CN109476016A - 工业用机器人 - Google Patents

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矢澤隆之
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Abstract

本发明提供一种工业用机器人,其搬运搬运对象,其中,即使搬运对象的重量变重,也能够防止配置于臂的内部的带的断裂。具体而言,该工业用机器人具备形成为中空状的臂(6)、配置于臂(6)的内部的两个带轮(37、38)、以在带轮(37、38)的轴向上重叠的方式配置且挂设于两个带轮(37、38)上的多个带(60)、调节多个带(60)的张力的张力调节机构。

Description

工业用机器人
技术领域
本发明涉及搬运搬运对象的工业用机器人。
背景技术
目前,已知有在真空中搬运液晶显示器用的玻璃基板的工业用机器人(例如,参照专利文献1)。专利文献1中记载的工业用机器人具备本体部、共同臂、两条臂以及两只手。共同臂形成为大致V形状。形成为大致V形状的共同臂的中心部分与本体部可转动地连接。另外,在形成为大致V形状的共同臂的两个前端侧,分别可转动地连接有两条臂各自的基端侧。将两只手分别可转动地连接于两条臂各自的前端侧。
在专利文献1记载的工业用机器人中,在共同臂和臂的连接部即关节部配置有固定于共同臂的前端侧的圆筒状的第一筒部件和固定于臂的基端侧的圆筒状的第二筒部件。第二筒部件以包围第一筒部件的方式配置于第一筒部件的外周侧。在第一筒部件和第二筒部件之间配置有轴承。在第一筒部件固定有配置于臂的基端侧的内部的带轮,在第二筒部件固定有配置于共同臂的前端侧的内部的带轮。在臂的前端侧的内部配置有固定手的带轮,且在该带轮和配置于臂的基端侧的内部的带轮上挂设有带。另外,在共同臂的内部的中心部分配置有带轮,在该带轮和配置于共同臂的前端侧的内部的带轮上挂设有带。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2013-103330号公报
发明内容
发明要解决的技术问题
近年来,工业用机器人搬运的玻璃基板等搬运对象越来越大型化,伴随搬运对象的大型化,搬运对象的重量变重。在专利文献1记载的工业用机器人中,当搬运对象的重量变重时,作用于带的负荷增大。为了防止大的负荷作用时的带的断裂,只要加宽带的宽度即可。
但是,当带的宽度变宽时,带的宽度方向上的中心部的张力和带的宽度方向上的端部的张力容易产生差异。即,当带的宽度变宽时,与带的宽度窄的情况相比,受带轮的真圆度和带轮的轴心的倾斜度等的影响,带的宽度方向上的中心部的张力和带的宽度方向上的端部的张力容易产生差异。另外,当带的宽度方向的中心部的张力和带的宽度方向的端部的张力产生差异时,作用于带的宽度方向的中心部的负荷和作用于带的宽度方向的端部的负荷的差异增大,最差的情况可能是带断裂。
因此,本发明的技术问题在于,提供一种工业用机器人,其搬运搬运对象,其中,即使搬运对象的重量变重,也能够防止配置于臂的内部的带断裂。
解决问题所采用的技术方案
为了解决上述技术问题,本发明提供一种工业用机器人,其搬运搬运对象,其特征在于,具备:形成为中空状的臂、配置于臂的内部的两个带轮、以在带轮的轴向上重叠的方式配置且挂设于两个带轮上的多个带、调节多个带的张力的张力调节机构。
在本发明中,例如,工业用机器人具备装载搬运对象的手、在前端侧可转动地连接手的作为臂的第二臂、在前端侧可转动地连接第二臂的基端侧的第一臂、可转动地连接第一臂的基端侧的本体部,并且,作为两个带轮,具备配置于第二臂的基端侧的内部的第一带轮和配置于第二臂的前端侧的内部的第二带轮,第一带轮固定于第一臂的前端侧,第二带轮固定于手上。
在本发明的工业用机器人中,在配置于臂的内部的两个带轮上挂设有以在带轮的轴向上重叠的方式配置的多个带。因此,在本发明中,即使搬运对象的重量变重,也能够使一条带的宽度较窄。因此,在本发明中,能够抑制由张力调节机构调节的带的宽度方向的中心部的张力和带的宽度方向的端部的张力的差异,能够抑制作用于带的宽度方向的中心部的负荷和作用于带的宽度方向的端部的负荷的差异。其结果是,在本发明中,即使搬运对象的重量变重,也能够防止配置于臂的内部的带的断裂。
在本发明中,理想的是,工业用机器人具备调节多个带各自的张力的多个张力调节机构。当这样构成时,即使在带轮的轴向上重叠的多个带架设在两个带轮上,也能够调节多个带各自的张力,以使多个带各自的张力成为适当的张力。
在本发明中,例如,在两个带轮上挂设有两条带。
在本发明中,理想的是,带是钢板制的钢带。当这样构成时,与带是橡胶制的带的情况相比,能够抑制来自带的扬尘。另一方面,在带是钢带的情况下,与带是橡胶制的带的情况相比,当带的宽度变宽时,带的宽度方向的中心部的张力和带的宽度方向的端部的张力容易产生大的差异,但在本发明中,因为能够使一条带的宽度较窄,所以即使带是钢带,也能够抑制通过张力调节机构调节的带的宽度方向的中心部的张力和带的宽度方向的端部的张力的差异。
(发明效果)
如上所述,在本发明中,在搬运搬运对象的工业用机器人中,即使搬运对象的重量变重,也能够防止配置于臂的内部的带的断裂。
附图说明
图1是本发明实施方式的工业用机器人的俯视图。
图2是图1所示的工业用机器人的侧视图。
图3是用于说明图2的E部的概略结构的剖视图。
图4是用于说明图2的F部的概略结构的剖视图。
图5是图3的G部的放大图。
图6是图4的H部的放大图。
图7的(A)是图3所示的带轮及带的俯视图,图7的(B)是图7的(A)的J部的放大图,图7的(C)是图7的(A)的K部的放大图。
具体实施方式
以下,参照附图说明本发明的实施方式。
(工业用机器人的整体结构)
图1是本发明实施方式的工业用机器人1的俯视图。图2是图1所示的工业用机器人1的侧视图。图3是用于说明图2的E部的概略结构的剖视图。图4是用于说明图2的F部的概略结构的剖视图。
本方式的工业用机器人1(下称“机器人1”)是用于搬运作为搬运对象的液晶显示器用的玻璃基板2(下称“基板2”)的机器人。该机器人1是特别适合大型基板2的搬运的大型机器人。另外,机器人1在真空中搬运基板2。机器人1具备装载基板2的两只手4、5、在前端侧可转动地分别连接两只手4、5的两条臂6、7、可转动地连接两条臂6、7的基端侧的共同臂8、可转动地连接共同臂8的本体部9。本方式的共同臂8是第一臂,臂6、7是第二臂。
如图2所示,手4可转动地连接于臂6的前端侧。手5可转动地连接于臂7的前端侧。手4配置于比手5靠下侧的位置。臂6配置于比手4靠下侧的位置。臂7配置于比手5靠上侧的位置。共同臂8配置于比臂6靠下侧的位置。另外,共同臂8配置于比本体部9靠上侧的位置。
本体部9具备以上下方向为转动的轴向使共同臂8转动的转动轴(图示省略)、使该转动轴转动的转动机构(图示省略)、与该转动机构一起使共同臂8升降的升降机构(图示省略)、收容转动机构及升降机构的壳体。该壳体由形成为有底圆筒状的壳体本体11和覆盖壳体本体11的上端的开口的盖体12构成。在盖体12的中心形成有配置使共同臂8转动的转动轴的贯通孔。另外,在盖体12上形成有向壳体本体11的径向外侧扩展的突缘部12a。
如上所述,机器人1是用于在真空中搬运基板2的机器人。如图2所示,机器人1的比突缘部12a的下表面靠上侧的部分配置于真空室13中。即,机器人1的比突缘部12a的下表面靠上侧的部分配置于真空区域VR中(真空中)。另一方面,机器人1的比突缘部12a的下表面靠下侧的部分配置于大气区域AR中(大气中)。
手4、5具备装载基板2的多个叉部15。臂6、7的从上下方向观察时的形状为细长的长圆形状,并且,臂6、7形成为上下方向的厚度薄的块状。臂6的长度和臂7的长度相等。另外,臂6、7形成为中空状。形成为中空状的臂6、7的内部为真空。共同臂8形成为大致V形状。形成为大致V形状的共同臂8的中心部分可转动地连接于本体部9。另外,臂6可转动地连接在形成为大致V形状的共同臂8的一前端侧,臂7可转动地连接在共同臂8的另一前端侧。
臂6和共同臂8的连接部为关节部16。臂7和共同臂8的连接部为关节部17。另外,机器人1具备使手4相对于臂6转动并且使臂6相对于共同臂8转动的驱动机构18(参照图3)和使手5相对于臂7转动并且使臂7相对于共同臂8转动的驱动机构19(参照图4)。以下,对共同臂8的具体结构及驱动机构18、19的结构进行说明。
(共同臂及驱动机构的结构)
图5是图3的G部的放大图。图6是图4的H部的放大图。图7的(A)是图3所示的带轮37、38及带60的俯视图,图7的(B)是图7的(A)的J部的放大图,图7的(C)是图7的(A)的K部的放大图。
共同臂8具备与本体部9连接的基端部22、将臂6、7的基端侧分别连接的两个前端部23、24、连接两个前端部23、24各自和基端部22的两个连接部25、26。在本方式中,由基端部22、两个前端部23、24和两个连接部25、26构成共同臂8。臂6的基端侧连接在前端部23,臂7的基端侧连接在前端部24。连接部25将基端部22和前端部23相连,连接部26将基端部22和前端部24相连。
基端部22、两个前端部23、24以及两个连接部25、26分体形成,通过将基端部22、两个前端部23、24以及两个连接部25、26固定而一体化,构成共同臂8。基端部22、前端部23、24以及连接部25、26由铝合金或不锈钢形成。另外,基端部22、前端部23、24以及连接部25、26形成为中空状。即,共同臂8形成为中空状。共同臂8的内部为大气压。
基端部22形成为从上下方向观察时的形状为大致五边形状的块状。本体部9的转动轴的上端固定在基端部22的下表面的中心。前端部23、24形成为从上下方向观察时的形状为大致长方形状的块状。连接部25、26是形成为筒状的管,形成为细长的圆筒状。连接部25、26的长度例如为4(m)。
连接部25的一端通过螺丝(图示省略)固定于基端部22,连接部25的另一端通过螺丝(图示省略)固定于前端部23。连接部26的一端通过螺丝(图示省略)固定于基端部22,连接部26的另一端通过螺丝(图示省略)固定于前端部24。此外,在连接部25、26的两端形成有向径向外侧扩展的突缘部。
驱动机构18具备使手4相对于臂6转动并且使臂6相对于共同臂8转动的电动机30和与电动机30连接的减速器31。减速器31具备作为减速器31的输出轴的转动轴32、可转动地支承转动轴32的轴承33、配置于转动轴32的外周侧的磁性流体密封件34。另外,驱动机构18具备固定于减速器31的输入轴35上的带轮36。
另外,驱动机构18具备配置于臂6的基端侧的内部的作为第一带轮的带轮37和配置于臂6的前端侧的内部的作为第二带轮的带轮38。即,驱动机构18具备配置于臂6的内部的两个带轮37、38。在本方式中,将带轮37的节圆直径和带轮38的节圆直径之比设定为1:2,以使手4在朝向恒定方向的状态下直线移动。
减速器31是中空波动齿轮装置,配置于关节部16。该减速器31除上述的转动轴32、轴承33及磁性流体密封件34之外,还具备刚性齿圈41、挠性外齿齿轮42、安装于输入轴35的外周侧的波动轴承43。另外,减速器31具备保持轴承33及磁性流体密封件34的壳体44。壳体44作为整体形成为大致圆筒状。壳体44的上端侧部分固定于前端部23的上表面部分。减速器31的除壳体44的上端侧部分和转动轴32的上端侧部分之外的部分配置于前端部23的内部。
轴承33是交叉滚子轴承。轴承33的外圈固定于壳体44的上端侧部分。轴承33的内圈固定于转动轴32。转动轴32由磁性材料形成。另外,转动轴32形成为中空状。在转动轴32的上端侧固定有堵塞转动轴32的内周侧的盖45。转动轴32固定于臂6的基端侧。具体而言,转动轴32的上端固定于臂6的基端侧的下表面部。
磁性流体密封件34具备多个磁铁、以将多个磁铁分别在上下方向夹持的方式配置的圆环状的极片、保持于极片的内周面与转动轴32的外周面之间的磁性流体。磁性流体密封件34的磁铁及极片固定于壳体44的上端侧部分的内周面。磁性流体密封件34配置于轴承33的上侧。另外,磁性流体密封件34配置于比臂6的上表面靠上侧的位置。
输入轴35形成为中空状。输入轴35经由轴承可旋转地支承于壳体44的下端侧部分。在输入轴35上形成有从上下方向观察时的外周面的形状为椭圆形状的椭圆部。刚性齿圈41固定于壳体44的下端侧部分。在刚性齿圈41的内周面形成有内齿。挠性外齿齿轮42的上端侧部分固定于转动轴32的下端。在挠性外齿齿轮42的下端侧部分的外周面形成有与刚性齿圈41的内齿啮合的外齿。挠性外齿齿轮42相对于输入轴35可相对旋转。
波动轴承43是具备挠性的内圈及外圈的球轴承。该波动轴承43沿着输入轴35的椭圆部的外周面配置,并以椭圆状挠曲。挠性外齿齿轮42的形成外齿的下端侧部分以包围波动轴承43的方式配置于波动轴承43的外周侧,该部分以椭圆状挠曲。挠性外齿齿轮42的外齿在以椭圆状挠曲的挠性外齿齿轮42的下端侧部分的长轴方向的两处与刚性齿圈41的内齿啮合。
电动机30固定于前端部23。另外,电动机30被配置于前端部23的内部,并且配置于比减速器31靠连接部25侧的位置。在电动机30的输出轴上固定有带轮46。带轮36固定于输入轴35的下端。带47挂设在带轮36和带轮46上。带47为橡胶制的带。带轮36、46及带47配置于前端部23的内部。
在臂6的基端侧的内部固定有可转动地支承带轮37的支承轴50。支承轴50形成为下端具有突缘部50a的带突缘的圆筒状,突缘部50a固定于臂6的基端侧的下表面部。即,支承轴50从臂6的下表面部立起。另外,支承轴50固定为使支承轴50的轴心和转动轴32的轴心一致。在本方式中,利用共同的螺丝51将转动轴32和支承轴50固定于臂6的基端侧的下表面部。
带轮37经由轴承由支承轴50可转动地支承。另外,带轮37固定于共同臂8。具体而言,带轮37经由固定部件53固定于前端部23。即,带轮37经由固定部件53固定于共同臂8的一前端侧。固定部件53由固定于共同臂8的一前端的侧面部53a和固定于侧面部53a的上端的上表面部53b构成。上表面部53b配置于臂6的基端侧部分的上侧。如图5所示,在臂6的基端侧的上表面部分,形成有配置带轮37的上端侧部分的开口部6a。带轮37的上端固定于上表面部53b。带轮37的上端面与上表面部53b的下表面接触。
在臂6的前端侧的内部固定有可转动地支承带轮38的支承轴58。支承轴58从臂6的前端侧的下表面部立起。带轮38经由轴承由支承轴58可转动地支承。另外,手4的基端侧固定在带轮38的上端。带60挂设在带轮37和带轮38上。在本方式中,将以在带轮37、38的轴向(即上下方向)上重叠的方式配置的两条带60挂设于带轮37和带轮38上。
带60是钢板制的钢带。该带60形成为细长的带状。带60的宽度(上下方向的宽度)为50(mm)左右。形成为细长的带状的带60的长边方向的中心部分通过螺丝61固定于带轮37上(参照图7的(A)、图7的(B))。
另外,驱动机构18具备调节两条带60的张力的张力调节机构62(参照图7的(C))。本方式的驱动机构18具备调节两条带60各自的张力的两个张力调节机构62。两个张力调节机构62配置为在上下方向上重叠。张力调节机构62具备固定于带轮38并且分别固定带60的两端部的两个带端部固定部件63、用于调节带轮38的周向上的两个带端部固定部件63的距离的螺栓64及螺母65。
带端部固定部件63具备在带轮38的径向上配置于带60的外侧的带固定部63a、从带轮38的周向上的带固定部63a的端部向带轮38的径向外侧立起的螺栓保持部63b。两个带端部固定部件63配置为螺栓保持部63b彼此在带轮38的周向上对置。带60的端部通过螺丝66固定于带固定部63a。在螺栓保持部63b形成有插通螺栓64的轴部的插通孔。
带端部固定部件63通过螺丝67固定于带轮38。带60的张力通过螺栓64向螺母65的拧入量来调节。即,带60的张力通过带轮38的周向上的两个螺栓保持部63b的距离来调节。带端部固定部件63在调节了带60的张力后,通过螺丝67固定于带轮38上。此外,在带60及带固定部63a上形成有以带轮38的周向为长边方向的长孔,螺丝67插通于该长孔中。
驱动机构19与驱动机构18大致同样地构成。因此,在以下的驱动机构19的说明中,主要说明驱动机构18和驱动机构19的不同点。驱动机构19具备使手5相对于臂7转动并且使臂7相对于共同臂8转动的电动机30和与电动机30连接的减速器31。另外,驱动机构19具备固定于减速器31的输入轴35上的带轮36、配置于臂7的基端侧的内部的作为第一带轮的带轮37、配置于臂7的前端侧的内部的作为第二带轮的带轮78。在本方式中,将带轮37的节圆直径和带轮38的节圆直径之比设定为1:2,以使手5在朝向恒定方向的状态下直线移动。
驱动机构19的减速器31配置于关节部17。在驱动机构19中,减速器31的壳体44的上端侧部分固定于前端部24的上表面部分。另外,在驱动机构19中,减速器31的除壳体44的上端侧部分和转动轴32的上端侧部分之外的部分配置于前端部24的内部。另外,磁性流体密封件34配置于比臂7的上表面靠上侧的位置。
在驱动机构19中,形成为中空状的第二转动轴79的下端固定在转动轴32的上端。第二转动轴79固定于转动轴32并使转动轴32的轴心和第二转动轴79的轴心一致。第二转动轴79的上端固定于臂7的基端侧的下表面部。即,转动轴32经由第二转动轴79固定于臂7的基端侧。此外,转动轴32和第二转动轴79也可以一体地形成。
另外,在驱动机构19中,电动机30固定于前端部24。电动机30配置于前端部24的内部,并且配置于比减速器31靠连接部26侧的位置。另外,在驱动机构19中,带轮36、46及带47配置于前端部24的内部。
可转动地支承带轮37的支承轴50固定在臂7的基端侧的内部。具体而言,支承轴50的突缘部50a固定于臂7的基端侧的下表面部。另外,支承轴50被固定为支承轴50的轴心、第二转动轴79的轴心以及转动轴32的轴心一致。在本方式中,通过共同的螺丝51将第二转动轴79和支承轴50固定于臂7的基端侧的下表面部。
配置于臂7的基端侧的内部的带轮37固定于共同臂8。具体而言,该带轮37经由固定部件83固定于前端部。即,该带轮37经由固定部件83固定于共同臂8的另一前端侧。固定部件83由固定于共同臂8的另一前端的侧面部83a和固定于侧面部83a的上端的上表面部83b构成。上表面部83b配置于臂7的基端侧部分的上侧。如图6所示,在臂7的基端侧的上表面部分,形成有配置带轮37的上端侧部分的开口部7a。带轮37的上端固定于上表面部83b。带轮37的上端面与上表面部83b的下表面接触。
在臂7的前端侧的内部形成有可转动地支承带轮78的圆筒状的支承轴部7b。支承轴部7b从臂7的前端侧的下表面部立起。带轮78经由轴承由支承轴部7b可转动地支承。另外,手5的基端侧固定在带轮78的下端。以在上下方向上重叠的方式配置的两条带60挂设在带轮37和带轮78上。
另外,驱动机构19与驱动机构18同样,具备调节两条带60各自的张力的两个张力调节机构62。在驱动机构19中,带60的张力通过螺栓64向螺母65的拧入量进行调节,带端部固定部件63在调节了带60的张力后,通过螺丝67固定于带轮78。
(本方式的主要效果)
如以上所说明,在本方式中,在带轮37和带轮38上挂设有以在上下方向上重叠的方式配置的两条带60,在带轮37和带轮78上挂设有以在上下方向上重叠的方式配置的两条带60。因此,在本方式中,即使装载于手4、5的基板2的重量变重,也能够使一条带60的宽度较窄。
因此,在本方式中,能够抑制通过张力调节机构62调节的带60的宽度方向的中心部(上下方向的中心部)的张力和带60的宽度方向的端部(上下方向的两端部)的张力的差异,能够抑制作用于带60的上下方向的中心部的负荷和作用于带60的上下方向的两端部的负荷的差异。其结果是,在本方式中,即使基板2的重量变重,也能够防止带60的断裂。
另外,在本方式中,由于在上下方向上重叠的两条带60挂设于带轮37、38及带轮37、78上,因此,即使万一一条带60断裂,也能够利用剩余的一条带60防止手4、5相对于臂6、7的晃动。
在本方式中,带60是钢带。因此,在本方式中,与带60为橡胶制的带的情况相比,能够抑制来自带60的扬尘。此外,在带60为钢带的情况下,与带60为橡胶制的带的情况相比,当带60的宽度加宽时,带60的宽度方向的中心部的张力和带60的宽度方向的端部的张力容易产生大的差异。但是,在本方式中,因为能够使一条带60的宽度较窄,所以即使带60是钢带,也能够抑制通过张力调节机构62调节的带60的宽度方向的中心部的张力和带60的宽度方向的端部的张力的差异。
在本方式中,两条带60各自的张力通过两个张力调节机构62分别进行调节。因此,在本方式中,即使将在上下方向上重叠的两条带60挂设于带轮37、38及带轮37、78,也能够调节两条带60各自的张力,以使两条带60各自的张力成为适当的张力。
(其它实施方式)
上述的方式是本发明的最佳方式的一个例子,但不限于此,在不变更本发明的宗旨的范围内可以进行各种变形实施。
在上述的方式中,驱动机构18、19具备调节两条带60各自的张力的两个张力调节机构62,但驱动机构18、19也可以具备一起调节两条带60的张力的一个张力调节机构62。另外,在上述的方式中,带60是钢带,但带60也可以是橡胶制的带。该情况下,例如,带60是形成为环状的环带,张力调节机构62具备用于调节带60的张力的张力带轮。而且,在上述的方式中,在带轮37、38及带轮37、78上挂设有两条带60,但也可以在带轮37、38及带轮37、78上挂设三条以上的带60。
在上述的方式中,将在上下方向上重叠的两条带60配置于臂6、7的内部,但也可以将在上下方向上重叠的两条带60配置于共同臂8的内部。另外,在上述的方式中,在手4和共同臂8之间配置有一个臂6,在手5和共同臂8之间配置有一个臂7,但也可以在手4、5和共同臂8之间配置两个以上的臂。另外,在上述的方式中,共同臂8形成为大致V形状,但共同臂8也可以形成为直线状。
在上述的方式中,机器人1具备可转动地连接两条臂6、7的共同臂8,但机器人1也可以具备前端侧可转动地连接一个臂6或臂7并且基端侧可转动地连接于本体部9的臂来代替共同臂8。另外,在上述的方式中,机器人1在真空中搬运基板2,但机器人1也可以在大气中搬运基板2。另外,在上述的方式中,由机器人1搬运的搬运对象是液晶显示器用的玻璃基板,但由机器人1搬运的搬运对象也可以是有机EL(有机电致发光)显示器用的玻璃基板,也可以是半导体晶圆等。
附图标记说明
1 机器人(工业用机器人)
2 基板(玻璃基板、搬运对象)
4、5 手
6、7 臂(第二臂)
8 共同臂(第一臂)
9 本体部
37 带轮(第一带轮)
38、78 带轮(第二带轮)
60 带
62 张力调节机构。

Claims (5)

1.一种工业用机器人,其搬运搬运对象,其特征在于,具备:
形成为中空状的臂;
配置于所述臂的内部的两个带轮;
以在所述带轮的轴向上重叠的方式配置且挂设于两个所述带轮上的多个带;以及
调节多个所述带的张力的张力调节机构。
2.根据权利要求1所述的工业用机器人,其特征在于,具备:
装载所述搬运对象的手;
在前端侧能转动地连接所述手的作为所述臂的第二臂;
在前端侧能转动地连接所述第二臂的基端侧的第一臂;以及
能转动地连接所述第一臂的本体部,
并且,作为两个所述带轮,具备配置于所述第二臂的基端侧的内部的第一带轮和配置于所述第二臂的前端侧的内部的第二带轮,
所述第一带轮固定于所述第一臂的前端侧,
所述第二带轮固定于所述手上。
3.根据权利要求1或2所述的工业用机器人,其特征在于,
具备调节多个所述带各自的张力的多个所述张力调节机构。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的工业用机器人,其特征在于,
在两个所述带轮上挂设有两条所述带。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的工业用机器人,其特征在于,
所述带为钢板制的钢带。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111706647A (zh) * 2020-03-18 2020-09-25 北京理工大学 钢带传动机构

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7113167B2 (ja) * 2018-02-26 2022-08-05 パナソニックIpマネジメント株式会社 部品供給装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11277467A (ja) * 1998-03-25 1999-10-12 Mecs Corp 薄型基板搬送ロボット
JPH11280864A (ja) * 1998-03-30 1999-10-15 Toyota Autom Loom Works Ltd 動力伝達機構
JP2006102866A (ja) * 2004-10-05 2006-04-20 Yaskawa Electric Corp マスタスレーブマニピュレータの制御装置
JP2008223974A (ja) * 2007-03-15 2008-09-25 Yaskawa Electric Corp ベルト伝動装置及びそれを備えたロボット
CN102985231A (zh) * 2010-07-14 2013-03-20 日本电产三协株式会社 工业用机器人、工业用机器人的控制方法及工业用机器人的指示方法
CN104802162A (zh) * 2014-01-29 2015-07-29 日本电产三协株式会社 工业用机器人

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003025271A (ja) * 2001-07-16 2003-01-29 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd ロボット制御装置
JP5177706B2 (ja) * 2010-07-15 2013-04-10 村田機械株式会社 ダブルスカラーアーム
JP5959221B2 (ja) 2011-11-16 2016-08-02 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11277467A (ja) * 1998-03-25 1999-10-12 Mecs Corp 薄型基板搬送ロボット
JPH11280864A (ja) * 1998-03-30 1999-10-15 Toyota Autom Loom Works Ltd 動力伝達機構
JP2006102866A (ja) * 2004-10-05 2006-04-20 Yaskawa Electric Corp マスタスレーブマニピュレータの制御装置
JP2008223974A (ja) * 2007-03-15 2008-09-25 Yaskawa Electric Corp ベルト伝動装置及びそれを備えたロボット
CN102985231A (zh) * 2010-07-14 2013-03-20 日本电产三协株式会社 工业用机器人、工业用机器人的控制方法及工业用机器人的指示方法
CN104802162A (zh) * 2014-01-29 2015-07-29 日本电产三协株式会社 工业用机器人

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111706647A (zh) * 2020-03-18 2020-09-25 北京理工大学 钢带传动机构
CN111706647B (zh) * 2020-03-18 2022-06-07 北京理工大学 钢带传动机构

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