CN105555487B - 工业用机器人 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种工业用机器人，其在关节部配置有减速机，能够低成本且容易地进行检修。该工业用机器人具有将手(4)能够旋转地连接的末端侧臂部(21)以及将末端侧臂部(21)能够旋转地连接的第一臂部(20)。将末端侧臂部(21)与第一臂部(20)连接的第一关节部(22)具有减速机(37)，该减速机(37)具有输入轴、将输入至该输入轴的动力减速并将其输出的输出轴以及将输入轴以及输出轴支承为能够旋转的壳体，将手(4)与末端侧臂部(21)连接的第二关节部(23)具有减速机(38)，该减速机(38)具有输入轴、将输入至该输入轴的动力减速并将其输出的输出轴以及将输入轴以及输出轴支承为能够旋转的壳体。减速机(37)的壳体以及减速机(38)的壳体固定在末端侧臂部(21)侧。

Description

工业用机器人

技术领域

本发明涉及一种具有手以及由多个臂部构成的臂的工业用机器人。

背景技术

以往，已知一种在真空中搬运玻璃基板等的工业用机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的工业用机器人具有装载玻璃基板等的手、手能够旋转地连接于末端侧的臂以及将臂的基端侧能够旋转地连接的主体部。臂由彼此能够旋转地连接的第一臂部以及第二臂部构成。手能够旋转地连接于第二臂部的末端侧。第二臂部的基端侧能够旋转地连接于第一臂部的末端侧，第一臂部的基端侧能够旋转地连接于主体部。

在先技术文献

专利文献

专利文献：日本特开2008-6535号公报

发明内容

发明想要解决的课题

在专利文献1所记载的工业用机器人中，为了确保连接手与第二臂部的关节部或连接第二臂部与第一臂部的关节部的刚性，优选在关节部配置减速机。并且，在专利文献1所记载的工业用机器人等工业用机器人中，定期地进行检修。因此，市场上需求能够低成本且容易地进行检修的工业用机器人。

因此，本发明的课题是提供一种工业用机器人，其在关节部配置有减速机，能够低成本且容易地进行检修。

解决课题的方法

为了解决上述课题，本发明所涉及的工业用机器人的特征在于，其具有：手；臂，其具有手能够旋转地连接于末端侧的末端侧臂部以及末端侧臂部的基端侧能够旋转地连接于末端侧的第一臂部；第一关节部，其将末端侧臂部与第一臂部连接为能够旋转；以及第二关节部，其将手与末端侧臂部连接为能够旋转，第一关节部具有第一减速机，所述第一减速机具有：第一输入轴，其被输入动力；第一输出轴，其将输入至第一输入轴的动力减速并将其输出；以及第一壳体，其将第一输入轴以及第一输出轴支承为能够旋转，第二关节部具有第二减速机，所述第二减速机具有：第二输入轴，其被输入动力；第二输出轴，其将输入至第二输入轴的动力减速并将其输出；以及第二壳体，其将第二输入轴以及第二输出轴支承为能够旋转，第一壳体以及第二壳体固定在末端侧臂部侧。

在本发明所涉及的工业用机器人中，构成第一关节部的至少一部分的第一减速机的第一壳体固定在末端侧臂部侧，构成第一减速机的第一输入轴、第一输出轴以及轴承等部件保持于末端侧臂部。并且，在本发明中，构成第二关节部的至少一部分的第二减速机的第二壳体固定在末端侧臂部侧，构成第二减速机的第二输入轴、第二输出轴以及轴承等部件保持于末端侧臂部。因此，在本发明中，在进行工业用机器人的检修时，能够将第一减速机以及第二减速机与末端侧臂部一体地更换。即，在进行工业用机器人的检修时，通过更换配置在比第一臂部靠臂的末端侧的位置的末端侧臂部，即使不更换第一臂部，也能够更换第一减速机以及第二减速机。因此，在本发明中，在关节部配置有减速机的工业用机器人中，能够低成本且容易地进行检修。

在本发明中，第一减速机以及第二减速机是例如在其径向的中心形成有贯通孔的中空减速机。

在本发明中，优选手、末端侧臂部以及第一臂部配置在真空中，末端侧臂部以及第一臂部形成为中空状，且末端侧臂部的内部以及第一臂部的内部成为大气压，第一关节部具有防止空气自末端侧臂部与第一臂部的连接部分流出至真空中的第一磁性流体密封件，第二关节部具有防止空气自手与末端侧臂部的连接部分流出至真空中的第二磁性流体密封件，第一磁性流体密封件具有：第一密封壳体，其构成所述第一磁性流体密封件的外周侧部分且固定第一壳体；第一内周侧部件，其能够旋转地被保持于第一密封壳体的内周侧且固定第一输出轴；以及第一轴承密封部，其具有轴承、永磁铁以及磁性流体，且配置在径向上的第一密封壳体与第一内周侧部件之间，第二磁性流体密封件具有：第二密封壳体，其构成所述第二磁性流体密封件的外周侧部分且固定第二壳体；第二内周侧部件，其能够旋转地被保持于第二密封壳体的内周侧且固定第二输出轴；以及第二轴承密封部，其具有轴承、永磁铁以及磁性流体，且配置在径向上的第二密封壳体与第二内周侧部件之间，第一壳体隔着第一密封壳体固定于末端侧臂部，第二壳体隔着第二密封壳体固定于末端侧臂部。

若以此方式构成，则由于将构成第一磁性流体密封件的第一内周侧部件以及第一轴承密封部等部件保持于末端侧臂部，且将构成第二磁性流体密封件的第二内周侧部件以及第二轴承密封部等部件保持于末端侧臂部，因此在进行工业用机器人的检修时，除了能够将第一减速机以及第二减速机与末端侧臂部一体地更换以外，也能够将第一磁性流体密封件以及第二磁性流体密封件与末端侧臂部一体地更换。即，在进行工业用机器人的检修时，通过更换配置在比第一臂部靠臂的末端侧的位置的末端侧臂部，即使不更换第一臂部，也能够更换第一减速机以及第二减速机，除此以外也能够更换第一磁性流体密封件以及第二磁性流体密封件。因此，即使在关节部具有磁性流体密封件的情況下，也能够低成本且容易地进行检修。

在本发明中，工业用机器人例如具有两个手、两个末端侧臂部、两个第一臂部、固定两个第一臂部的基端侧的臂支承部、以及以臂支承部能够以上下方向作为旋转的轴向进行旋转的方式连接臂支承部的主体部。在该情況下，在进行工业用机器人的检修时，即使不更换固定于臂支承部的两个第一臂部，也能够更换第一减速机以及第二减速机。

在此，根据本申请发明者的研究，若在真空室内将高温的搬运对象物装载于手并进行搬运，则臂的上表面侧部分的温度会因来自搬运对象物的辐射热以及来自真空室的壁面的辐射热的影响而变得高于臂的下表面侧部分的温度。并且，在搬运高温的搬运对象物时，若臂的上表面侧部分的温度高于臂的下表面侧部分的温度，则臂的上表面侧部分的热变形量会大于下表面侧部分的热变形量，因此有如下担心：臂以臂的末端侧下降的方式产生热变形而无法利用手恰当地对搬运对象物进行搬运。

因此，在本发明中，优选手、末端侧臂部以及第一臂部配置在真空中，末端侧臂部以及第一臂部形成为中空状，且末端侧臂部的内部以及第一臂部的内部成为大气压，在末端侧臂部以及第一臂部的内部的上表面形成有散热用的散热片。若如此构成，则在搬运高温的搬运对象物时，能够将臂的上表面侧部分冷却而抑制臂的上表面侧部分的温度上升，从而能够使臂的上表面侧部分的温度接近于臂的下表面侧部分的温度。因此，能够使臂的上表面侧部分的热变形量接近于下表面侧部分的热变形量，而能够抑制末端侧下降的臂的热变形。其结果是，即使在搬运高温的搬运对象物的情況下，也能够通过手恰当地对搬运对象物进行搬运。

并且，为了解决上述课题，本发明所涉及的工业用机器人的特征在于，其具有：手；臂，其具有第一臂部、第二臂部以及第三臂部，且手能够旋转地连接于末端侧；第一关节部，其将第二臂部与第一臂部连接为能够旋转；以及第二关节部，其将第三臂部与第二臂部连接为能够旋转，第三臂部的基端侧能够旋转地连接于第二臂部的末端侧，第二臂部的基端侧能够旋转地连接于第一臂部的末端侧，第一关节部具有第一减速机，所述第一减速机具有：第一输入轴，其被输入动力；第一输出轴，其使输入至第一输入轴的动力减速并将其输出；以及第一壳体，其将第一输入轴以及第一输出轴支承为能够旋转，第二关节部具有第二减速机，所述第二减速机具有：第二输入轴，其被输入动力；第二输出轴，其使输入至第二输入轴的动力减速并将其输出；以及第二壳体，其将第二输入轴以及第二输出轴支承为能够旋转，第一壳体以及第二壳体固定在第二臂部侧。

在本发明所涉及的工业用机器人中，将构成第一关节部的至少一部分的第一减速机的第一壳体固定在第二臂部侧，将构成第一减速机的第一输入轴、第一输出轴以及轴承等部件保持于第二臂部。并且，在本发明中，将构成第二关节部的至少一部分的第二减速机的第二壳体固定在第二臂部侧，将构成第二减速机的第二输入轴、第二输出轴以及轴承等部件保持于第二臂部。因此，在本发明中，在进行工业用机器人的检修时，可将第一减速机以及第二减速机与第二臂部一体地更换。即，在进行工业用机器人的检修时，通过更换配置在比第一臂部靠臂的末端侧的位置的第二臂部，即使不更换第一臂部，也能够更换第一减速机以及第二减速机。因此，在本发明中，在关节部配置有减速机的工业用机器人中，能够低成本且容易地进行检修。

发明效果

如上所述，在本发明中，能够低成本且容易地进行在关节部配置有减速机的工业用机器人的检修。

附图说明

图1是本发明的实施方式所涉及的工业用机器人的俯视图。

图2是图1所示的臂的基端侧部分以及臂支承部的剖视图。

图3是图1所示的臂的剖视图。

图4是图1所示的臂的剖视图。

图5是图3的E部的放大图。

图6是图3的F部的放大图。

图7是图6的K部的放大图。

图8是图6的L部的放大图。

图9(A)是图5所示的盖部件的剖视图，(B)自(A)的G-G方向示出盖部件的图。

图10是图4的H部的放大图。

图11是图4的J部的放大图。

图12是图11的M部的放大图。

图13是图11的N部的放大图。

图14是本发明的其他实施方式所涉及的工业用机器人的俯视图。

图15是本发明的其他实施方式所涉及的工业用机器人的图，(A)是俯视图，(B)是侧视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

(工业用机器人的示意结构)

图1是本发明的实施方式所涉及的工业用机器人1的俯视图。图2是图1所示的臂6、7的基端侧部分以及臂支承部8的剖视图。图3是图1所示的臂6的剖视图。图4是图1所示的臂7的剖视图。

本实施方式中的工业用机器人1是(以下称作“机器人1”)用于搬运例如作为搬运对象物的有机EL(Organic Electro-Luminescence：有机电致发光)显示器用的玻璃基板2(以下称作“基板2”)的机器人。该机器人1组装至省略图示的有机EL显示器的制造系统而加以使用，搬运高温的基板2。

如图1所示，机器人1具有：两个手4、5，其装载基板2；臂6，手4能够旋转地连接于末端侧；臂7，手5能够旋转地连接于末端侧；臂支承部8，其固定臂6、7的基端侧；以及主体部9，臂支承部8能够旋转地连接于主体部9。手4、5、臂6、7以及臂支承部8配置在主体部9的上侧。

手4、5、臂6、7、臂支承部8以及主体部9的上端侧配置在构成有机EL显示器的制造系统的真空室的内部。即，手4、5、臂6、7、臂支承部8以及主体部9的上端侧配置在真空区域VR中(真空中)，主体部9的除上端侧以外的部分配置在大气区域AR中(大气中)(参照图2)，机器人1在真空中搬运装载于手4、5的基板2。

手4、5具有连接于臂6、7的基部11以及装载基板2的两根叉架部12。叉架部12形成为直线状。并且，两根叉架部12以相互隔开规定的间隔的状态平行地配置。

主体部9具有：壳体13，其形成为中空状；以及中空状的旋转轴14，其固定在臂支承部8的下表面。旋转轴14形成为以上下方向作为轴向的细长的圆筒状。旋转轴14的上端固定在臂支承部8的下表面，臂支承部8能够以上下方向作为旋转的轴向而进行旋转。旋转轴14的上端侧部分比壳体13的上端面向上侧突出，旋转轴14的除上端侧部分以外的部分容纳于壳体13的内部。

在壳体13的内部配置有用于使臂支承部8相对于壳体13旋转的马达(省略图示)。在该马达，例如经由带轮、传动带以及减速机而连接有旋转轴14的下端侧。并且，在壳体13的内部，配置有使旋转轴14等升降的升降机构(省略图示)。壳体13的上端侧部分配置在真空区域VR中，壳体13的除上端侧部分以外的部分配置在大气区域AR中。壳体13的内部成为大气压，在旋转轴14的外周侧配置有用于防止空气向真空区域VR流出的磁性流体密封件以及波纹管(省略图示)。

臂支承部8形成为中空状，具有支承部主体15以及三个盖部件16。盖部件16由铝合金形成。并且，盖部件16形成为圆板状。支承部主体15由铝合金形成。并且，支承部主体15具有：上表面部15a，其构成支承部主体15的上表面；下表面部15b，其构成支承部主体15的下表面，且隔着规定的间隙与上表面部15a大致平行地相向配置；以及侧面部15c，其使上表面部15a的外周端与下表面部15b的外周端相连。上表面部15a以及下表面部15b形成为细长的大致椭圆形的平板状，在上下方向上相向。侧面部15c形成为自上下方向观察时的形状成为细长的大致椭圆形状的筒状。

在上表面部15a，以在上下方向上贯通的方式形成有圆形状的三个开口部15d、15e。三个开口部15d、15e中的一个开口部15d形成于上表面部15a的中心，其余两个开口部15e形成于形成为大致椭圆形的上表面部15a的长度方向上的两端侧。在下表面部15b，也以在上下方向上贯通的方式形成有圆形状的三个开口部15f、15g。三个开口部15f、15g中的一个开口部15f形成于下表面部15b的中心，其余两个开口部15g形成于形成为大致椭圆形的下表面部15b的长度方向上的两端侧。

在下表面部15b的下表面固定有旋转轴14的上端。旋转轴14以包围开口部15f的方式固定于下表面部15b的下表面，旋转轴14的内周侧与臂支承部8的内部相通。即，臂支承部8的内部与壳体13的内部相通，臂支承部8的内部成为大气压。如图2所示，开口部15d被盖部件16自上侧封闭，两个开口部15g被盖部件16自下侧封闭。在支承部主体15与盖部件16之间，配置有防止空气向真空区域VR流出的环状的密封部件(省略图示)。

臂6由彼此能够相对旋转地连接的第一臂部20与第二臂部21这两个臂部构成。第一臂部20以及第二臂部21形成为中空状。即，整个臂6形成为中空状。第一臂部20的基端侧固定于臂支承部8。在第一臂部20的末端侧能够旋转地连接有第二臂部21的基端侧。在第二臂部21的末端侧能够旋转地连接有手4。本实施方式中的第二臂部21是末端侧臂部。

第一臂部20与第二臂部21的连接部成为关节部22，关节部22将第一臂部20与第二臂部21连接为能够旋转。臂6与手4的连接部(即，第二臂部21与手4的连接部)成为关节部23，关节部23将第二臂部21与手4连接为能够旋转。第二臂部21配置在比第一臂部20靠上侧的位置，手4配置在比第二臂部21靠上侧的位置。本实施方式中的关节部22是第一关节部，关节部23是第二关节部。

臂7具有彼此能够相对旋转地连接的第一臂部25与第二臂部26这两个臂部。第一臂部25以及第二臂部26形成为中空状。即，整个臂7形成为中空状。第一臂部25的基端侧固定于臂支承部8。在第一臂部25的末端侧能够旋转地连接有第二臂部26的基端侧。在第二臂部26的末端侧能够旋转地连接有手5。本实施方式中的第二臂部26是末端侧臂部。

第一臂部25与第二臂部26的连接部成为关节部27，关节部27将第一臂部25与第二臂部26连接为能够旋转。臂7与手5的连接部(即，第二臂部26与手5的连接部)成为关节部28，关节部28将第二臂部26与手5连接为能够旋转。第二臂部26配置在比第一臂部25靠上侧的位置。手5配置在比第二臂部26靠下侧且比第一臂部25靠上侧的位置。本实施方式中的关节部27是第一关节部，关节部28是第二关节部。

(臂的结构、臂的内部结构以及关节部的结构)

图5是图3的E部的放大图。图6是图3的F部的放大图。图7是图6的K部的放大图。图8是图6的L部的放大图。图9(A)是图5所示的盖部件32的剖视图，图9(B)是自图9(A)的G-G方向示出盖部件32的图。图10是图4的H部的放大图。图11是图4的J部的放大图。图12是图11的M部的放大图。图13是图11的N部的放大图。

第一臂部20具有臂部主体31、三个盖部件32以及一个盖部件33。臂部主体31由铝合金形成。并且，臂部主体31具有：上表面部31a，其构成臂部主体31的上表面；下表面部31b，其构成臂部主体31的下表面，且隔着规定的间隙与上表面部31a大致平行地相向配置；以及侧面部31c，其使上表面部31a的外周端与下表面部31b的外周端相连。上表面部31a以及下表面部31b形成为细长的大致椭圆形的平板状，在上下方向上相向。上表面部31a构成第一臂部20的上表面的一部分，下表面部31b构成第一臂部20的下表面的一部分。侧面部31c形成为自上下方向观察时的形状成为细长的大致椭圆形状的筒状。

在上表面部31a，以在上下方向上贯通的方式形成有圆形状的四个开口部31d、31e。四个开口部31d、31e在形成为大致椭圆形的上表面部31a的长度方向上以规定的间隔形成。在本实施方式中，在上表面部31a的最末端侧形成开口部31e，其余三个开口部31d在比开口部31e靠上表面部31a的基端侧的位置形成。在下表面部31b，也以在上下方向上贯通的方式形成有圆形状的两个开口部31f、31g。开口部31f形成于下表面部31b的末端侧，开口部31g形成于下表面部31b的基端侧。

第二臂部21具有臂部主体34、两个盖部件32以及两个盖部件33。臂部主体34由铝合金形成。并且，臂部主体34具有：上表面部34a，其构成臂部主体34的上表面；下表面部34b，其构成臂部主体34的下表面，且隔着规定的间隙与上表面部34a大致平行地相向配置；以及侧面部34c，其使上表面部34a的外周端与下表面部34b的外周端相连。上表面部34a以及下表面部34b形成为细长的大致椭圆形的平板状，在上下方向上相向。上表面部34a构成第二臂部21的上表面的一部分，下表面部34b构成第二臂部21的下表面的一部分。侧面部34c形成为自上下方向观察时的形状成为细长的大致椭圆形状的筒状。

在上表面部34a，以在上下方向上贯通的方式形成有圆形状的四个开口部34d、34e、34f。四个开口部34d～34f在形成为大致椭圆形的上表面部34a的长度方向上以规定的间隔形成。在本实施方式中，在上表面部34a的最末端侧形成开口部34e，在上表面部34a的最基端侧形成开口部34f，其余两个开口部34d形成于开口部34e与开口部34f之间。在下表面部34b，也以在上下方向上贯通的方式形成有圆形状的两个开口部34g、34h。开口部34g形成于下表面部34b的末端侧，开口部34h形成于下表面部34b的基端侧。

如上所述，第一臂部20的基端侧固定于臂支承部8。具体地说，第一臂部20的基端侧以臂部主体31的下表面部31b的下表面紧贴于支承部主体15的上表面部15a的上表面的状态固定于臂支承部8。并且，第一臂部20的基端侧以如下的方式固定于臂支承部8：在自上下方向观察时，上表面部15a的开口部15e的中心与下表面部31b的开口部31g的中心大致一致。因此，第一臂部20的内部与臂支承部8的内部相通，从而第一臂部20的内部成为大气压。另外，在支承部主体15与臂部主体31之间配置有防止空气向真空区域VR流出的环状的密封部件(省略图示)。

在第一臂部20的基端侧的内部以及臂支承部8的内部配置有马达35，该马达35使第二臂部21相对于第一臂部20旋转且使手4相对于第二臂部21旋转。马达35的上下方向上的中心部分配置于开口部15e以及开口部31g，马达35的上端侧配置在第一臂部20的基端侧的内部，马达35的下端侧配置在臂支承部8的内部。马达35的输出轴向上侧突出，在该输出轴固定有带轮36。

关节部22具有使马达35的旋转减速并将其传递至第二臂部21的减速机37。减速机37是在其径向的中心形成有贯通孔的中空减速机。因此，第二臂部21的内部与第一臂部20的内部相通，从而第二臂部21的内部成为大气压。即，在本实施方式中，臂6的内部成为大气压。减速机37具有被输入马达35的动力的输入轴58、使输入至输入轴58的动力减速并将其输出的输出轴59、以及经由轴承将输入轴58以及输出轴59支承为能够旋转的壳体60。本实施方式中的减速机37是第一减速机，输入轴58是第一输入轴，输出轴59是第一输出轴，壳体60是第一壳体。

关节部23具有使马达35的旋转减速并将其传递至手4的减速机38。减速机38是在其径向的中心形成有贯通孔的中空减速机。该减速机38具有被输入马达35的动力的输入轴61、使输入至输入轴61的动力减速并将其输出的输出轴62、以及经由轴承将输入轴61以及输出轴62支承为能够旋转的壳体63。本实施方式中的减速机38是第二减速机，输入轴61是第二输入轴，输出轴62是第二输出轴，壳体63是第二壳体。

并且，关节部22具有防止空气自第一臂部20与第二臂部21的连接部分向真空区域VR流出的磁性流体密封件39。磁性流体密封件39具有构成其外周侧部分的大致圆筒状的壳体40、以及能够旋转地保持于壳体40的内周侧的大致圆筒状的内周侧部件41。在径向上的壳体40与内周侧部件41之间配置有具有轴承、永磁铁以及磁性流体的轴承密封部42。本实施方式中的磁性流体密封件39是第一磁性流体密封件，壳体40是第一密封壳体，内周侧部件41是第一内周侧部件，轴承密封部42是第一轴承密封部。

同样地，关节部23具有防止空气自第二臂部21与手4的连接部分向真空区域VR流出的磁性流体密封件43。磁性流体密封件43与磁性流体密封件39相同地构成，具有壳体44、内周侧部件45以及轴承密封部46。本实施方式中的磁性流体密封件43是第二磁性流体密封件，壳体44是第二密封壳体，内周侧部件45是第二内周侧部件，轴承密封部46是第二轴承密封部。

如图7所示，在减速机37的输入轴58的下端侧固定有带轮49。带轮49配置在第一臂部20的末端侧的内部。在带轮36与带轮49架设有传动带50，对输入轴58经由带轮36、49以及传动带50而输入马达35的动力。并且，在输入轴58的上端侧固定有带轮51。带轮51配置在第二臂部21的基端侧的内部。在第二臂部21的内部能够旋转地安装有带轮52。在带轮51与带轮52架设有传动带53。另外，带轮49的外径小于开口部31e的内径。

在减速机37的输出轴59固定有第一臂部20的末端侧。具体地说，在输出轴59，隔着磁性流体密封件39的内周侧部件41固定有第一臂部20的末端侧。输出轴59固定于内周侧部件41的内周侧。内周侧部件41以如下的方式固定于第一臂部20的末端侧：其外周面的一部分与开口部31e的内周面接触，且其一部分与上表面部31a的上表面接触。并且，内周侧部件41通过省略图示的螺钉而固定于第一臂部20的末端侧。另外，在上表面部31a与内周侧部件41之间配置有防止空气向真空区域VR流出的环状的密封部件(省略图示)。

在减速机37的壳体60固定有第二臂部21的基端侧。具体地说，在壳体60，隔着磁性流体密封件39的壳体40固定有第二臂部21的基端侧。即，壳体60固定于第二臂部21侧。壳体60固定于壳体40的内周侧。壳体40以如下的方式固定于第二臂部21的基端侧：其外周面的一部分与开口部34h的内周面接触，且其一部分与下表面部34b的下表面接触。另外，在下表面部34b与壳体40之间配置有防止空气向真空区域VR流出的环状的密封部件(省略图示)。

如图8所示，在减速机38的输入轴61的下端侧固定有带轮56。带轮56配置在第二臂部21的末端侧的内部。在带轮56与带轮52架设有传动带57。传动带53与传动带57以在上下方向上错开的状态卡合于带轮52，传动带57配置在比传动带53靠下侧的位置。对输入轴61经由带轮36、49、51、52、56、传动带50、53、57以及输入轴58而输入马达35的动力。

在减速机38的输出轴62固定有手4的基部11。具体地说，在输出轴62，隔着磁性流体密封件43的内周侧部件45固定有手4的基部11。输出轴62固定于内周侧部件45的内周侧。内周侧部件45固定于手4的基部11。并且，内周侧部件45通过省略图示的螺钉而固定于手4的基部11。另外，在手4的基部11与内周侧部件45之间配置有防止空气向真空区域VR流出的环状的密封部件(省略图示)。

在减速机38的壳体63固定有第二臂部21的末端侧。具体地说，在壳体63，隔着磁性流体密封件43的壳体44固定有第二臂部21的末端侧。即，壳体63固定于第二臂部21侧。壳体63固定于壳体44的内周侧。壳体44以如下的方式固定于第二臂部21的末端侧：其外周面的一部分与开口部34e的内周面接触，且其一部分与上表面部34a的上表面接触。另外，在上表面部34a与壳体44之间配置有防止空气向真空区域VR流出的环状的密封部件(省略图示)。

盖部件32、33由铝合金形成。并且，盖部件32、33形成为圆板状。盖部件33的两面形成为平面状。另一方面，在盖部件32的一面，如图9所示，形成有散热用的散热片32a。在本实施方式中，在盖部件32的一面形成有直径不同的圆环状的多个散热片32a，多个散热片32a配置成同心状。并且，在本实施方式中，根据图9(A)所示，通过形成自盖部件32的一面朝向另一面凹陷的圆环状的多个凹部，而形成多个散热片32a。另外，也可以通过自盖部件32的一面突出的凸部构成多个散热片32a。

第一臂部20的开口部31f被盖部件33自下侧封闭。第二臂部21的开口部34f被盖部件33自上侧封闭，第二臂部21的开口部34g被盖部件33自下侧封闭。第一臂部20的开口部31d以及第二臂部21的开口部34d被盖部件32自上侧封闭。盖部件32以形成有散热片32a的面朝向下侧的方式固定。即，在盖部件32的下表面形成有散热片32a，在臂6的内部的上表面形成有散热用的散热片32a。另外，在臂部主体31、34与盖部件32、33之间配置有防止空气向真空区域VR流出的环状的密封部件(省略图示)。

如图10所示，第一臂部25与第一臂部20相同地构成，具有臂部主体31、三个盖部件32以及一个盖部件33。并且，如图11所示，第二臂部26与第二臂部21相同地构成，具有臂部主体34、两个盖部件32以及两个盖部件33。因此，省略第一臂部25的结构以及第二臂部26的构成的详细说明。

第一臂部25的基端侧与第一臂部20的基端侧同样，固定于臂支承部8的支承部主体15。第一臂部25的内部与臂支承部8的内部相通，从而第一臂部25的内部成为大气压。在第一臂部25的基端侧的内部以及臂支承部8的内部配置有马达65，该马达65使第二臂部26相对于第一臂部25旋转，且使手5相对于第二臂部26旋转。马达65以与配置在第一臂部20的基端侧的内部以及臂支承部8的内部的马达35相同的方式配置。马达65的输出轴向上侧突出，在所述输出轴固定有带轮66。

关节部27具有将马达65的旋转减速并将其传递至第二臂部26的减速机67。减速机67与减速机37同样是在其径向的中心形成有贯通孔的中空减速机。因此，第二臂部26的内部与第一臂部25的内部相通，从而第二臂部26的内部成为大气压。即，在本实施方式中，臂7的内部成为大气压。并且，减速机67与减速机37相同地构成，具有被输入马达65的动力的输入轴58、将输入至输入轴58的动力减速并将其输出的输出轴59、以及经由轴承将输入轴58以及输出轴59支承为能够旋转的壳体60。本实施方式中的减速机67是第一减速机。

关节部28具有将马达65的旋转减速并将其传递至手5的减速机68。减速机68与减速机38同样是在其径向的中心形成有贯通孔的中空减速机。并且，减速机68与减速机38相同地构成，具有被输入马达65的动力的输入轴61、使输入至输入轴61的动力减速并将其输出的输出轴62、以及经由轴承将输入轴61以及输出轴62支承为能够旋转的壳体63。本实施方式中的减速机68是第二减速机。

并且，关节部27与关节部22相同，具有防止空气自第一臂部25与第二臂部26的连接部分向真空区域VR流出的磁性流体密封件39。关节部28与关节部23相同，具有防止空气自第二臂部26与手5的连接部分向真空区域VR流出的磁性流体密封件43。

如图11、图12所示，在减速机67的输入轴58的下端固定有形成为圆筒状的旋转轴69的上端。在旋转轴69的下端侧固定有带轮70。带轮70配置在第一臂部25的末端侧的内部。在带轮66与带轮70架设有传动带71，将马达65的动力经由带轮66、70以及传动带71输入至输入轴58。并且，在减速机67的输入轴58的上端侧固定有带轮72。带轮72配置在第二臂部26的基端侧的内部。另外，带轮70的外径小于开口部31e的内径。

在减速机67的输出轴59固定有第一臂部25的末端侧。具体地说，在减速机67的输出轴59，隔着磁性流体密封件39的内周侧部件41以及间隔部件73固定有第一臂部25的末端侧。间隔部件73形成为大致圆筒状，以覆盖旋转轴69的外周侧的方式配置。

减速机67的输出轴59固定在内周侧部件41的内周侧。该内周侧部件41以如下的方式固定于间隔部件73的上端：其外周面的一部分与间隔部件73的内周面接触，且其一部分与间隔部件73的上端面接触。间隔部件73的下端以与上表面部31a的上表面接触的方式固定于第一臂部25的末端侧。并且，间隔部件73通过省略图示的螺钉固定于第一臂部25的末端侧。在间隔部件73的下端侧固定有轴承保持部件74。轴承保持部件74以如下的方式固定于间隔部件73的下端侧：其外周面的一部分与间隔部件73的内周面接触，且其一部分与间隔部件73的下端面接触。并且，轴承保持部件74的一部分配置在开口部31e的内周侧。在轴承保持部件74固定有将旋转轴69支承为能够旋转的轴承75。另外，在内周侧部件41与间隔部件73的上端之间、以及上表面部31a与间隔部件73的下端之间配置有防止空气向真空区域VR流出的环状的密封部件(省略图示)。

在减速机67的壳体60固定有第二臂部26的基端侧。即，减速机67的壳体60固定于第二臂部26侧。第二臂部26的基端侧与第二臂部21的基端侧固定于减速机37的壳体60相同，固定于减速机67的壳体60。即，在减速机67的壳体60，隔着磁性流体密封件39的壳体40固定有第二臂部26的基端侧。

如图13所示，在减速机68的输入轴61的上端侧固定有带轮76。带轮76配置在第二臂部26的末端侧的内部。在带轮72与带轮76架设有传动带77，将马达65的动力经由带轮66、70、72、76、传动带71、77、旋转轴69以及输入轴58输入至输入轴61。在减速机68的输出轴62固定有手5的基部11。手5的基部11与手4的基部11固定于减速机38的输出轴62相同，固定于减速机68的输出轴62。即，在减速机68的输出轴62，隔着磁性流体密封件43的内周侧部件45固定有手5的基部11。另外，内周侧部件45通过省略图示的螺钉而固定于手5的基部11。

在减速机68的壳体63固定有第二臂部26的末端侧。具体地说，在减速机68的壳体63，隔着磁性流体密封件43的壳体44固定有第二臂部26的末端侧。即，减速机68的壳体63固定于第二臂部26侧。减速机68的壳体63固定于壳体44的内周侧。壳体44以如下的方式固定于第二臂部26的末端侧：其外周面的一部分与开口部34g的内周面接触，且其一部分与下表面部34b的下表面接触。另外，在下表面部34b与壳体44之间配置有防止空气向真空区域VR流出的环状的密封部件(省略图示)。

第一臂部25的开口部31f被盖部件33自下侧封闭。第二臂部26的开口部34e、34f被盖部件33自上侧封闭。第一臂部25的开口部31d以及第二臂部26的开口部34d被盖部件32自上侧封闭。盖部件32以形成有散热片32a的面朝向下侧的方式固定。即，在盖部件32的下表面形成有散热片32a，在臂7的内部的上表面形成有散热用的散热片32a。

(冷却机构的结构、温度传感器的结构以及罩盖部件的结构)

如上所述，机器人1搬运高温的基板2。因此，臂6、7的温度因来自基板2的辐射热、或来自设置机器人1的真空室的壁面的辐射热等而上升。本实施方式中的机器人1具有用于将温度上升的臂6、7的内部冷却的冷却机构。并且，机器人1具有：温度传感器80，其用于测定第一臂部20、25以及第二臂部21、26的内部温度；以及罩盖部件81～85，其用于抑制辐射热向臂6、7以及臂支承部8传递。

本实施方式中的机器人1具有如下部件作为用于将臂6、7的内部冷却的冷却机构：空气配管87，其用于将马达35冷却并向第一臂部20的内部供给冷却用空气；空气配管88，其用于向第二臂部21的内部供给冷却用空气；空气配管89，其用于将马达65冷却且向第一臂部25的内部供给冷却用空气；空气配管90，其用于向第二臂部26的内部供给冷却用空气；以及多个风扇(送风机)91，其配置在臂6、7的内部。

空气配管87～90例如是由铝合金或铜合金等金属形成的金属管。空气配管87～90的基端连接于配置在主体部9的壳体13的内部的电磁阀(省略图示)。在本实施方式中，连接空气配管87～90各自的基端的四个电磁阀配置在壳体13的内部，能够对空气配管87～90中的每一空气配管进行冷却用空气的供给量的调整。四个电磁阀经由规定的配管连接于配置在壳体13的内部或外部的压缩空气的供给装置(省略图示)。

空气配管87、88以通过旋转轴14的内周侧以及开口部15f的方式，自壳体13的内部向臂6引绕。空气配管87的末端侧被卷绕至马达35的外周面。成为冷却用空气的供给口的空气配管87的末端配置在第一臂部20的基端侧的内部，自空气配管87向第一臂部20的基端侧的内部供给冷却用空气。空气配管88以通过开口部15e、31g以及形成于减速机37的轴中心的贯通孔的方式，在第一臂部20以及第二臂部21的内部引绕。成为冷却用空气的供给口的空气配管88的末端配置在第二臂部21的末端侧的内部，自空气配管88向第二臂部21的末端侧的内部供给冷却用空气。

空气配管89、90以通过旋转轴14的内周侧以及开口部15f的方式，自壳体13的内部向臂7引绕。空气配管89的末端侧被卷绕至马达65的外周面。成为冷却用空气的供给口的空气配管89的末端配置在第一臂部25的基端侧的内部，自空气配管89向第一臂部25的基端侧的内部供给冷却用空气。空气配管90以通过开口部15e、31g、旋转轴69的内周侧以及形成于减速机67的轴中心的贯通孔的方式，在第一臂部25以及第二臂部26的内部引绕。成为冷却用空气的供给口的空气配管90的末端配置在第二臂部26的末端侧的内部，自空气配管90向第二臂部26的末端侧的内部供给冷却用空气。

温度传感器80配置在第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的内部。在第一臂部20的内部，温度传感器80配置在马达35的附近以及关节部22的附近。在第二臂部21的内部，温度传感器80配置在关节部23的附近。在第一臂部25的内部，温度传感器80配置在马达65的附近以及关节部27的附近。在第二臂部26的内部，温度传感器80配置在关节部28的附近。

如上所述，在本实施方式中，能够对空气配管87～90中的每一空气配管进行冷却用空气的供给量的调整，从而能够将第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的内部个别地冷却。并且，在本实施方式中，根据温度传感器80所得的检测结果，将第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的内部个别地冷却。即，在本实施方式中，根据温度传感器80所得的检测结果，通过调整分别自空气配管87～90供给的冷却用空气的供给量，将第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的内部个别地冷却。

风扇91配置在第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的内部。并且，风扇91以朝向上侧输送冷却用空气的方式配置。本实施方式中的风扇91配置在盖部件32的下侧，朝向形成于盖部件32的多个散热片32a输送冷却用空气。并且，风扇91例如根据温度传感器80所得的检测结果旋转或停止。

罩盖部件81～85由导热率比支承部主体15、臂部主体31、34以及盖部件16、32、33低的材料形成。并且，罩盖部件81～85由辐射热的反射率较高的材料形成。例如，罩盖部件81～85由较薄的不锈钢板形成。罩盖部件81覆盖第一臂部20的除与臂支承部8重叠的部分以外的部分的大致整个上表面、下表面以及侧面。罩盖部件82覆盖第二臂部21的大致整个上表面、下表面以及侧面。罩盖部件83覆盖第一臂部25的除与臂支承部8重叠的部分以外的部分的大致整个上表面、下表面以及侧面。罩盖部件84覆盖第二臂部26的大致整个上表面、下表面以及侧面。罩盖部件85覆盖第一臂部20、25的与臂支承部8重叠的部分、以及臂支承部8的大致整个上表面、下表面以及侧面。

(本实施方式的主要效果)

如以上所做的说明，在本实施方式中，减速机37的壳体60隔着磁性流体密封件39的壳体40固定于第二臂部21的基端侧，构成减速机37的输入轴58、输出轴59以及轴承等部件与构成磁性流体密封件39的内周侧部件41以及轴承密封部42等部件保持于第二臂部21。并且，在本实施方式中，减速机38的壳体63隔着磁性流体密封件43的壳体44固定有第二臂部21的末端侧，构成减速机38的输入轴61、输出轴62以及轴承等部件与构成磁性流体密封件43的内周侧部件45以及轴承密封部46等部件保持于第二臂部21。因此，在本实施方式中，若将固定内周侧部件41与第一臂部20的螺钉、以及固定内周侧部件45与手4的基部11的螺钉卸下，且将传动带50卸下，则能够将减速机37、38以及磁性流体密封件39、43与第二臂部21一体地卸下。

同样在本实施方式中，减速机67的壳体60隔着磁性流体密封件39的壳体40固定于第二臂部26的基端侧，构成减速机67的输入轴58、输出轴59以及轴承等部件与构成磁性流体密封件39的内周侧部件41以及轴承密封部42等部件保持于第二臂部26。并且，旋转轴69固定于减速机67的输入轴58的下端，且保持轴承保持部件74以及轴承75的间隔部件73固定于内周侧部件41，旋转轴69、间隔部件73、轴承保持部件74以及轴承75保持于第二臂部26。并且，在本实施方式中，减速机68的壳体63隔着磁性流体密封件43的壳体44固定有第二臂部26的末端侧，构成减速机68的输入轴61、输出轴62以及轴承等部件与构成磁性流体密封件43的内周侧部件45以及轴承密封部46等部件保持于第二臂部26。因此，在本实施方式中，若将固定间隔部件73与第一臂部25的螺钉、以及固定内周侧部件45与手5的基部11的螺钉卸下，且将传动带71卸下，则能够将减速机67、68、磁性流体密封件39、43、旋转轴69、间隔部件73、轴承保持部件74以及轴承75与第二臂部26一体地卸下。

因此，在本实施方式中，在进行机器人1的检修时，能够将减速机37、38以及磁性流体密封件39、43与第二臂部21一体地更换，且能够将减速机67、68、磁性流体密封件39、43、旋转轴69、间隔部件73、轴承保持部件74以及轴承75与第二臂部26一体地更换。即，在本实施方式中，在进行机器人1的检修时，通过更换配置在比第一臂部20、25靠臂6、7的末端侧的位置的第二臂部21、26，即使不更换固定于臂支承部8的第一臂部20、25，也能够更换减速机37、38、67、68、磁性流体密封件39、43、间隔部件73、轴承保持部件74以及轴承75。其结果是，在本实施方式中，能够低成本且容易地进行机器人1的检修。

在本实施方式中，在臂6、7的内部配置有朝向上侧输送空气的风扇91。因此，在本实施方式中，在搬运高温的基板2时，能够将臂6、7的上表面侧部分冷却而抑制臂6、7的上表面侧部分的温度上升，从而能够使臂6、7的上表面侧部分的温度接近于臂6、7的下表面侧部分的温度。因此，在本实施方式中，能够使臂6、7的上表面侧部分的热变形量接近于下表面侧部分的热变形量，而能够抑制末端侧下降的臂6、7的热变形。其结果是，在本实施方式中，即使在搬运高温的基板2的情況下，也能够通过手4、5恰当地搬运基板2。

并且，在本实施方式中，在臂6、7的内部的上表面形成有散热用的散热片32a，风扇91朝向散热片32a输送冷却用空气。因此，在本实施方式中，能够有效地将臂6、7的上表面侧部分冷却，从而能够有效地抑制臂6、7的上表面侧部分的温度上升。

(其他实施方式)

上述的实施方式是本发明的优选的实施方式的一例，但并不限于此，能够在不变更本发明的主旨的范围内实施各种变化。

在上述的实施方式中，分体地形成的第一臂部20、25的基端侧固定于臂支承部8。除此以外，例如第一臂部20、第一臂部25以及臂支承部8也能够一体地形成。并且，也可以如图14所示，将第一臂部20的基端侧以及第一臂部25的基端侧分别能够旋转地连接于主体部9。在该情况下，在第一臂部20的内部配置马达35，在第一臂部25的内部配置马达65。并且，在上述的实施方式中，机器人1具有两条臂6、7，但机器人1也可以如图15所示，仅具有一条臂6。在该情況下，将第一臂部20的基端侧能够旋转地连接于主体部9。另外，在图14、图15中，对与上述的实施方式的结构共通的结构标注相同的符号。

在上述的实施方式中，臂6、7由第一臂部20、25与第二臂部21、26这两个臂部构成，但臂6、7也可以由三个以上的臂部构成。例如，臂6、7也可以由第一臂部20、25、第二臂部21、26以及第三臂部这三个臂部构成。在该情況下，将第三臂部的基端侧能够旋转地连接于第二臂部21、26的末端侧，将手4、5能够旋转地连接于第三臂部的末端侧。并且，在该情況下，将第二臂部21、26与第三臂部连接为能够旋转的关节部与关节部23、28同样地具有减速机38、68，减速机38、68的壳体63隔着磁性流体密封件43的壳体44固定于第二臂部21、26。

在该情況下，能够将减速机37、38以及磁性流体密封件39、43与第二臂部21一体地更换，且能够将减速机67、68、磁性流体密封件39、43、旋转轴69、间隔部件73、轴承保持部件74以及轴承75与第二臂部26一体地更换，因此能够获得与上述的实施方式相同的效果。

在上述的实施方式中，机器人1是在真空中搬运基板2的机器人，但应用本发明的机器人也可以是在大气中搬运基板2的机器人。在该情况下，无需磁性流体密封件39、43。并且，在该情况下，例如将减速机37、67的壳体60直接固定于第二臂部21、26的基端侧，将减速机38、68的壳体63直接固定于第二臂部21、26的末端侧。并且，将减速机37的输出轴59直接固定于第一臂部20的末端侧，将减速机67的输出轴59直接固定于间隔部件73，将减速机38、68的输出轴62直接固定于手4、5的基部11。

在该情况下，在进行机器人的检修时，能够将减速机37、38与第二臂部21一体地更换，且能够将减速机67、68、旋转轴69、间隔部件73、轴承保持部件74以及轴承75与第二臂部26一体地更换。即，在进行机器人1的检修时，通过更换配置在比第一臂部20、25靠臂6、7的末端侧的位置的第二臂部21、26，即使不更换固定于臂支承部8的第一臂部20、25，也能够更换减速机37、38、67、68、旋转轴69、间隔部件73、轴承保持部件74以及轴承75。因此，能够低成本且容易地进行机器人的检修。

在上述的实施方式中，在减速机67的输入轴58的下端固定有旋转轴69，在旋转轴69的下端侧固定有带轮70。除此以外，例如也可以在减速机67的输入轴58的下端侧固定带轮70。并且，在上述的实施方式中，在减速机67的输出轴59隔着磁性流体密封件39的内周侧部件41以及间隔部件73固定有第一臂部25的末端侧，但也可以在减速机67的输出轴59隔着磁性流体密封件39的内周侧部件41固定第一臂部25的末端侧。即，在关节部27，也可以不配置旋转轴69、间隔部件73、轴承保持部件74以及轴承75。

在上述的实施方式中，机器人1通过一台马达35，使第二臂部21相对于第一臂部20旋转，且使手4相对于第二臂部21旋转。除此以外，例如也可以个别地设置使第二臂部21相对于第一臂部20旋转的马达、以及使手4相对于第二臂部21旋转的马达。同样地，在上述的实施方式中，通过一台马达65，使第二臂部26相对于第一臂部25旋转，且使手5相对于第二臂部26旋转，但也可以个别地设置使第二臂部26相对于第一臂部25旋转的马达、以及使手5相对于第二臂部26旋转的马达。

在上述的实施方式中，在盖部件32形成有散热片32a，但也可以在上表面部31a、34a的下表面形成散热片32a。并且，在上述的实施方式中，在盖部件32形成有散热片32a，但也可以不在盖部件32形成散热片32a。并且，在上述的实施方式中，由机器人1搬运的搬运对象物是有机EL显示器用的基板2，但由机器人1搬运的搬运对象物既可以是液晶显示器用的玻璃基板，也可以是半导体晶圆等。并且，在上述的实施方式中，机器人1是用于对搬运对象物进行搬运的机器人，但应用本发明的机器人也可以是用于其他用途的机器人。

符号说明

1 机器人(工业用机器人)；

4、5 手；

6、7 臂；

8 臂支承部；

9 主体部；

20、25 第一臂部；

21、26 第二臂部(末端侧臂部)；

22、27 关节部(第一关节部)；

23、28 关节部(第二关节部)；

32a 散热片；

37、67 减速机(第一减速机)；

38、68 减速机(第二减速机)；

39 磁性流体密封件(第一磁性流体密封件)；

40 壳体(第一密封壳体)；

41 内周侧部件(第一内周侧部件)；

42 轴承密封部(第一轴承密封部)；

43 磁性流体密封件(第二磁性流体密封件)；

44 壳体(第二密封壳体)；

45 内周侧部件(第二内周侧部件)；

46 轴承密封部(第二轴承密封部)；

58 输入轴(第一输入轴)；

59 输出轴(第一输出轴)；

60 壳体(第一壳体)；

61 输入轴(第二输入轴)；

62 输出轴(第二输出轴)；

63 壳体(第二壳体)。

Claims (6)

1.一种工业用机器人，其特征在于，其具有：手；臂，其具有所述手能够旋转地连接于末端侧的末端侧臂部以及所述末端侧臂部的基端侧能够旋转地连接于末端侧的第一臂部；第一关节部，其将所述末端侧臂部与所述第一臂部连接为能够旋转；以及第二关节部，其将所述手与所述末端侧臂部连接为能够旋转，

所述第一关节部具有第一减速机，所述第一减速机具有：第一输入轴，其被输入动力；第一输出轴，其将输入至所述第一输入轴的动力减速并将其输出；以及第一壳体，其将所述第一输入轴以及所述第一输出轴支承为能够旋转，

所述第二关节部具有第二减速机，所述第二减速机具有：第二输入轴，其被输入动力；第二输出轴，其将输入至所述第二输入轴的动力减速并将其输出；以及第二壳体，其将所述第二输入轴以及所述第二输出轴支承为能够旋转，

所述第一壳体以及所述第二壳体固定在所述末端侧臂部侧，

所述手、所述末端侧臂部以及所述第一臂部配置在真空中，

所述末端侧臂部以及所述第一臂部形成为中空状，且所述末端侧臂部的内部以及所述第一臂部的内部成为大气压，

所述第一关节部具有防止空气自所述末端侧臂部与所述第一臂部的连接部分流出至真空中的第一磁性流体密封件，

所述第二关节部具有防止空气自所述手与所述末端侧臂部的连接部分流出至真空中的第二磁性流体密封件，

所述第一磁性流体密封件具有：第一密封壳体，其构成所述第一磁性流体密封件的外周侧部分且固定所述第一壳体；第一内周侧部件，其能够旋转地被保持于所述第一密封壳体的内周侧且固定所述第一输出轴；以及第一轴承密封部，其具有轴承、永磁铁以及磁性流体，且配置在径向上的所述第一密封壳体与所述第一内周侧部件之间，

所述第二磁性流体密封件具有：第二密封壳体，其构成所述第二磁性流体密封件的外周侧部分且固定所述第二壳体；第二内周侧部件，其能够旋转地被保持于所述第二密封壳体的内周侧且固定所述第二输出轴；以及第二轴承密封部，其具有轴承、永磁铁以及磁性流体，且配置在径向上的所述第二密封壳体与所述第二内周侧部件之间，

所述第一壳体隔着所述第一密封壳体固定于所述末端侧臂部，

所述第二壳体隔着所述第二密封壳体固定于所述末端侧臂部。

2.根据权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，

所述第一减速机以及所述第二减速机是在其径向的中心形成有贯通孔的中空减速机。

3.根据权利要求1或2所述的工业用机器人，其特征在于，

所述工业用机器人具有两个所述手、两个所述末端侧臂部、两个所述第一臂部、固定两个所述第一臂部的基端侧的臂支承部以及以所述臂支承部能够以上下方向作为旋转的轴向进行旋转的方式连接所述臂支承部的主体部。

4.根据权利要求3所述的工业用机器人，其特征在于，

所述手、所述末端侧臂部以及所述第一臂部配置在真空中，

所述末端侧臂部以及所述第一臂部形成为中空状，且所述末端侧臂部的内部以及所述第一臂部的内部成为大气压，

在所述末端侧臂部以及所述第一臂部的内部的上表面形成有散热用的散热片。

5.根据权利要求1或2所述的工业用机器人，其特征在于，

所述手、所述末端侧臂部以及所述第一臂部配置在真空中，

所述末端侧臂部以及所述第一臂部形成为中空状，且所述末端侧臂部的内部以及所述第一臂部的内部成为大气压，

在所述末端侧臂部以及所述第一臂部的内部的上表面形成有散热用的散热片。

6.一种工业用机器人，其特征在于，其具有：手；臂，其具有第一臂部、第二臂部以及第三臂部，且所述手能够旋转地连接于末端侧；第一关节部，其将所述第二臂部与所述第一臂部连接为能够旋转；以及第二关节部，其将所述第三臂部与所述第二臂部连接为能够旋转，

所述第三臂部的基端侧能够旋转地连接于所述第二臂部的末端侧，

所述第二臂部的基端侧能够旋转地连接于所述第一臂部的末端侧，

所述第一关节部具有第一减速机，所述第一减速机具有：第一输入轴，其被输入动力；第一输出轴，其将输入至所述第一输入轴的动力减速并将其输出；以及第一壳体，其将所述第一输入轴以及所述第一输出轴支承为能够旋转，

所述第二关节部具有第二减速机，所述第二减速机具有：第二输入轴，其被输入动力；第二输出轴，其将输入至所述第二输入轴的动力减速并将其输出；以及第二壳体，其将所述第二输入轴以及所述第二输出轴支承为能够旋转，

所述第一壳体以及所述第二壳体固定在所述第二臂部侧，

所述手、所述第二臂部以及所述第一臂部配置在真空中，

所述第二臂部以及所述第一臂部形成为中空状，且所述第二臂部的内部以及所述第一臂部的内部成为大气压，

所述第一关节部具有防止空气自所述第二臂部与所述第一臂部的连接部分流出至真空中的第一磁性流体密封件，

所述第二关节部具有防止空气自所述第三臂部与所述第二臂部的连接部分流出至真空中的第二磁性流体密封件，

所述第一磁性流体密封件具有：第一密封壳体，其构成所述第一磁性流体密封件的外周侧部分且固定所述第一壳体；第一内周侧部件，其能够旋转地被保持于所述第一密封壳体的内周侧且固定所述第一输出轴；以及第一轴承密封部，其具有轴承、永磁铁以及磁性流体，且配置在径向上的所述第一密封壳体与所述第一内周侧部件之间，

所述第二磁性流体密封件具有：第二密封壳体，其构成所述第二磁性流体密封件的外周侧部分且固定所述第二壳体；第二内周侧部件，其能够旋转地被保持于所述第二密封壳体的内周侧且固定所述第二输出轴；以及第二轴承密封部，其具有轴承、永磁铁以及磁性流体，且配置在径向上的所述第二密封壳体与所述第二内周侧部件之间，

所述第一壳体隔着所述第一密封壳体固定于所述第二臂部，

所述第二壳体隔着所述第二密封壳体固定于所述第二臂部。