JPH11280864A - 動力伝達機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は動力伝達機構に関し、動力伝達機構
の大型化を防止し、塵の発生をなくし、ステンレスベル
トの寿命を長くすると共に、振動が発生することのない
動力伝達機構を提供するものである。 【解決手段】 駆動プーリ１３と従動プーリ１４間に２
本のステンレスベルト１５ａ、１５ｂを設置し、一方の
ステンレスベルト１５ａは一端が調整金具を介して駆動
プーリ１３に固定され、他端が従動プーリ１４に固定さ
れている。また、他方のステンレスベルト１５ｂも一端
が調整金具を介して駆動プーリ１３に取り付けられ、他
端が従動プーリ１４に固定されている。また、上記２個
の調整金具間には張力調整ねじ２６が設けられ、この張
力調整ねじ２６を調整することにより、ステンレスベル
ト１５ａ、１５ｂの張力を適切に設定し、例えばモータ
の回転力を伝達する。しかも、本発明は例えばテンショ
ンプーリ等の他のプーリを使用することなく、適切な張
力のステンレスベルトを使用して動力伝達機構を構成す
るものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ステンレスベルト
等のベルトを用いた動力伝達機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造に使用するウエハ等の
加工や搬送は、塵の少ないクリーンな環境で行う必要が
ある。また、半導体装置の製造には蒸着処理やエッチン
グ処理等において、真空処理室が利用される。しかも、
半導体の製造工程は多く、ウエハを多数回真空処理室に
出し入れする必要がある。このため、ウエハの加工を効
率よく行う目的で、予備真空室を設け、この予備真空室
からロボットアームを用い、各真空処理室との間でウエ
ハ等の出し入れを行っている。

【０００３】図９は上述のようなロボットアームの駆動
に使用されるステンレスベルトを用いた動力伝達機構で
ある。同図において、１は駆動プーリであり、２は従動
プーリであり、両プーリ１、２間にはステンレスベルト
３が掛け渡されている。また、駆動プーリ１と従動プー
リ２間にはテンションプーリ４が設けられ、このテンシ
ョンプーリ４を矢印方向に一定の圧力で押しつけること
によってステンレスベルト３に一定の張力を加えてい
る。

【０００４】上記動力伝達機構は、駆動プーリ１を回転
軸１ａを中心に回転させることによって、ステンレスベ
ルト３を介して回転力が従動プーリ２に伝達され、従動
プーリ２の不図示の回転軸に固設された、例えばウエハ
載置台を移動するものである（以下、上記従来例を
（イ）という）。

【０００５】一方、従来ロボットアームの駆動に使用さ
れるベルト形式の動力伝達機構において、ベルトの張力
調整に調整棒を使用する提案もある。特開平７−１２２
６２０の発明である。この発明は、スチールベルトの端
部にステンレス性の調整棒を取り付け、該調整棒の両端
を相互に逆方向にネジ切し、対応するネジ螺合部材に螺
合して掛け渡すことにより、この調整棒を適宜回転させ
てスチールベルトの張力を調整する構成である（以下、
上記従来例を（ロ）という）。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の動力伝達機
構では以下の問題が発生する。先ず、（イ）の機構で
は、駆動プーリ１と従動プーリ２間にテンションプーリ
４を使用するため、動力伝達機構が大型化する。また、
後述する逆曲げによるステンレスベルト３の寿命低下を
防ぐため、テンションプーリ４を大きく構成する必要も
あり、動力伝達機構の大型化の更なる原因となる。

【０００７】また、テンションプーリ４の使用により、
テンションプーリ４を駆動するためのベアリングやシャ
フト、バネ部材が必要になり、特にベアリングの数が増
加することでより多くの塵が発生し、クリーンルームの
使用に不利となる。

【０００８】さらに、テンションプーリ４を使用するこ
とによって、ステンレスベルト３には駆動プーリ１や従
動プーリ２に巻装する場合の曲げ方向と逆の曲げ（いわ
ゆる逆曲げ）が発生し、ステンレスベルト３の寿命を短
くする。

【０００９】一方、（ロ）の機構では、調整棒を回転さ
せるため両側のスチールベルトの平行が出しにくく、捻
れ易くなる。この捻れはスチールベルトの寿命に悪影響
を及ぼす。

【００１０】また、ベルトの途中に重い調整棒が使用さ
れるため、ベルトの振動の原因となり、特にこの振動は
アーム従動側の振動につながる。さらに、動力伝達機構
がケースに収納される場合、調整棒を操作するための大
きな開口が必要になり、また、スチールベルトを掛け渡
したプーリ間の距離が充分ではない時、調整棒がプーリ
に当たる危険があり、プーリ回動角度を大きくとれな
い。

【００１１】本発明は上記課題に鑑み、動力伝達機構の
大型化を防止し、塵の発生を低減し、ベルトの寿命を長
くすると共に、振動が発生することのない動力伝達機構
を提供するものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は上
記課題を解決するため、駆動プーリと、従動プーリと、
前記駆動プーリと従動プーリ間に設けられたベルトより
成る動力伝達機構において、前記ベルトは第１、第２の
ベルトから成り、前記第１のベルトは一端が第１の調整
ブロックを介して前記駆動プーリに取り付けられ、他端
が前記従動プーリに取り付けられ、前記第２のベルトは
一端が第２の調整ブロックを介して前記駆動プーリに取
り付けられ、他端が前記従動プーリに取り付けられ、前
記第１の調整ブロックと前記第２の調整ブロック間には
張力調整ねじが設けられ、該張力調整ねじを調整するこ
とによって、前記第１の調整ブロックと前記第２の調整
ブロック間の距離を調整する動力伝達機構を提供するこ
とによって達成できる。

【００１３】ここで、上記駆動プーリにはモータ等の駆
動機構から回転力が伝達され、駆動プーリを回転させ
る。この駆動プーリの回転力は、例えばステンレスベル
ト等で構成されるベルトを介して従動プーリに伝達さ
れ、この従動プーリの回転に従ってウエハの載った例え
ばエンドエフェクタを駆動する。

【００１４】本発明は、上記駆動プーリと従動プーリ間
に張設された２本のベルトの端部に固設された第１、第
２の調整ブロック間に張力調整ねじを設け、この張力調
整ねじを調整することによって、上記第１、第２の調整
ブロック間の距離を調整し、駆動プーリと従動プーリ間
に張設されたベルトの張力を適切に設定するものであ
る。

【００１５】請求項２記載の発明は上記課題を解決する
ため、駆動プーリと、従動プーリと、前記駆動プーリと
従動プーリ間に設けられたベルトより成る動力伝達機構
において、前記駆動プーリは第１、第２の駆動プーリか
ら成り、前記ベルトは第１、第２の２本のベルトから成
り、前記第１のベルトは一端が前記第１の駆動プーリに
取り付けられ、他端が前記従動プーリに取り付けられ、
前記第２のベルトは一端が前記第２の駆動プーリに取り
付けられ、他端が前記従動プーリに取り付けられ、前記
第１の駆動プーリと前記第２の駆動プーリ間には張力調
整ねじが設けられ、該張力調整ねじを調整することによ
って、前記第１の駆動プーリに対して第２の駆動プーリ
の位置を調整する動力伝達機構を提供することによって
達成できる。

【００１６】本発明は、上記第１、第２の駆動プーリの
周方向に対する配設位置を張力調整ねじを調整すること
によって調整し、例えば第１の駆動プーリに対して第２
の駆動プーリの周方向の位置をずらし、ベルトの張力を
適切に設定するものである。

【００１７】請求項３記載の発明は上記課題を解決する
ため、駆動プーリと、従動プーリと、前記駆動プーリと
従動プーリ間に設けられたベルトとより成る動力伝達機
構において、前記ベルトは一端が第１の調整ブロックを
介して前記駆動プーリに取り付けられ、他端は第２の調
整ブロックを介して前記駆動プーリに取り付けられ、前
記従動プーリには前記ベルトが掛け渡され、前記第１の
調整ブロックと前記第２の調整ブロック間には張力調整
ねじが設けられ、該張力調整ねじを調整することによっ
て、前記第１の調整ブロックと前記第２の調整ブロック
間の距離を調整する動力伝達機構を提供することによっ
て達成できる。

【００１８】本発明は、上記駆動プーリと従動プーリ間
に張設された１本のベルト、例えばステンレスベルトに
よって構成され、このベルトの両端を第１又は第２の調
整ブロックを介して駆動プーリに取り付け、第１の調整
ブロックと第２の調整ブロック間の距離を張力調整ねじ
で調節することによって、ステンレスベルトの張力を適
切に設定するものである。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態例につい
て、図面を参照して詳細に説明する。 ＜第１実施形態例＞図２は本実施形態例の動力伝達機構
が適用されるシステムの構成図である。本システムはロ
ボットアーム５を収納する予備真空室６と、予備真空室
６の周りに仕切を介して配設された真空室７ａ〜７ｄ
と、加減圧室８ａ、８ｂで構成されている。ロボットア
ーム５は矢印ａ方向に回転可能に構成され、ロボットア
ーム５のエンドエフェクタ９を矢印ｂ方向の駆動するこ
とによって、エンドエフェクタ９に載置されたウエハ１
０を真空室７ａ（７ｂ〜７ｄ）に出し入れする。

【００２０】尚、加減圧室８ａ、８ｂはウエハを予備真
空室６に搬入する際減圧し、真空状態に設定した後ウエ
ハ１０を予備真空室６に搬入し、またウエハ１０を外部
に搬出する際加圧する室である。また、８ｃは加減圧室
８ａ又は８ｂと外部間でウエハ１０の出し入れを行う機
構である。

【００２１】図３は、上述のロボットアーム５の構成を
説明する図である。ロボットアーム５は、同図に示すよ
うに第１アーム１１、第２アーム１２、エンドエフェク
タ９の多関節アームで構成されている。第１アーム１１
は駆動プーリ１３、従動プーリ１４、ベルトとしてのス
テンレスベルト１５で構成され、これらはアームケース
１６に収納されている。また、第２アーム１２も不図示
のプーリと、ステンレス性のベルトで構成され、これら
もアームケース１７に収納されている。さらに、エンド
エフェクタ９は前述の不図示のプーリに回動自在に取り
付けられている。

【００２２】図１は、上述のアームケース１６内の駆動
プーリ１３、従動プーリ１４、及びステンレスベルト１
５で構成される動力伝達機構の構成図である。また、同
図（ａ）はその平面図であり、同図（ｂ）はその正面図
であり、同図（ｃ）はその右側面図である。駆動プーリ
１３は例えば直径１２０ｍｍの金属プーリで形成され、
従動プーリ１４は例えば直径６０ｍｍの金属プーリで形
成されている。また、ステンレスベルト１５は本実施形
態例では例えば厚さ０.１ｍｍで形成され、同図（ｂ）
に示すように、上下２枚の第１及び第２のベルトとして
のステンレスベルト１５ａ、１５ｂで構成されている。

【００２３】例えば、上側のステンレスベルト１５ａは
一端を第１の調整ブロックとしての調整金具２１に溶接
され、他端を金具２２に溶接され、また調整金具２１は
ねじ２１ｃ、２１ｄによって該ステンレスベルト１５ａ
の一端が駆動プーリ１３の周面に位置するように取り付
けられ、金具２２はねじ２２ａ、２２ｂによって従動プ
ーリ１４の周面に取り付けられている。一方、下側のス
テンレスベルト１５ｂは一端を第２の調整ブロックとし
ての調整金具２３に溶接され、他端を金具２４に溶接さ
れ、また調整金具２３はねじ２３ｃ、２３ｄによって該
ステンレスベルト１５ｂの一端が駆動プーリ１３の周面
に位置するように取り付けられ、金具２４はねじ２４
ａ、２４ｂによって従動プーリ１４の周面に取り付けら
れている。

【００２４】尚、ねじ２１ａ、２１ｂ、ねじ２３ａ、２
３ｂ、は各々ステンレスベルト１５ａ、１５ｂを調整金
具２１、２３に固定するためのものであり、プーリ１３
への固定には関与しない。又、本実施例では両ステンレ
スベルト１５ａ、１５ｂの一端を調整金具２１、２３に
各々溶接しているが、前記ねじ２１ａ、２１ｂ、２３
ａ、２３ｂはこれを補強するためのものである。従っ
て、ステンレスベルト１５ａ、１５ｂの調整金具２１、
２３への溶接強度が十分であれば、ねじ２１ａ、２１
ｂ、２３ａ、２３ｂは省略しても良い。或いは溶接を省
略し、該ねじ２１ａ、２１ｂ、２３ａ、２３ｂのみで調
整金具２１、２３へ固定してもよい。

【００２５】ここで、図４（ａ）は駆動プーリ１３側の
拡大図であり、上述の調整金具２１と２３間には張力調
整ねじ２６が介装されている。この張力調整ねじ２６に
はその両側に立設された凸部２６ａ、２６ｂにねじが切
られており、調整金具２１及び２３に設けられたネジ穴
２１’、２３’に張力調整ねじ２６の凸部２６ａ、２６
ｂをねじ込むことによって介装されている。また、凸部
２６ａ、２６ｂに形成されたねじは逆方向に形成されて
おり、凸部２６ａ、２６ｂのねじ込みの深さを調整する
ことによって調整金具２１と２３間の距離を調整する。
尚、本実施形態例ではこの張力調整ねじ２６（凸部２６
ａ、２６ｂ）のネジ込みの深さの調整は、張力調整ねじ
２６の周面に形成された一定間隔の孔２６ｃを利用し、
例えば棒状工具の先端を該孔２６ｃに挿入した上で該棒
状工具の他端を操作し、張力調整ねじ２６を回転させる
ことによって行う。

【００２６】また、調整金具２３側に形成された穴２３
ｅは長穴で形成されているため、ねじ２３ｃ、２３ｄを
緩めれば調整金具２３は駆動プーリに対してスライド可
能となるので、この状態で張力調整ねじ２６によって調
整金具２３の位置を設定した後、上述の長穴２３ｅを介
してねじ２３ｃ、２３ｄを締着する。以上の作業を行う
ことによって、調整金具２１と２３間の間隔を張力調整
ねじ２６で調整し、ステンレスベルト１５ａ、１５ｂの
張力調整を行うことができる。

【００２７】以上のようにして、張力調整ねじ２６によ
ってステンレスベルト１５ａ、１５ｂの張力が調整さ
れ、両プーリ１３、１４間に所定の張力を有する状態で
ステンレスベルト１５ａ、１５ｂが掛け渡された動力伝
達機構は、本実施形態例では図４に示す状態を中位の状
態として、時計方向、反時計方向に６０度まで回転可能
である。すなわち、同図に示す＋６０度〜−６０度まで
回転可能に構成されている。

【００２８】例えば、図４に示す状態から駆動プーリ１
３を＋６０度回転すると調整金具２１、２３は２１Ｌ、
２３Ｌで示す位置に達し、−６０度回転すると調整金具
２１、２３は２１Ｌ’、２３Ｌ’の位置に達する。ロボ
ットアーム５が真空処理室７ａ等にウエハ１０を出し入
れする際には、駆動プーリ１３を上述の＋６０度〜−６
０間で回転駆動し、ウエハ１０の出し入れを行う。

【００２９】尚、前述のように従動プーリ１４の直径は
駆動プーリ１３の半分であるため、本例では駆動プーリ
１３が＋６０度〜−６０度まで回転移動する時、従動プ
ーリ１４は＋１２０度〜−１２０度の回転移動を行う。

【００３０】図５は、上述の従動プーリ１４の回転を説
明する図である。例えば、駆動プーリ１３が−６０度ま
で回動した時、金具２２は２２’の位置まで移動し、金
具２４は２４’の位置まで移動する。一方、駆動プーリ
１３が＋６０度まで回動した時、金具２２は２２”の位
置まで移動し、金具２４は２４”の位置まで移動する。

【００３１】図６（ａ）〜（ｆ）は、上述の駆動プーリ
１３の回転角に対するロボットアーム５の動作状態を説
明する図である。先ず、図６（ａ）は前述の図３に示す
状態であり、この状態において駆動プーリ１３は−６０
度の位置にあり、この時調整金具２１、２３の位置は図
４に示す２１Ｌ’、２３Ｌ’の位置にある。尚、図６
（ａ）には、駆動プーリ１３の位置を一点鎖線で示す線
から５５度の角度を有して示しているが、駆動プーリ１
３の中位の位置は図６（ｃ）に示すように駆動プーリ１
３が５度傾いた位置であるためである。

【００３２】次に、この状態から不図示のモータを駆動
し、駆動プーリ１３を反時計回りに回動すると、駆動プ
ーリ１３は図４に示す矢印ｈ方向（図１、図４参照）に
回動し、この回転力はステンレスベルト１５ａ、１５ｂ
によって従動プーリ１４に伝達され、従動プーリ１４を
ｈ’方向（図１参照）に回動する。この従動プーリ１４
の回動によって第２アーム１２を駆動し、エンドエフェ
クタ９を矢印ｈ”方向（図６参照）に移動し、ロボット
アーム５を図６（ｂ）に示す状態とする。

【００３３】次に、駆動プーリ１３を回動し、例えば駆
動プーリ１３が中位の位置に達すると、ロボットアーム
５は図６（ｃ）に示す位置となる。この位置は上述のよ
うに、一点鎖線で示す線から５度傾いた状態である。

【００３４】さらに、駆動プーリ１３を回動すると、図
６（ｄ）→（ｅ）→（ｆ）と順次移動し、この間エンド
エフェクタ９は図６の左方向に延び、エンドエフェクタ
９上に載置されたウエハ１０を例えば真空処理室７ａに
移動する。尚、この状態では駆動プーリ１３は図４の＋
６０度の位置であり、この時調整金具２１、２３は、２
１Ｌ、２３Ｌの位置にある。上述の状態においてウエハ
１０を、例えば真空処理室７ａに置く。

【００３５】一方、真空処理室７ａにあるウエハ１０を
取り出す場合には、図６（ｆ）の状態から駆動プーリ１
３を矢印ｇ方向に回動するので、この回転力をステンレ
スベルト１５ａ、１５ｂを介して従動プーリ１４に伝達
し、従動プーリ１４をｇ’方向に回動する。この従動プ
ーリ１４の回動によってエンドエフェクタ９は矢印ｇ”
方向に移動し、図６（ｅ）の状態となる。

【００３６】さらに、駆動プーリ１３を矢印ｇ方向に回
動すると、前述とは逆に図６（ｄ）→（ｃ）→（ｂ）と
移動し、最後に前述の図６（ａ）の状態に戻る。したが
って、以上の処理を繰り返すことによって、エンドエフ
ェクタ９に載せたウエハ１０を真空処理室７ａに搬送
し、また真空処理室７ａ内のウエハ１０を搬出すること
ができる。しかも、本例で使用する動力伝達機構はステ
ンレスベルト１５ａ、１５ｂの張力調整に張力調整ねじ
２６を使用し、従来例の場合に比べて塵の発生が少な
く、またベルトの捻れやベルトの振動も発生しない。 ＜第２実施形態例＞次に、本発明の第２実施形態例を説
明する。

【００３７】図７は本例の動力伝達機構を説明する図で
あり、前述の図１に対応する図である。尚、図７（ａ）
は本例の動力伝達機構の平面図であり、同図（ｂ）はそ
の正面図であり、同図（ｃ）はその右側面図である。本
例においても、上側のステンレスベルト１５ａと下側の
ステンレスベルト１５ｂの２本のステンレスベルトで構
成され、２本のステンレスベルト１５ａと１５ｂが駆動
プーリ１３と従動プーリ１４間に張設されている。ま
た、張力調整ねじ３０が使用される点も第１実施形態例
と同じである。但し、本例が前述の第１実施形態例と異
なる構成は、駆動プーリ１３が上下２枚の駆動プーリで
構成され、例えば第１の駆動プーリとしての上側の駆動
プーリ１３ａにはステンレスベルト１５ａの一端がねじ
３１によって取り付けられ、他端を前述の実施形態例と
同様の金具２２に溶接されている。また、第２の駆動プ
ーリとしての下側の駆動プーリ１３ｂにはステンレスベ
ルト１５ｂの一端がねじ３２によって取り付けられ、他
端を前述の実施形態例と同様の金具２４に溶接されてい
る。尚、上側のステンレスベルト１５ａの他端が溶接さ
れた金具２２は前述の実施形態例と同様、ねじ２２ａ、
２２ｂによって従動プーリ１４の周面に取り付けられ、
下側のステンレスベルト１５ｂの他端が溶接された金具
２４は、ねじ２４ａ、２４ｂによって従動プーリ１４の
周面に取り付けられている。

【００３８】また、上側の駆動プーリ１３ａには４個の
長穴３３ａ〜３３ｄが周方向に等間隔で形成され、また
下側の駆動プーリ１３ｂには対応する位置にねじ切りさ
れた不図示のねじ穴が形成されている。そして、上下の
駆動プーリ１３ａ、１３ｂを固定する際、例えば下側の
駆動プーリ１３ｂに対して上側の駆動プーリ１３ａを回
転させながらステンレスベルト１５ａ、１５ｂを所定の
張力に設定し、ねじ３４ａ〜３４ｄで固定する。

【００３９】ここで、本例で使用する張力調整ねじ３０
は、頭部３０ａと調整部３０ｂとネジ部３０ｃで構成さ
れている。頭部３０ａは半球面であり、その球面部が上
述の駆動プーリ１３ｂの一側端面に当接する。また、ネ
ジ部３０ｃは上述の駆動プーリ１３ａの一側端部に形成
されたネジ穴１３ａ’に螺合し、調整部３０ｂを調整す
ることによってネジ部３０ｃのネジ穴１３ａ’に対する
深度を可変する。すなわち、調整部３０ｂの周面に設け
られた穴３０ｂ’に前述のような棒状工具の先端を挿入
し、調整部３０ｂを回動することによって深度を可変
し、駆動プーり１３ａと１３ｂの間隔Ｍを調整する。

【００４０】例えば、調整部３０ｂを右回りに回動する
ことによって上述の間隔Ｍを狭め、ステンレスベルト１
５ａ、１５ｂの張力を下げる。また、逆に調整部３０ｂ
を左回りに回動することによって間隔Ｍを広げ、ステン
レスベルト１５ａ、１５ｂの張力を上げる。このように
張力調整ねじ３０を調整することによって間隔Ｍを適切
に調整し、調整後駆動プーり１３ａと１３ｂを前述のね
じ３４ａ〜３４ｄで固定する。

【００４１】以上のように調整することによって、ステ
ンレスベルト１５ａ、１５ｂの張力を適切に設定でき、
前述の図６に示すようにエンドエフェクタ９上に載せた
ウエハ１０を真空処理室７ａに搬送し、また真空処理室
７ａ内のウエハ１０搬出することができる。しかも、本
例の場合にも動力伝達機構はステンレスベルト１５ａ、
１５ｂの張力調整に張力調整ねじ３０を使用し、従来に
比べて塵の発生が少なく、またベルトの捻れやベルトの
振動も発生しない。 ＜第３実施形態例＞次に、本発明の第３実施形態例を説
明する。

【００４２】図８は本例の動力伝達機構を説明する図で
あり、前述の図１、図７に対応する図である。本例は１
本のステンレスベルト３６によって動力伝達機構を構成
するものであり、図８（ａ）はその平面図であり、同図
（ｂ）はその正面図であり、同図（ｃ）はその右側面図
である。

【００４３】本例においては、ベルトとしてのステンレ
スベルト３６は一端を第１の調整ブロックとしての調整
金具３７に溶接され、他端を第２の調整ブロックとして
の調整金具３８に溶接されている。尚、ステンレスベル
ト３６の一端は上述の調整金具３７に溶接されると共に
固定を確実にするため、ねじ３７ａ、３７ｂによって締
着され、またステンレスベルト３６の他端も上述の調整
金具３８に溶接されると共に、ねじ３８ａ、３８ｂによ
って締着されている。

【００４４】また、調整金具３７はねじ３７ｃ、３７ｄ
によってステンレスベルト３６の一端が駆動プーリ１３
の周面に位置するように取り付けられ、調整金具３８は
ねじ３８ｃ、３８ｄによってステンレスベルト３６の他
端が駆動プーリ１３の周面に位置するように取り付けら
れている。

【００４５】また、張力調整ねじ３９は上述の調整金具
３７、３８間に設けられている。この張力調整ねじ３９
にはその両側に立設された凸部３９ａ、３９ｂにねじが
切られており、調整金具３７及び３８に設けられたねじ
穴３７’、３８’に上述の凸部３９ａ、３９ｂをねじ込
むことによって介装されている。また、張力調整ねじ３
９の両側に形成されたネジ切りは逆方向に形成されてお
り、前述の第１実施形態例と同様、張力調整ねじ３９の
ネジ込みの深さを変えることによって調整金具３７と３
８間の距離を調整し、ステンレスベルト３６の張力を調
節する。尚、本例の場合、ステンレスベルト３６と従動
プーリ１４は所定の張力を有して圧接し、従動プーリ１
４を回動する。

【００４６】以上のように調整することによって、１本
のステンレスベルト３６によって構成される動力伝達機
構において、ステンレスベルト３６の張力を適切に調整
し、図６に示すようにエンドエフェクタ９上に載せたウ
エハ１０を真空処理室７ａに搬送し、また真空処理室７
ａ内のウエハ１０搬出することができる。本例において
も、従来に比べて塵の発生が少なく、またベルトの捻れ
やベルトの振動も発生しない。

【００４７】張力調整ねじの形状は各実施例に限定はさ
れず、同様の作用が得られれば他の形状であってもよ
い。例えば、孔２６ｃを省略しても良いし、或いは、孔
の代わりに突起を設けてもよい。或いは、張力調整ねじ
の中央部分は、円盤状である必要は無く、例えば六角板
形状などであっても良い。

【００４８】ベルトの材質も、ステンレスに限定はされ
ず、他の金属は勿論、樹脂、ゴム等の他の材質を用いる
ことが可能である。又、種類も平ベルトに限定はされ
ず、Ｖベルト、タイミングベルト等の他の種類を用いる
ことが可能である。ベルトの形態に応じて、プーリの種
類も変更可能である。

【００４９】各実施例では、張力調整機構を駆動プーリ
側に設けているが、従動プーリ側に設けても良い。或い
は、両方のプーリに設けても良い。各実施例では、駆動
プーリが従動プーリよりも大きい場合について記述して
いるが、これに限定はされず、両プーリが同じ大きさで
あっても良いし、従動プーリの方が大きい場合に適用し
ても良い。

【００５０】プーリの回動角度は±６０°に限定はされ
ず、それ以上或いはそれ以下であっても良いし、±方向
に等角度である必要も無い。ベルトの、プーリ或いは調
整ブロックに対する固定方法は実施例に限定されず、他
の方法によっても良い。例えば、溶接等により直接固着
する方法であっても良いし、リベットや螺旋着する方法
であっても良いし、接着する方法であっても良い。或い
は、何れかの方法を組み合わせても良い。

【００５１】第１、第３実施形態においては、調整用長
穴を調整金具２３、３８にのみ設けたがこれには限定さ
れず、もう一方の調整金具２１、３７に設けても良い
し、或いは両方の調整金具に設けても良い。

【００５２】第２実施形態においては、調整用長穴を駆
動プーリ１３ａ側に設けたがこれには限定されず、長穴
を駆動プーリ１３ｂ側に設けても良い。本発明の動力伝
達機構は、半導体ウエハ用に限らず、ベルトを用いた同
様の機構であれば、他のあらゆる例にも適用可能であ
る。

【００５３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば動
力伝達機構を小型化することができる。

【００５４】また、塵の発生の少なく、ベルトの捻れや
ベルトの振動も発生しない。さらに、本発明は必ずしも
複数本のステンレスベルトを使用する必要はなく、１本
のステンレスベルトで構成することもできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態例を説明する動力伝達機構の構成
図である。

【図２】本発明の動力伝達機構が適用されるシステムを
説明する図である。

【図３】ロボットアームの動作説明図である。

【図４】駆動プーリの拡大図である。

【図５】従動プーリの拡大図である。

【図６】ロボットアームの動作説明図である。

【図７】第２実施形態例を説明する動力伝達機構の構成
図である。

【図８】第３実施形態例を説明する動力伝達機構の構成
図である。

【図９】従来例の動力伝達機構を説明する図である。

【符号の説明】

５ ロボットアーム ６ 予備真空室 ７ａ〜７ｄ 真空処理室 ８ａ、８ｂ 加減圧室 ９ エンドエフェクタ １０ ウエハ １１ 第１アーム １２ 第２アーム １３ 駆動プーリ １４ 従動プーリ １５ ステンレスベルト １５ａ 上側のステンレスベルト １５ｂ 下側のステンレスベルト １６、１７ アームケース ２１、２３、３７、３８ 調整金具 ２２、２４ 金具 ２１ａ〜２１ｄ、２２ａ、２２ｂ、２３ａ〜２３ｄ ね
じ ２６、３０、３９ 張力調整ねじ ２１’、２３’ ねじ穴 ２６ｃ 孔 ２３ｅ 長穴 ３３、３４ 長穴 ３３ａ、３３ｂ、３４ａ、３４ｂ、３７ａ、３７ｂ、３
８ａ、３８ｂ ねじ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 駆動プーリと、従動プーリと、前記駆動
   プーリと従動プーリ間に設けられたベルトより成る動力
   伝達機構において、 前記ベルトは第１、第２のベルトから成り、 前記第１のベルトは、一端が第１の調整ブロックを介し
   て前記駆動プーリに取り付けられ、他端が前記従動プー
   リに取り付けられ、 前記第２のベルトは、一端が第２の調整ブロックを介し
   て前記駆動プーリに取り付けられ、他端が前記従動プー
   リに取り付けられ、 前記第１の調整ブロックと前記第２の調整ブロック間に
   は張力調整ねじが設けられ、該張力調整ねじを調整する
   ことによって、前記第１の調整ブロックと前記第２の調
   整ブロック間の距離を調整することを特徴とする動力伝
   達機構。
2. 【請求項２】 駆動プーリと、従動プーリと、前記駆動
   プーリと従動プーリ間に設けられたベルトより成る動力
   伝達機構において、 前記駆動プーリは第１、第２の駆動プーリから成り、前
   記ベルトは第１、第２の２本のベルトから成り、 前記第１のベルトは、一端が前記第１の駆動プーリに取
   り付けられ、他端が前記従動プーリに取り付けられ、 前記第２のベルトは、一端が前記第２の駆動プーリに取
   り付けられ、他端が前記従動プーリに取り付けられ、 前記第１の駆動プーリと前記第２の駆動プーリ間には張
   力調整ねじが設けられ、該張力調整ねじを調整すること
   によって、前記第１の駆動プーリに対して第２の駆動プ
   ーリの位置を調整することを特徴とする動力伝達機構。
3. 【請求項３】 駆動プーリと、従動プーリと、前記駆動
   プーリと従動プーリ間に設けられたベルトとより成る動
   力伝達機構において、 前記ベルトは、一端が第１の調整ブロックを介して前記
   駆動プーリに取り付けられ、他端は第２の調整ブロック
   を介して前記駆動プーリに取り付けられ、 前記従動プーリには前記ベルトが掛け渡され、 前記第１の調整ブロックと前記第２の調整ブロック間に
   は張力調整ねじが設けられ、該張力調整ねじを調整する
   ことによって、前記第１の調整ブロックと前記第２の調
   整ブロック間の距離を調整することを特徴とする動力伝
   達機構。