JP4455237B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
前記回転体の駆動源に連結される前記回転体の回転軸と、
前記回転体及び当該回転体による処理中の基板が内部に配置され、前記回転軸が貫通する貫通孔を有するカバー部材と、
前記回転軸と一体的に回転駆動され、前記カバー部材の外側における前記貫通孔近傍の気流を、前記回転軸の延びる方向に直交する方向であって、前記回転軸の周囲方向に向かう方向に発生させ、この気流によって、前記カバー部材の外部から前記貫通孔に向かって流入しようとする空気を前記回転軸の延びる方向に直交する方向であって前記回転軸の周囲方向に向かう方向に案内する気流発生部材と
を備えたものである。
前記気流発生部材は、前記ケース部材の内側であって、前記ケース部材の貫通孔近傍に配設され、前記ケース部材の内壁に沿って流れる気流を発生させるものである。
前記回転体の駆動源に連結される前記回転体の回転軸と、
前記回転体及び当該回転体による処理中の基板が内部に配置され、前記回転軸が貫通する貫通孔を有するカバー部材と、
前記カバー部材から突出された前記回転軸を貫通させる貫通孔が設けられ、前記カバー部材を覆うケース部材と、
前記回転軸と一体的に回転駆動されるよう前記ケース部材の外側に配設され、前記ケース部材の貫通孔近傍における気流を、前記回転軸の延びる方向に直交する方向であって、前記回転軸の周囲方向に向かう方向に発生させ、この気流によって、前記ケース部材の外部から当該ケース部材の貫通孔に向かって流入しようとする空気を前記回転軸の延びる方向に直交する方向であって前記回転軸の周囲方向に向かう方向に案内する気流発生部材と
を備えたものである。
2 ブラシ
3 モータ
4 回転軸
5 カバー
5a 貫通孔
6 ケーシング
6a 貫通孔
6b 排気口
7 外部カバー
7a 貫通孔
8 水切板
9 ファン
91 開口部
92 固定部
921 ネジ締結部
922 ネジ
931,932 環状部材
94 羽根部材
100 従来の基板洗浄装置
W 基板
Claims (5)
- 基板の表面に回転体を作用させて基板を処理する基板処理装置であって、
前記回転体の駆動源に連結される前記回転体の回転軸と、
前記回転体及び当該回転体による処理中の基板が内部に配置され、前記回転軸が貫通する貫通孔を有するカバー部材と、
前記回転軸と一体的に回転駆動され、前記カバー部材の外側における前記貫通孔近傍の気流を、前記回転軸の延びる方向に直交する方向であって、前記回転軸の周囲方向に向かう方向に発生させ、この気流によって、前記カバー部材の外部から前記貫通孔に向かって流入しようとする空気を前記回転軸の延びる方向に直交する方向であって前記回転軸の周囲方向に向かう方向に案内する気流発生部材と
を備えた基板処理装置。 - 前記カバー部材から突出された前記回転軸を貫通させる貫通孔が設けられ、前記カバー部材を覆うケース部材を備え、
前記気流発生部材は、前記ケース部材の内側であって、前記ケース部材の貫通孔近傍に配設され、前記ケース部材の内壁に沿って流れる気流を発生させる請求項1に記載の基板処理装置。 - 基板の表面に回転体を作用させて基板を処理する基板処理装置であって、
前記回転体の駆動源に連結される前記回転体の回転軸と、
前記回転体及び当該回転体による処理中の基板が内部に配置され、前記回転軸が貫通する貫通孔を有するカバー部材と、
前記カバー部材から突出された前記回転軸を貫通させる貫通孔が設けられ、前記カバー部材を覆うケース部材と、
前記回転軸と一体的に回転駆動されるよう前記ケース部材の外側に配設され、前記ケース部材の貫通孔近傍における気流を、前記回転軸の延びる方向に直交する方向であって、前記回転軸の周囲方向に向かう方向に発生させ、この気流によって、前記ケース部材の外部から当該ケース部材の貫通孔に向かって流入しようとする空気を前記回転軸の延びる方向に直交する方向であって前記回転軸の周囲方向に向かう方向に案内する気流発生部材と
を備えた基板処理装置。 - 前記気流発生部材は、前記回転軸の外周に直交する姿勢で当該外周面に取り付けられる環状部材と、前記回転軸の長さ方向に延びる形状とされると共に、前記環状部材に直交させて取り付けられ、前記回転軸の延びる方向に直交する方向であって、前記回転軸からその周囲方向に向かう空気流を発生させる羽根部材とを備える請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記回転体及び基板が傾斜姿勢とされた請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の基板処理装置。
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