KR102173394B1

KR102173394B1 - 산업용 로봇

Info

Publication number: KR102173394B1
Application number: KR1020197001345A
Authority: KR
Inventors: 다카유키 야자와; 요스케 다카세; 후미토 나카조
Original assignee: 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
Priority date: 2016-07-28
Filing date: 2017-07-25
Publication date: 2020-11-03
Also published as: WO2018021270A1; JP2018015839A; KR20190018508A; CN109476017B; JP6709124B2; CN109476017A

Abstract

본건의 산업용 로봇은, 제1 암에 회동 가능하게 연결되는 제2 암(6)과, 제2 암(6)의 기단측에 고정되는 회동축(32)과, 회동축(32)을 회동 가능하게 지지함과 함께 제1 암의 선단측에 보유 지지되는 베어링(33)과, 회동축(32)의 외주측에 배치되어 제1 암의 선단측에 보유 지지되는 자성 유체 시일(34)과, 제2 암(6)의 기단측의 내부에 배치되어 회동축(32)에 고정되는 지지 축(50)과, 제2 암(6)의 기단측에 배치되어 지지 축(50)에 회동 가능하게 지지되는 풀리(37)와, 풀리(37)가 고정됨과 함께 제1 암의 선단측의 외측면에 고정되는 고정 부재(53)를 구비하고 있다. 이것에 의해 산업용 로봇은, 제1 암과 제2 암의 연결부인 관절부의 구성을 간소화하는 것이 가능해진다.

Description

산업용 로봇

본 발명은 진공 중에서 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇에 관한 것이다.

종래, 진공 중에서 유기 EL 디스플레이용 유리 기판을 반송하는 산업용 로봇이 알려져 있다(예를 들어 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 본체부와, 본체부에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제1 암과, 제1 암의 선단측에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제2 암과, 제2 암의 선단측에 회동 가능하게 연결되는 핸드를 구비하고 있다. 제1 암 및 제2 암은 중공형으로 형성되어 있다. 핸드, 제1 암 및 제2 암은, 내부가 진공으로 되어 있는 챔버 중에 배치되어 있으며, 중공형으로 형성되는 제2 암의 내부는 진공으로 되어 있다. 한편, 중공형으로 형성되는 제1 암의 내부는 대기압으로 되어 있다.

또한 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 제1 암에 대하여 제2 암을 회동시키기 위한 제1 모터와, 제2 암에 대하여 핸드를 회동시키기 위한 제2 모터와, 제1 모터의 동력을 감속하여 제2 암에 전달하는 제1 감속기와, 제2 모터의 동력을 감속하여 핸드에 전달하는 제2 감속기를 구비하고 있다. 제1 감속기와 제2 감속기는, 직경 방향의 중심에 관통 구멍이 형성된 중공 감속기이며, 제1 암과 제2 암의 연결부인 관절부에 있어서 상하 방향에서 겹치도록 배치되어 있다.

특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에서는, 중공형으로 형성되는 제1 감속기의 출력축이 제2 암의 기단측에 고정되어 있다. 제2 감속기의 출력축에는, 제1 감속기의 출력축의 내주측에 배치되는 중공 회동축이 고정되고, 중공 회동축에는, 제2 암의 기단측의 내부에 배치되는 기단측 풀리가 고정되어 있다. 또한 제2 암의 선단측의 내부에는, 핸드가 고정되는 선단측 풀리가 배치되어 있으며, 기단측 풀리와 선단측 풀리에는 벨트가 걸쳐져 있다. 중공 회동축의 외주측(구체적으로는 중공 회동축과 제1 감속기의 출력축 사이)에는, 제2 암의 내부의 진공 영역으로의 공기의 유입을 방지하는 자성 유체 시일이 배치되고, 제1 감속기의 출력축의 외주측(구체적으로는 제1 감속기의 출력축과 제1 감속기의 케이스체 사이)에는, 제1 암 및 제2 암의 외부의 진공 영역으로의 공기의 유입을 방지하는 자성 유체 시일이 배치되어 있다.

일본 특허 공개 제2014-34106호 공보

특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에 있어서, 제2 암과 핸드를 개별적으로 회동시킬 필요가 없어 제2 암 및 핸드를 제1 모터로 함께 회동시키면 되는 경우에는 제2 모터 및 제2 감속기를 분리하고 중공 회동축을 제1 암의 기단측의 내부에 고정하면 된다. 그러나 이 경우에는 제1 감속기의 출력축에 대하여 상대 회동하는 중공 회동축이 제1 감속기의 출력축의 내주측에 배치되기 때문에, 제1 감속기의 출력축의 외주측에 자성 유체 시일을 배치하는 것에 추가하여 제1 감속기의 출력축의 내주측에도 자성 유체 시일을 배치해야 한다. 따라서 이 경우에는 제1 암과 제2 암의 연결부인 관절부의 구조가 복잡해진다.

그래서 본 발명의 과제는, 회동 가능하게 연결되는 제1 암과 제2 암을 구비하는 산업용 로봇에 있어서, 제1 암 및 제2 암이 진공 중에 배치됨과 함께, 제1 암의 내부가 대기압으로 되어 있고 제2 암의 내부가 진공으로 되어 있는 경우에도, 제1 암과 제2 암의 연결부인 관절부의 구성을 간소화하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공하는 데 있다.

상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 산업용 로봇은, 제1 암과, 중공형으로 형성되어 제1 암의 선단측에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제2 암과, 제2 암의 기단측에 고정되는 회동축과, 회동축을 회동 가능하게 지지함과 함께 제1 암의 선단측에 보유 지지되는 베어링과, 회동축의 외주측에 배치됨과 함께 제1 암의 선단측에 보유 지지되는 자성 유체 시일과, 제2 암의 기단측의 내부에 배치되어 제2 암의 기단측에 고정 또는 형성되거나, 혹은 회동축에 고정되는 지지 축과, 제2 암의 기단측에 배치되어 지지 축에 회동 가능하게 지지되는 제1 풀리와, 제2 암의 선단측에 배치되는 제2 풀리와, 제1 풀리와 제2 풀리에 걸쳐지는 벨트와, 제1 풀리가 고정됨과 함께 제1 암의 선단측의 외측면에 고정되는 고정 부재를 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 산업용 로봇에서는, 제2 암의 기단측에 배치되는 제1 풀리가 고정 부재에 고정되어 있고, 고정 부재는 제1 암의 선단측의 외측면에 고정되어 있다. 그 때문에 본 발명에서는, 제1 풀리와 함께 회동축에 대하여 상대 회동하는 축 등의 부재를 회동축의 내주측에 배치할 필요가 없으며, 그 결과, 회동축의 내주측에 자성 유체 시일을 배치할 필요가 없다. 따라서 본 발명에서는, 제1 암 및 제2 암이 진공 중에 배치됨과 함께, 제1 암의 내부가 대기압으로 되어 있고 또한 제2 암의 내부가 진공으로 되어 있는 경우에도, 제1 암과 제2 암의 연결부인 관절부의 구성을 간소화하는 것이 가능해진다.

본 발명에 있어서, 지지 축은 회동축에 고정되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 지지 축의 축심과 회동축의 축심을 일치시키기 쉬워지기 때문에, 지지 축에 회동 가능하게 지지되는 제1 풀리의 축심과 회동축의 축심을 일치시키기 쉬워진다. 따라서 제1 암의 선단측의 외측면에 고정되는 고정 부재에 의해 제1 풀리가 제1 암의 선단측에 고정되어 있더라도 제1 풀리를 적절히 회동시키는 것이 가능해진다.

본 발명에 있어서, 산업용 로봇은, 회동축을 제2 암의 기단측에 고정함과 함께 지지 축을 회동축에 고정하는 나사를 구비하는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 공통의 나사에 의해 제2 암의 기단측에 회동축이 고정됨과 함께 회동축에 지지 축이 고정되기 때문에, 제1 암과 제2 암의 연결부인 관절부의 구성을 보다 간소화하는 것이 가능해진다.

본 발명에 있어서, 벨트는 강판제 스틸 벨트인 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 벨트가 고무제의 벨트인 경우와 비교하여 벨트로부터의 먼지 발생을 억제하는 것이 가능해진다. 한편, 벨트가 스틸 벨트인 경우에는, 벨트가 고무제의 벨트인 경우와 비교하여 벨트가 탄성 변형되기 어렵기 때문에, 제1 풀리의 축심과 회동축의 축심에 어긋남이 있으면 제1 풀리가 적절히 회동하기 어려워지기 쉽지만, 지지 축이 회동축에 고정되어 있는 경우에는 제1 풀리의 축심과 회동축의 축심을 일치시키기 쉬워지기 때문에, 벨트가 스틸 벨트이더라도 제1 풀리를 적절히 회동시키는 것이 가능해진다.

본 발명에 있어서, 제2 암은 제1 암보다도 상측에 배치되고, 제2 암의 기단측의 하면부에 회동축이 고정되고, 제2 암의 기단측의 상면 부분에는, 제1 풀리의 상단측 부분이 배치되는 개구부가 형성되고, 제1 풀리의 상단은 제2 암의 기단측의 상면보다도 상측에 배치되고, 고정 부재는, 제1 암의 선단측의 외측에 고정되는 측면부와, 측면부의 상단으로 이어지는 상면부를 구비하고, 상면부는 제2 암의 기단측의 상면보다도 상측에 배치되고, 제1 풀리의 상단은 상면부에 고정되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 제2 암의 기단측과 고정 부재의 간섭을 방지하기 쉬워진다. 또한 이와 같이 구성하면, 회동축과 상면부에 의해 상하 방향의 양측으로부터 제2 암의 기단측이 지지되기 때문에, 제2 암의 동작을 안정시키는 것이 가능해진다.

이상과 같이 본 발명에서는, 회동 가능하게 연결되는 제1 암과 제2 암을 구비하는 산업용 로봇에 있어서, 제1 암 및 제2 암이 진공 중에 배치됨과 함께, 제1 암의 내부가 대기압으로 되어 있고 제2 암의 내부가 진공으로 되어 있는 경우에도, 제1 암과 제2 암의 연결부인 관절부의 구성을 간소화하는 것이 가능해진다.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇의 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시하는 산업용 로봇의 측면도이다.
도 3은 도 2의 E부의 개략 구성을 설명하기 위한 단면도이다.
도 4는 도 2의 F부의 개략 구성을 설명하기 위한 단면도이다.
도 5는 도 3의 G부의 확대도이다.
도 6은 도 4의 H부의 확대도이다.

이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시 형태를 설명한다.

(산업용 로봇의 전체 구성)

도 1은, 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇(1)의 평면도이다. 도 2는, 도 1에 도시하는 산업용 로봇(1)의 측면도이다. 도 3은, 도 2의 E부의 개략 구성을 설명하기 위한 단면도이다. 도 4는, 도 2의 F부의 개략 구성을 설명하기 위한 단면도이다.

본 형태의 산업용 로봇(1)(이하, 「로봇(1)」이라 함)은, 반송 대상물인 액정 디스플레이용 유리 기판(2)(이하, 「기판(2)」이라 함)을 반송하기 위한 로봇이다. 이 로봇(1)은 특히 대형 기판(2)의 반송에 적합한 대형 로봇이다. 또한 로봇(1)은 진공 중에서 기판(2)을 반송한다. 로봇(1)은, 기판(2)이 탑재되는 2개의 핸드(4, 5)와, 2개의 핸드(4, 5)의 각각이 선단측에 회동 가능하게 연결되는 2개의 암(6, 7)과, 2개의 암(6, 7)의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 공통 암(8)과, 공통 암(8)이 회동 가능하게 연결되는 본체부(9)를 구비하고 있다. 본 형태의 공통 암(8)은 제1 암이고, 암(6, 7)은 제2 암이다.

도 2에 도시한 바와 같이, 핸드(4)는 암(6)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 핸드(5)는 암(7)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 핸드(4)는 핸드(5)보다도 하측에 배치되어 있다. 암(6)은 핸드(4)보다도 하측에 배치되어 있다. 암(7)은 핸드(5)보다도 상측에 배치되어 있다. 공통 암(8)은 암(6)보다도 하측에 배치되어 있다. 즉, 암(6, 7)은 공통 암(8)보다도 상측에 배치되어 있다. 또한 공통 암(8)은 본체부(9)보다도 상측에 배치되어 있다.

본체부(9)는, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 공통 암(8)을 회동시키는 회동축(도시 생략)과, 이 회동축을 회동시키는 회동 기구(도시 생략)와, 이 회동 기구와 함께 공통 암(8)을 승강시키는 승강 기구(도시 생략)와, 회동 기구나 승강 기구가 수용되는 케이스체를 구비하고 있다. 이 케이스체는, 바닥이 있는 원통형으로 형성되는 케이스 본체(11)와, 케이스 본체(11)의 상단의 개구를 덮는 덮개체(12)로 구성되어 있다. 덮개체(12)의 중심에는, 공통 암(8)을 회동시키는 회동축이 배치되는 관통 구멍이 형성되어 있다. 또한 덮개체(12)에는, 케이스 본체(11)의 직경 방향의 외측으로 넓어지는 플랜지부(12a)가 형성되어 있다.

상술한 바와 같이, 로봇(1)은 진공 중에서 기판(2)을 반송하기 위한 로봇이다. 도 2에 도시한 바와 같이, 로봇(1)의, 플랜지부(12a)의 하면보다도 상측의 부분은, 진공 챔버(13) 내에 배치되어 있다. 즉, 로봇(1)의, 플랜지부(12a)의 하면보다도 상측의 부분은, 진공 영역 VR 내(진공 중)에 배치되어 있다. 한편, 로봇(1)의, 플랜지부(12a)의 하면보다도 하측의 부분은, 대기 영역 AR 내(대기 중)에 배치되어 있다.

핸드(4, 5)는, 기판(2)이 탑재되는 복수의 포크부(15)를 구비하고 있다. 암(6, 7)은, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 장원 형상으로 됨과 함께 상하 방향의 두께가 얇은 블록형으로 형성되어 있다. 암(6)의 길이와 암(7)의 길이는 같게 되어 있다. 또한 암(6, 7)은 중공형으로 형성되어 있다. 중공형으로 형성되는 암(6, 7)의 내부는 진공으로 되어 있다. 공통 암(8)은 대략 V 형상으로 형성되어 있다. 대략 V 형상으로 형성되는 공통 암(8)의 중심 부분은 본체부(9)에 회동 가능하게 연결되어 있다. 또한 대략 V 형상으로 형성되는 공통 암(8)의 한쪽 선단측에 암(6)의 기단측이 회동 가능하게 연결되고, 공통 암(8)의 다른 쪽 선단측에 암(7)의 기단측이 회동 가능하게 연결되어 있다.

암(6)과 공통 암(8)의 연결부는 관절부(16)로 되어 있다. 암(7)과 공통 암(8)의 연결부는 관절부(17)로 되어 있다. 또한 로봇(1)은, 암(6)에 대하여 핸드(4)를 회동시킴과 함께 공통 암(8)에 대하여 암(6)을 회동시키는 구동 기구(18)(도 3 참조)와, 암(7)에 대하여 핸드(5)를 회동시킴과 함께 공통 암(8)에 대하여 암(7)을 회동시키는 구동 기구(19)(도 4 참조)를 구비하고 있다. 이하, 공통 암(8)의 구체적인 구성 및 구동 기구(18, 19)의 구성에 대하여 설명한다.

(공통 암 및 구동 기구의 구성)

도 5는 도 3의 G부의 확대도이다. 도 6은 도 4의 H부의 확대도이다.

공통 암(8)은, 본체부(9)에 연결되는 기단부(22)와, 암(6, 7)의 기단측의 각각이 연결되는 2개의 선단부(23, 24)와, 2개의 선단부(23, 24)의 각각과 기단부(22)를 잇는 2개의 연결부(25, 26)를 구비하고 있다. 본 형태에서는, 기단부(22)와 2개의 선단부(23, 24)와 2개의 연결부(25, 26)에 의해 공통 암(8)이 구성되어 있다. 선단부(23)에는 암(6)의 기단측이 연결되고, 선단부(24)에는 암(7)의 기단측이 연결되어 있다. 연결부(25)는 기단부(22)와 선단부(23)를 잇고, 연결부(26)는 기단부(22)와 선단부(24)를 연결하고 있다.

기단부(22)와 2개의 선단부(23, 24)와 2개의 연결부(25, 26)는 별체로 형성되어 있으며, 기단부(22)와 2개의 선단부(23, 24)와 2개의 연결부(25, 26)가 고정되어 일체화됨으로써 공통 암(8)이 구성되어 있다. 기단부(22)와 선단부(23, 24)와 연결부(25, 26)는 알루미늄 합금 또는 스테인리스 강으로 형성되어 있다. 또한 기단부(22)와 선단부(23, 24)와 연결부(25, 26)는 중공형으로 형성되어 있다. 즉, 공통 암(8)은 중공형으로 형성되어 있다. 공통 암(8)의 내부는 대기압으로 되어 있다.

기단부(22)는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 대략 오각 형상으로 되는 블록형으로 형성되어 있다. 기단부(22)의 하면의 중심에는 본체부(9)의 회동축의 상단이 고정되어 있다. 선단부(23, 24)는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 대략 직사각 형상으로 되는 블록형으로 형성되어 있다. 연결부(25, 26)는 통형으로 형성되는 파이프이며, 가늘고 긴 원통형으로 형성되어 있다. 연결부(25, 26)의 길이는, 예를 들어 4m로 되어 있다.

연결부(25)의 일단은 기단부(22)에 나사(도시 생략)에 의해 고정되고, 연결부(25)의 타단은 선단부(23)에 나사(도시 생략)에 의해 고정되어 있다. 연결부(26)의 일단은 기단부(22)에 나사(도시 생략)에 의해 고정되고, 연결부(26)의 타단은 선단부(24)에 나사(도시 생략)에 의해 고정되어 있다. 또한 연결부(25, 26)의 양단에는, 직경 방향의 외측으로 넓어지는 플랜지부가 형성되어 있다.

구동 기구(18)는, 암(6)에 대하여 핸드(4)를 회동시킴과 함께 공통 암(8)에 대하여 암(6)을 회동시키는 모터(30)와, 모터(30)에 연결되는 감속기(31)를 구비하고 있다. 감속기(31)는, 감속기(31)의 출력축으로 되는 회동축(32)과, 회동축(32)을 회동 가능하게 지지하는 베어링(33)과, 회동축(32)의 외주측에 배치되는 자성 유체 시일(34)을 구비하고 있다. 또한 구동 기구(18)는, 감속기(31)의 입력축(35)에 고정되는 풀리(36)와, 암(6)의 기단측의 내부에 배치되는 제1 풀리로서의 풀리(37)와, 암(6)의 선단측의 내부에 배치되는 제2 풀리로서의 풀리(38)를 구비하고 있다. 본 형태에서는, 핸드(4)가 일정 방향을 향한 상태에서 직선적으로 이동하도록 풀리(37)의 피치 원 직경과 풀리(38)의 피치 원 직경의 비가 1:2로 설정되어 있다.

감속기(31)는 중공 파동 기어 장치이며, 관절부(16)에 배치되어 있다. 이 감속기(31)는, 상술한 회동축(32), 베어링(33) 및 자성 유체 시일(34)에 추가하여, 강성 내치 기어(41)와, 가요성 외치 기어(42)와, 입력축(35)의 외주측에 설치되는 웨이브 베어링(43)을 구비하고 있다. 또한 감속기(31)는, 베어링(33) 및 자성 유체 시일(34)을 보유 지지하는 케이스체(44)를 구비하고 있다.

케이스체(44)는 전체적으로 대략 원통형으로 형성되어 있다. 케이스체(44)의 상단측 부분은 선단부(23)의 상면 부분에 고정되어 있고, 케이스체(44)는 선단부(23)에 보유 지지되어 있다. 즉, 베어링(33) 및 자성 유체 시일(34)은 케이스체(44)에 의해 선단부(23)(즉, 공통 암(8)의 한쪽 선단측)에 보유 지지되어 있다. 또한 감속기(31)의, 케이스체(44)의 상단측 부분과 회동축(32)의 상단측 부분을 제외한 부분은, 선단부(23)의 내부에 배치되어 있다.

베어링(33)은 크로스 롤러 베어링이다. 베어링(33)의 외륜은 케이스체(44)의 상단측 부분에 고정되어 있다. 베어링(33)의 내륜은 회동축(32)에 고정되어 있다. 회동축(32)은 자성 재료로 형성되어 있다. 또한 회동축(32)은 중공형으로 형성되어 있다. 회동축(32)의 상단측에는, 회동축(32)의 내주측을 막는 덮개(45)가 고정되어 있다. 덮개(45)는 원판형으로 형성되어 있으며, 회동축(32)의 상단측의 내주면에 고정되어 있다. 덮개(45)의 외주면과 회동축(32)의 내주면 사이에는 O링 등의 시일 부재(도시 생략)가 배치되어 있다. 회동축(32)은 암(6)의 기단측에 고정되어 있다. 구체적으로는 회동축(32)의 상단이 암(6)의 기단측의 하면부에 고정되어 있다. 회동축(32)의 상단면은 암(6)의 기단측의 하면에 접촉해 있다.

자성 유체 시일(34)은, 복수의 자석과, 복수의 자석의 각각을 상하 방향에서 집듯이 배치되는 원환형 폴 피스와, 폴 피스의 내주면과 회동축(32)의 외주면 사이에 보유 지지되는 자성 유체를 구비하고 있다. 자성 유체 시일(34)의 자석 및 폴 피스는 케이스체(44)의 상단측 부분의 내주면에 고정되어 있다. 자성 유체 시일(34)은 베어링(33)의 상측에 배치되어 있다. 또한 자성 유체 시일(34)은 암(6)의 상면보다도 상측에 배치되어 있다.

입력축(35)은 중공형으로 형성되어 있다. 입력축(35)은 베어링에 의해 케이스체(44)의 하단측 부분에 회전 가능하게 지지되어 있다. 입력축(35)에는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 외주면의 형상이 타원 형상으로 되는 타원부가 형성되어 있다. 강성 내치 기어(41)는 케이스체(44)의 하단측 부분에 고정되어 있다. 강성 내치 기어(41)의 내주면에는 내치가 형성되어 있다. 가요성 외치 기어(42)의 상단측 부분은 회동축(32)의 하단에 고정되어 있다. 가요성 외치 기어(42)의 하단측 부분의 외주면에는, 강성 내치 기어(41)의 내치와 맞물리는 외치가 형성되어 있다. 가요성 외치 기어(42)는 입력축(35)에 대하여 상대 회전 가능하게 되어 있다.

웨이브 베어링(43)은 가요성 내륜 및 외륜을 구비한 볼 베어링이다. 이 웨이브 베어링(43)은 입력축(35)의 타원부의 외주면을 따라 배치되어 있으며, 타원형으로 휘어 있다. 가요성 외치 기어(42)의, 외치가 형성되는 하단측 부분은, 웨이브 베어링(43)을 둘러싸도록 웨이브 베어링(43)의 외주측에 배치되어 있으며, 이 부분은 타원형으로 휘어 있다. 가요성 외치 기어(42)의 외치는, 타원형으로 휘는 가요성 외치 기어(42)의 하단측 부분의 장축 방향의 2개소에서 강성 내치 기어(41)의 내치와 맞물려 있다.

모터(30)는 선단부(23)에 고정되어 있다. 또한 모터(30)는 선단부(23)의 내부에 배치됨과 함께, 감속기(31)보다도 연결부(25)측에 배치되어 있다. 모터(30)의 출력축에는 풀리(46)가 고정되어 있다. 풀리(36)는 입력축(35)의 하단에 고정되어 있다. 풀리(36)와 풀리(46)에 벨트(47)가 걸쳐져 있다. 벨트(47)는 고무제의 벨트이다. 풀리(36, 46) 및 벨트(47)는 선단부(23)의 내부에 배치되어 있다.

암(6)의 기단측의 내부에는, 풀리(37)를 회동 가능하게 지지하는 지지 축(50)이 배치되어 있다. 지지 축(50)은, 하단에 플랜지부(50a)를 갖는, 플랜지를 갖는 원통형으로 형성되어 있다. 또한 지지 축(50)은 암(6)의 기단측의 하면부의 상측에 배치되어 있으며, 암(6)의 하면부로부터 기립하도록 배치되어 있다. 본 형태에서는, 암(6)의 기단측의 내부에 배치되는 나사(51)에 의해 회동축(32)과 지지 축(50)과 암(6)의 기단측의 하면부가 서로 고정되어 있다.

구체적으로는 암(6)의 기단측의 하면부 및 플랜지부(50a)에, 나사(51)의 축부가 삽입 관통되는 삽입 관통 구멍이 형성되고, 회동축(32)의 상단면에, 나사(51)가 걸림 결합하는 나사 구멍이 형성되어 있다. 즉, 지지 축(50)은(구체적으로는 플랜지부(50a)는), 플랜지부(50a)와 회동축(32)의 상단 사이에 암(6)의 기단측의 하면부를 집은 상태에서 회동축(32)에 고정되어 있다. 또한 나사(51)는 회동축(32)을 암(6)의 기단측에 고정함과 함께 지지 축(50)을 회동축(32)에 고정하고 있다. 또한 지지 축(50)은, 지지 축(50)의 축심과 회동축(32)의 축심이 일치하도록 회동축(32)에 고정되어 있다.

풀리(37)는 베어링에 의해 지지 축(50)에 회동 가능하게 지지되어 있다. 또한 풀리(37)는 고정 부재(53)에 의해 선단부(23)에 고정되어 있다. 즉, 풀리(37)는 고정 부재(53)에 의해 공통 암(8)의 한쪽 선단측에 고정되어 있다. 고정 부재(53)는 암(6) 및 공통 암(8)의 외부에 배치되어 있다. 또한 고정 부재(53)는 관절부(16)의 외부에 배치되어 있다. 고정 부재(53)는, 공통 암(8)의 한쪽 선단측의 외측면에 고정되는 측면부(53a)와, 측면부(53a)의 상단으로 이어지는 상면부(53b)로 구성되어 있다. 측면부(53a) 및 상면부(53b)는 평판형으로 형성되어 있다.

측면부(53a)의 하단측은 공통 암(8)의 한쪽 선단면에 고정되어 있다. 즉, 고정 부재(53)는 공통 암(8)의 한쪽 선단측의 외측면에 고정되어 있다. 또한 측면부(53a)는 관절부(16)보다도 공통 암(8)의 선단측에 배치되어 있다. 상면부(53b)는 측면부(53a)의 상단에 고정되어 있다. 상면부(53b)는, 상면부(53b)의 두께 방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되어 있다. 또한 상면부(53b)는 암(6)의 기단측의 상면보다도 상측에 배치되어 있다. 구체적으로는 상면부(53b)는 암(6)의 기단측의 상면보다도 약간 상측에 배치되어 있다. 또한 본 형태에서는 별체로 형성된 측면부(53a)와 상면부(53b)가 서로 고정되어 있지만, 측면부(53a)와 상면부(53b)가 일체로 형성되어 있어도 된다.

암(6)의 기단측의 상면 부분에는, 도 5에 도시한 바와 같이, 풀리(37)의 상단측 부분이 배치되는 개구부(6a)가 형성되어 있다. 풀리(37)의 상단은 암(6)의 기단측의 상면보다도 상측에 배치되어 있다. 구체적으로는 풀리(37)의 상단은 암(6)의 기단측의 상면보다도 약간 상측에 배치되어 있다. 또한 풀리(37)의 상단은 상면부(53b)에 고정되어 있다. 즉, 풀리(37)는 고정 부재(53)에 고정되어 있다. 풀리(37)의 상단면은 상면부(53b)의 하면에 접촉해 있다.

암(6)의 선단측의 내부에는, 풀리(38)을 회동 가능하게 지지하는 지지 축(58)이 고정되어 있다. 지지 축(58)은 암(6)의 선단측의 하면부로부터 기립해 있다. 풀리(38)는 베어링에 의해 지지 축(58)에 회동 가능하게 지지되어 있다. 또한 풀리(38)의 상단에는 핸드(4)의 기단측이 고정되어 있다. 풀리(37)와 풀리(38)에는 벨트(60)가 걸쳐져 있다. 본 형태에서는, 상하 방향에서 겹치도록 배치되는 2개의 벨트(60)가 풀리(37)와 풀리(38)에 걸쳐져 있다. 벨트(60)는 강판제 스틸 벨트이다. 벨트(60)는 도시를 생략하는 나사에 의해 풀리(37, 38)에 고정되어 있다.

구동 기구(19)는 구동 기구(18)와 거의 마찬가지로 구성되어 있다. 따라서 이하의 구동 기구(19)의 설명에서는 주로 구동 기구(18)와 구동 기구(19)의 상위점을 설명한다. 구동 기구(19)는, 암(7)에 대하여 핸드(5)를 회동시킴과 함께 공통 암(8)에 대하여 암(7)을 회동시키는 모터(30)와, 모터(30)에 연결되는 감속기(31)를 구비하고 있다. 또한 구동 기구(19)는, 감속기(31)의 입력축(35)에 고정되는 풀리(36)와, 암(7)의 기단측의 내부에 배치되는 제1 풀리로서의 풀리(37)와, 암(7)의 선단측의 내부에 배치되는 제2 풀리로서의 풀리(78)를 구비하고 있다. 본 형태에서는, 핸드(5)가 일정 방향을 향한 상태에서 직선적으로 이동하도록 풀리(37)의 피치 원 직경과 풀리(78)의 피치 원 직경의 비가 1:2로 설정되어 있다.

구동 기구(19)의 감속기(31)는 관절부(17)에 배치되어 있다. 구동 기구(19)에서는, 감속기(31)의 케이스체(44)의 상단측 부분은 선단부(24)의 상면 부분에 고정되어 있고, 케이스체(44)는 선단부(24)에 보유 지지되어 있다. 즉, 베어링(33) 및 자성 유체 시일(34)은 케이스체(44)에 의해 선단부(24)(즉, 공통 암(8)의 다른 쪽 선단측)에 보유 지지되어 있다. 또한 구동 기구(19)에서는, 감속기(31)의, 케이스체(44)의 상단측 부분과 회동축(32)의 상단측 부분을 제외한 부분은, 선단부(24)의 내부에 배치되어 있다. 또한 자성 유체 시일(34)은 암(7)의 상면보다도 상측에 배치되어 있다.

구동 기구(19)에서는, 회동축(32)의 상단에, 중공형으로 형성되는 회동축(79)의 하단이 고정되어 있다. 회동축(79)은, 회동축(32)의 축심과 회동축(79)의 축심이 일치하도록 회동축(32)에 고정되어 있다. 회동축(79)은 암(7)의 기단측에 고정되어 있다. 구체적으로는 회동축(79)의 상단이 암(7)의 기단측의 하면부에 고정되어 있다. 즉, 회동축(32)은 회동축(79)에 의해 암(7)의 기단측에 고정되어 있다. 회동축(79)의 상단면은 암(7)의 기단측의 하면에 접촉해 있다. 또한 회동축(32)과 회동축(79)은 일체로 형성되어 있어도 된다.

또한 구동 기구(19)에서는, 모터(30)는 선단부(24)에 고정되어 있다. 모터(30)는 선단부(24)의 내부에 배치됨과 함께, 감속기(31)보다도 연결부(26)측에 배치되어 있다. 또한 구동 기구(19)에서는, 풀리(36, 46) 및 벨트(47)는 선단부(24)의 내부에 배치되어 있다.

암(7)의 기단측의 내부에는, 풀리(37)를 회동 가능하게 지지하는 지지 축(50)이 배치되어 있다. 지지 축(50)은 암(7)의 기단측의 하면부의 상측에 배치되어 있으며, 암(7)의 하면부로부터 기립하도록 배치되어 있다. 본 형태에서는, 암(7)의 기단측의 내부에 배치되는 나사(51)에 의해 회동축(79)과 지지 축(50)과 암(7)의 기단측의 하면부가 서로 고정되어 있다. 구체적으로는 암(7)의 기단측의 하면부 및 플랜지부(50a)에, 나사(51)의 축부가 삽입 관통되는 삽입 관통 구멍이 형성되고, 회동축(79)의 상단면에, 나사(51)가 걸림 결합하는 나사 구멍이 형성되어 있다.

즉, 지지 축(50)은(구체적으로는 플랜지부(50a)는), 플랜지부(50a)와 회동축(79)의 상단 사이에 암(7)의 기단측의 하면부를 문 상태에서 회동축(79)에 고정되어 있으며, 회동축(79)에 의해 회동축(32)에 고정되어 있다. 또한 나사(51)는 회동축(79)을 암(7)의 기단측에 고정함과 함께 지지 축(50)을 회동축(79)에 고정하고 있다. 즉, 나사(51)는 회동축(79)에 의해 회동축(32)을 암(7)의 기단측에 고정함과 함께 회동축(79)에 의해 지지 축(50)을 회동축(32)에 고정하고 있다. 또한 지지 축(50)은, 지지 축(50)의 축심과 회동축(79)의 축심과 회동축(32)의 축심이 일치하도록 회동축(79)에 고정되어 있다.

암(7)의 기단측의 내부에 배치되는 풀리(37)는 고정 부재(83)에 의해 선단부(24)에 고정되어 있다. 즉, 이 풀리(37)는 고정 부재(83)에 의해 공통 암(8)의 다른 쪽 선단측에 고정되어 있다. 고정 부재(83)는 암(7) 및 공통 암(8)의 외부에 배치되어 있다. 또한 고정 부재(83)는 관절부(17)의 외부에 배치되어 있다. 고정 부재(83)는, 공통 암(8)의 다른 쪽 선단측의 외측면에 고정되는 측면부(83a)와, 측면부(83a)의 상단으로 이어지는 상면부(83b)로 구성되어 있다. 측면부(83a) 및 상면부(83b)는 평판형으로 형성되어 있다.

측면부(83a)의 하단측은 공통 암(8)의 다른 쪽 선단면에 고정되어 있다. 즉, 고정 부재(83)는 공통 암(8)의 다른 쪽 선단측의 외측면에 고정되어 있다. 또한 측면부(83a)는 관절부(17)보다도 공통 암(8)의 선단측에 배치되어 있다. 상면부(83b)는 측면부(83a)의 상단에 고정되어 있다. 상면부(83b)는, 상면부(83b)의 두께 방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되어 있다. 또한 상면부(83b)는 암(7)의 기단측의 상면보다도 상측에 배치되어 있다. 구체적으로는 상면부(83b)는 암(7)의 기단측의 상면보다도 약간 상측에 배치되어 있다. 또한 본 형태에서는, 별체로 형성된 측면부(83a)와 상면부(83b)가 서로 고정되어 있지만, 측면부(83a)와 상면부(83b)가 일체로 형성되어 있어도 된다.

암(7)의 기단측의 상면 부분에는, 도 6에 도시한 바와 같이, 풀리(37)의 상단측 부분이 배치되는 개구부(7a)가 형성되어 있다. 풀리(37)의 상단은 암(7)의 기단측의 상면보다도 상측에 배치되어 있다. 구체적으로는 풀리(37)의 상단은 암(7)의 기단측의 상면보다도 약간 상측에 배치되어 있다. 또한 풀리(37)의 상단은 상면부(83b)에 고정되어 있다. 즉, 풀리(37)는 고정 부재(83)에 고정되어 있다. 풀리(37)의 상단면은 상면부(83b)의 하면에 접촉해 있다.

암(7)의 선단측의 내부에는, 풀리(78)를 회동 가능하게 지지하는 지지 축부(7b)가 형성되어 있다. 지지 축부(7b)는 원통형으로 형성되어 있으며, 암(7)의 선단측의 하면부로부터 기립해 있다. 풀리(78)는 베어링에 의해 지지 축부(7b)에 회동 가능하게 지지되어 있다. 또한 풀리(78)의 하단에는 핸드(5)의 기단측이 고정되어 있다. 풀리(37)와 풀리(78)에는, 상하 방향에서 겹치도록 배치되는 2개의 벨트(60)가 걸쳐져 있다. 벨트(60)는 도시를 생략하는 나사에 의해 풀리(37, 78)에 고정되어 있다.

(본 형태의 주된 효과)

이상 설명한 바와 같이 본 형태에서는, 암(6)의 기단측에 배치되는 풀리(37)는 고정 부재(53)에 의해 공통 암(8)의 한쪽 선단측에 고정되어 있으며, 고정 부재(53)는 관절부(16)의 외부에 배치되어 있다. 또한 본 형태에서는, 암(7)의 기단측에 배치되는 풀리(37)는 고정 부재(83)에 의해 공통 암(8)의 다른 쪽 선단측에 고정되어 있으며, 고정 부재(83)는 관절부(17)의 외부에 배치되어 있다. 즉, 본 형태에서는, 풀리(37)와 함께 회동축(32)에 대하여 상대 회동하는 축 등의 부재가 회동축(32)의 내주측에 배치되어 있지 않다. 그 때문에 본 형태에서는, 회동축(32)의 내주측에 자성 유체 시일을 배치할 필요가 없다. 따라서 본 형태에서는, 암(6, 7) 및 공통 암(8)이 진공 중에 배치됨과 함께, 공통 암(8)의 내부가 대기압으로 되어 있고 또한 암(6, 7)의 내부가 진공으로 되어 있는 경우에도, 관절부(16, 17)의 구성을 간소화하는 것이 가능해진다.

본 형태에서는, 풀리(37)가 회동 가능하게 지지되는 지지 축(50)은 회동축(32)에 고정되어 있다. 그 때문에 본 형태에서는, 지지 축(50)의 축심과 회동축(32)의 축심을 일치시키기 쉬워지며, 그 결과, 풀리(37)의 축심과 회동축(32)의 축심을 일치시키기 쉬워진다. 따라서 본 형태에서는, 고정 부재(53, 83)에 의해 풀리(37)가 공통 암(8)의 선단측에 고정되어 있더라도 풀리(37)를 적절히 회동시키는 것이 가능해진다.

본 형태에서는, 공통의 나사(51)에 의해 회동축(32)과 지지 축(50)과 암(6)의 기단측의 하면부가 서로 고정되어 있다. 그 때문에 본 형태에서는, 회동축(32)을 암(6)의 기단측에 고정하는 나사와 지지 축(50)을 회동축(32)에 고정하는 나사가 개별적으로 마련되어 있는 경우와 비교하여 관절부(16)의 구성을 간소화하는 것이 가능해진다. 마찬가지로 본 형태에서는, 공통의 나사(51)에 의해 회동축(79)과 지지 축(50)과 암(7)의 기단측의 하면부가 서로 고정되어 있기 때문에, 회동축(79)을 암(7)의 기단측에 고정하는 나사와 지지 축(50)을 회동축(79)에 고정하는 나사가 개별적으로 마련되어 있는 경우와 비교하여 관절부(17)의 구성을 간소화하는 것이 가능해진다.

본 형태에서는, 벨트(60)는 스틸 벨트이다. 그 때문에 본 형태에서는, 벨트(60)가 고무제의 벨트인 경우와 비교하여 벨트(60)로부터의 먼지 발생을 억제하는 것이 가능해진다. 또한 벨트(60)가 스틸 벨트인 경우에는, 벨트(60)가 고무제의 벨트인 경우와 비교하여 벨트(60)가 탄성 변형되기 어렵기 때문에, 풀리(37)의 축심과 회동축(32)의 축심에 어긋남이 있으면 풀리(37)가 적절히 회동하기 어려워지기 쉽지만, 본 형태에서는, 풀리(37)의 축심과 회동축(32)의 축심을 일치시키기 쉬워지기 때문에, 벨트(60)가 스틸 벨트이더라도 풀리(37)를 적절히 회동시키는 것이 가능해진다.

본 형태에서는, 고정 부재(53)는, 공통 암(8)의 한쪽 선단면에 고정되는 평판형의 측면부(53a)와, 측면부(53a)의 상단에 고정됨과 함께 암(6)의 기단측의 상면보다도 상측에 배치되는 평판형의 상면부(53b)에 의해 구성되어 있다. 그 때문에 본 형태에서는, 암(6)의 기단측과 고정 부재(53)의 간섭을 방지하기 쉬워진다. 마찬가지로 본 형태에서는, 고정 부재(83)가, 공통 암(8)의 다른 쪽 선단면에 고정되는 평판형의 측면부(83a)와, 측면부(83a)의 상단에 고정됨과 함께 암(7)의 기단측의 상면보다도 상측에 배치되는 평판형의 상면부(83b)에 의해 구성되어 있기 때문에, 암(7)의 기단측과 고정 부재(83)의 간섭을 방지하기 쉬워진다.

본 형태에서는, 베어링(33)에 의해 공통 암(8)의 한쪽 선단측에 회동 가능하게 보유 지지되는 회동축(32)의 상단이 암(6)의 기단측의 하면부에 고정됨과 함께, 암(6)의 기단측의 내부에 배치되는 지지 축(50)에 회동 가능하게 지지되는 풀리(37)의 상단이, 공통 암(8)의 한쪽 선단측에 고정되는 고정 부재(53)의 상면부(53b)에 고정되어 있다. 즉, 본 형태에서는, 회동축(32)과 상면부(53b)에 의해 상하 방향의 양측으로부터 암(6)의 기단측이 지지되어 있다. 그 때문에 본 형태에서는, 암(6)의 동작을 안정시키는 것이 가능해진다.

또한 본 형태에서는, 베어링(33)에 의해 공통 암(8)의 다른 쪽 선단측에 회동 가능하게 보유 지지되는 회동축(32, 79)의 상단이 암(7)의 기단측의 하면부에 고정됨과 함께, 암(7)의 기단측의 내부에 배치되는 지지 축(50)에 회동 가능하게 지지되는 풀리(37)의 상단이, 공통 암(8)의 다른 쪽 선단측에 고정되는 고정 부재(83)의 상면부(83b)에 고정되어 있다. 즉, 본 형태에서는, 회동축(32, 79)과 상면부(83b)에 의해 상하 방향의 양측으로부터 암(7)의 기단측이 지지되어 있다. 그 때문에 본 형태에서는, 암(7)의 동작을 안정시키는 것이 가능해진다.

(다른 실시 형태)

상술한 형태는 본 발명의 적합한 형태의 일례이기는 하지만, 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 있어서 다양하게 변형 실시가 가능하다.

상술한 형태에서는, 공통의 나사(51)에 의해 회동축(32)과 지지 축(50)과 암(6)의 기단측의 하면부가 서로 고정되어 있지만, 암(6)의 기단측에 회동축(32)을 고정하는 나사와 회동축(32)에 지지 축(50)을 고정하는 나사가 개별적으로 마련되어 있어도 된다. 이 경우에는 지지 축(50)은, 플랜지부(50a)의 하면과 회동축(32)의 상단이 접촉하도록 회동축(32)에 고정되어도 된다.

마찬가지로 상술한 형태에서는, 공통의 나사(51)에 의해 회동축(79)과 지지 축(50)과 암(7)의 기단측의 하면부가 서로 고정되어 있지만, 암(7)의 기단측에 회동축(79)을 고정하는 나사와 회동축(79)에 지지 축(50)을 고정하는 나사가 개별적으로 마련되어 있어도 된다. 이 경우에는 지지 축(50)은, 플랜지부(50a)의 하면과 회동축(79)의 상단이 접촉하도록 회동축(79)에 고정되어도 된다.

상술한 형태에서는, 구동 기구(18)에 있어서, 지지 축(50)은 회동축(32)에 고정되어 있지만, 지지 축(50)은 암(6)의 기단측의 하면부에 고정되어 있어도 된다. 이 경우에는, 암(6)의 기단측에 회동축(32)을 고정하는 나사와 암(6)의 기단측에 지지 축(50)을 고정하는 나사가 개별적으로 마련되어 있다. 이 경우에도 지지 축(50)은, 지지 축(50)의 축심과 회동축(32)의 축심이 일치하도록 암(6)의 기단측에 고정된다. 또한 지지 축(50)에 상당하는 지지 축이 암(6)의 기단측의 내부에 형성되어도 된다. 이 경우에는, 이 지지 축의 축심과 회동축(32)의 축심이 일치하도록 암(6)의 기단측의 내부에 지지 축이 형성된다.

마찬가지로 구동 기구(19)에 있어서, 지지 축(50)은 암(7)의 기단측의 하면부에 고정되어 있어도 된다. 이 경우에는, 암(7)의 기단측에 회동축(79)을 고정하는 나사와 암(7)의 기단측에 지지 축(50)을 고정하는 나사가 개별적으로 마련되어 있다. 이 경우에도 지지 축(50)은, 지지 축(50)의 축심과 회동축(79)의 축심과 회동축(32)의 축심이 일치하도록 암(7)의 기단측에 고정된다. 또한 지지 축(50)에 상당하는 지지 축이 암(7)의 기단측의 내부에 형성되어도 된다. 이 경우에는 지지 축의 축심과 회동축(79)의 축심과 회동축(32)의 축심이 일치하도록 암(7)의 기단측의 내부에 지지 축이 형성된다.

상술한 형태에서는, 고정 부재(53)의 측면부(53a)는 공통 암(8)의 한쪽 선단면에 고정되어 있지만, 측면부(53a)는 선단부(23)의 상면에 고정되어 있어도 된다. 마찬가지로 상술한 형태에서는, 고정 부재(83)의 측면부(83a)는 공통 암(8)의 다른 쪽 선단면에 고정되어 있지만, 측면부(83a)는 선단부(24)의 상면에 고정되어 있어도 된다. 또한 상술한 형태에서는 벨트(60)는 스틸 벨트이지만, 벨트(60)는 고무제의 벨트여도 된다.

상술한 형태에서는, 핸드(4)과 공통 암(8) 사이에 1개의 암(6)이 배치되고 핸드(5)과 공통 암(8) 사이에 1개의 암(7)이 배치되어 있지만, 핸드(4, 5)와 공통 암(8) 사이에 2개 이상의 암이 배치되어도 된다. 또한 상술한 형태에서는 공통 암(8)은 대략 V 형상으로 형성되어 있지만, 공통 암(8)은 직선향으로 형성되어 있어도 된다. 또한 상술한 형태에서는, 로봇(1)은, 2개의 암(6, 7)이 회동 가능하게 연결되는 공통 암(8)을 구비하고 있지만, 로봇(1)은 공통 암(8) 대신, 1개의 암(6) 또는 암(7)이 선단측에 회동 가능하게 연결됨과 함께 기단측이 본체부(9)에 회동 가능하게 연결되는 암을 구비하고 있어도 된다.

상술한 형태에서는, 로봇(1)에 의해 반송되는 반송 대상물은 액정 디스플레이용 유리 기판이지만, 로봇(1)에 의해 반송되는 반송 대상물은 유기 EL(유기 일렉트로루미네센스) 디스플레이용 유리 기판이어도 되고 반도체 웨이퍼 등이어도 된다.

1: 로봇(산업용 로봇)
6, 7: 암(제2 암)
6a, 7a: 개구부
8: 공통 암(제1 암)
32: 회동축
33: 베어링
34: 자성 유체 시일
37: 풀리(제1 풀리)
38, 78: 풀리(제2 풀리)
50: 지지 축
51: 나사
53, 83: 고정 부재
53a, 83a: 측면부
53b, 83b: 상면부
60: 벨트

Claims

제1 암과, 중공형으로 형성되어 상기 제1 암의 선단측에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제2 암과, 상기 제2 암의 기단측에 고정되는 회동축과, 상기 회동축을 회동 가능하게 지지함과 함께 상기 제1 암의 선단측에 보유 지지되는 베어링과, 상기 회동축의 외주측에 배치됨과 함께 상기 제1 암의 선단측에 보유 지지되는 자성 유체 시일과, 상기 제2 암의 기단측의 내부에 배치되어 상기 제2 암의 기단측에 고정 또는 형성되거나, 혹은 상기 회동축에 고정되는 지지 축과, 상기 제2 암의 기단측에 배치되어 상기 지지 축에 회동 가능하게 지지되는 제1 풀리와, 상기 제2 암의 선단측에 배치되는 제2 풀리와, 상기 제1 풀리와 상기 제2 풀리에 걸쳐지는 벨트와, 상기 제1 풀리가 고정됨과 함께 상기 제1 암의 선단측의 외측면에 고정되는 고정 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
제1항에 있어서,
상기 지지 축은 상기 회동축에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
제2항에 있어서,
상기 회동축을 상기 제2 암의 기단측에 고정함과 함께 상기 지지 축을 상기 회동축에 고정하는 나사를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
제2항 또는 제3항에 있어서,
상기 벨트는 강판제 스틸 벨트인 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제2 암은 상기 제1 암보다도 상측에 배치되고,
상기 제2 암의 기단측의 하면부에 상기 회동축이 고정되고,
상기 제2 암의 기단측의 상면 부분에는, 상기 제1 풀리의 상단측 부분이 배치되는 개구부가 형성되고,
상기 제1 풀리의 상단은 상기 제2 암의 기단측의 상면보다도 상측에 배치되고,
상기 고정 부재는, 상기 제1 암의 선단측의 외측면에 고정되는 측면부와, 상기 측면부의 상단으로 이어지는 상면부를 구비하고,
상기 상면부는 상기 제2 암의 기단측의 상면보다도 상측에 배치되고,
상기 제1 풀리의 상단은 상기 상면부에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.