JP6273114B2 - 産業用ロボット - Google Patents

Description

本発明は、ハンドと、複数のアーム部によって構成されるアームとを備える産業用ロボットに関する。

従来、真空中でガラス基板等を搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、ガラス基板等が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えている。アームは、互いに回動可能に連結される第１アーム部と第２アーム部とによって構成されている。ハンドは、第２アーム部の先端側に回動可能に連結されている。第２アーム部の基端側は、第１アーム部の先端側に回動可能に連結され、第１アーム部の基端側は、本体部に回動可能に連結されている。

特開２００８−６５３５号公報

特許文献１に記載の産業用ロボットにおいて、ハンドと第２アーム部とを連結する関節部や第２アーム部と第１アーム部とを連結する関節部の剛性を確保するためには、関節部に減速機が配置されていることが好ましい。また、特許文献１に記載の産業用ロボット等の産業用ロボットでは、定期的にオーバーホールが行われる。そのため、低コストでかつ容易にオーバーホールを行うことが可能な産業用ロボットが市場で求められている。

そこで、本発明の課題は、関節部に減速機が配置されている産業用ロボットにおいて、低コストでかつ容易にオーバーホールを行うことが可能な産業用ロボットを提供することにある。

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、ハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結される先端側アーム部および先端側アーム部の基端側が先端側に回動可能に連結される第１アーム部を有するアームと、先端側アーム部と第１アーム部とを回動可能に連結する第１関節部と、ハンドと先端側アーム部とを回動可能に連結する第２関節部とを備え、ハンド、先端側アーム部および第１アーム部は、真空中に配置され、先端側アーム部および第１アーム部は、中空状に形成されるとともに、先端側アーム部の内部および第１アーム部の内部は、大気圧となっており、第１関節部は、動力が入力される第１入力軸と、第１入力軸に入力される動力を減速して出力する第１出力軸と、第１入力軸および第１出力軸を回転可能に支持する第１ケース体とを有する第１減速機を備えるとともに、先端側アーム部と第１アーム部との連結部分から真空中への空気の流出を防ぐ第１磁性流体シールを備え、第２関節部は、動力が入力される第２入力軸と、第２入力軸に入力される動力を減速して出力する第２出力軸と、第２入力軸および第２出力軸を回転可能に支持する第２ケース体とを有する第２減速機を備えるとともに、ハンドと先端側アーム部との連結部分から真空中への空気の流出を防ぐ第２磁性流体シールを備え、第１磁性流体シールは、その外周側部分を構成するとともに第１ケース体が固定される第１シールケース体と、第１シールケース体の内周側に回転可能に保持されるとともに第１出力軸が固定される第１内周側部材と、軸受と永久磁石と磁性流体とを有し径方向における第１シールケース体と第１内周側部材との間に配置される第１軸受シール部とを備え、第２磁性流体シールは、その外周側部分を構成するとともに第２ケース体が固定される第２シールケース体と、第２シールケース体の内周側に回転可能に保持されるとともに第２出力軸が固定される第２内周側部材と、軸受と永久磁石と磁性流体とを有し径方向における第２シールケース体と第２内周側部材との間に配置される第２軸受シール部とを備え、第１ケース体は、第１シールケース体を介して先端側アーム部に固定され、第２ケース体は、第２シールケース体を介して先端側アーム部に固定されていることを特徴とする。

本発明の産業用ロボットでは、第１関節部の少なくとも一部を構成する第１減速機の第１ケース体が先端側アーム部側に固定されており、第１減速機を構成する第１入力軸、第１出力軸および軸受等の部材が先端側アーム部に保持されている。また、本発明では、第２関節部の少なくとも一部を構成する第２減速機の第２ケース体が先端側アーム部側に固定されており、第２減速機を構成する第２入力軸、第２出力軸および軸受等の部材が先端側アーム部に保持されている。そのため、本発明では、産業用ロボットのオーバーホールを行う際に、第１減速機および第２減速機を先端側アーム部と一体で交換することが可能になる。すなわち、産業用ロボットのオーバーホールを行う際に、第１アーム部よりもアームの先端側に配置される先端側アーム部を交換することで、第１アーム部を交換しなくても、第１減速機および第２減速機を交換することが可能になる。したがって、本発明では、関節部に減速機が配置されている産業用ロボットにおいて、低コストでかつ容易にオーバーホールを行うことが可能になる。また、本発明では、第１関節部は、先端側アーム部と第１アーム部との連結部分から真空中への空気の流出を防ぐ第１磁性流体シールを備え、第２関節部は、ハンドと先端側アーム部との連結部分から真空中への空気の流出を防ぐ第２磁性流体シールを備え、第１磁性流体シールは、その外周側部分を構成するとともに第１ケース体が固定される第１シールケース体と、第１シールケース体の内周側に回転可能に保持されるとともに第１出力軸が固定される第１内周側部材と、軸受と永久磁石と磁性流体とを有し径方向における第１シールケース体と第１内周側部材との間に配置される第１軸受シール部とを備え、第２磁性流体シールは、その外周側部分を構成するとともに第２ケース体が固定される第２シールケース体と、第２シールケース体の内周側に回転可能に保持されるとともに第２出力軸が固定される第２内周側部材と、軸受と永久磁石と磁性流体とを有し径方向における第２シールケース体と第２内周側部材との間に配置される第２軸受シール部とを備え、第１ケース体は、第１シールケース体を介して先端側アーム部に固定され、第２ケース体は、第２シールケース体を介して先端側アーム部に固定されている。すなわち、本発明では、第１磁性流体シールを構成する第１内周側部材および第１軸受シール部等の部材が先端側アーム部に保持されるとともに、第２磁性流体シールを構成する第２内周側部材および第２軸受シール部等の部材が先端側アーム部に保持されるため、産業用ロボットのオーバーホールを行う際に、第１減速機および第２減速機に加えて、第１磁性流体シールおよび第２磁性流体シールを先端側アーム部と一体で交換することが可能になる。すなわち、産業用ロボットのオーバーホールを行う際に、第１アーム部よりもアームの先端側に配置される先端側アーム部を交換することで、第１アーム部を交換しなくても、第１減速機および第２減速機に加えて、第１磁性流体シールおよび第２磁性流体シールを交換することが可能になる。したがって、関節部が磁性流体シールを備えている場合であっても、低コストでかつ容易にオーバーホールを行うことが可能になる。

本発明において、第１減速機および第２減速機は、たとえば、その径方向の中心に貫通孔が形成された中空減速機である。

本発明において、産業用ロボットは、たとえば、２個のハンドと、２個の先端側アーム部と、２個の第１アーム部と、２個の第１アーム部の基端側が固定されるアーム支持部と、上下方向を回動の軸方向とするアーム支持部の回動が可能となるようにアーム支持部が連結される本体部とを備えている。この場合には、産業用ロボットのオーバーホールを行う際に、アーム支持部に固定される２個の第１アーム部を交換しなくても、第１減速機および第２減速機を交換することが可能になる。

ここで、本願発明者の検討によると、真空チャンバー内で、高温の搬送対象物をハンドに搭載して搬送すると、搬送対象物からの輻射熱および真空チャンバーの壁面からの輻射熱の影響によって、アームの上面側部分の温度がアームの下面側部分の温度よりも高くなる。また、高温の搬送対象物を搬送する際に、アームの上面側部分の温度がアームの下面側部分の温度よりも高くなると、アームの上面側部分の熱変形量が下面側部分の熱変形量よりも大きくなるため、アームの先端側が下がるようにアームが熱変形して、ハンドによる搬送対象物の適切な搬送ができなくなるおそれがある。

そのため、本発明において、先端側アーム部および第１アーム部の内部の上面には、放熱用のフィンが形成されていることが好ましい。このように構成すると、高温の搬送対象物を搬送する際に、アームの上面側部分を冷却してアームの上面側部分の温度上昇を抑制することが可能になり、アームの上面側部分の温度をアームの下面側部分の温度に近づけることが可能になる。したがって、アームの上面側部分の熱変形量を下面側部分の熱変形量に近づけることが可能になり、先端側が下がるアームの熱変形を抑制することが可能になる。その結果、高温の搬送対象物を搬送する場合であっても、ハンドによって搬送対象物を適切に搬送することが可能になる。

また、上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、ハンドと、第１アーム部、第２アーム部および第３アーム部を有しハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、第２アーム部と第１アーム部とを回動可能に連結する第１関節部と、第３アーム部と第２アーム部とを回動可能に連結する第２関節部とを備え、第３アーム部の基端側は、第２アーム部の先端側に回動可能に連結され、第２アーム部の基端側は、第１アーム部の先端側に回動可能に連結され、ハンド、第３アーム部、第２アーム部および第１アーム部は、真空中に配置され、第２アーム部および第１アーム部は、中空状に形成されるとともに、第２アーム部の内部および第１アーム部の内部は、大気圧となっており、第１関節部は、動力が入力される第１入力軸と、第１入力軸に入力される動力を減速して出力する第１出力軸と、第１入力軸および第１出力軸を回転可能に支持する第１ケース体とを有する第１減速機を備えるとともに、第２アーム部と第１アーム部との連結部分から真空中への空気の流出を防ぐ第１磁性流体シールを備え、第２関節部は、動力が入力される第２入力軸と、第２入力軸に入力される動力を減速して出力する第２出力軸と、第２入力軸および第２出力軸を回転可能に支持する第２ケース体とを有する第２減速機を備えるとともに、第３アーム部と第２アーム部との連結部分から真空中への空気の流出を防ぐ第２磁性流体シールを備え、第１磁性流体シールは、その外周側部分を構成するとともに第１ケース体が固定される第１シールケース体と、第１シールケース体の内周側に回転可能に保持されるとともに第１出力軸が固定される第１内周側部材と、軸受と永久磁石と磁性流体とを有し径方向における第１シールケース体と第１内周側部材との間に配置される第１軸受シール部とを備え、第２磁性流体シールは、その外周側部分を構成するとともに第２ケース体が固定される第２シールケース体と、第２シールケース体の内周側に回転可能に保持されるとともに第２出力軸が固定される第２内周側部材と、軸受と永久磁石と磁性流体とを有し径方向における第２シールケース体と第２内周側部材との間に配置される第２軸受シール部とを備え、第１ケース体は、第１シールケース体を介して第２アーム部に固定され、第２ケース体は、第２シールケース体を介して第２アーム部に固定されていることを特徴とする。

本発明の産業用ロボットでは、第１関節部の少なくとも一部を構成する第１減速機の第１ケース体が第２アーム部側に固定されており、第１減速機を構成する第１入力軸、第１出力軸および軸受等の部材が第２アーム部に保持されている。また、本発明では、第２関節部の少なくとも一部を構成する第２減速機の第２ケース体が第２アーム部側に固定されており、第２減速機を構成する第２入力軸、第２出力軸および軸受等の部材が第２アーム部に保持されている。そのため、本発明では、産業用ロボットのオーバーホールを行う際に、第１減速機および第２減速機を第２アーム部と一体で交換することが可能になる。すなわち、産業用ロボットのオーバーホールを行う際に、第１アーム部よりもアームの先端側に配置される第２アーム部を交換することで、第１アーム部を交換しなくても、第１減速機および第２減速機を交換することが可能になる。したがって、本発明では、関節部に減速機が配置されている産業用ロボットにおいて、低コストでかつ容易にオーバーホールを行うことが可能になる。また、本発明では、第１関節部は、第２アーム部と第１アーム部との連結部分から真空中への空気の流出を防ぐ第１磁性流体シールを備え、第２関節部は、第３アーム部と第２アーム部との連結部分から真空中への空気の流出を防ぐ第２磁性流体シールを備え、第１磁性流体シールは、その外周側部分を構成するとともに第１ケース体が固定される第１シールケース体と、第１シールケース体の内周側に回転可能に保持されるとともに第１出力軸が固定される第１内周側部材と、軸受と永久磁石と磁性流体とを有し径方向における第１シールケース体と第１内周側部材との間に配置される第１軸受シール部とを備え、第２磁性流体シールは、その外周側部分を構成するとともに第２ケース体が固定される第２シールケース体と、第２シールケース体の内周側に回転可能に保持されるとともに第２出力軸が固定される第２内周側部材と、軸受と永久磁石と磁性流体とを有し径方向における第２シールケース体と第２内周側部材との間に配置される第２軸受シール部とを備え、第１ケース体は、第１シールケース体を介して第２アーム部に固定され、第２ケース体は、第２シールケース体を介して第２アーム部に固定されている。すなわち、本発明では、第１磁性流体シールを構成する第１内周側部材および第１軸受シール部等の部材が第２アーム部に保持されるとともに、第２磁性流体シールを構成する第２内周側部材および第２軸受シール部等の部材が第２アーム部に保持されるため、産業用ロボットのオーバーホールを行う際に、第１減速機および第２減速機に加えて、第１磁性流体シールおよび第２磁性流体シールを第２アーム部と一体で交換することが可能になる。すなわち、産業用ロボットのオーバーホールを行う際に、第１アーム部よりもアームの先端側に配置される第２アーム部を交換することで、第１アーム部を交換しなくても、第１減速機および第２減速機に加えて、第１磁性流体シールおよび第２磁性流体シールを交換することが可能になる。したがって、関節部が磁性流体シールを備えている場合であっても、低コストでかつ容易にオーバーホールを行うことが可能になる。

以上のように、本発明では、関節部に減速機が配置されている産業用ロボットのオーバーホールを低コストでかつ容易に行うことが可能になる。

本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。 図１に示すアームの基端側部分およびアーム支持部の断面図である。 図１に示すアームの断面図である。 図１に示すアームの断面図である。 図３のＥ部の拡大図である。 図３のＦ部の拡大図である。 図６のＫ部の拡大図である。 図６のＬ部の拡大図である。 （Ａ）は、図５に示す蓋部材の断面図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＧ−Ｇ方向から蓋部材を示す図である。 図４のＨ部の拡大図である。 図４のＪ部の拡大図である。 図１１のＭ部の拡大図である。 図１１のＮ部の拡大図である。 本発明の他の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。 本発明の他の実施の形態にかかる産業用ロボットの図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

（産業用ロボットの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。図２は、図１に示すアーム６、７の基端側部分およびアーム支持部８の断面図である。図３は、図１に示すアーム６の断面図である。図４は、図１に示すアーム７の断面図である。

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、たとえば、搬送対象物である有機ＥＬ（有機エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ用のガラス基板２（以下、「基板２」とする。）を搬送するためのロボットである。このロボット１は、図示を省略する有機ＥＬディスプレイの製造システムに組み込まれて使用され、高温の基板２を搬送する。

図１に示すように、ロボット１は、基板２が搭載される２個のハンド４、５と、ハンド４が先端側に回動可能に連結されるアーム６と、ハンド５が先端側に回動可能に連結されるアーム７と、アーム６、７の基端側が固定されるアーム支持部８と、アーム支持部８が回動可能に連結される本体部９とを備えている。ハンド４、５、アーム６、７およびアーム支持部８は、本体部９の上側に配置されている。

ハンド４、５、アーム６、７、アーム支持部８および本体部９の上端側は、有機ＥＬディスプレイの製造システムを構成する真空チャンバーの内部に配置されている。すなわち、ハンド４、５、アーム６、７、アーム支持部８および本体部９の上端側は、真空領域ＶＲの中（真空中）に配置され、本体部９の上端側を除いた部分は、大気領域ＡＲの中（大気中）に配置されており（図２参照）、ロボット１は、ハンド４、５に搭載された基板２を真空中で搬送する。

ハンド４、５は、アーム６、７に連結される基部１１と、基板２が搭載される２本のフォーク部１２とを備えている。フォーク部１２は、直線状に形成されている。また、２本のフォーク部１２は、互いに所定の間隔をあけた状態で平行に配置されている。

本体部９は、中空状に形成されるケース体１３と、アーム支持部８の下面に固定される中空状の回転軸１４とを備えている。回転軸１４は、上下方向を軸方向とする細長い円筒状に形成されている。回転軸１４の上端は、アーム支持部８の下面に固定されており、アーム支持部８は、上下方向を回動の軸方向とする回動が可能となっている。回転軸１４の上端側部分は、ケース体１３の上端面よりも上側へ突出し、回転軸１４の、上端側部分を除いた部分は、ケース体１３の内部に収容されている。

ケース体１３の内部には、ケース体１３に対してアーム支持部８を回動させるためのモータ（図示省略）が配置されている。このモータには、たとえば、プーリ、ベルトおよび減速機を介して回転軸１４の下端側が連結されている。また、ケース体１３の内部には、回転軸１４等を昇降させる昇降機構（図示省略）が配置されている。ケース体１３の上端側部分は、真空領域ＶＲの中に配置され、ケース体１３の、上端側部分を除いた部分は、大気領域ＡＲの中に配置されている。ケース体１３の内部は、大気圧となっており、回転軸１４の外周側には、真空領域ＶＲへの空気の流出を防ぐための磁性流体シールおよびベローズ（図示省略）が配置されている。

アーム支持部８は、中空状に形成されており、支持部本体１５と３個の蓋部材１６とを備えている。蓋部材１６は、アルミニウム合金で形成されている。また、蓋部材１６は、円板状に形成されている。支持部本体１５は、アルミニウム合金で形成されている。また、支持部本体１５は、支持部本体１５の上面を構成する上面部１５ａと、支持部本体１５の下面を構成するとともに上面部１５ａと所定の隙間を介して略平行に対向配置される下面部１５ｂと、上面部１５ａの外周端と下面部１５ｂの外周端とを繋ぐ側面部１５ｃとから構成されている。上面部１５ａおよび下面部１５ｂは、細長い略長円形の平板状に形成されており、上下方向で対向している。側面部１５ｃは、上下方向から見たときの形状が細長い略長円形状となる筒状に形成されている。

上面部１５ａには、円形状の３個の開口部１５ｄ、１５ｅが上下方向へ貫通するように形成されている。３個の開口部１５ｄ、１５ｅのうちの１個の開口部１５ｄは、上面部１５ａの中心に形成され、残りの２個の開口部１５ｅは、略長円形に形成される上面部１５ａの長手方向における両端側に形成されている。下面部１５ｂにも、円形状の３個の開口部１５ｆ、１５ｇが上下方向に貫通するように形成されている。３個の開口部１５ｆ、１５ｇのうちの１個の開口部１５ｆは、下面部１５ｂの中心に形成され、残りの２個の開口部１５ｇは、略長円形に形成される下面部１５ｂの長手方向における両端側に形成されている。

下面部１５ｂの下面には、回転軸１４の上端が固定されている。回転軸１４は、開口部１５ｆを囲むように、下面部１５ｂの下面に固定されており、回転軸１４の内周側とアーム支持部８の内部とが通じている。すなわち、アーム支持部８の内部は、ケース体１３の内部に通じており、アーム支持部８の内部は、大気圧となっている。図２に示すように、開口部１５ｄは、蓋部材１６によって上側から塞がれ、２個の開口部１５ｇは、蓋部材１６によって下側から塞がれている。支持部本体１５と蓋部材１６との間には、真空領域ＶＲへの空気の流出を防止する環状のシール部材（図示省略）が配置されている。

アーム６は、互いに相対回動可能に連結される第１アーム部２０と第２アーム部２１との２個のアーム部によって構成されている。第１アーム部２０および第２アーム部２１は、中空状に形成されている。すなわち、アーム６の全体は、中空状に形成されている。第１アーム部２０の基端側は、アーム支持部８に固定されている。第１アーム部２０の先端側には、第２アーム部２１の基端側が回動可能に連結されている。第２アーム部２１の先端側には、ハンド４が回動可能に連結されている。本形態の第２アーム部２１は先端側アーム部である。

第１アーム部２０と第２アーム部２１との連結部は、関節部２２となっており、関節部２２は、第１アーム部２０と第２アーム部２１とを回動可能に連結している。アーム６とハンド４との連結部（すなわち、第２アーム部２１とハンド４との連結部）は、関節部２３となっており、関節部２３は、第２アーム部２１とハンド４とを回動可能に連結している。第２アーム部２１は、第１アーム部２０よりも上側に配置され、ハンド４は、第２アーム部２１よりも上側に配置されている。本形態の関節部２２は第１関節部であり、関節部２３は第２関節部である。

アーム７は、互いに相対回動可能に連結される第１アーム部２５と第２アーム部２６との２個のアーム部によって構成されている。第１アーム部２５および第２アーム部２６は、中空状に形成されている。すなわち、アーム７の全体は、中空状に形成されている。第１アーム部２５の基端側は、アーム支持部８に固定されている。第１アーム部２５の先端側には、第２アーム部２６の基端側が回動可能に連結されている。第２アーム部２６の先端側には、ハンド５が回動可能に連結されている。本形態の第２アーム部２６は先端側アーム部である。

第１アーム部２５と第２アーム部２６との連結部は、関節部２７となっており、関節部２７は、第１アーム部２５と第２アーム部２６とを回動可能に連結している。アーム７とハンド５との連結部（すなわち、第２アーム部２６とハンド５との連結部）は、関節部２８となっており、関節部２８は、第２アーム部２６とハンド５とを回動可能に連結している。第２アーム部２６は、第１アーム部２５よりも上側に配置されている。ハンド５は、第２アーム部２６よりも下側、かつ、第１アーム部２５よりも上側に配置されている。本形態の関節部２７は第１関節部であり、関節部２８は第２関節部である。

（アームの構成、アームの内部の構成および関節部の構成）
図５は、図３のＥ部の拡大図である。図６は、図３のＦ部の拡大図である。図７は、図６のＫ部の拡大図である。図８は、図６のＬ部の拡大図である。図９（Ａ）は、図５に示す蓋部材３２の断面図であり、図９（Ｂ）は、図９（Ａ）のＧ−Ｇ方向から蓋部材３２を示す図である。図１０は、図４のＨ部の拡大図である。図１１は、図４のＪ部の拡大図である。図１２は、図１１のＭ部の拡大図である。図１３は、図１１のＮ部の拡大図である。

第１アーム部２０は、アーム部本体３１と３個の蓋部材３２と１個の蓋部材３３とを備えている。アーム部本体３１は、アルミニウム合金で形成されている。また、アーム部本体３１は、アーム部本体３１の上面を構成する上面部３１ａと、アーム部本体３１の下面を構成するとともに上面部３１ａと所定の隙間を介して略平行に対向配置される下面部３１ｂと、上面部３１ａの外周端と下面部３１ｂの外周端とを繋ぐ側面部３１ｃとから構成されている。上面部３１ａおよび下面部３１ｂは、細長い略長円形の平板状に形成されており、上下方向で対向している。上面部３１ａは、第１アーム部２０の上面の一部を構成し、下面部３１ｂは、第１アーム部２０の下面の一部を構成している。側面部３１ｃは、上下方向から見たときの形状が細長い略長円形状となる筒状に形成されている。

上面部３１ａには、円形状の４個の開口部３１ｄ、３１ｅが上下方向へ貫通するように形成されている。４個の開口部３１ｄ、３１ｅは、略長円形に形成される上面部３１ａの長手方向において所定の間隔で形成されている。本形態では、上面部３１ａの最も先端側に開口部３１ｅが形成され、残りの３個の開口部３１ｄが開口部３１ｅよりも、上面部３１ａの基端側に形成されている。下面部３１ｂにも、円形状の２個の開口部３１ｆ、３１ｇが上下方向に貫通するように形成されている。開口部３１ｆは、下面部３１ｂの先端側に形成され、開口部３１ｇは、下面部３１ｂの基端側に形成されている。

第２アーム部２１は、アーム部本体３４と２個の蓋部材３２と２個の蓋部材３３とを備えている。アーム部本体３４は、アルミニウム合金で形成されている。また、アーム部本体３４は、アーム部本体３４の上面を構成する上面部３４ａと、アーム部本体３４の下面を構成するとともに上面部３４ａと所定の隙間を介して略平行に対向配置される下面部３４ｂと、上面部３４ａの外周端と下面部３４ｂの外周端とを繋ぐ側面部３４ｃとから構成されている。上面部３４ａおよび下面部３４ｂは、細長い略長円形の平板状に形成されており、上下方向で対向している。上面部３４ａは、第２アーム部２１の上面の一部を構成し、下面部３４ｂは、第２アーム部２１の下面の一部を構成している。側面部３４ｃは、上下方向から見たときの形状が細長い略長円形状となる筒状に形成されている。

上面部３４ａには、円形状の４個の開口部３４ｄ、３４ｅ、３４ｆが上下方向へ貫通するように形成されている。４個の開口部３４ｄ〜３４ｆは、略長円形に形成される上面部３４ａの長手方向において所定の間隔で形成されている。本形態では、上面部３４ａの最も先端側に開口部３４ｅが形成され、上面部３４ａの最も基端側に開口部３４ｆが形成され、残りの２個の開口部３４ｄが開口部３４ｅと開口部３４ｆとの間に形成されている。下面部３４ｂにも、円形状の２個の開口部３４ｇ、３４ｈが上下方向に貫通するように形成されている。開口部３４ｇは、下面部３４ｂの先端側に形成され、開口部３４ｈは、下面部３４ｂの基端側に形成されている。

上述のように、第１アーム部２０の基端側は、アーム支持部８に固定されている。具体的には、支持部本体１５の上面部１５ａの上面にアーム部本体３１の下面部３１ｂの下面が密着した状態で、第１アーム部２０の基端側がアーム支持部８に固定されている。また、上下方向から見たときに、上面部１５ａの開口部１５ｅの中心と下面部３１ｂの開口部３１ｇの中心とが略一致するように、第１アーム部２０の基端側がアーム支持部８に固定されている。そのため、第１アーム部２０の内部は、アーム支持部８の内部に通じており、第１アーム部２０の内部は、大気圧となっている。なお、支持部本体１５とアーム部本体３１との間には、真空領域ＶＲへの空気の流出を防止する環状のシール部材（図示省略）が配置されている。

第１アーム部２０の基端側の内部およびアーム支持部８の内部には、第１アーム部２０に対して第２アーム部２１を回動させるとともに第２アーム部２１に対してハンド４を回動させるモータ３５が配置されている。モータ３５の上下方向における中心部分は、開口部１５ｅおよび開口部３１ｇに配置されており、モータ３５の上端側は、第１アーム部２０の基端側の内部に配置され、モータ３５の下端側は、アーム支持部８の内部に配置されている。モータ３５の出力軸は、上側へ突出しており、この出力軸には、プーリ３６が固定されている。

関節部２２は、モータ３５の回転を減速して第２アーム部２１に伝達する減速機３７を備えている。減速機３７は、その径方向の中心に貫通孔が形成された中空減速機である。そのため、第２アーム部２１の内部は、第１アーム部２０の内部に通じており、第２アーム部２１の内部は、大気圧となっている。すなわち、本形態では、アーム６の内部は、大気圧となっている。減速機３７は、モータ３５の動力が入力される入力軸５８と、入力軸５８に入力される動力を減速して出力する出力軸５９と、軸受を介して入力軸５８および出力軸５９を回転可能に支持するケース体６０とを備えている。本形態の減速機３７は第１減速機であり、入力軸５８は第１入力軸であり、出力軸５９は第１出力軸であり、ケース体６０は第１ケース体である。

関節部２３は、モータ３５の回転を減速してハンド４に伝達する減速機３８を備えている。減速機３８は、その径方向の中心に貫通孔が形成された中空減速機である。この減速機３８は、モータ３５の動力が入力される入力軸６１と、入力軸６１に入力される動力を減速して出力する出力軸６２と、軸受を介して入力軸６１および出力軸６２を回転可能に支持するケース体６３とを備えている。本形態の減速機３８は第２減速機であり、入力軸６１は第２入力軸であり、出力軸６２は第２出力軸であり、ケース体６３は第２ケース体である。

また、関節部２２は、第１アーム部２０と第２アーム部２１との連結部分から真空領域ＶＲへの空気の流出を防ぐ磁性流体シール３９を備えている。磁性流体シール３９は、その外周側部分を構成する略円筒状のケース体４０と、ケース体４０の内周側に回転可能に保持される略円筒状の内周側部材４１とを備えている。径方向におけるケース体４０と内周側部材４１との間には、軸受、永久磁石および磁性流体を有する軸受シール部４２が配置されている。本形態の磁性流体シール３９は第１磁性流体シールであり、ケース体４０は第１シールケース体であり、内周側部材４１は第１内周側部材であり、軸受シール部４２は第１軸受シール部である。

同様に、関節部２３は、第２アーム部２１とハンド４との連結部分から真空領域ＶＲへの空気の流出を防ぐ磁性流体シール４３を備えている。磁性流体シール４３は、磁性流体シール３９と同様に構成されており、ケース体４４と内周側部材４５と軸受シール部４６とを備えている。本形態の磁性流体シール４３は第２磁性流体シールであり、ケース体４４は第２シールケース体であり、内周側部材４５は第２内周側部材であり、軸受シール部４６は第２軸受シール部である。

図７に示すように、減速機３７の入力軸５８の下端側には、プーリ４９が固定されている。プーリ４９は、第１アーム部２０の先端側の内部に配置されている。プーリ３６とプーリ４９とには、ベルト５０が架け渡されており、入力軸５８には、プーリ３６、４９およびベルト５０を介してモータ３５の動力が入力される。また、入力軸５８の上端側には、プーリ５１が固定されている。プーリ５１は、第２アーム部２１の基端側の内部に配置されている。第２アーム部２１の内部には、プーリ５２が回転可能に取り付けられている。プーリ５１とプーリ５２とには、ベルト５３が架け渡されている。なお、プーリ４９の外径は、開口部３１ｅの内径よりも小さくなっている。

減速機３７の出力軸５９には、第１アーム部２０の先端側が固定されている。具体的には、出力軸５９には、磁性流体シール３９の内周側部材４１を介して第１アーム部２０の先端側が固定されている。出力軸５９は、内周側部材４１の内周側に固定されている。内周側部材４１は、その外周面の一部が開口部３１ｅの内周面に接触するとともに、その一部が上面部３１ａの上面に接触するように、第１アーム部２０の先端側に固定されている。また、内周側部材４１は、図示を省略するネジによって第１アーム部２０の先端側に固定されている。なお、上面部３１ａと内周側部材４１との間には、真空領域ＶＲへの空気の流出を防止する環状のシール部材（図示省略）が配置されている。

減速機３７のケース体６０には、第２アーム部２１の基端側が固定されている。具体的には、ケース体６０には、磁性流体シール３９のケース体４０を介して第２アーム部２１の基端側が固定されている。すなわち、ケース体６０は、第２アーム部２１側に固定されている。ケース体６０は、ケース体４０の内周側に固定されている。ケース体４０は、その外周面の一部が開口部３４ｈの内周面に接触するとともに、その一部が下面部３４ｂの下面に接触するように、第２アーム部２１の基端側に固定されている。なお、下面部３４ｂとケース体４０との間には、真空領域ＶＲへの空気の流出を防止する環状のシール部材（図示省略）が配置されている。

図８に示すように、減速機３８の入力軸６１の下端側には、プーリ５６が固定されている。プーリ５６は、第２アーム部２１の先端側の内部に配置されている。プーリ５６とプーリ５２とには、ベルト５７が架け渡されている。ベルト５３とベルト５７とは、上下方向にずれた状態でプーリ５２に係合しており、ベルト５７は、ベルト５３よりも下側に配置されている。入力軸６１には、プーリ３６、４９、５１、５２、５６、ベルト５０、５３、５７および入力軸５８を介してモータ３５の動力が入力される。

減速機３８の出力軸６２には、ハンド４の基部１１が固定されている。具体的には、出力軸６２には、磁性流体シール４３の内周側部材４５を介してハンド４の基部１１が固定されている。出力軸６２は、内周側部材４５の内周側に固定されている。内周側部材４５は、ハンド４の基部１１に固定されている。また、内周側部材４５は、図示を省略するネジによってハンド４の基部１１に固定されている。なお、ハンド４の基部１１と内周側部材４５との間には、真空領域ＶＲへの空気の流出を防止する環状のシール部材（図示省略）が配置されている。

減速機３８のケース体６３には、第２アーム部２１の先端側が固定されている。具体的には、ケース体６３には、磁性流体シール４３のケース体４４を介して第２アーム部２１の先端側が固定されている。すなわち、ケース体６３は、第２アーム部２１側に固定されている。ケース体６３は、ケース体４４の内周側に固定されている。ケース体４４は、その外周面の一部が開口部３４ｅの内周面に接触するとともに、その一部が上面部３４ａの上面に接触するように、第２アーム部２１の先端側に固定されている。なお、上面部３４ａとケース体４４との間には、真空領域ＶＲへの空気の流出を防止する環状のシール部材（図示省略）が配置されている。

蓋部材３２、３３は、アルミニウム合金で形成されている。また、蓋部材３２、３３は、円板状に形成されている。蓋部材３３の両面は、平面状に形成されている。一方、蓋部材３２の一方の面には、図９に示すように、放熱用のフィン３２ａが形成されている。本形態では、径の異なる円環状の複数のフィン３２ａが蓋部材３２の一方の面に形成されており、複数のフィン３２ａは、同心状に配置されている。また、本形態では、図９（Ａ）に示すように、蓋部材３２の一方の面から他方の面に向かって窪む円環状の複数の凹部が形成されることで、複数のフィン３２ａが形成されている。なお、蓋部材３２の一方の面から突出する凸部によって、複数のフィン３２ａが構成されても良い。

第１アーム部２０の開口部３１ｆは、蓋部材３３によって下側から塞がれている。第２アーム部２１の開口部３４ｆは、蓋部材３３によって上側から塞がれ、第２アーム部２１の開口部３４ｇは、蓋部材３３によって下側から塞がれている。第１アーム部２０の開口部３１ｄおよび第２アーム部２１の開口部３４ｄは、蓋部材３２によって上側から塞がれている。蓋部材３２は、フィン３２ａが形成された面が下側を向くように固定されている。すなわち、蓋部材３２の下面にフィン３２ａが形成されており、アーム６の内部の上面には、放熱用のフィン３２ａが形成されている。なお、アーム部本体３１、３４と蓋部材３２、３３との間には、真空領域ＶＲへの空気の流出を防止する環状のシール部材（図示省略）が配置されている。

第１アーム部２５は、図１０に示すように、第１アーム部２０と同様に構成されており、アーム部本体３１と３個の蓋部材３２と１個の蓋部材３３とを備えている。また、第２アーム部２６は、図１１に示すように、第２アーム部２１と同様に構成されており、アーム部本体３４と２個の蓋部材３２と２個の蓋部材３３とを備えている。したがって、第１アーム部２５の構成および第２アーム部２６の構成の詳細な説明は省略する。

第１アーム部２５の基端側は、第１アーム部２０の基端側と同様に、アーム支持部８の支持部本体１５に固定されている。第１アーム部２５の内部は、アーム支持部８の内部に通じており、第１アーム部２５の内部は、大気圧となっている。第１アーム部２５の基端側の内部およびアーム支持部８の内部には、第１アーム部２５に対して第２アーム部２６を回動させるとともに第２アーム部２６に対してハンド５を回動させるモータ６５が配置されている。モータ６５は、第１アーム部２０の基端側の内部およびアーム支持部８の内部に配置されるモータ３５と同様に配置されている。モータ６５の出力軸は、上側へ突出しており、この出力軸には、プーリ６６が固定されている。

関節部２７は、モータ６５の回転を減速して第２アーム部２６に伝達する減速機６７を備えている。減速機６７は、減速機３７と同様に、その径方向の中心に貫通孔が形成された中空減速機である。そのため、第２アーム部２６の内部は、第１アーム部２５の内部に通じており、第２アーム部２６の内部は、大気圧となっている。すなわち、本形態では、アーム７の内部は、大気圧となっている。また、減速機６７は、減速機３７と同様に構成されており、モータ６５の動力が入力される入力軸５８と、入力軸５８に入力される動力を減速して出力する出力軸５９と、軸受を介して入力軸５８および出力軸５９を回転可能に支持するケース体６０とを備えている。本形態の減速機６７は第１減速機である。

関節部２８は、モータ６５の回転を減速してハンド５に伝達する減速機６８を備えている。減速機６８は、減速機３８と同様にその径方向の中心に貫通孔が形成された中空減速機である。また、減速機６８は、減速機３８と同様に構成されており、モータ６５の動力が入力される入力軸６１と、入力軸６１に入力される動力を減速して出力する出力軸６２と、軸受を介して入力軸６１および出力軸６２を回転可能に支持するケース体６３とを備えている。本形態の減速機６８は第２減速機である。

また、関節部２７は、関節部２２と同様に、第１アーム部２５と第２アーム部２６との連結部分から真空領域ＶＲへの空気の流出を防ぐ磁性流体シール３９を備えている。関節部２８は、関節部２３と同様に、第２アーム部２６とハンド５の連結部分から真空領域ＶＲへの空気の流出を防ぐ磁性流体シール４３を備えている。

図１１、図１２に示すように、減速機６７の入力軸５８の下端には、円筒状に形成される回転軸６９の上端が固定されている。回転軸６９の下端側には、プーリ７０が固定されている。プーリ７０は、第１アーム部２５の先端側の内部に配置されている。プーリ６６とプーリ７０とには、ベルト７１が架け渡されており、入力軸５８には、プーリ６６、７０およびベルト７１を介してモータ６５の動力が入力される。また、減速機６７の入力軸５８の上端側には、プーリ７２が固定されている。プーリ７２は、第２アーム部２６の基端側の内部に配置されている。なお、プーリ７０の外径は、開口部３１ｅの内径よりも小さくなっている。

減速機６７の出力軸５９には、第１アーム部２５の先端側が固定されている。具体的には、減速機６７の出力軸５９には、磁性流体シール３９の内周側部材４１およびスペーサ７３を介して第１アーム部２５の先端側が固定されている。スペーサ７３は、略円筒状に形成されており、回転軸６９の外周側を覆うように配置されている。

減速機６７の出力軸５９は、内周側部材４１の内周側に固定されている。この内周側部材４１は、その外周面の一部がスペーサ７３の内周面に接触するとともに、その一部がスペーサ７３の上端面に接触するように、スペーサ７３の上端に固定されている。スペーサ７３の下端は、上面部３１ａの上面に接触するように、第１アーム部２５の先端側に固定されている。また、スペーサ７３は、図示を省略するネジによって第１アーム部２５の先端側に固定されている。スペーサ７３の下端側には、軸受保持部材７４が固定されている。軸受保持部材７４は、その外周面の一部がスペーサ７３の内周面に接触するとともに、その一部がスペーサ７３の下端面に接触するように、スペーサ７３の下端側に固定されている。また、軸受保持部材７４の一部は、開口部３１ｅの内周側に配置されている。軸受保持部材７４には、回転軸６９を回転可能に支持する軸受７５が固定されている。なお、内周側部材４１とスペーサ７３の上端との間、および、上面部３１ａとスペーサ７３の下端との間には、真空領域ＶＲへの空気の流出を防止する環状のシール部材（図示省略）が配置されている。

減速機６７のケース体６０には、第２アーム部２６の基端側が固定されている。すなわち、減速機６７のケース体６０は、第２アーム部２６側に固定されている。第２アーム部２６の基端側は、第２アーム部２１の基端側が減速機３７のケース体６０に固定されるのと同様に、減速機６７のケース体６０に固定されている。すなわち、減速機６７のケース体６０には、磁性流体シール３９のケース体４０を介して第２アーム部２６の基端側が固定されている。

図１３に示すように、減速機６８の入力軸６１の上端側には、プーリ７６が固定されている。プーリ７６は、第２アーム部２６の先端側の内部に配置されている。プーリ７２とプーリ７６とには、ベルト７７が架け渡されており、入力軸６１には、プーリ６６、７０、７２、７６、ベルト７１、７７、回転軸６９および入力軸５８を介してモータ６５の動力が入力される。減速機６８の出力軸６２には、ハンド５の基部１１が固定されている。ハンド５の基部１１は、ハンド４の基部１１が減速機３８の出力軸６２に固定されるのと同様に、減速機６８の出力軸６２に固定されている。すなわち、減速機６８の出力軸６２には、磁性流体シール４３の内周側部材４５を介してハンド５の基部１１が固定されている。なお、内周側部材４５は、図示を省略するネジによってハンド５の基部１１に固定されている。

減速機６８のケース体６３には、第２アーム部２６の先端側が固定されている。具体的には、減速機６８のケース体６３には、磁性流体シール４３のケース体４４を介して第２アーム部２６の先端側が固定されている。すなわち、減速機６８のケース体６３は、第２アーム部２６側に固定されている。減速機６８のケース体６３は、ケース体４４の内周側に固定されている。ケース体４４は、その外周面の一部が開口部３４ｇの内周面に接触するとともに、その一部が下面部３４ｂの下面に接触するように、第２アーム部２６の先端側に固定されている。なお、下面部３４ｂとケース体４４との間には、真空領域ＶＲへの空気の流出を防止する環状のシール部材（図示省略）が配置されている。

第１アーム部２５の開口部３１ｆは、蓋部材３３によって下側から塞がれている。第２アーム部２６の開口部３４ｅ、３４ｆは、蓋部材３３によって上側から塞がれている。第１アーム部２５の開口部３１ｄおよび第２アーム部２６の開口部３４ｄは、蓋部材３２によって上側から塞がれている。蓋部材３２は、フィン３２ａが形成された面が下側を向くように固定されている。すなわち、蓋部材３２の下面にフィン３２ａが形成されており、アーム７の内部の上面には、放熱用のフィン３２ａが形成されている。

（冷却機構の構成、温度センサの構成およびカバー部材の構成）
上述のように、ロボット１は、高温の基板２を搬送する。そのため、基板２からの輻射熱や、ロボット１が設置される真空チャンバーの壁面からの輻射熱等によって、アーム６、７の温度が上昇する。本形態のロボット１は、温度が上昇するアーム６、７の内部を冷却するための冷却機構を備えている。また、ロボット１は、第１アーム部２０、２５および第２アーム部２１、２６の内部温度を測定するための温度センサ８０と、アーム６、７およびアーム支持部８への輻射熱の伝達を抑制するためのカバー部材８１〜８５とを備えている。

本形態のロボット１は、アーム６、７の内部を冷却するための冷却機構として、モータ３５を冷却するとともに第１アーム部２０の内部に冷却用空気を供給するためのエア配管８７と、第２アーム部２１の内部に冷却用空気を供給するためのエア配管８８と、モータ６５を冷却するとともに第１アーム部２５の内部に冷却用空気を供給するためのエア配管８９と、第２アーム部２６の内部に冷却用空気を供給するためのエア配管９０と、アーム６、７の内部に配置される複数のファン（送風機）９１とを備えている。

エア配管８７〜９０は、たとえば、アルミニウム合金等の金属管、または、フッ素チューブ等の配管である。エア配管８７〜９０の基端は、本体部９のケース体１３の内部に配置される電磁弁(図示省略)に接続されている。本形態では、エア配管８７〜９０のそれぞれの基端が接続される４個の電磁弁がケース体１３の内部に配置されており、エア配管８７〜９０ごとに冷却用空気の供給量の調整を行うことが可能となっている。４個の電磁弁は、ケース体１３の内部または外部に配置される圧縮空気の供給装置（図示省略）に所定の配管を介して接続されている。

エア配管８７、８８は、回転軸１４の内周側および開口部１５ｆを通過するように、ケース体１３の内部からアーム６に向かって引き回されている。エア配管８７の先端側は、モータ３５の外周面に巻回されている。冷却用空気の供給口となるエア配管８７の先端は、第１アーム部２０の基端側の内部に配置されており、エア配管８７から第１アーム部２０の基端側の内部へ冷却用空気が供給される。エア配管８８は、開口部１５ｅ、３１ｇおよび減速機３７の軸中心に形成される貫通孔を通過するように、第１アーム部２０および第２アーム部２１の内部を引き回されている。冷却用空気の供給口となるエア配管８８の先端は、第２アーム部２１の先端側の内部に配置されており、エア配管８８から第２アーム部２１の先端側の内部へ冷却用空気が供給される。

エア配管８９、９０は、回転軸１４の内周側および開口部１５ｆを通過するように、ケース体１３の内部からアーム７に向かって引き回されている。エア配管８９の先端側は、モータ６５の外周面に巻回されている。冷却用空気の供給口となるエア配管８９の先端は、第１アーム部２５の基端側の内部に配置されており、エア配管８９から第１アーム部２５の基端側の内部へ冷却用空気が供給される。エア配管９０は、開口部１５ｅ、３１ｇ、回転軸６９の内周側および減速機６７の軸中心に形成される貫通孔を通過するように、第１アーム部２５および第２アーム部２６の内部を引き回されている。冷却用空気の供給口となるエア配管９０の先端は、第２アーム部２６の先端側の内部に配置されており、エア配管９０から第２アーム部２６の先端側の内部へ冷却用空気が供給される。

温度センサ８０は、第１アーム部２０、２５および第２アーム部２１、２６のそれぞれの内部に配置されている。第１アーム部２０の内部において、温度センサ８０は、モータ３５の近傍および関節部２２の近傍に配置されている。第２アーム部２１の内部において、温度センサ８０は、関節部２３の近傍に配置されている。第１アーム部２５の内部において、温度センサ８０は、モータ６５の近傍および関節部２７の近傍に配置されている。第２アーム部２６の内部において、温度センサ８０は、関節部２８の近傍に配置されている。

上述のように、本形態では、エア配管８７〜９０ごとに冷却用空気の供給量の調整を行うことが可能となっており、第１アーム部２０、２５および第２アーム部２１、２６のそれぞれの内部を個別に冷却することが可能となっている。また、本形態では、温度センサ８０での検出結果に基づいて、第１アーム部２０、２５および第２アーム部２１、２６のそれぞれの内部を個別に冷却している。すなわち、本形態では、温度センサ８０での検出結果に基づいて、エア配管８７〜９０のそれぞれから供給される冷却用空気の供給量を調整することで、第１アーム部２０、２５および第２アーム部２１、２６のそれぞれの内部を個別に冷却している。

ファン９１は、第１アーム部２０、２５および第２アーム部２１、２６のそれぞれの内部に配置されている。また、ファン９１は、上側に向かって冷却用空気を送るように配置されている。本形態のファン９１は、蓋部材３２の下側に配置されており、蓋部材３２に形成される複数のフィン３２ａに向かって冷却用空気を送る。また、ファン９１は、たとえば、温度センサ８０での検出結果に基づいて、回転または停止する。

カバー部材８１〜８５は、支持部本体１５、アーム部本体３１、３４および蓋部材１６、３２、３３よりも熱伝導率の低い材料で形成されている。また、カバー部材８１〜８５は、輻射熱の反射率が高い材料で形成されている。たとえば、カバー部材８１〜８５は、薄いステンレス鋼板で形成されている。カバー部材８１は、第１アーム部２０の、アーム支持部８と重なっている部分を除いた部分の、上面、下面および側面の略全体を覆っている。カバー部材８２は、第２アーム部２１の上面、下面および側面の略全体を覆っている。カバー部材８３は、第１アーム部２５の、アーム支持部８と重なっている部分を除いた部分の、上面、下面および側面の略全体を覆っている。カバー部材８４は、第２アーム部２６の上面、下面および側面の略全体を覆っている。カバー部材８５は、第１アーム部２０、２５の、アーム支持部８と重なっている部分、および、アーム支持部８の上面、下面および側面の略全体を覆っている。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、減速機３７のケース体６０が磁性流体シール３９のケース体４０を介して第２アーム部２１の基端側に固定されており、減速機３７を構成する入力軸５８、出力軸５９および軸受等の部材と、磁性流体シール３９を構成する内周側部材４１および軸受シール部４２等の部材が第２アーム部２１に保持されている。また、本形態では、減速機３８のケース体６３が磁性流体シール４３のケース体４４を介して第２アーム部２１の先端側が固定されており、減速機３８を構成する入力軸６１、出力軸６２および軸受等の部材と、磁性流体シール４３を構成する内周側部材４５および軸受シール部４６等の部材が第２アーム部２１に保持されている。そのため、本形態では、内周側部材４１と第１アーム部２０とを固定するネジ、および、内周側部材４５とハンド４の基部１１とを固定するネジを取り外すとともに、ベルト５０を取り外せば、減速機３７、３８および磁性流体シール３９、４３を第２アーム部２１と一体で取り外すことが可能になる。

同様に本形態では、減速機６７のケース体６０が磁性流体シール３９のケース体４０を介して第２アーム部２６の基端側に固定されており、減速機６７を構成する入力軸５８、出力軸５９および軸受等の部材と、磁性流体シール３９を構成する内周側部材４１および軸受シール部４２等の部材が第２アーム部２６に保持されている。また、減速機６７の入力軸５８の下端に回転軸６９が固定されるとともに、軸受保持部材７４および軸受７５を保持するスペーサ７３が内周側部材４１に固定されており、回転軸６９、スペーサ７３、軸受保持部材７４および軸受７５が第２アーム部２６に保持されている。また、本形態では、減速機６８のケース体６３が磁性流体シール４３のケース体４４を介して第２アーム部２６の先端側が固定されており、減速機６８を構成する入力軸６１、出力軸６２および軸受等の部材と、磁性流体シール４３を構成する内周側部材４５および軸受シール部４６等の部材が第２アーム部２６に保持されている。そのため、本形態では、スペーサ７３と第１アーム部２５とを固定するネジ、および、内周側部材４５とハンド５の基部１１とを固定するネジを取り外すとともに、ベルト７１を取り外せば、減速機６７、６８、磁性流体シール３９、４３、回転軸６９、スペーサ７３、軸受保持部材７４および軸受７５を第２アーム部２６と一体で取り外すことが可能になる。

したがって、本形態では、ロボット１のオーバーホールを行う際に、減速機３７、３８および磁性流体シール３９、４３を第２アーム部２１と一体で交換することが可能になり、かつ、減速機６７、６８、磁性流体シール３９、４３、回転軸６９、スペーサ７３、軸受保持部材７４および軸受７５を第２アーム部２６と一体で交換することが可能になる。すなわち、本形態では、ロボット１のオーバーホールを行う際に、第１アーム部２０、２５よりもアーム６、７の先端側に配置される第２アーム部２１、２６を交換することで、アーム支持部８に固定される第１アーム部２０、２５を交換しなくても、減速機３７、３８、６７、６８、磁性流体シール３９、４３、スペーサ７３、軸受保持部材７４および軸受７５を交換することが可能になる。その結果、本形態では、低コストでかつ容易にロボット１のオーバーホールを行うことが可能になる。

本形態では、アーム６、７の内部に上側に向かって空気を送るファン９１が配置されている。そのため、本形態では、高温の基板２を搬送する際に、アーム６、７の上面側部分を冷却してアーム６、７の上面側部分の温度上昇を抑制することが可能になり、アーム６、７の上面側部分の温度をアーム６、７の下面側部分の温度に近づけることが可能になる。したがって、本形態では、アーム６、７の上面側部分の熱変形量を下面側部分の熱変形量に近づけることが可能になり、先端側が下がるアーム６、７の熱変形を抑制することが可能になる。その結果、本形態では、高温の基板２を搬送する場合であっても、ハンド４、５によって基板２を適切に搬送することが可能になる。

また、本形態では、アーム６、７の内部の上面に、放熱用のフィン３２ａが形成されており、ファン９１は、フィン３２ａに向かって冷却用空気を送る。そのため、本形態では、アーム６、７の上面側部分を効果的に冷却することが可能になり、アーム６、７の上面側部分の温度上昇を効果的に抑制することが可能になる。

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

上述した形態では、別体で形成された第１アーム部２０、２５の基端側がアーム支持部８に固定されている。この他にもたとえば、第１アーム部２０と第１アーム部２５とアーム支持部８とが一体で形成されても良い。また、図１４に示すように、第１アーム部２０の基端側および第１アーム部２５の基端側のそれぞれが本体部９に回動可能に連結されても良い。この場合には、第１アーム部２０の内部にモータ３５が配置され、第１アーム部２５の内部にモータ６５が配置される。また、上述した形態では、ロボット１は、２本のアーム６、７を備えているが、ロボット１は、図１５に示すように、１本のアーム６のみを備えていても良い。この場合には、第１アーム部２０の基端側が本体部９に回動可能に連結される。なお、図１４、図１５では、上述した形態の構成と共通する構成については、同一の符号を付している。

上述した形態では、アーム６、７は、第１アーム部２０、２５と第２アーム部２１、２６との２個のアーム部によって構成されているが、アーム６、７は、３個以上のアーム部によって構成されても良い。たとえば、アーム６、７は、第１アーム部２０、２５と第２アーム部２１、２６と第３アーム部との３個のアーム部によって構成されても良い。この場合には、第２アーム部２１、２６の先端側に第３アーム部の基端側が回動可能に連結され、第３アーム部の先端側にハンド４、５が回動可能に連結される。また、この場合には、第２アーム部２１、２６と第３アーム部とを回動可能に連結する関節部は、関節部２３、２８と同様に減速機３８、６８を備えており、減速機３８、６８のケース体６３は、磁性流体シール４３のケース体４４を介して第２アーム部２１、２６に固定されている。

この場合であっても、減速機３７、３８および磁性流体シール３９、４３を第２アーム部２１と一体で交換することが可能になり、かつ、減速機６７、６８、磁性流体シール３９、４３、回転軸６９、スペーサ７３、軸受保持部材７４および軸受７５を第２アーム部２６と一体で交換することが可能になるため、上述した形態と同様の効果を得ることができる。

上述した形態では、ロボット１は、真空中で基板２を搬送するロボットであるが、本発明が適用されるロボットは、大気中で基板２を搬送するロボットであっても良い。この場合には、磁性流体シール３９、４３が不要になる。また、この場合には、たとえば、減速機３７、６７のケース体６０が直接、第２アーム部２１、２６の基端側に固定され、減速機３８、６８のケース体６３が直接、第２アーム部２１、２６の先端側に固定される。また、減速機３７の出力軸５９が直接、第１アーム部２０の先端側に固定され、減速機６７の出力軸５９が直接、スペーサ７３に固定され、減速機３８、６８の出力軸６２が直接、ハンド４、５の基部１１に固定される。

この場合であっても、ロボットのオーバーホールを行う際に、減速機３７、３８を第２アーム部２１と一体で交換することが可能になり、かつ、減速機６７、６８、回転軸６９、スペーサ７３、軸受保持部材７４および軸受７５を第２アーム部２６と一体で交換することが可能になる。すなわち、ロボット１のオーバーホールを行う際に、第１アーム部２０、２５よりもアーム６、７の先端側に配置される第２アーム部２１、２６を交換することで、アーム支持部８に固定される第１アーム部２０、２５を交換しなくても、減速機３７、３８、６７、６８、回転軸６９、スペーサ７３、軸受保持部材７４および軸受７５を交換することが可能になる。そのため、低コストでかつ容易にロボットのオーバーホールを行うことが可能になる。

上述した形態では、減速機６７の入力軸５８の下端に回転軸６９が固定され、回転軸６９の下端側にプーリ７０が固定されている。この他にもたとえば、減速機６７の入力軸５８の下端側にプーリ７０が固定されても良い。また、上述した形態では、減速機６７の出力軸５９に磁性流体シール３９の内周側部材４１およびスペーサ７３を介して第１アーム部２５の先端側が固定されているが、減速機６７の出力軸５９に磁性流体シール３９の内周側部材４１を介して第１アーム部２５の先端側が固定されても良い。すなわち、関節部２７において、回転軸６９、スペーサ７３、軸受保持部材７４および軸受７５が配置されていなくても良い。

上述した形態では、ロボット１は、１台のモータ３５によって、第１アーム部２０に対して第２アーム部２１を回動させ、かつ、第２アーム部２１に対してハンド４を回動させている。この他にもたとえば、第１アーム部２０に対して第２アーム部２１を回動させるモータと、第２アーム部２１に対してハンド４を回動させるモータとが個別に設けられても良い。同様に、上述した形態では、１台のモータ６５によって、第１アーム部２５に対して第２アーム部２６を回動させ、かつ、第２アーム部２６に対してハンド５を回動させているが、第１アーム部２５に対して第２アーム部２６を回動させるモータと、第２アーム部２６に対してハンド５を回動させるモータとが個別に設けられても良い。

上述した形態では、蓋部材３２にフィン３２ａが形成されているが、上面部３１ａ、３４ａの下面にフィン３２ａが形成されても良い。また、上述した形態では、蓋部材３２にフィン３２ａが形成されているが、蓋部材３２にフィン３２ａが形成されなくても良い。また、上述した形態では、ロボット１によって搬送される搬送対象物は有機ＥＬディスプレイ用の基板２であるが、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、液晶ディスプレイ用のガラス基板であっても良いし、半導体ウエハ等であっても良い。また、上述した形態では、ロボット１は、搬送対象物を搬送するためのロボットであるが、本発明が適用されるロボットは、他の用途で使用されるロボットであっても良い。

１ ロボット（産業用ロボット）
４、５ ハンド
６、７ アーム
８ アーム支持部
９ 本体部
２０、２５ 第１アーム部
２１、２６ 第２アーム部（先端側アーム部）
２２、２７ 関節部（第１関節部）
２３、２８ 関節部（第２関節部）
３２ａ フィン
３７、６７ 減速機（第１減速機）
３８、６８ 減速機（第２減速機）
３９ 磁性流体シール（第１磁性流体シール）
４０ ケース体（第１シールケース体）
４１ 内周側部材（第１内周側部材）
４２ 軸受シール部（第１軸受シール部）
４３ 磁性流体シール（第２磁性流体シール）
４４ ケース体（第２シールケース体）
４５ 内周側部材（第２内周側部材）
４６ 軸受シール部（第２軸受シール部）
５８ 入力軸（第１入力軸）
５９ 出力軸（第１出力軸）
６０ ケース体（第１ケース体）
６１ 入力軸（第２入力軸）
６２ 出力軸（第２出力軸）
６３ ケース体（第２ケース体）

Claims (5)

1. ハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結される先端側アーム部および前記先端側アーム部の基端側が先端側に回動可能に連結される第１アーム部を有するアームと、前記先端側アーム部と前記第１アーム部とを回動可能に連結する第１関節部と、前記ハンドと前記先端側アーム部とを回動可能に連結する第２関節部とを備え、
   前記ハンド、前記先端側アーム部および前記第１アーム部は、真空中に配置され、
   前記先端側アーム部および前記第１アーム部は、中空状に形成されるとともに、前記先端側アーム部の内部および前記第１アーム部の内部は、大気圧となっており、
   前記第１関節部は、動力が入力される第１入力軸と、前記第１入力軸に入力される動力を減速して出力する第１出力軸と、前記第１入力軸および前記第１出力軸を回転可能に支持する第１ケース体とを有する第１減速機を備えるとともに、前記先端側アーム部と前記第１アーム部との連結部分から真空中への空気の流出を防ぐ第１磁性流体シールを備え、
   前記第２関節部は、動力が入力される第２入力軸と、前記第２入力軸に入力される動力を減速して出力する第２出力軸と、前記第２入力軸および前記第２出力軸を回転可能に支持する第２ケース体とを有する第２減速機を備えるとともに、前記ハンドと前記先端側アーム部との連結部分から真空中への空気の流出を防ぐ第２磁性流体シールを備え、
   前記第１磁性流体シールは、その外周側部分を構成するとともに前記第１ケース体が固定される第１シールケース体と、前記第１シールケース体の内周側に回転可能に保持されるとともに前記第１出力軸が固定される第１内周側部材と、軸受と永久磁石と磁性流体とを有し径方向における前記第１シールケース体と前記第１内周側部材との間に配置される第１軸受シール部とを備え、
   前記第２磁性流体シールは、その外周側部分を構成するとともに前記第２ケース体が固定される第２シールケース体と、前記第２シールケース体の内周側に回転可能に保持されるとともに前記第２出力軸が固定される第２内周側部材と、軸受と永久磁石と磁性流体とを有し径方向における前記第２シールケース体と前記第２内周側部材との間に配置される第２軸受シール部とを備え、
   前記第１ケース体は、前記第１シールケース体を介して前記先端側アーム部に固定され、前記第２ケース体は、前記第２シールケース体を介して前記先端側アーム部に固定されていることを特徴とする産業用ロボット。
2. 前記第１減速機および前記第２減速機は、その径方向の中心に貫通孔が形成された中空減速機であることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。
3. ２個の前記ハンドと、２個の前記先端側アーム部と、２個の前記第１アーム部と、２個の前記第１アーム部の基端側が固定されるアーム支持部と、上下方向を回動の軸方向とする前記アーム支持部の回動が可能となるように前記アーム支持部が連結される本体部とを備えることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。
4. 前記先端側アーム部および前記第１アーム部の内部の上面には、放熱用のフィンが形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の産業用ロボット。
5. ハンドと、第１アーム部、第２アーム部および第３アーム部を有し前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、前記第２アーム部と前記第１アーム部とを回動可能に連結する第１関節部と、前記第３アーム部と前記第２アーム部とを回動可能に連結する第２関節部とを備え、
   前記第３アーム部の基端側は、前記第２アーム部の先端側に回動可能に連結され、
   前記第２アーム部の基端側は、前記第１アーム部の先端側に回動可能に連結され、
   前記ハンド、前記第３アーム部、前記第２アーム部および前記第１アーム部は、真空中に配置され、
   前記第２アーム部および前記第１アーム部は、中空状に形成されるとともに、前記第２アーム部の内部および前記第１アーム部の内部は、大気圧となっており、
   前記第１関節部は、動力が入力される第１入力軸と、前記第１入力軸に入力される動力を減速して出力する第１出力軸と、前記第１入力軸および前記第１出力軸を回転可能に支持する第１ケース体とを有する第１減速機を備えるとともに、前記第２アーム部と前記第１アーム部との連結部分から真空中への空気の流出を防ぐ第１磁性流体シールを備え、
   前記第２関節部は、動力が入力される第２入力軸と、前記第２入力軸に入力される動力を減速して出力する第２出力軸と、前記第２入力軸および前記第２出力軸を回転可能に支持する第２ケース体とを有する第２減速機を備えるとともに、前記第３アーム部と前記第２アーム部との連結部分から真空中への空気の流出を防ぐ第２磁性流体シールを備え、
   前記第１磁性流体シールは、その外周側部分を構成するとともに前記第１ケース体が固定される第１シールケース体と、前記第１シールケース体の内周側に回転可能に保持されるとともに前記第１出力軸が固定される第１内周側部材と、軸受と永久磁石と磁性流体とを有し径方向における前記第１シールケース体と前記第１内周側部材との間に配置される第１軸受シール部とを備え、
   前記第２磁性流体シールは、その外周側部分を構成するとともに前記第２ケース体が固定される第２シールケース体と、前記第２シールケース体の内周側に回転可能に保持されるとともに前記第２出力軸が固定される第２内周側部材と、軸受と永久磁石と磁性流体とを有し径方向における前記第２シールケース体と前記第２内周側部材との間に配置される第２軸受シール部とを備え、
   前記第１ケース体は、前記第１シールケース体を介して前記第２アーム部に固定され、前記第２ケース体は、前記第２シールケース体を介して前記第２アーム部に固定されていることを特徴とする産業用ロボット。

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