JP2002307370A - ロータリージョイント - Google Patents

ロータリージョイント

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JP2002307370A
JP2002307370A JP2001117632A JP2001117632A JP2002307370A JP 2002307370 A JP2002307370 A JP 2002307370A JP 2001117632 A JP2001117632 A JP 2001117632A JP 2001117632 A JP2001117632 A JP 2001117632A JP 2002307370 A JP2002307370 A JP 2002307370A
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JP
Japan
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rotary joint
fixed
rotary
rotating
joint according
Prior art date
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JP2001117632A
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English (en)
Inventor
Shunji Fujieda
俊二 藤枝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kondo Seisakusho KK
Original Assignee
Kondo Seisakusho KK
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Publication date
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  • Joints Allowing Movement (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明が解決しようとする課題は、小さなトル
クであっても円滑な旋回を行うことが可能且つエアー漏
れによりクリーンルーム内の環境を悪化させる事のない
ロータリージョイントを提供する事を目的としたもので
ある。 【解決手段】本発明は、前記した課題を解決するための
手段として、固定側ボディと軸受けに保持された回転側
ボディに設けたポートを回転軸を中心に渦巻き状に緩く
巻き、回転側ボディの回転を許容可能としたエアチュー
ブにて連通する装置構成とした。

Description

【発明の詳細な説明】
【発明の属する分野】本発明は、エアーと電気をロボッ
ト側から把持装置側に連通するためのロータリージョイ
ントに関するものである。
【従来の技術】組み立てや搬送等に使用されるロボット
において、回転しないロボット本体側と回転するロボッ
ト先端部に取り付けられる装置への配管及び配線は、回
転時に配管及び配線が突っ張り回転を妨げないように、
余裕をもたせて長く配設されるのが一般的であるが、長
く配設した配管及び配線が周辺装置に干渉したり引っ掛
かるなどの問題があった。前記問題を解決する方法とし
て特開平5−293788号公報に記載されたように、
固定部と回転部の流体供給にエアチューブを使用せず、
固定側及び回転側に設けた流体通路を弾性シールにより
形成した環状通路により連通させることによってロータ
リージョイント外部へのエアチューブの露出を最小限と
し、更に信号伝達に使用される配線を回転軸回りにフラ
ットケーブルを渦巻状に緩く巻き、回転動作時に渦巻部
の巻き径が変わることにより回動を許容出来るようにす
る事で、エアチューブと同様に外部への配線の露出を最
小限とする事で、回転時に配管及び配線の周辺機器との
干渉を防ぐ事を可能としたものが知られている。しか
し、上記方式の場合、流体通路を形成するために配設さ
れた複数本の弾性体シールの摩擦抵抗が非常に大きく旋
回時に大きなトルクが必要となってしまう上記問題を解
消する方法として特開平9−123083号公報にて、
提案されているようなメタルシール構造のものが知られ
ている。該方式は、旋回時の抵抗の要因である弾性シー
ルを使用しない方式であるため、非常に小さなトルクで
円滑な旋回が可能であるが、シール部に隙間を有し、僅
かであるが外部にエアーを放出する方式であるため、ク
リーン度を要求されるウェハやガラス基板等の搬送を行
う環境下での使用が困難であった。
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、小さなトルクであっても円滑な旋回を行う
ことが可能且つエアー漏れによりクリーンルーム内の環
境を悪化させる事のないロータリージョイントを提供す
る事を目的としたものである。
【課題を解決するための手段】本発明は、前記した課題
を解決するための手段として、固定側ボディと軸受けに
保持された回転側ボディに設けたポートを回転軸を中心
に渦巻き状に緩く巻き、回転側ボディの回転を許容可能
としたエアチューブにて連通する装置構成とした。上記
方式において、流体の流量を必要とする場合、エアチュ
ーブの径を大きなものを使用することが一般的である
が、チューブ径の大きなものを使用すると、回転軸周り
に渦巻き状に巻いた場合の巻径が非常に大きなものとな
り、装置が大型化してしまう為に、本発明のロータリー
ジョイントは、複数本の小径のチューブを使用し、配管
ボックス及びマニホールド内において複数の流体通路を
連通するものとした。複数本のエアチューブは、各エア
チューブごとに回転軸に取り付けられた隔壁によって区
画されたスペース内に回転方向の違いによる回転抵抗差
が生じないように半数を右巻き、半数を左巻きとし、固
定側ボディ内に収容する。回転ボディに取り付けられる
装置に設けられる各種センサからの信号を伝える為の手
段としてフラットケーブルを使用し、該フラットケーブ
ルをエアチューブと同様に回転軸を中心とし、渦巻き状
に巻いた状態にて固定側ボディ内に収容する。固定側ボ
ディには吸引ポートを配設し、ロータリージョイント内
において発生した粉塵等を外部に排出可能な装置構成と
している。
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。本実施例のロータリージョイント
は、複数の吸引ポートと配管ブロックを外周部に配設し
た円筒状の固定側ボディ1と固定側ボディ内に圧入され
た軸受け8に回動自在に保持された回転側ボディ2及び
フランジ4から成る。固定側ボディ1には装置内部にて
発生する粉塵等を外部に排出するための吸引ポートと回
転側ボディ2に取り付けられる装置から吸引を行うため
の吸引ポートを有した配管ブロックが取り付けられてい
る。配管ブロックは、ポートの設けられた配管ブロック
B7と、複数の流体通路を有する配管ブロックA6より
構成され、配管ブロックA6と配管ブロックB7の間に
設けた圧力室13と配管ブロックA6に設けた複数の流
体通路は連通されており流体通路を4分割し、分割され
た流体通路には、ジョイント14が取り付けられ、該ジ
ョイントにはエアチューブ11が接続されている。エア
チューブ11は、回転側ボディ2の回転軸3に取り付け
られた隔壁5により区画されたスペースに各エアチュー
ブごとに回転時のエアチューブ11の捩れを許容可能と
するように回転軸3を中心に渦巻き状に緩く巻いた状態
にて収容される。回転軸3を中心とし渦巻き状に巻かれ
たエアチューブ11は、回転軸中心に設けられた中心穴
へ挿入し、回転側ボディ2に取り付けられたマニホール
ド9に配設されたジョイント14に接続され、マニホー
ルド9に設けられた吸引ポート10と配管ブロックのポ
ートが連通される。回転側ボディ2に取り付けられる装
置に設けられる各種センサーからの信号を伝える為のフ
ラットケーブル12もエアチューブ11と同様に回転軸
を中心とし、回転時のフラットケーブル12の捩れを許
容可能とするように渦巻き状に緩く巻かれた状態にて収
容される。本実施例は、複数の流体通路を配管ブロック
及びマニホールド内において連通し、吸引ポートを形成
するものについて記したが、本発明は前記方式に限定さ
れるものでなく、複数の流体通路が連通されることなく
複数の配管ポートを形成する方式であっても同様の効果
を得ることが出来る。
【発明の効果】本発明の実施により、固定部と回転部に
設けた流体通路を弾性シールによって形成した環状通路
によって連通する従来方法と異なり、回転側ボディの軸
部を中心に渦巻き状に緩く巻いた複数本のエアチューブ
によって連通する構造としたことにより、回転時に弾性
シールによる抵抗が無く円滑な回転が可能となった。こ
の時、隔壁によって各エアチューブが絡まないように分
けられ、一本づつ渦巻き状に巻かれた複数のエアチュー
ブは、巻き方向を右左半分づつに巻くことにより、回転
方向の違いにより回転抵抗に差が生じること無く円滑な
回転が可能な装置構成としている。円滑な回転可能な方
式にメタルシール方式が知られているが、メタルシール
方式は構造上エアー漏れを避けることが出来ないのに対
し、本発明は回転部の流体通路をエアチューブにより構
成し、エアー漏れの無い構造とし、更に装置内部にて発
生する粉塵等を吸引排出するための吸引ポートを設け、
クリーンルーム内における使用を可能とした。
【図面の簡単な説明】
【図1】ロータリージョイントの正面図
【図2】ロータリジョイントの平面図
【図3】A−A断面図
【図4】B−B断面図
【図5】C−C断面図
【図6】D−D断面図
【符号の説明】
1固定側ボディ 2回転側ボディ 3回転軸 4フランジ 5隔壁 6配管ブロックA 7配管ブロックB 8軸受け 9マニホールド 10吸引ポート 11エアチューブ 12フラットケーブル 13圧力室 14ジョイント

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】回転側ボディと固定側ボディよりなるロー
    タリージョイントにおいて、回転軸にエアチューブが連
    通され、回転軸の回りを複数回巻かれるとともに、エア
    チューブの他端が固定側ボディに固定された配管ブロッ
    クに連通されていることを特長とするロータリージョイ
    ント
  2. 【請求項2】フラットケーブルの片側が回転軸に設けら
    れた中心穴を通り外部に連通しているとともに、回転軸
    の回りを複数回巻かれて回転側ボディに固定された配管
    ブロックを通じて外部に連通している事を特長とする請
    求項1に記載のロータリージョイント。
  3. 【請求項3】回転軸と固定側ボディが僅かな隙間を設け
    て全体をカバーしていることを特長とする請求項1及び
    請求項2に記載のロータリージョイント。
  4. 【請求項4】回転軸の回りに巻いた複数のエアチューブ
    の半数を右巻き、半数を左巻きとすることを特長とする
    請求項1から請求項3に記載のロータリージョイント。
  5. 【請求項5】エアチューブとエアチューブの間に隔壁を
    設けた事を特長とする請求項1から請求項4に記載のロ
    ータリージョイント。
  6. 【請求項6】複数のエアーチューブを連通するマニホー
    ルドを回転軸及び回転軸側ボディに設けられた配管ブロ
    ックに取り付けた事を特長とする請求項1から請求項5
    に記載のロータリージョイント。
  7. 【請求項7】吸引ポートを設けた事を特長とする請求項
    1から請求項6に記載のロータリージョイント。
JP2001117632A 2001-04-17 2001-04-17 ロータリージョイント Pending JP2002307370A (ja)

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