JP2003287173A - ロータリージョイント - Google Patents

ロータリージョイント

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JP2003287173A
JP2003287173A JP2002089687A JP2002089687A JP2003287173A JP 2003287173 A JP2003287173 A JP 2003287173A JP 2002089687 A JP2002089687 A JP 2002089687A JP 2002089687 A JP2002089687 A JP 2002089687A JP 2003287173 A JP2003287173 A JP 2003287173A
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rotary joint
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Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明が解決しようとする課題は、クリーン度
の高い環境で使用可能な小型且つ小さなトルクで円滑な
旋回を行うことが可能なロータリージョイントを提供す
る事を目的としたものである。 【解決手段】本発明は、前記した課題を解決する手段と
して、回転側ボディを保持する二つの接触シール式の軸
受けと固定側ボディと回転側ボディの外形差により設け
られた環状空間を、軸受けの内輪と回転側ボディの接触
面と、外輪と固定側ボディの接触面に弾性シールを配設
することで環状流体通路を形成し、固定側ボディと回転
側ボディに形成した流体通路を連通する装置構成とし
た。

Description

【発明の詳細な説明】
【発明の属する分野】本発明は、クリーンルーム内にお
いて使用される産業用ロボットと把持装置の間に配設さ
れるロータリージョイントに関するものである。
【従来の技術】クリーンルーム内での組み立て又は搬送
工程において、回転しないロボット本体側と回転するロ
ボット先端部に取り付けられる把持装置への配管及び配
線には、特開平5−293788号公報に記載されたよ
うに、固定部から回転部への流体の供給及び排出にエア
チューブを使用せず、固定側及び回転側に設けた流体通
路を弾性シールにより形成した環状流体通路により連通
させることによって外部へのエアチューブの露出を最小
限とし、更に信号伝達や電力供給に使用される配線を回
転軸回りにフラットケーブルを渦巻状に緩く巻き、回転
動作時に渦巻部の巻き径が変わることにより回動を許容
出来るようにする事で、エアチューブと同様に外部への
配線の露出を最小限とする事で、回転時に配管及び配線
の周辺機器との干渉を防ぐ事を可能としたものが知られ
ている。上記方式のロータリージョイントの場合、図5
(b)のように固定側又は回転側に設けた環状溝を挟む
ように配設した弾性シールにより環状流体通路を形成す
る装置構成であるため、装置全長が長くなり大型化する
ため、広いスペースを必要とする他、流体通路を形成す
るために配設される弾性体シールの摩擦抵抗により回転
部が旋回する際に大きな旋回トルクが必要となり問題と
なっている。上記問題を解消する方法として特開平9−
123083号公報にて、提案されているようなメタル
シール構造のものが知られているが、該方式は、旋回時
の抵抗の要因である弾性シールを使用しない方式である
ため、非常に小さなトルクで円滑な旋回が可能である
が、シール部に隙間を有し、僅かであるが外部にエアー
を放出する方式であるため、クリーン度を要求されるウ
ェハやガラス基板等の搬送を行う環境での使用が困難で
あった。上記問題を解消する方法として、把持装置にモ
ーターハンドを使用し、ロボットとモーターハンドの間
に電力供給用のロータリージョイントを設ける方式が知
られているが、駆動に流体圧を使用しないモーターハン
ドであっても、高いクリーン度を要求される環境下で使
用される場合、ロータリージョイントの回転部及び把持
爪等の動作部より発生する僅かな粉塵が問題となってい
た。
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、クリーン度の高い環境で使用可能な小型且
つ小さなトルクで円滑な旋回を行うことが可能なロータ
リージョイントを提供する事を目的としたものである。
【問題を解決するための手段】本発明は、モーターハン
ドと産業用ロボットの間に配設するロータリージョイン
トにおいて、前記した課題を解決する手段として、回転
側ボディを保持する二つの接触シール式の軸受けと、固
定側ボディ内径と回転側ボディ外径の差により設けられ
た環状空間を、軸受けの内輪と回転側ボディの接触面
と、外輪と固定側ボディの接触面に弾性シールを配設す
ることで環状流体通路を形成し、固定側ボディと回転側
ボディに配設した流体通路及び吸引ポートを連通する装
置構成とした。また、固定ボディにはフラットケーブル
等の摺動部より発生する粉塵を吸引する為の吸引ポート
を設ける。
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。本実施例のロータリージョイント
は、吸引ポートとケーブルクランプを外周部に設けた固
定ボディA3と、固定ボディ内に取り付けられた軸受け
に回動自在に保持された回転ボディから成る。固定ボデ
ィA3は、小径部と大径部から構成され、小径部には回
転ボディに取り付けられる装置から吸引を行う為の吸引
ポートB12と、回転ボディを回動自在に保持するため
の軸受けが間隔を開けて二つ挿入されている。前記軸受
けには接触シール式軸受け9が使用され、該接触シール
式軸受け9の外輪と接する固定ボディA3の内壁面に設
けられた弾性シール用溝部に装着された弾性シール10
と軸受け外輪が接するように配設される。前記軸受けに
より回転ボディA1は回動自在に保持された状態で回転
ボディB2とネジ止めにより連結される。回転ボディA
1の回転軸には固定ボディA3同様に弾性シール用溝が
設けられ、弾性シール10と接触シール式軸受け9内輪
が接するように配設される事によって軸受け間に環状流
体通路16が形成され、回転ボディA1と固定ボディA
3に設けられた吸引ポートA11と吸引ポートB12を
連通している。固定ボディA3の大径部に設けられた凹
部には、図面上方より固定ボディB4が取り付けられ、
固定ボディA3内にリング状の空間を形成する。該リン
グ状空間内には回転ボディA1に取り付けられる装置に
電力の供給や信号の伝達を行う為のフラットケーブル1
4が回転時のフラットケーブル14の捩れを許容可能と
するように回転軸を中心に渦巻き状に緩く巻いた状態に
て収容され、固定ボディ外周には内部の粉塵を吸引する
ための吸引ポートC13を設ける。回転軸を中心とし渦
巻き状に巻かれたフラットケーブル14は、一方を回転
軸中心に設けられた中心穴へ挿入し、回転ボディA1の
端面に設けた溝よりフラットケーブル14を本体外部に
取り出し、装置に配線を行う。他端は固定ボディA3大
径部に設けた溝部よりフラットケーブル14を本体外部
に出し、該ケーブルをケーブルクランプ5によりクラン
プさせ固定する。固定ボディA3に取り付けた固定ボデ
ィB4にも凹部が設けられており、凹部に取り付けられ
たストッパーピン8と、回転ボディB2に取り付けられ
たストッパーピン8が係合する円弧状の二本の溝が設け
られたストッパー7が挿入されている。
【発明の効果】本発明の実施により、回転側ボディを保
持する二つの接触シール式の軸受けと固定側ボディ内径
と回転側ボディ外径の差により設けられた環状空間を、
軸受けの内輪と回転側ボディの接触面と、外輪と固定側
ボディの接触面に弾性シールを配設することで環状流体
通路を形成し、固定側ボディと回転側ボディに形成した
流体通路及び吸引ポートを連通する装置構成としたこと
により、従来の回転ボディを保持する上方軸受けと下方
軸受けの間に環状溝と弾性シールを直列に配置する方式
と異なりロータリージョイントの全長を短くすることが
可能となり、産業用ロボットの取付面から把持装置先端
部までの距離が短く出来ることで、産業用ロボットにか
かる負荷を小さくする事が出来るうえに、接触シール式
の軸受けと、該軸受けの内外輪と弾性シールにより流体
通路を形成したことで、旋回時に弾性シールの摩擦抵抗
の影響を受けることがなく、小さなトルクで円滑な旋回
を行うことが可能となった。また、回転ボディに取り付
けられ動作するモーターハンドから発生する粉塵だけで
なく、ロータリージョイントより発生する粉塵を吸引す
る為の吸引ポートを設けた事により高いクリーン度を要
求される環境においての使用が可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図1】ロータリージョイントの側面図
【図2】ロータリジョイントの断面図
【図3】A−A断面図
【図4】B−B断面図
【図5】本発明と従来方法の違いを表す略図 (a)本発明 (b)従来方法
【符号の説明】
1回転ボディA 2回転ボディB 3固定ボディA 4固定ボディB 5ケーブルクランプ 6センターカバー 7ストッパー 8ストッパーピン 9接触シール式軸受け 10弾性シール 11吸引ポートA 12吸引ポートB 13吸引ポートC 14フラットケーブル 15流体通路 16環状流体通路

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】回転ボディと固定ボディを同心上に且つ相
    対的に回転可能に組み合わされ、前記固定ボディ内に形
    成されるリング状の空間にはフラットケーブルが渦巻き
    状に収容され、該フラットケーブルの一端は固定ボディ
    に固定、他端は回転ボディ端面より外部に取り出され配
    線を行う配線方式と、回転ボディと固定ボディ間に形成
    した環状通路により回転ボディに設けた吸引ポートと、
    固定ボディに設けた吸引ポートを連通した粉塵吸引用の
    流体通路を有したロータリージョイントであって、回転
    側ボディを保持する二つの接触シール式の軸受けと、固
    定側ボディ内径と回転側ボディ外形の差により設けられ
    た環状空間を、軸受けの内輪と回転側ボディの接触面
    と、外輪と固定側ボディの接触面に弾性シールを配設す
    ることで環状流体通路を形成し、固定側ボディと回転側
    ボディに形成した流体通路を連通した事を特長とするロ
    ータリージョイント。
  2. 【請求項2】固定ボディ内のフラットケーブルが渦巻き
    状に収容されたリング状の空間を有した固定ボディ外周
    面に吸引ポートを設けたことを特長とする請求項1に記
    載のロータリージョイント。
  3. 【請求項3】回転中心より異なる距離に設けられた2本
    の円弧状の溝を有したストッパーと、回転ボディと固定
    ボディに配設したストッパーピンにより回転角度の規制
    を行うことを特長とした請求項1又は請求項2に記載の
    ロータリージョイント。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011194495A (ja) * 2010-03-18 2011-10-06 Denso Wave Inc ロボットのアーム連結装置
JP2017009012A (ja) * 2015-06-19 2017-01-12 野村ユニソン株式会社 ロータリージョイント
US10050359B2 (en) 2013-10-31 2018-08-14 Seiko Epson Corporation Robot

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