

【図１０】液体供給管に設けられた流量調整部材を示す
断面図。

【図１１】（ａ）は搬送ローラに設けられる支持リング
の平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は縦断面図。

【符号の説明】

１…処理槽２…搬入口３…搬出口５…搬送ローラ（軸体）７…貫通孔１３…シール装置１７…従動歯車１８…駆動歯車２５…潤滑槽２８…挿通孔２９…ハウジング３８〜４０…シール部材４２…気体供給路４３…液体供給路５１…第１の空間部５３…液体供給槽５６…オーバフロー管６１…第２の空間部６２…流量調整部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者風間憲治神奈川県横浜市栄区笠間二丁目５番１号芝浦メカトロニクス株式会社横浜事業所内 (72)発明者石原光浩神奈川県横浜市栄区笠間二丁目５番１号芝浦メカトロニクス株式会社横浜事業所内 (72)発明者輪島直樹神奈川県横浜市栄区笠間二丁目５番１号芝浦メカトロニクス株式会社横浜事業所内 (72)発明者後閑裕之神奈川県横浜市栄区笠間二丁目５番１号芝浦メカトロニクス株式会社横浜事業所内 (72)発明者小林仁神奈川県横浜市栄区笠間二丁目５番１号芝浦メカトロニクス株式会社横浜事業所内 (72)発明者廣瀬治道神奈川県横浜市栄区笠間二丁目５番１号芝浦メカトロニクス株式会社横浜事業所内Ｆターム(参考） 3J042 AA04 AA12 BA03 BA05 CA15

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】壁体に形成された貫通孔から突出する軸
体をシールするシール装置において、上記壁体の外面に一端面が気密に接合され上記貫通孔を
貫通した上記軸体が挿通される挿通孔が形成されたハウ
ジングと、このハウジングの一端面側の上記軸体の外周面と上記挿
通孔の内周面との間の空間部に気体を供給する気体供給
手段と、上記ハウジングの他端面側の上記軸体の外周面と上記挿
通孔の内周面との間の上記空間部に液体を供給する液体
供給手段と、上記挿通孔の内周面と上記軸体の外周面との間の空間部
に設けられ上記液体供給手段から供給された液体によっ
て上記軸体の上記空間部内に位置する部分をシールする
とともに上記気体供給手段から供給された気体を上記ハ
ウジングの一端面側へ流出させるシール手段とを具備し
たことを特徴とするシール装置。
【請求項２】上記ハウジングの上記気体供給手段が設
けられた箇所と対応する箇所には、上記液体供給手段か
ら供給された液体を排出するための排液路が形成され、
この排液路には上記液体をその粘性によって排液路内に
溜めるとともに毛細管現象によって排出する細孔を有す
るノズル部材が設けられていることを特徴とする請求項
１記載のシール装置。
【請求項３】上記シール手段は、上記挿通孔の内周面
と上記気体の外周面との間の空間部を、上記気体供給手
段によって気体が供給される第１の空間部と、上記液体
供給手段によって液体が供給される第２の空間部とに隔
別するリング状の第１乃至第３のシール部材からなるこ
とを特徴とする請求項１記載のシール装置。
【請求項４】基板を所定方向に搬送しながら処理する
処理装置において、上記基板の搬送方向の一端に搬入
口、他端に搬出口を有し上記搬送方向と交差する方向に
位置する一対の壁体に所定間隔で貫通孔が対応して形成
された処理槽と、この処理槽内に上記基板の搬送方向に沿って所定間隔で
配置され両端部をそれぞれ上記一対の壁体に形成された
貫通孔から外部へ突出させた軸体と、上記処理槽の貫通孔から突出した上記軸体の両端部をそ
れぞれ回転可能に支持した軸受体と、上記壁体の外面に設けられ上記軸体の上記貫通孔から突
出した端部をシールするシール装置とを具備し、上記シール装置は請求項１に記載された構成であること
を特徴とする処理装置。
【請求項５】上記軸体の一端部には従動歯車が設けら
れ、この従動歯車には駆動源によって回転駆動される駆
動歯車が噛合しており、上記液体供給手段は、液体供給槽と、この液体供給槽の
液体を上記ハウジングの挿通孔と軸体の外周面との間の
空間部に供給する液体供給管と、上記液体供給槽の液面
を一定に保つオーバフロー管と、上記従動歯車と駆動歯
車との噛合部分に対向して設けられ、上記オーバフロー
管から排出される液体を貯えて上記各歯車の噛合部分を
潤滑する潤滑槽とを具備したことを特徴とする請求項４
記載の処理装置。
【請求項６】上記液体供給管には外周面に螺旋溝が形
成され上記液体供給槽の液体の圧力を低減して上記空間
部へ流す流量調整部材が設けられていることを特徴とす
る請求項５記載の処理装置。
【請求項７】液体が流れる管体に設けられるものであ
って、外周面に螺旋溝が形成されるとともに、上記管体の内周
面に外周面を接触させて圧入され上記管体を流れる液体
を上記螺旋溝に沿って流す流量調整部材からなることを
特徴とする微小流量制御装置。