KR20010054424A - 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼의 홀딩을 위하여 진공 흡착 또는 실린더와 모터 등을 사용하지 않는 새로운 형태의 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척을 제공한다. 이 웨이퍼 척은 웨이퍼 서포터, 스핀들 부재 그리고 복수개의 홀더들을 포함한다. 스핀들 부재는 웨이퍼 서포터를 회전시키기 위하여 웨이퍼 서포터와 연결된다. 복수개의 홀더들은 내측에 웨이퍼가 로딩되고, 스핀들 부재가 회전할 때 웨이퍼가 외측으로 이탈되지 않도록 한다. 이때, 홀더들은 스핀들 부재의 회전력에 의해서 웨이퍼의 반경 방향으로 힌지 운동되도록 웨이퍼 서포터에 결합되어, 웨이퍼 서포터가 회전되지 않을 때 웨이퍼로부터 이격되고, 웨이퍼 서포터가 회전될 때 힌지 운동되어 웨이퍼를 고정한다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 웨이퍼를 홀딩하기 위하여 별도의 장치들이 필요없다.

Description

웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척{WAFER CHUCK FOR SPINNING A WAFER}
본 발명은 웨이퍼 척에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 반도체 제조 공정 중에서 화학적 기계적 폴리싱(chemical mechanical polishing; CMP) 공정 후의 세정공정 등과 같이 웨이퍼를 스피닝시키면서 공정을 진행하는데 사용하기 위한 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척에 관한 것이다.
반도체 제조 공정은 다양한 방법이 적용되는 공정들을 사용하여 반도체 기판(semiconductor substrate), 유리 기판(glass substrate) 또는 액정 패널(liquid crystal panel) 등과 같은 기판(substrate) 상에 원하는 전자 회로를 형성한다. 그 중에서 CMP 공정은 반도체 제조공정(fabrication; FAB) 중간에 화학적 작용과 물리적 작용을 이용하여 웨이퍼 상에 도포된 산화막이나 금속 박막을 연마하는 공정이다. 현재, 이와 같은 CMP 공정이 완료된 후에는 웨이퍼를 회전(스피닝; spinning)시켜서 웨이퍼 상의 잔유물 등을 제거하는 세정공정이 수행된다. 이때, 스피닝 동작(spinning operation)은 웨이퍼와 같은 기판을 수천 RPM까지 회전시키면서 초순수(deionized water) 또는 화학 용액 등의 세정액을 공급하면서 진행된다. 물론, 이와 같은 기판을 스피닝하면서 수행되는 공정은 세정공정 뿐만 아니라 포토레지스 공정 등 다른 종류의 반도체 제조 공정에서도 다양하게 사용되고 있다. Mackawa 등에 의한 U.S. Pat. NO. 5,860,181에서는 이와 같이 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척과 관련하여 기본적인 다양한 기술적 사항들을 개시하고 있다.
일반적으로, 기판을 스피닝하는 동작은 1000에서 10000rpm까지의 고속 회전으로 진행되기 때문에 스피닝 동작시 웨이퍼가 홀딩된 척(chuck)으로부터 웨이퍼를 떨어뜨리려는 상당한 이탈력(sheer forces)이 작용된다. 따라서, 기판을 스피닝하는 공정에서 필수적으로 사용되는 장치 중의 하나가 웨이퍼를 홀딩하기 위한 웨이퍼 척이다. 웨이퍼 척에는 다양한 종류가 사용되고 있으며, 이 장치들에서 웨이퍼를 홀딩하는 메커니즘(mechanism)에는 다양한 방법이 적용되고 있다. 일반적으로, 웨이퍼 척은 웨이퍼의 뒷면을 진공으로 흡착시켜서 고정하는 방법과 실린더나 모터를 사용하여 웨이퍼의 측면으로부터 웨이퍼의 가장자리(edge)를 기계적으로 고정하는 방법이 주로 사용된다.
그러나, 이와 같은 웨이퍼 척에서 웨이퍼의 뒷면을 진공으로 흡착시켜서 고정하는 방법은 웨이퍼를 웨이퍼 척의 고정면에 직접 접촉시켜서 고정하는 방법이므로 웨이퍼의 뒷면에 파티클이 발생되는 문제점이 있다. 이와 같이 발생되는 파티클은 후에 수행되는 세정 공정에서도 쉽게 제거할 수 없으므로 추후 전자 디바이스의 오염원으로 작용하게 된다. 실린더나 모터를 구동시켜서 웨이퍼의 측면으로부터 웨이퍼의 가장자리를 기계적으로 고정하는 방법은 웨이퍼의 가장자리가 파손될 수 있다. 또한, 이와 같은 두 가지의 방법을 사용한 웨이퍼 척은 진공라인 또는 실린더 등을 설치하기 위하여, 웨이퍼를 회전시키기 위한 축에 진공 라인을 형성하는 등, 별도의 구성이 필요하므로 웨이퍼 척이 복잡해지는 문제점이 있다.
본 발명은 이와 같은 종래 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 진공 흡착으로 웨이퍼를 홀딩할 때 발생되는 문제점과 실린더와 모터를 사용하여 기계적으로 웨이퍼를 홀딩할 때 발생되는 문제점을 해결할 수 있는 새로운 형태의 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척을 제공하는데 있다. 또한, 본 발명의 다른 목적은 웨이퍼를 홀딩시키기 위하여 별도의 구성이 필요하지 않는 새로운 형태의 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척을 제공하는데 있다.
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척이 사용된 세정 장치를 개략적으로 보여주는 다이어그램;
도 2는 복수개의 핑거들을 갖는 플레이트가 웨이퍼 서포터로 사용된 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척의 사시도;
도 3은 원반형 플레이트가 웨이퍼 서포터로 사용된 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척의 사시도;
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예의 웨이퍼 척에서 홀더를 상세히 보여주는 웨이퍼 척의 측면도;
도 5는 도 4에서 홀더를 분해하여 보여주는 웨이퍼 척의 부분 사시도;
도 6은 도 5에서 홀더가 조립된 후 웨이퍼 서포터에 결합되는 상태를 설명하기 위한 웨이퍼 척의 부분 사시도;
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예의 웨이퍼 척에서 웨이퍼 서포터가 회전될 때 웨이퍼가 홀딩되는 상태를 보여주는 웨이퍼 척의 측면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
100 : 홀더 180 : 샤프트
190 : 스핀들 수단 200 : 웨이퍼 척
250, 250' : 웨이퍼 서포터 300 : 웨이퍼
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 본 발명은 웨이퍼의 홀딩을 위하여 진공 흡착 또는 실린더와 모터 등을 사용하지 않는 새로운 형태의 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척을 제공한다. 이 웨이퍼 척은 웨이퍼 서포터, 스핀들 수단 그리고 복수개의 홀더들을 포함한다. 스핀들 수단은 상기 웨이퍼 서포터를 회전시키기 위하여 상기 웨이퍼 서포터와 연결된다. 복수개의 홀더들은 내측에 웨이퍼가 로딩되고, 상기 웨이퍼 서포터가 회전할 때 상기 웨이퍼가 외측으로 이탈되지 않도록 한다. 이때, 상기 홀더들은 회전력에 의해서 상기 웨이퍼의 반경 방향으로 힌지 운동되도록 상기 웨이퍼 서포터에 결합되어, 상기 웨이퍼 서포터가 정지상태일 때 상기 웨이퍼로부터 이격되고, 상기 웨이퍼 서포터가 회전상태일 때 힌지 운동되어 상기 웨이퍼를 고정한다.
이와 같이 본 발명의 웨이퍼 척은 회전되는 웨이퍼를 고정하기 위하여 별도의 추가적인 장치들을 요구하지 않는다. 즉, 본 발명은 스피닝시에 발생하는 원심력을 이용하여 웨이퍼를 고정하는 것이다. 이는 별도의 동력과 추가적인 장치를 사용해야 하는 방법과는 전혀 다른 것이다. 예컨대, 본 발명의 웨이퍼 척은 진공 흡착 또는 모터와 실린더를 사용할 때와 같이 회전축에 별도의 구성이 필요하지 않으며, 추가적인 장치가 필요하지 않다. 이와 같은 본 발명의 웨이퍼 척은 후술할 본 발명의 바람직한 실시예와 같이 실질적으로 적용할 수 있으며, 비록 다른 형태의 구체적인 실시예를 보이지는 않았지만, 본 발명의 기술적 사상은 다양한 변형에 의해서 이루어질 수 있을 것이다.
이와 같은 본 발명의 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척은 그 바람직한 실시예에서 상기 홀더들의 각각은 상부에 제 1 오프닝이 형성되고, 상기 웨이퍼 서포터의 회전중심의 반대 방향으로 제 2 오프닝이 형성되며, 상부 내측에 상기 웨이퍼를 지지하는 턱을 갖는 케이스 및; 상기 케이스의 내부에서 힌지 결합되고, 하부가 상기 제 2 오프닝에 대응되도록 상기 케이스의 내부에 위치되며, 상기 제 1 오프닝을 통하여 돌출되는 상부에 돌기가 형성된 록커를 포함하여, 상기 웨이퍼 서포터가 회전될 때 상기 록커의 하부가 상기 제 2 오프닝을 통하여 기울어짐과 동시에 상부의 돌기가 상기 웨이퍼의 가장자리에 밀착되어 상기 웨이퍼를 홀딩할 수 있다.
이와 같은 본 발명의 웨이퍼 척은 그 바람직한 실시예에서 상기 스핀들 수단과 상기 웨이퍼 서포터는 동일한 회전중심을 갖고, 상기 홀더들은 상기 웨이퍼 서포터의 회전중심으로부터 동일한 거리를 갖도록 상기 웨이퍼 서포터에 결합될 수 있다. 또한, 상기 홀더들은 플라스틱 재질로 형성될 수 있다. 또한, 상기 돌기는 상기 웨이퍼 서포터가 회전될 때 상기 웨이퍼의 가장자리 측면과 윗면을 동시에 누르도록 "ㄱ"자 형상으로 형성될 수 있다.
이와 같은 본 발명의 웨이퍼 척은 그 바람직한 실시예에서 상기 웨이퍼 서포터는 원반형 플레이트일 수 있다. 또한, 상기 웨이퍼 서포터는 복수개의 핑거들을 갖는 플레이트이고, 상기 홀더들은 상기 핑거들의 끝단에 위치될 수 있다.
이와 같은 본 발명의 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척에 의하면, 스피닝시 웨이퍼를 홀딩하기 위하여 별도의 장치들이 필요없으며, 진공 흡착 또는 실린더와 모터를 사용하지 않으므로 이들을 사용함으로써 발생되는 다양한 문제점을 해결할 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 도 1 내지 도 7에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호를 부여한다.
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척이 사용된 세정 장치를 개략적으로 보여주는 다이어그램이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 척(200)은 CMP 공정이 완료된 웨이퍼(300)을 처리하기 위한 세정 장치(500)에 사용될 수 있다. 상기 세정 장치(500)는 외벽(enclosure)(400)의 내부에 웨이퍼의 세정에 필요한 각종 유니트들을 구비한다. 상기 웨이퍼 척(200)의 주위로 바울(bowl)(420)이 위치되고, 상기 바울(420)의 주위에는, 상기 바울(420)의 내부에서 상기 웨이퍼 척(200)에 의해서 고정되는, 웨이퍼(300)를 세정하기 위한 클리너(430) 등이 설치된다. 이와 같은 세정 장치(500)는 상기 웨이퍼 척(200)으로 상기 웨이퍼(300)을스피닝시키면서 세정 공정을 진행한다.
상기 웨이퍼 척(200)은 웨이퍼 서포터(250), 스핀들 수단(190) 그리고 홀더(100)로 이루어진다. 상기 스핀들 수단(190)은 상기 웨이퍼 서포터(250)를 회전시킬 수 있도록 구성된다. 따라서, 스핀들 수단(190)은 회전력을 발생하는 모터와 같은 구동부(186)을 갖고, 상기 웨이퍼 서포터(250)와 동일한 회전중심을 갖도록 결합되어, 상기 구동부(186)에서 발생된 회전력이 상기 웨이퍼 서포터(250)에 전달되도록 하는 샤프트(180)을 갖는다. 상기 샤프트(180)와 웨이퍼 서포터(250)는 플랜지(170)에 의해서 견고하게 결합된다. 상기 플랜지(170)는 볼트(160)와 너트(162)에 의해서 상기 웨이퍼 서포터(250)와 결합되고, 볼트(150)와 키(148)에 의해서 상기 샤프트(180)와 결합된다. 이와 같은 결합은 이 분야의 종사자들이면 다른 다양한 구조로 구성할 수 있을 것이다. 이와 같은 스핀들 수단(190)과 웨이퍼 서포터(250)의 결합에 의해서, 웨이퍼 척(200)은 상기 웨이퍼 서포터(250)에 로딩되는 웨이퍼(300)를 스피닝할 수 있는 것이다. 나중에 상세히 설명하겠지만, 상기 웨이퍼 서포터(250)에는 웨이퍼(300)를 홀딩하기 위한 홀더(100)가 설치되어, 상기 웨이퍼 서포터(250)가 스피닝될 때 상기 웨이퍼(300)가 외부로 이탈되지 않도록 한다.
도 2 및 도 3에서 보인 바와 같이, 웨이퍼 서포터(250,250')는 다양한 형상과 크기를 갖도록 구성할 수 있다. 예컨대, 도 2의 웨이퍼 서포터(250)는 복수개의 핑거들(242)을 갖는 플레이트(240)를 사용한 경우이고, 도 3의 웨이퍼 서포터(200)는 원반형 플레이트(230)를 사용한 경우이다. 상기 복수개의핑거들(242)을 갖는 플레이트(240)를 사용한 웨이퍼 서포터(250)는 전체 무게를 줄임으로써 고속 회전에 유리할 것이다. 본 실시예에서 상기 핑거들(242)의 각 끝단에는 상기 홀더(100)가 각각 설치된다. 홀더들(100)이 결합되는 위치는 공정이 진행되는 웨이퍼의 직경에 대응되도록 구성한다. 즉, 상기 웨이퍼 서포터(250)의 회전중심으로부터 동일한 거리를 갖도록 위치된다. 일반적으로 웨이퍼들은 다양한 공칭 직경(nominal diameter)으로 제조된다. 예컨대, 웨이퍼들은 100mm, 125mm, 150mm, 200mm 그리고 300mm와 같은 직경으로 제조된다. 따라서, 상기 핑거들(242)의 길이는 처리하고자 하는 웨이퍼(300)의 반경에 대등되는 길이로 형성된다. 물론, 상기 핑거들(242)의 길이를 적용되는 웨이퍼들 중 최대 직경(예컨대, 전술한 예에서 300mm)을 갖는 웨이퍼에 맞추고, 상기 홀더들(100)을 상기 핑거들(242) 상에서 이동가능하도록 구성할 수도 있을 것이다. 그러나, 본 실시예의 웨이퍼 척(200)은 단순한 구성을 위하여 웨이퍼의 직경에 따라서 별개로 구성한다. 즉, 상기 웨이퍼 서포터(250)를 적용하고자 하는 웨이퍼의 직경에 따라 별개로 구성하는 것이다.
이와 같은 구성을 갖는 본 발명의 웨이퍼 척은 도 4 내지 도 6에서 보인 바와 같은 홀더에 의해서 스피닝시 효과적으로 웨이퍼를 홀딩하므로, 웨이퍼(300)를 홀딩하기 위하여 진공 흡착 또는 실린더와 모터 등을 사용하지 않는다.
도 4 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 척(200)은 웨이퍼(300)를 지지하기 하기 위한 웨이퍼 서포터(250)가 스피닝될 때 원심력에 의해서 상기 웨이퍼(300)를 홀딩하도록 한다. 이는 상기 웨이퍼서포터(250)가 스피닝될 때 회전력에 의해서 상기 웨이퍼(300)의 반경 방향으로 힌지 운동되도록 상기 웨이퍼 서포터(250)에 결합되는 홀더(100)에 의해서 이루어진다. 본 실시예에서 상기 홀더(100)는 케이스(70)와 록커(50)로 이루어진다. 이와 같은 상기 홀더(100)의 구성은 본 발명의 기술적 사상인 스피닝시의 원심력을 이용하여 웨이퍼를 고정하는 것을 구체화시킨 한 예이다. 따라서, 이 분야의 종사자들은 본 발명에 속하는 다양한 기술적 변형이 가능할 것이다. 상기 케이스(70)와 록커(50)는 플라스틱 재질로 형성한다. 물론, 상기 홀더(100)의 재질은 웨이퍼(300)에 충격을 주지 않으면서 내마모성과 내식성 등 물리적, 화학적 특성이 우수한 다른 형태의 재질을 사용할 수 있을 것이다.
상기 케이스(70)에는 일면에 일정한 각도로 턱(62)이 형성된다. 이 턱(62)은 상기 웨이퍼 서포터(250)에 로딩되는 웨이퍼(300)가 놓이는 곳이다. 이때, 상기 웨이퍼(300)를 지지하기 위한 구조는 결국 상기 웨이퍼 서포터(250)의 상면에 설치되므로, 상기 웨이퍼(300)는 상기 웨이퍼 서포터(250)에 의해서 지지된다. 상기 케이스(70)의 상부 그리고 상기 턱(62)의 뒷면으로는 제 1 오프닝(66)이 형성되고, 상기 케이스(70)의 뒷면으로는 제 2 오프닝(64)이 형성된다. 즉, 상기 홀더(100)가 상기 웨이퍼 서포터(250)에 결합되었을 때, 상기 제 2 오프닝(64)은 상기 웨이퍼 서포터(250)의 회전중심의 반대방향으로 형성된다. 물론, 상기 제 2 오프닝(64)은 상기 케이스(70) 내에 형성되는 별도의 공간으로 대체할 수도 있을 것이다. 나중에 설명하겠지만, 상기 제 2 오프닝(64)은 스피닝시 상기 록커(50)가 힌지운동할 수 있는 공간 역할을 하기 때문이다.
이와 같은 케이스(70)의 내부에는 상기 록커(50)가 힌지결합된다. 록커(50)는 하부(48)가 상기 제 2 오프닝(64)에 대응되도록 상기 케이스(70)의 내부에 위치된다. 이 록커(50)의 상부(46)는 상기 제 1 오프닝(66)을 통하여 외부로 돌출된다. 그리고, 상기 록커(50)의 상부(46)에는 상기 웨이퍼(300)를 스피닝할 때 상기 웨이퍼(300)와 밀착되는 돌기(44)가 형성된다. 본 실시예에서 상기 돌기(44)는 상기 웨이퍼(300)을 효과적으로 홀딩할 수 있도록 "ㄱ"자 형상으로 형성하여 상기 웨이퍼(300)를 스피닝할 때 상기 웨이퍼(300)의 가장자리 측면과 윗면을 동시에 누르도록 한다. 상기 록커(50)는 상기 케이스(70)의 일면에 형성된 홀(28)과 상기 록커(50)의 힌지홀(44)을 통하여 상기 케이스(70)의 타면에 형성된 나사홀(또는 홈)(26)에 결합되는 나사(30)에 의해서 상기 케이스(70)에 힌지 결합된다. 상기 홀더(100)는 상기 웨이퍼 서포터(250)의 핑거(242)에 형성된 홀(22)을 통하여 상기 케이스(70)의 바닥면에 형성된 나사홈(또는 홀)(24)에 결합되는 나사(20)에 의해서 상기 웨이퍼 서포터(250)에 결합된다. 한편, 상기 록커(50)는 스피닝시 원심력에 의해서 안정적으로 웨이퍼(300)을 홀딩할 수 있도록 해야 한다. 이를 위하여 본 실시예에서 상기 록커(50)는 상기 힌지홀(44)이 하부(48)보다 상부(46)에 근접되어 형성되도록 한다.
이와 같은 구성을 통하여, 상기 웨이퍼(300)을 스피닝할 때 즉, 상기 웨이퍼 서포터(250)가 회전될 때 상기 록커(50)의 하부(48)가 상기 제 2 오프닝(64)을 통하여 기울어짐과 동시에 상부(46)의 돌기(44)가 상기 웨이퍼(300)의 가장자리에 밀착되어 상기 웨이퍼(300)를 홀딩할 수 있다.
도 7은 도 4에서 웨이퍼 서포터가 회전될 때 웨이퍼가 홀딩되는 상태를 보여주는 웨이퍼 척의 측면도이다.
도 7을 참조하면, 전술한 바와 같이 본 발명의 웨이퍼 척은 웨이퍼를 스피닝할 때 발생되는 원심력에 의해서 스피닝되는 웨이퍼를 홀딩한다. 즉, 모터와 같은 구동부가 동작되면, 샤프트(180)를 통하여 전달되는 회전력에 의해서 웨이퍼 서포터(250)가 회전(A)된다. 그러면, 홀더(100)의 록커(50)는 케이스(70) 내에서 힌지 운동(B)하게 된다. 이때, 상기 록커(50)의 하부(48)는 상기 제 2 오프닝(64)을 통하는 외부 방향으로 동작(C)되고, 상기 록커(50)의 상부(46)의 돌기(44)는 상기 웨이퍼(300)의 방향으로 동작(D)되어 상기 웨이퍼(300)를 홀딩하게 된다.
이와 같은 본 발명을 적용하면, 웨이퍼를 스피닝하기 위하여 별도의 장치들이 필요없다. 따라서, 웨이퍼 척을 간단한 구조로 구성할 수 있다. 또한, 웨이퍼를 스피닝할 때 발생되는 원심력에 비례하여 웨이퍼를 홀딩하게 되므로 웨이퍼의 고정이 효과적으로 이루어진다. 또한, 스피닝시 회전속도 또는 회전력에 대응되는 원심력으로 웨이퍼의 가장자리의 측면과 윗면을 홀딩하게 할 수 있으므로 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있으며, 파티클의 발생을 최대한 억제할 수 있다.

Claims (8)

  1. 반도체 디바이스 제조공정에서 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척에 있어서,
    상기 웨이퍼를 지지하기 위한 웨이퍼 서포터와;
    상기 웨이퍼 서포터를 스피닝시키기 위하여 상기 웨이퍼 서포터와 동일한 회전중심을 갖도록 연결되는 스핀들 수단 및;
    상기 웨이퍼를 홀딩하기 위한 복수개의 홀더들을 포함하되,
    상기 홀더들의 각각은 상기 웨이퍼 서포터가 스피닝될 때 원심력에 의해서 상기 웨이퍼를 홀딩하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 홀더들의 각각은 상기 웨이퍼 서포터가 스피닝될 때 회전력에 의해서 상기 웨이퍼의 반경 방향으로 힌지 운동되도록 상기 웨이퍼 서포터에 결합되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 홀더들의 각각은 상부에 형성된 제 1 오프닝과, 상기 웨이퍼 서포터의 회전중심의 반대 방향으로 형성된 제 2 오프닝 및 상부 내측에서 상기 웨이퍼를 지지하는 턱을 갖는 케이스 및;
    상기 케이스의 내부에서 힌지 결합되고, 하부와 상기 제 1 오프닝을 통하여 돌출되어 있는 돌기를 포함하는 록커를 구비하여, 상기 웨이퍼 서포터가 회전될 때 상기 록커의 하부가 상기 제 2 오프닝을 통하여 기울어짐과 동시에 상부의 돌기가 상기 웨이퍼의 가장자리에 밀착되어 상기 웨이퍼를 홀딩하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 홀더들은 상기 웨이퍼 서포터의 회전중심으로부터 동일한 거리를 갖도록 상기 웨이퍼 서포터에 결합되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 홀더들은 플라스틱 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척.
  6. 제 3 항에 있어서,
    상기 돌기는 상기 웨이퍼 서포터가 스피닝될 때 상기 웨이퍼의 가장자리 측면과 윗면을 동시에 누르도록 "ㄱ"자 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척.
  7. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 웨이퍼 서포터는 원반형 플레이트인 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척.
  8. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 웨이퍼 서포터는 복수개의 핑거들을 갖는 플레이트이고, 상기 홀더들은 상기 핑거들의 끝단에 위치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼를 스피닝하기 위한 웨이퍼 척.
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