KR102333378B1

KR102333378B1 - 구동 장치 및 반송 장치

Info

Publication number: KR102333378B1
Application number: KR1020200027022A
Authority: KR
Inventors: 게이지 가나자와
Original assignee: 히라따기꼬오 가부시키가이샤
Priority date: 2019-03-28
Filing date: 2020-03-04
Publication date: 2021-12-01
Also published as: CN111745629B; TW202037467A; US20200306991A1; JP6885980B2; KR20200115130A; JP2020163485A; CN111745629A; US11511441B2; TWI728717B; SG10202002618UA

Abstract

장치 내의 파티클이 장치 밖으로 누설되는 것을 억제하면서, 장치 밖의 공기가 장치의 내부 공간에 도입되기 어렵게 하는 것을 과제로 한다.
적어도 하방부가 원통형의 피회전부인 회전체와, 상기 피회전부가 삽입 통과되는 상판부를 갖는 하우징과, 상기 하우징 내에 설치되어, 상기 회전체를 회전시키는 구동 기구와, 배기 수단을 구비한 구동 장치로서, 상기 하우징의 상기 상판부는, 상기 피회전부가 삽입 통과되는 원형의 개구와, 이 개구를 둘러싸도록 설치되어, 상기 개구와 연통한 홈부를 구비하고, 상기 홈부는, 이 홈부의 둘레방향에서의 적어도 1곳에, 상기 개구의 지름 방향에서의 홈 폭을 크게 한 확폭부를 구비하며, 상기 배기 수단은, 상기 확폭부에 연통하여 설치되어, 상기 홈부 내의 공기를 배기한다.

Description

구동 장치 및 반송 장치{DRIVING APPARATUS AND CONVEYING APPARATUS}

본 발명은 구동 장치 및 반송 장치에 관한 것이다.

로봇 아암을 선회시키는 구동 장치와 같이, 회전체를 회전시키는 구동 장치에서는, 회전체의 주위에 기류가 발생한다. 이러한 기류는 구동 장치 내의 파티클을 장치 밖으로 누설시키는 요인이 되기 때문에, 반도체 웨이퍼를 반송하는 반송 로봇과 같이 클린룸 내에서 이용되는 구동 장치에서는 파티클의 발생을 억제하는 대책이 필요하게 된다. 특허문헌 1에는, 회전체의 근방에 흡인관을 배치하여 장치 밖의 공기를 흡입함으로써, 장치 내의 파티클이 누설되는 것을 억제하고 있다.

특허문헌 1: 일본공개특허 소62-228394호 공보

특허문헌 1의 구성에서는, 흡인관이 장치의 내부 공간을 흡인하고 있으므로, 장치 밖의 공기가 장치의 내부 공간에 도입되기 쉽다. 장치 밖의 공기가 장치의 내부 공간에 도입되면, 그 습기에 의해, 장치 내의 기구의 부식이나 녹의 요인이 된다.

본 발명의 목적은, 장치 내의 파티클이 장치 밖으로 누설되는 것을 억제하면서, 장치 밖의 공기가 장치의 내부 공간에 도입되기 어렵게 하는 것에 있다.

본 발명에 의하면, 적어도 하방부가 원통형의 피회전부인 회전체와, 상기 피회전부가 삽입 통과되는 상판부를 갖는 하우징과, 상기 하우징 내에 설치되어, 상기 회전체를 회전시키는 구동 기구와, 배기 수단을 구비한 구동 장치로서, 상기 하우징의 상기 상판부는, 상기 피회전부가 삽입 통과되는 원형의 개구와, 이 개구를 둘러싸도록 설치되어, 상기 개구와 연통한 홈부를 구비하고,　상기 홈부는, 이 홈부의 둘레방향에서의 적어도 1곳에, 상기 개구의 지름 방향에서의 홈 폭을 크게 한 확폭부를 구비하며, 상기 배기 수단은, 상기 확폭부에 연통하여 설치되어, 상기 홈부 내의 공기를 배기하는 것을 특징으로 하는 구동 장치가 제공된다.

본 발명에 의하면, 장치 내의 파티클이 장치 밖으로 누설되는 것을 억제하면서, 장치 밖의 공기가 장치의 내부 공간에 도입되기 어렵게 할 수 있다.

도 1은, 본 발명의 실시형태에 관한 반송 장치의 사시도이다.
도 2는, 도 1의 반송 장치가 구비하는 구동 장치의 평면도이다.
도 3은, 도 1의 반송 장치가 구비하는 구동 장치의 내부 구조를 나타내는 도면이다.
도 4는, 도 1의 반송 장치가 구비하는 구동 장치의 내부 구조를 나타내는 도면이다.
도 5는, 상판부의 분해 사시도이다.
도 6의 (A)는 홈부의 주변의 평면도, (B)는 도 6의 (A)의 X-X선 단면도이다.
도 7의 (A)는 도 6의 (B)의 C부 확대도, (B)는 도 6의 (B)의 D부 확대도이다.
도 8의 (A)는 격벽의 설명도, (B) 및 (C)는 격벽의 다른 구성예를 나타내는 도면이다.
도 9의 (A) 및 (B)는, 홈부의 다른 형성예를 나타내는 도면이다.
도 10의 (A) 및 (B)는, 홈부의 다른 형성예를 나타내는 도면이다.

이하, 첨부 도면을 참조하여 실시형태를 상세하게 설명한다. 또, 이하의 실시형태는 청구범위에 관한 발명을 한정하는 것이 아니며, 또한 실시형태에서 설명되어 있는 특징의 조합 모두가 발명에 필수적인 것이라고는 할 수 없다. 실시형태에서 설명되어 있는 복수의 특징 중 2가지 이상의 특징이 임의로 조합되어도 된다. 또한, 동일 혹은 마찬가지의 구성에는 동일한 참조 번호를 부여하고, 중복된 설명은 생략한다.

<반송 장치>

도 1은 본 발명의 일 실시형태에 관한 반송 장치(1)의 사시도이다. 반송 장치(1)는, 구동 장치(2)와, 로봇 아암(3)과, 엔드 이펙터(4)를 포함한다. 본 실시형태의 반송 장치(1)는, 반도체 웨이퍼 등의 기판을 반송하는 장치이며, 엔드 이펙터(4)는 기판을 보유지지하는 핸드이다. 로봇 아암(3)은 신축이 자유로운 다관절 아암으로, 3개의 아암부(31~33)를 포함한다. 아암부(32)는, 아암부(31)의 단부에 회동이 자유롭게 지지되고, 아암부(33)는 아암부(32)의 단부에 회동이 자유롭게 지지되어 있다. 아암부(33)는 엔드 이펙터(4)를 지지하고 있다. 로봇 아암(3)은, 구동 장치(2)의 회전체(6)에 장착되어 있다. 회전체(6)는 상하 방향의 회전 중심선 둘레로 회전하여, 로봇 아암(3)을 선회한다.

<구동 장치>

도 1~도 4를 참조하여 구동 장치(2)의 구조에 대해 설명한다. 도 2는, 상판부(52)를 분리한 상태에서의 구동 장치(2)의 평면도이다. 도 3 및 도 4는 둘레벽부(51)를 투과하여 구동 장치(2)의 내부 구조를 나타낸 도면으로, 도 3은 도 2의 화살표 A방향으로 본 측면도, 도 4는 도 2의 화살표 B방향으로 본 측면도이다. 도 4에서는 보호 커버(15) 등의 도시를 생략하고 있다.

구동 장치(2)는, 하우징(5), 회전체(6), 구동 기구(7), 배기 유닛(8)을 포함한다. 하우징(5)은, 둘레벽부(51), 상판부(52), 바닥벽부(53)를 포함하고, 구동 장치(2)의 외벽을 형성한다. 둘레벽부(51)는 상방 및 하방이 개방된 통형상의 부재로서, 그 횡단면 형상은 원형(보다 정확하게는 장원(長圓)형)이다. 바닥벽부(53)는, 둘레벽부(51)의 하방의 개구를 폐쇄함과 아울러, 하우징(5) 내에 수용되는 구성 부품을 지지하는 판상의 부재로서, 둘레벽부(51)의 횡단면 형상과 마찬가지의 외형상을 가지고 있다.

상판부(52)는 둘레벽부(51)의 상방의 개구를 폐쇄함과 아울러, 회전체(6)가 삽입 통과하는 원형의 개구(52a)를 형성한다. 회전체(6)는, 그 상측의 부분은 개구(52a)로부터 하우징(5)의 상방으로 돌출되고, 그 하측의 부분은 하우징(5)의 내부 공간에 수용되어 있다. 본 실시형태의 상판부(52)는, 하측의 판부재(521)와, 상측의 판부재(522)의 적층체이다. 상판부(52)에는, 개구(52a)와 연통하는 홈부(17)가 형성되어 있다. 홈부(17)의 상세는 후술한다.

회전체(6)는, 구동 기구(7)에 의해 회전되어, 아암(3)을 선회시키는 구동축이다. 회전체(6)는, 아암(3)이 연결되는 원통 형상의 본체(61)와, 본체(61)의 하부에 고정되어, 회전체(6)의 하방부를 형성하는 피회전부(62)를 포함한다. 본체(61)의 둘레벽에는, 복수의 관통공(61a)이, 판부재(522)보다 하측의 위치에서, 또한 둘레방향으로 형성되어 있고, 본체(61)의 내부와 본체(61)의 외부에서 관통공(61a)을 통해 공기의 유통이 가능하게 되어 있다. 관통공(61a)은, 본체(61)의 둘레방향으로 등(等)피치(등각도)로 배치되어 있고, 본 실시형태에서는 4개이다. 피회전부(62)는 본체(61)와 동축에 고정되어 있고, 베어링(16c)에 의해 회전이 자유롭게 지지되어 있다. 베어링(16c)을 지지하는 베어링 지지 부재(16b)는, 원통 형상의 중공체로서, 바닥벽부(53)에 지지되어 있고, 또한 그 둘레벽의 일부에, 노치(16a)를 가지고 있다.

구동 기구(7)는, 구동원인 모터(71)와 모터(71)를 지지하는 지지 부재(72)를 구비한다. 지지 부재(72)는 문(門)형을 이루고 있고, 그 위에 모터(71)가 지지되어 있다. 모터(71)의 출력축(71a)은, 지지 부재(72)의 내측에 하방향으로 돌출되고, 출력축(71a)에는 풀리(73)가 고정되어 있다. 구동 기구(7)는, 또한, 베어링(16c)을 개재하여 피회전부(62)에 고정된 풀리(75)를 포함하고, 풀리(73)와 풀리(75)의 사이에는 무단의 벨트(74)가 감겨 있다. 풀리(75)는 베어링(16c)을 지지하는 베어링 지지 부재(16b)의 내부 공간에 배치되어 있고, 벨트(74)는 노치(16a)를 통과하여 베어링 지지 부재(16b)의 내부 공간에 진입되어 있다.

모터(71)를 구동하면, 그 구동력이 벨트(74)를 개재하여 회전체(6)에 전달되어, 회전체(6)가 회전한다. 본 실시형태에서는, 회전체(6)에 대한 모터(71)의 구동력의 전달 기구로서, 벨트 전동 기구를 채용하였지만, 기어 기구나 체인 전동 기구 등, 다른 종류의 전동 기구이어도 된다.

또한, 이들 구동 기구(7)의, 풀리, 벨트, 기어 등의 구성이 파티클의 발생원이 되는데, 본 실시형태에서는, 장치의 외부로 파티클을 누설시키지 않도록 하기 위해, 하우징(5)의 내부의 공기를 배기 유닛(8)에 의해 배기하여 외부 환경에 대해 부압(負壓)으로 유지함으로써, 파티클이 외부로 누설되는 것을 방지하고 있다.

하우징(5)의 내부 공간에는, 회전체(6)의 주위를 둘러싸는 보호 커버(14 및 15)가 설치되어 있다. 본 실시형태의 회전체(6)의 중심축은, 하우징(5)의 중심부로부터 오프셋한 위치에 배치되어 있다. 보호 커버(14 및 15)는, 상하 방향으로 연장 설치된 판상의 부재로서, 바닥벽부(53)에 지지되어 있다. 그리고, 보호 커버(14)는, 위쪽에서 보았을 때 L자형의 판부재이고, 보호 커버(15)는 평판 부재이다. 보호 커버(14 및 15)는, 위쪽에서 보았을 때 U자형으로 조합되어, 보호 커버(14 및 15)와 둘레벽부(51)로 회전체(6)를 불연속으로 둘러싸고 있다. 보호 커버(14 및 15)는, 하우징(5)의 내부 공간에 배치된 각종 부품(예를 들어 배선, 배관)이, 회전체(6)와 접촉하는 것을 방지하는 것을 주목적으로 하여 설치되어 있다. 보호 커버(14 및 15)는, 또한, 부품의 지지체로서도 이용되고 있다.

배기 유닛(8)은, 홈부(17) 내의 공기를 하우징(5)의 외부로 배기하는 기구이다. 배기 유닛(8)은, 이젝터(81), 필터(82)를 포함한다. 상판부(52)에는 홈부(17)와 연통한 조인트(20)가 장착되어 있고, 이젝터(81)와 조인트(20)가 도시하지 않은 배관을 개재하여 연통되어 있다. 또한, 이젝터(81)는 도시하지 않은 배관을 개재하여 필터(82)와 연통되어 있고, 필터(82)는 배기용의 조인트(83)와 연통되어 있다. 조인트(83)는 브래킷(11)에 지지되어 있다. 하우징(5)의 둘레벽부(51)의 일부는 노치가 형성되어 있고, 이 노치는 브래킷(11)에 의해 막혀 있다. 브래킷(11)에는, 하우징(5)의 외부에 배치된 상자(10)가 지지되어 있다.

상자(10) 내에는 조인트(83)와 연통한 소음기(도시생략)나, 펌프 등의 압축 공기의 공급원(도시생략)이 수용되어 있다. 공급원은 브래킷(11)에 지지된 조인트(84) 및 도시하지 않은 배관을 개재하여 이젝터(81)와 연통되어 있고, 이젝터(81)에 압축 공기를 공급한다. 이젝터(81)는, 공급된 압축 공기에 의해 내부에 부압을 발생시키고, 홈부(17) 내의 공기를 흡인한다. 흡인된 공기는 필터(82)에 의해 파티클이 제거되어, 상자(10) 내에 배기된다.

<상판부와 배기 기능>

상판부(52)의 구조에 대해 도 5를 참조하여 설명한다. 도 5는 상판부(52)의 분해 사시도이다. 본 실시형태의 상판부(52)는, 하나의 판부재(521)와, 판부재(521) 상에 적층되는 2개의 판부재(5221, 5222)에 의해 형성된다. 판부재(521)에는, 개구(52a)를 형성하는 개구(521a)가 형성되어 있다. 개구(521a)의 주위에는, 개구(521a)를 둘러싸도록 설치된 홈부(17)가 형성되어 있다. 판부재(521)는, 또한, 홈부(17)와 개구(52a)의 사이에 위치하는 격벽(18)을 가진다. 다시 말하면, 격벽(18)은, 개구(52a)의 내주연에, 판부재(521)에 대해 수직으로 설치되는 벽부재이다. 홈부(17) 및 격벽(18)은, 본 실시형태의 경우, 개구(52a)의 전체둘레에 걸쳐 연속적으로 형성하는 경우를 예로 들었지만, 둘레방향의 일부에만 형성해도 되고, 둘레방향으로 간격을 마련하여 불연속으로 형성해도 된다.

2개의 판부재(5221, 5222)는, 서로 조합되어 1장의 판부재(522)를 형성한다. 각 판부재(5221, 5222)에는, 개구(52a)를 형성하는 원호부(522a)가 형성되어 있다. 원호부(522a)는, 개구(52a)의 전체둘레 원호를 반으로 나눈 형상을 가지고 있고, 2개의 원호부(522a)로 1개의 원형 개구를 형성한다. 합친 판부재(522)를 판부재(521) 상에 적층함으로써, 홈부(17)의 상측이 판부재(522)로 막힌다. 본 실시형태와 같이, 판부재(521)와 판부재(522)를 적층함으로써, 개구(52a)의 측(지름 방향 내측)이 개구되고, 다른 측(상측, 지름 방향 외측, 하측)이 닫힌 홈부(17)를 형성할 수 있다.

도 6의 (A) 및 도 6의 (B)를 참조하여 홈부(17) 및 격벽(18)의 구성을 다시 설명한다. 도 6의 (A)는 홈부(17)의 주변의 평면도이다. 도 6의 (B)는 도 6의 (A)의 X-X선에 따른 판부재(521)의 단면도이다.

도 6의 (A)에 나타낸 바와 같이, 홈부(17)는, 일정한 폭으로 개구(521a)(다시 말하면, 개구(52a))를 따라 형성된 제1 홈부(172)와, 개구(521a)의 지름 방향에서의 홈 폭이 제1 홈부(172)보다 큰 확폭부(제2 홈부)(171)를 포함한다.

확폭부(171)와 후술하는 구멍(19)을 설치하는 위치에 대해서는, 1곳이어도 되지만, 본 실시형태의 경우는, 회전체(6)의 둘레면과 보호 커버(14, 15) 및 둘레벽부(51)가 근접하는 부위에서 회전체(6)의 회전에 의한 상승 기류가 발생하기 쉬우므로, 상기 부위의 바로 위에 1곳 및 그 근방에 2곳, 합계 3곳 설치하고 있다. 상승 기류가 발생하면, 하우징(5)의 내부에 부압이 걸린 상태이어도, 파티클의 누설 원인이 되어 버리는데, 상기 관통공(61a)이나 구멍(19)으로부터의 공기의 흡인에 의해, 파티클이 외부로 누설되는 것을 방지할 수 있다.

본 실시형태의 확폭부(171)는 위쪽에서 보았을 때 V자 형상을 가지고 있고, 개구(521a)의 둘레방향에서 보면, 서서히 폭이 확대된 후, 서서히 폭이 축소되어 있다. 확폭부(171)의 위쪽에서 보았을 때의 형상은 이에 한정되지 않지만, V자 형상으로 함으로써, 홈부(17)의 공기가 둘레방향을 따라 원활하게 흐르기 쉬워진다. 또, 확폭부(171)는, 후술하는 조인트(20)를 확폭부(171)의 바닥 이면에 장착할 수 있는 폭을 가지고 있으면 된다.

각 확폭부(171)(예를 들어, 최대의 확폭 부분 근방에서의 홈 바닥)에는, 구멍(19)이 형성되어 있다. 구멍(19)은, 판부재(521)를 그 두께 방향으로 관통한다. 본 실시형태의 경우, 하나의 확폭부(171)에 하나의 구멍(19)이 형성되어 있지만, 복수의 구멍(19)을 형성해도 된다. 확폭부(171)의 바닥 이면에 있어서, 구멍(19)에 조인트(20)가 장착되고, 구멍(19)은 조인트(20) 및 배관을 개재하여, 배기 유닛(8)의 이젝터(81)와 연통한다. 본 실시형태의 경우, 구멍(19)은, 확폭부(171)의 둘레방향 중앙부에서, 지름 방향 외측에 위치하고 있다. 전술한 위치에 구멍(19)을 형성하고, 배기 유닛(8)에 의해 흡인함으로써, 확폭부(171) 내의 공기를 체류없이 배기할 수 있고, 그 결과, 홈부(17) 전체의 공기의 배기 효율이 높아진다.

도 6의 (B)에 나타낸 바와 같이, 격벽(18)은, 확폭부(171)와 개구(52a)의 사이에 위치하는 격벽 부분(18a)과, 제1 홈부(172)와 개구(52a)의 사이에 위치하는 격벽 부분(18b)을 포함한다.

격벽 부분(18a)의 상하 방향의 높이는, 격벽 부분(18b)의 높이보다 높게 되어 있다.

도 7의 (A) 및 도 7의 (B)를 참조한다. 도 7의 (A) 및 도 7의 (B)는, 각각 도 6의 (B)의 C부, D부의 확대도로서, 또한, 판부재(521)에 판부재(522)를 적층한 상태를 나타내고 있다. 회전체(6)가 회전하면, 그 주위에 층상의 기류(층류)가 발생하여, 하우징(5)의 내부의 파티클이 개구(52a)로부터 외부로 확산되는 요인이 된다. 본 실시형태의 경우, 배기 유닛(8)의 작동에 의해, 도 7의 (A) 및 도 7의 (B)에서 화살표로 나타내는 바와 같이, 회전체(6)의 외주면과, 개구(52a)의 내벽면의 간극(G1)의 공기(클린 에어나 가스도 포함함)가, 홈부(17) 내에 흡인된다. 이 때, 일부의 공기는 층류의 압입에 의해 홈부(17) 내로 흘러들어가지만, 나머지 공기는 배기 유닛(8)의 흡인에 의해 홈부(17) 내로 끌려들어간다. 간극(G1)은 예를 들어 1mm~3mm, 바람직하게는 1.5~2.5mm, 보다 바람직하게는 1.8~2.2mm이다. 하우징(5)의 내부의 파티클은, 개구(52a)를 통과할 때에, 홈부(17) 내에 흡인되고, 필터(82)에 의해 파티클을 제거한 후, 배기 유닛(8)에 의해 소정의 장소에 배기되기 때문에, 구동 장치(2)의 외부로 확산되는 일이 없다.

격벽 부분(18a, 18b)은, 구동 장치(2)의 외부로부터 하우징(5) 내부로의 공기의 유입과, 하우징(5)의 내부로부터 구동 장치(2)의 외부로의 파티클의 누설을 억제하기 위해 설치되어 있다.

또한, 하우징(5)의 외부로부터 개구(52a)를 통과하여 하우징(5)의 내부로 진입하고자 하는 공기도, 개구(52a)를 통과할 때에 홈부(17) 내에 흡인된다. 이에 따라, 하우징(5)의 외부의 공기가 고습도의 공기나, 부식성이 높은 공기이어도, 외부의 공기와 하우징(5)의 내부의 기구 및 구조의 접촉이 억제되기 때문에, 하우징(5)의 내부의 기구 및 구조에서 부식이나 녹이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

이와 같이 개구(52a)의 주위에서 국소적으로 공기를 흡인함으로써, 구동 장치(2)의 내부의 파티클이 장치 밖으로 누설되는 것을 억제하면서, 장치 밖의 공기가 장치 내에 도입되기 어렵게 할 수 있다. 간극(G1)에서의 용적과 홈부(17)의 내부 용적은 비교적 작다는 점에서, 배기 유닛(8)으로서는 비교적 소출력인 것으로 충분하다.

회전체(6)의 본체(61)의 둘레벽에는, 판부재(522)보다 하측의 위치에서, 또한 둘레방향으로 관통공(61a)이 형성되어 있기 때문에, 회전체(6)의 회전에 의해 그 주위에서 상승 기류가 발생해도, 그 상승 기류는 관통공(61a)을 통해 본체(61)의 내부로 도입된다. 즉, 관통공(61a)을 마련함으로써, 하우징(5)의 내부의 파티클이 회전체(6)의 둘레면을 따라 상승하는 것을 억제할 수 있고, 이 점에서도, 하우징(5)의 내부의 파티클이 외부로 확산되는 것을 방지할 수 있다. 특히, 회전체(6)의 둘레면과 보호 커버(14, 15) 및 둘레벽부(51)가 근접하는 부위에서는, 회전체(6)의 회전에 의한 상승 기류가 발생하기 쉬운데, 관통공(61a)에 의해 공기가 회전체(6)의 내부에 도입되므로, 상승 기류의 발생을 억제할 수 있다.

격벽(18)은, 배기공인 구멍(19)에 가까운 격벽 부분(18a)의 상하 방향의 높이를, 구멍(19)으로부터 먼 격벽 부분(18b)의 높이보다 높게 형성하고 있다. 즉, 격벽 부분(18b)과 판부재(522a)의 간극(G2)(도 7의 (A))을, 격벽 부분(18a)과 판부재(522a)의 간극(G2)(도 7의 (B))보다 넓게 형성하고 있다. 이에 따라, 격벽 부분(18a)의 홈부(17)에 흘러들어가는 공기의 양이, 격벽 부분(18b)의 홈부(17)에 흘러들어가는 공기의 양보다 적어진다. 그 결과, 격벽 부분(18b)의 홈부(17)에 흘러들어간 공기가, 구멍(19)을 향하여 흡인될 때, 격벽 부분(18a)의 홈부(17)에 흘러들어가기 어려워지는 것이 억제된다. 이에 의해, 홈부(17) 전체적으로, 공기의 흐름의 균일화를 도모할 수 있다.

도 8의 (A)는, 격벽 부분(18a)과 격벽 부분(18b)의 경계 부분의 형상을 나타내고 있다. 격벽 부분(18a)의 상면(180)과 격벽 부분(18b)의 상면(181)이 격벽 부분(18a)의 둘레방향에서의 측면(182)을 개재하여 연속되어 있다. 도시한 예에서는, 상면(180, 181)이 모두 수평면이고, 측면(182)은, 상면(180, 181)과 직교하는 수직면이다. 격벽 부분(18a)과 격벽 부분(18b)의 경계 부분의 형상이 각형(角型)으로 형성되어 있어, 격벽(18)의 가공이 비교적 용이하다.

<다른 실시형태>

격벽 부분(18a)과 격벽 부분(18b)의 경계 부분의 형상은, 도 8의 (A)의 형상에 한정되지 않는다. 도 8의 (B), 도 8의 (C)는, 격벽 부분(18a)과 격벽 부분(18b)의 경계 부분의 다른 형상예를 나타내고 있다. 도 8의 (B)의 예에서는, 상면(180, 181)이 모두 수평면이고, 측면(182)은, 상면(180, 181)과 비스듬히 교차하는 경사면이다. 격벽 부분(18a)과 격벽 부분(18b)의 경계 부분에 있어서, 홈부(17)로의 공기의 흡입의 변화를 비교적 완만하게 할 수 있다.

도 8의 (C)의 예에서는, 도 8의 (A)의 예에서, 측면(182)과 상면(180), 측면(182)과 상면(181)의 경계부를 둥그스름하게 하고 있다(R면 가공을 실시하고 있다). 도 8의 (B)의 예에서, 상면(180)과 경사면의 경계부 및 경사면과 상면(181)의 경계부에도 R면 가공을 실시해도 된다.

홈부(17)의 구조는, 상기 실시형태의 구조에 한정되지 않는다. 도 9의 (A)는 홈부(17)의 다른 구성예를 나타내고 있다. 도시한 예에서는, 격벽(18)이 없고, 홈부(17)의 전체가 개구(52a)에 개구된 구조이다. 도 9의 (B)의 예는, 판부재(521) 대신에, 단면 L자형의 환상 부재(523)와, 판부재(522)에 의해 홈부(17)를 형성한 예를 나타내고 있다. 환상 부재(523)는, 개구(52a)를 형성하는 개구(523a)를 가지고 있다. 구멍(19)은, 환상 부재(523)의 측부에 형성되어 있지만, 바닥부에 형성되어도 된다. 또한, 환상 부재(523)에, 홈부(17)와 개구(52a)의 사이에 위치하는 격벽(18)을 설치해도 된다.

도 10의 (A)의 예는, 판부재(521) 대신에, 단면 Z자형의 환상 부재(524)와, 판부재(522)에 의해 홈부(17)를 형성한 예를 나타내고 있다. 다시 말하면, 환상 부재(524)는, 도 9의 (B)의 환상 부재(523)의 상부 가장자리에, 지름 방향 외주측으로 연장되는 플랜지부를 설치한 것이다. 환상 부재(524)는, 개구(52a)를 형성하는 개구(524a)를 가지고 있다. 구멍(19)은, 환상 부재(524)의 측부에 형성되어 있지만, 바닥부에 형성되어도 된다. 도 10의 (B)의 예는, 판부재(521) 대신에, 내주측에 개구되는 단면 C자형의 환상 부재(525)와, 판부재(522)에 의해 홈부(17)를 형성한 예를 나타내고 있다. 다시 말하면, 환상 부재(525)는, 도 9의 (B)의 환상 부재(523)의 상부 가장자리에, 지름 방향 내주측으로 연장되는 플랜지부를 설치한 것이다. 환상 부재(525)는, 개구(52a)를 형성하는 개구(525a)를 가지고 있다. 구멍(19)은, 환상 부재(525)의 측부에 형성되어 있지만, 바닥부에 형성되어도 된다. 또한, 환상 부재(524, 525)에, 홈부(17)와 개구(52a)의 사이에 위치하는 격벽(18)을 설치해도 된다.

이상, 발명의 실시형태에 대해 설명하였지만, 발명은 상기 실시형태에 제한되는 것은 아니고, 발명의 요지의 범위 내에서, 다양한 변형·변경이 가능하다.

1 반송 장치, 2 구동 장치, 5 하우징, 6 회전체, 7 구동 기구, 8 배기 유닛, 17 홈부, 52 상판부, 171 확폭부

Claims

적어도 하방부가 원통형의 피회전부인 회전체와,
상기 피회전부가 삽입 통과되는 상판부를 갖는 하우징과,
상기 하우징 내에 설치되어, 상기 회전체를 회전시키는 구동 기구와,
배기 수단을 구비한 구동 장치로서,
상기 하우징의 상기 상판부는, 상기 피회전부가 삽입 통과되는 원형의 개구와, 이 개구를 둘러싸도록 설치되어, 상기 개구와 연통한 홈부, 및 상기 개구와 상기 홈부 사이의 격벽을 구비하고,
상기 홈부는, 이 홈부의 둘레방향에서의 적어도 1곳에, 상기 개구의 지름 방향에서의 홈 폭을 크게 한 확폭부를 구비하며,
상기 배기 수단은, 상기 확폭부에 연통하여 설치되어, 상기 홈부 내의 공기를 배기하는 것을 특징으로 하는 구동 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 하우징에서의 상기 확폭부는, 위쪽에서 보았을 때 V자 형상을 가지며, 이 확폭부에 적어도 하나의 구멍이 설치되고,
이 구멍에 상기 배기 수단을 접속한 것을 특징으로 하는 구동 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 격벽은, 상기 확폭부와 상기 개구의 사이의 제1 격벽 부분과, 상기 확폭부 이외의 상기 홈부와 상기 개구의 사이의 제2 격벽 부분을 포함하고,
상기 제1 격벽 부분의 높이가 상기 제2 격벽 부분의 높이보다 높은 것을 특징으로 하는 구동 장치.
청구항 3에 있어서,
상기 제1 격벽 부분과 상기 제2 격벽 부분의 경계 부분에 있어서, 상기 제1 격벽 부분의 상면과 상기 제2 격벽 부분의 상면이 상기 제1 격벽 부분의 측면을 개재하여 연속되어 있고, 상기 측면은, 상기 제1 격벽 부분의 상면과 직교하는 수직면인 것을 특징으로 하는 구동 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 회전체의 둘레면에는, 적어도 하나의 관통공이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 구동 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 상판부는,
상기 홈부가 형성되는 제1 판부재와,
상기 제1 판부재에 적층하여 설치되어, 상기 홈부를 막는 제2 판부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 구동 장치.
청구항 1에 기재된 구동 장치와,
상기 회전체에 장착되는 아암과,
상기 아암에 설치되어, 워크를 보유지지하는 엔드 이펙터를 구비한 반송 장치.