KR100741028B1 - 반도체소자 제조공정용 스핀척의 구조 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체소자 제조 공정용 스핀척의 구조 개선에 관한 것으로서, 반도체소자가 형성되는 웨이퍼의 주면(主面)과 그 반대면인 이면(裏面)에 동시에 약액이 공급될 수 있도록 함과 더불어 웨이퍼와 스핀척 장치의 접촉면적이 최소화 될 수 있도록 한 것이다.
이를 위해, 본 발명은 구동원의 동력을 전달받아 회전가능하도록 설치되는 브라켓과, 상기 브라켓 상에 설치된 회전핀을 중심으로 회전가능하게 설치되어 브라켓의 회전시 원심력에 의해 상기 회전핀을 중심으로 회동하여 웨이퍼의 측면을 클램핑하게 되는 고정구를 포함하여서 됨을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 스핀척이 제공된다.
반도체소자, 웨이퍼, 스핀척

Description

반도체소자 제조공정용 스핀척의 구조{A structure of spin chuck for a process of manufacturing semiconductor device}
도 1 및 도 2는 종래의 스핀척 구조를 나타낸 종단면도
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 스핀척 구조를 나타낸 종단면도
도 4a는 본 발명의 제2실시예에 따른 스핀척 구조를 나타낸 종단면도
도 4b는 도 4a의 K-K'선 단면도
도 5는 본 발명의 제3실시예에 따른 스핀척 구조를 나타낸 종단면도
도 6은 본 발명의 제4실시예에 따른 스핀척 구조를 나타낸 종단면도
도 7은 본 발명의 제5실시예에 따른 스핀척 구조를 나타낸 종단면도
도 8은 각 실시예에 적용된 브라켓의 구조를 나타낸 평면도
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
101,201,301,401,501 : 웨이퍼 102,202,302,402,502 : 브라켓
103,203,303,403,503 : 회전핀 104,204,304,404,504 : 고정구
105,305,402 : 무게추 106,206,402 : 상부 스토퍼
107,207,402 : 하부 스토퍼 306,506 : 스토퍼
308,408,508 : 선형구동기 410,505 : 복귀스프링
701 : 아암 702 : 고정구결합부
705 : 회전축결합부
본 발명은 반도체소자 제조공정용 스핀척에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 웨이퍼 세정 및 식각 등에 적용되는 스핀척의 구조 개선에 관한 것이다.
기존의 반도체소자 제조를 위한 CMP(Chemical Mechanical Polishing)공정 혹은 세정 및 식각시에 적용되는 스핀척은 도 1에 도시한 바와 같이, 통상적으로 웨이퍼(1) 주면(主面 ; device side) 혹은 웨이퍼(1) 이면(裏面 ; non-device side)에 접촉하게 되며, 이를 위해 면상에 베큠홀(vacuum hole)(3)이 형성된 흡착판(suction plate)(5), 상기 흡착판(5)으로 음압을 공급하는 베큠라인(7), 상기 흡착판(5)을 회전시키는 회전구동부(9)등을 구비하게 된다.
그러나, 이러한 구조의 스핀척은, 상기 흡착판(5)이 웨이퍼(1)를 전체적으로 지지하고 있기 때문에 웨이퍼(1) 주면(主面)에 대해 굽힘모멘트가 가해지지 않은 이점이 있으나, 웨이퍼(1)의 주면과 이면에 동시에 약액 공급이 필요한 공정에는 적용이 불가능한 단점이 있었다.
한편, 웨이퍼 세정 및 식각 등에 있어 웨이퍼 주면 및 이면에 동시에 약액 공급이 필요한 경우에는 전술한 바와는 다른 구조의 스핀척이 적용되는데, 이에 대해 도 2를 참조하여 보면, 회전핀(21)과, 상기 회전핀(21)으로부터 분기되어 나온 회전아암(23)과, 상기 회전아암(23)의 단부에 설치되는 클램프로 구성된다.
여기서, 상기 클램프는 상부척(27)과 하부척(29)으로 구성되며, 상기 하부척(29)에 웨이퍼(1) 가장자리의 이면을 재치한 후 상부척(27)으로 상기 웨이퍼(1) 주면(主面)의 가장자리를 눌러 상기 스핀척이 회전할 때 상기 웨이퍼(1)의 이탈을 방지하도록 한다.
그러나, 이러한 방식은 웨이퍼(1)의 주면 상에 이미 만들어져 있는 디바이스 회로에 치명적인 결함이 야기될 가능성이 있다.
즉, 상기 상부척(27)이 웨이퍼(1)를 고정하기 위해 웨이퍼(1) 주면의 가장자리를 누르면 웨이퍼(1) 주면에 형성된 디바이스에 접촉되어 소정의 압력을 가하게 되고, 이에 따라 상기 웨이퍼(1)의 주면의 가장자리에 형성된 디바이스의 회로 손상을 야기하게 되는 문제점이 있었다.
또한, 상기 상부척(27)과 하부척(29)이 접촉하는 웨이퍼(1)의 주면 및 이면 부분에는 약액 공급이 이루어지지 않게 되는 단점 또한 있었다.
본 발명은 상기한 제반 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 반도체소자가 형성되는 웨이퍼의 주면과 그 반대면인 이면에 동시에 약액이 공급될 수 있도록 하는 반도체소자 제조 공정용 스핀척을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 웨이퍼의 주면과 고정장치의 접촉면적을 최소화하여 웨이퍼의 주면에 형성된 디바이스 회로에 손상을 주지 않는 반도체소자 제조 공정용 스핀척을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제1형태에 따르면, 구동원의 동력을 전달받아 회전가능하도록 설치되는 브라켓과, 상기 브라켓 상에 설치된 회전핀을 중심으로 회전가능하게 설치되어 브라켓의 회전시 원심력에 의해 상기 회전핀을 중심으로 회동하여 웨이퍼의 측면을 클램핑하게 되는 고정구를 포함하여서 됨을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 스핀척이 제공된다.
이 때, 상기 고정구 상에는, 브라켓이 회전하기 전에는 수평상태를 유지하여 웨이퍼의 저면을 떠받치게 되는 안착면 및 상기 브라켓의 회전에 의해 소정의 원심력이 작용한 상태에서 상기 웨이퍼의 측면을 클램핑하는 클램핑면이 구비된다.
또한, 상기 고정구의 회전핀 외측에는 원심력 생성을 도와 상기 고정구가 웨이퍼를 더욱 안정적으로 잡을 수 있도록 하는 무게추가 추가적으로 설치된다.
그리고, 상기 고정구 상에는 전술한 무게추 대신, 고정구의 원심력 생성을 도와 줄 수 있도록 상기 브라켓의 회전시 양력 발생이 용이한 날개판이 설치될 수 있으며, 상기 무게추와 날개판이 동시에 설치될 수도 있다.
또한, 상기 브라켓의 회전속도에 비례하여 증가하는 원심력의 일부만이 상기 고정구에 의해 상기 웨이퍼에 전달되도록 상기 브라켓 일측에 설치되어 상기 고정구를 소정각도 이상 회동하지 못하도록 저지하는 상부 스토퍼와, 상기 브라켓이 정지하는 경우 자중에 의해 복귀하는 고정구의 위치를 웨이퍼 로딩 및 언로딩에 적합한 위치가 되도록 상기 브라켓의 상부 스토퍼 하측에 설치되는 하부 스토퍼를 더 포함하여 구성된다.
한편, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제2형태에 따르면, 구동원의 동력을 전달받아 회전가능하도록 설치되는 브라켓과, 상기 브라켓 상에 설치된 회전핀을 중심으로 회전가능하게 설치되어 브라켓의 회전시 원심력에 의해 상기 회전핀을 중심으로 회동하여 웨이퍼의 모서리를 클램핑하게 되는 고정구와, 상기 웨이퍼의 로딩시 고정구를 웨이퍼와의 간섭을 피할 수 있는 위치까지 회동시키는 선형구동기를 포함하여서 됨을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 스핀척이 제공된다.
이 때, 상기 브라켓에 설치되는 회전핀은 웨이퍼 보다 상부에 설치되고, 상기 고정구의 외측 단부는 상기 회전핀 보다 상부에 위치하도록 설치된다.
그리고, 상기 선형구동기는 고정구의 외측단부 하측에 위치하도록 설치된다.
또한, 상기 고정구의 상에는 웨이퍼의 측면 상하단 모서리를 클램핑할 수 있는 대략 "V"자형의 홈이 형성된다.
그리고, 상기 고정구의 회전핀 외측에는 원심력 생성을 도와 상기 고정구가 웨이퍼를 더욱 안정적으로 잡을 수 있도록 하는 무게추가 추가적으로 설치된다.
또한, 상기 브라켓의 회전속도에 비례하여 증가하는 원심력의 일부만이 상기 고정구에 의해 상기 웨이퍼에 전달되도록 상기 브라켓의 회전핀 하부 일측에는 상기 고정구를 소정각도 이상 회동하지 못하도록 저지하는 스토퍼가 설치된다.
한편, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제3형태에 따르면, 구동원의 동력을 전달받아 회전가능하도록 설치되는 브라켓과, 상기 브라켓 상에 설치된 회전핀을 중심으로 회전가능하게 설치되며 웨이퍼 로딩시 회전핀을 중심으로 회동하여 웨이퍼의 모서리를 클램핑하게 되는 고정구와, 상기 고정구와 브라켓 사이에 설 치되어 상기 고정구가 웨이퍼를 클램핑하는 초기 위치로 복귀하도록 복원력을 제공하는 복귀스프링과, 상기 웨이퍼의 로딩시 고정구를 웨이퍼와의 간섭이 해소되는 위치까지 회동시키는 선형구동기를 포함하여서 됨을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 스핀척이 제공된다.
이 때, 상기 브라켓에 설치되는 회전핀은 웨이퍼 보다 하부에 위치하도록 설치되고, 상기 고정구의 외측 단부와 브라켓 상단 사이에는 복귀스프링인 인장스프링이 설치된다.
그리고, 상기 선형구동기는 고정구 상부에 위치하도록 설치됨이 바람직하다.
한편, 상기 복귀스프링은 고정구의 외측단부와 그 보다 하부의 브라켓 일측을 연결하도록 설치되는 압축스프링일 수도 있다.
그리고, 상기 고정구 상에는 웨이퍼의 측면 상하단 모서리를 클램핑할 수 있는 대략 "V"자형의 홈이 형성된다.
또한, 상기 고정구의 회전핀 외측에는 원심력 생성을 도와 상기 고정구가 웨이퍼를 더욱 안정적으로 잡을 수 있도록 하는 무게추가 추가적으로 설치된다.
그리고, 상기 브라켓의 회전속도에 비례하여 증가하는 원심력의 일부만이 상기 고정구에 의해 상기 웨이퍼에 전달되도록 상기 브라켓의 회전핀 상부 일측에는 상기 고정구를 소정각도 이상 회동하지 못하도록 저지하는 스토퍼가 설치된다.
한편, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제4형태에 따르면, 구동원의 동력을 전달받아 회전가능하도록 설치되며 하단부에 웨이퍼 측면 하단 모서리를 지지하는 지지턱이 구비된 브라켓과, 상기 브라켓 상에 설치된 회전핀을 중심으로 회 전가능하게 설치되며 웨이퍼가 상기 지지턱에 안착된 후 상기 회전핀을 중심으로 회동하여 웨이퍼의 모서리를 클램핑하게 되는 고정구와, 상기 고정구와 브라켓 사이에 설치되어 상기 고정구가 웨이퍼를 클램핑하는 초기 위치로 복귀하도록 복원력을 제공하는 복귀스프링과, 상기 웨이퍼의 로딩시 고정구를 웨이퍼와의 간섭이 해소되는 위치까지 회동시키는 선형구동기를 포함하여서 됨을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 스핀척이 제공된다.
이 때, 상기 브라켓에 설치되는 회전핀은 웨이퍼 보다 상부에 위치하도록 설치되고, 상기 고정구의 외측 단부와 상기 브라켓의 고정구 상부 일측 사이에는 복귀스프링인 인장스프링이 설치된다.
그리고, 상기 선형구동기는 고정구 상부에 위치하도록 설치됨이 바람직하다.
또한, 상기 복귀스프링의 탄성 복원력중 일부만이 웨이퍼에 전달되도록 하여 웨이퍼의 손상이 방지되도록 하기 위한 스토퍼가 상기 브라켓의 회전핀 상부 일측에 설치된다.
한편, 상기한 본 발명의 각 형태에 따른 스핀척의 브라켓은 양면으로 공급되는 약액이 배출될 수 있도록 방사상 구조를 이루도록 형성됨이 바람직하나, 반드시 이러한 형상으로 한정되지는 않는다.
즉, 브라켓이 방사상이 아닌 실린더형이더라도 약액 배출을 위한 배출공이 측면등에 형성되어도 무방하다.
이하, 본 발명의 실시예들을 도 3 내지 도 7을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도 3를 참조하여 본 발명의 제1실시예에 대해 설명하고자 한다.
본 발명의 제1실시예에 따른 스핀척은, 구동원의 동력을 전달받아 회전가능하도록 설치되는 브라켓(102)과, 상기 브라켓(102) 상에 설치된 회전핀(103)을 중심으로 회전가능하게 설치되어 브라켓(102)의 회전시 원심력에 의해 상기 회전핀(103)을 중심으로 회동하여 웨이퍼(101)의 측면을 클램핑하게 되는 고정구(104;固定具)를 포함하여 구성된다.
이 때, 상기 고정구(104) 상에는, 브라켓(102)이 회전하기 전에는 수평상태를 유지하여 웨이퍼(101)의 저면을 떠받치게 되는 안착면(104a) 및 상기 브라켓(102)의 회전에 의해 소정의 원심력이 작용한 상태에서 상기 웨이퍼(101)의 측면을 클램핑하는 클램핑면(104b)이 구비된다.
또한, 상기 고정구(104)의 회전핀(103) 외측 위치에는 원심력 생성을 도와 상기 고정구(104)가 웨이퍼(101)를 더욱 안정적으로 잡을 수 있도록 하는 무게추(105)가 추가적으로 설치된다.
상기 브라켓(102)의 회전속도에 비례하여 증가하는 원심력의 일부만이 상기 고정구(104)에 의해 웨이퍼(101)에 전달되도록 상기 브라켓(102) 일측에 설치되어 상기 고정구(104)를 소정각도 이상 회동하지 못하도록 저지하는 상부 스토퍼(106)와, 상기 브라켓(102)이 정지하는 경우 자중에 의해 복귀하는 고정구(104)의 위치를 웨이퍼 로딩 및 언로딩에 적합한 위치가 되도록 상기 브라켓(102)의 상부 스토퍼(106) 하측에 설치되는 하부 스토퍼(107)를 더 포함하여 구성된다.
이와 같이 구성된 본 발명의 제1실시예의 작용은 다음과 같다.
제1실시예에 따른 본 발명의 스핀척은, 초기에는 고정구(104)가 하부 스토퍼(107)에 지지되어 B 위치(도면의 점선상태)에 위치하고 있다가, 스핀척에 웨이퍼(101)가 장착되어 회전하기 시작하면 무게추(105)의 원심력으로 고정구(104)가 B 위치에서 A 위치(도면의 실선상태)로 점점 옮겨가게 된다.
이 때, 상기 고정구(104) 상에는, 브라켓(102)이 회전하기 전에는 평면상태를 유지하여 웨이퍼(101)의 저면을 떠받치게 되는 안착면(104a) 및 상기 브라켓(102)의 회전에 의해 소정의 원심력이 작용한 상태에서 상기 웨이퍼(101)의 측면을 클램핑하는 클램핑면(104b)이 구비되어 있어, 초기 위치인 B 위치에서는 웨이퍼(101)의 가장자리 저면 일부가 고정구(104)의 안착면(104a)에 접하게 되지만 약액 도포 상태에 해당하는 A 위치에서는 웨이퍼(101)의 측면만이 클램핑면(104b)에 접하게 된다.
즉, 약액 도포시에는 고정구(104)가 웨이퍼(101)의 측면에만 접촉하게 되므로 웨이퍼(101)의 주면에 손상을 주지 않게 된다.
그리고, 만약 상부 스토퍼(106)가 없을 경우에는 일정 속도 이상으로 브라켓(102)이 회전하게 되면 무게추(105)에 의한 원심력이 너무 커져서 이 원심력이 그대로 고정구(104)를 통해 웨이퍼(101)에 전달되는 경우 웨이퍼의 파손에 이를 수 있으나, 본 실시예에서는 브라켓(102) 상에 상부 스토퍼(106)가 설치되어 고정구(104)의 회동각을 제한하므로써 지나친 클램핑력에 의한 웨이퍼(101) 파손을 방지하게 된다.
한편, 상기한 고정구(104)는 웨이퍼(101) 원주를 따라 2개 이상, 통상적으로 3개 ~ 6개정도 설치됨이 바람직하다.
이와 같이 본 발명의 제1실시예에 따른 스핀척은, 고정구(104)가 웨이퍼(101)의 측면을 클램핑하도록 안출되었기 때문에 웨이퍼(101) 주면의 디바이스에 손상을 주지 않을 뿐만 아니라, 브라켓(102) 회전에 따라 점점 큰 힘으로 웨이퍼(101)를 클램핑하게 되므로 인해 고속에서도 안정적으로 웨이퍼(101)를 회전시킬 수 있으며, 브라켓(102)이 미리 지정된 어느 속도 이상으로 회전하는 경우에는 원심력의 일부를 제한할 수 있는 상부 스토퍼(106)로 웨이퍼(101)에 전달되는 클램핑력을 제한하게 되어 웨이퍼(101)를 파손으로부터 보호할 수 있게 된다.
한편, 본 발명의 제1실시예에 따른 스핀척은, 약액 도포시 회전하는 웨이퍼(101)를 안정되게 잡아줌과 더불어 약액 도포 완료후 정지시에 웨이퍼(101)를 놓아주는 기능이 자동적으로 구현된다.
다음으로, 도 4a, 4b를 참조하여 본 발명의 제2실시예의 구성 및 작용에 대해 설명한다.
도 4a는 본 발명의 제2실시예에 따른 스핀척 구조를 나타낸 종단면도로서, 브라켓(202) 상에 회동가능하게 설치된 고정구(204) 상에 제1실시예에서 적용된 무게추 대신, 고정구(204)의 원심력 생성을 도와 줄 수 있도록 양력 발생에 용이한 날개판(205)이 구비되는 점이 다르며, 나머지 부분의 구성은 동일하다.
즉, 도 4a에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 스핀척은, 구동원에 연결된 브라켓(202)과, 이 브라켓(202) 상의 지정된 회전핀(203)을 중심으로 회전하면서 웨이퍼(201)를 측면에서만 잡도록 설계된 고정구(204)와, 브라켓(202) 의 회전에 의해 고정구(204)가 회전함에 따라 고정구(204)가 웨이퍼(201)를 더욱 안정적으로 잡을 수 있도록 양력을 생성하는 날개판(205)과, 고정구(204)의 회전속도가 증가함에 따라 생기는 양력의 일부만이 웨이퍼(201)에 전달되도록 하는 상부 스토퍼(206)와, 브라켓(202)이 정지하는 경우 고정구(204)의 위치를 웨이퍼(201) 로딩 및 언로딩에 적절한 위치로 지정하는 하부 스토퍼(207)로 구성된다.
그리고, 상기 고정구(204) 상에는, 브라켓(202)이 회전하기 전에는 수평상태를 유지하여 웨이퍼(201)의 저면을 떠받치게 되는 안착면(204a) 및 상기 브라켓(202)의 회전에 의해 소정의 원심력이 작용한 상태에서 상기 웨이퍼(201)의 측면을 클램핑하는 클램핑면(204b)이 구비된다.
이 때, 상기 날개판(205)은 고정구(204)와 일체로 형성되거나, 분리형성된 후에 별도의 조립과정을 거쳐 고정구(204) 상에 장착되어도 무방함은 물론이며, 무게추와 함께 설치되어도 무방하다.
한편, 도 4b는 도 4a의 고정구(204)에 형성된 날개판(205)의 K-K'선 단면도이다.
이에 도시된 바와 같이, 상기 날개판(205)은, 상면은 곡선형태이고 하면은 직선형태로 구성되어, 상기 브라켓(202)이 회전하면 날개판(205)의 상면을 지나가는 공기의 흐름이 날개판(205)의 하면을 지나는 공기흐름보다 빨라져, 상기 날개판(205)의 상면의 압력이 하면의 압력보나 낮아져서 상기 날개판(205)은 상부로 부상하게 되는 양력이 발생하게 된다.
이와 같이 구성된 본 발명의 제2실시예의 작용을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 웨이퍼(201) 장착전 상태에서는 B 위치(도면의 점선상태)에 위치하게 되는데 이 상태에서는 고정구(204)가 하부 스토퍼(207)에 의해 지지되어 더 이상 처지지 않고 있다가 웨이퍼(201)가 장착되어 회전하기 시작하면 날개판(205)에 작용하는 양력에 의해 고정구(204)가 B 위치에서 A 위치(도면의 실선상태)로 점점 옮겨간다.
이에 따라, 고정구(204)가 웨이퍼(201)의 측면에만 접촉하게 되므로 웨이퍼(201)의 주면에 손상을 주지 않게 됨은 전술한 제1실시예에서와 마찬가지이다.
한편, 본 발명의 제2실시예에 따른 스핀척은 브라켓의 회전속도에 비례하여 날개판(205)에 작용하는 양력이 증가하게 되고, 일정 속도를 넘으면 양력의 증가로 인해 고정구(204)의 클램핑력 또한 지나치게 커질 우려가 있으므로 양력 증가로 인한 웨이퍼(201)의 파손을 방지하기 위해 필요한 크기 이상의 클램핑력이 웨이퍼(201)에 전달되지 않도록 상부 스토퍼(206)를 둔 점도 제1실시예에서와 마찬가지이다.
즉, 일정 속도 이상으로 브라켓(202)이 회전하여 날개판(205)에 작용하는 양력이 지나치게 커질 경우에 고정구(204)를 통해 상기 날개판(205)의 양력이 그대로 웨이퍼(201)에 전달되는 경우 웨이퍼(201)의 파손에 이를 수 있으므로, 상부 스토퍼(206)가 고정구(204)의 일정 범위 이상의 회전을 차단하여 양력의 일부만이 웨이퍼(201)에 전달되도록 해주게 된다.
한편, 이러한 고정구(204)는 웨이퍼(201) 원주를 따라 2개 이상, 통상적으로 3개 ~ 6개정도 위치함이 바람직함은 전술한 제1실시예에서와 마찬가지이다.
이와 같이 본 발명의 제2실시예에 따른 스핀척은, 고정구(204)가 웨이퍼(201)의 측면을 클램핑하도록 안출되었기 때문에 웨이퍼(201) 주면의 디바이스에 손상을 주지 않을 뿐만 아니라, 브라켓(202) 회전에 따라 점점 큰 힘으로 웨이퍼(201)를 클램핑하게 되므로 인해 고속에서도 안정적으로 웨이퍼(201)를 회전시킬 수 있으며, 브라켓(202)이 미리 지정된 어느 속도 이상으로 회전하는 경우에는 원심력의 일부를 제한할 수 있는 상부 스토퍼(206)로 웨이퍼(201)에 전달되는 클램핑력을 제한하게 되어 웨이퍼(201)를 파손으로부터 보호할 수 있다.
그리고, 본 발명의 제2실시예에 따른 스핀척 또한, 전술한 제1실시예에서와 마찬가지로, 약액 도포시 회전하는 웨이퍼(201)를 안정되게 잡아주는 기능과 더불어 약액 도포 완료 후의 브라켓(202) 정지시에 웨이퍼(201)를 놓아주는 기능이 자동적으로 구현된다.
한편, 본 발명의 제2실시예에 따른 스핀척은 날개판(205)의 형상적 특징에 의해 웨이퍼(201) 주면 위의 공기를 브라켓(202) 외측으로 밀어내는 효과가 있으므로 세정시 웨이퍼(201)에서 분리된 오염입자를 외측으로 밀어내어 세정효과를 증가시키게 된다.
즉, 날개판(205)의 상면에서의 공기흐름이 하면에 비해 빠르고, 약액 도포시 웨이퍼(201) 주면과 날개판(205)의 상면은 대략 동일 평면상에 위치하게 되므로, 웨이퍼(201) 주면위의 공기는 날개판(205) 상면을 따라 브라켓(202) 외측으로 밀려나게 되는데, 이 때 분리된 오염입자 또한 공기와 함께 브라켓 외측으로 밀려나게 되므로써 세정효과가 증대되는 것이다.
이하, 본 발명의 제3실시예에 대해 도 5를 참조하여 설명하고자 한다.
도 5는 본 발명의 제3실시예에 따른 스핀척 구조를 나타낸 종단면도로서, 본 발명의 제3실시예에 따른 스핀척은, 구동원의 동력을 전달받아 회전가능하도록 설치되는 브라켓(302)과, 상기 브라켓(302) 상에 설치된 회전핀(303)을 중심으로 회전가능하게 설치되어 브라켓(302)의 회전시 원심력에 의해 상기 회전핀을 중심으로 회동하여 웨이퍼(301)의 모서리를 클램핑하게 되는 고정구(304)와, 상기 웨이퍼(301)의 로딩 및 언로딩시 고정구(304)를 웨이퍼(301)와의 간섭을 피할 수 있는 위치까지 회동시키는 선형구동기(308)를 포함하여 구성된다.
이 때, 상기 브라켓(302)에 설치되는 회전핀(303)은 웨이퍼(301) 보다 상부에 설치되고, 상기 고정구(304)의 외측 단부는 상기 회전핀(303) 보다 상부에 위치하도록 설치된다.
그리고, 상기 선형구동기(308)는 고정구(304)의 외측단부 하측에 위치하도록 설치된다.
또한, 상기 고정구(304)의 상에는 웨이퍼(301)의 측면 상하단 모서리를 클램핑할 수 있는 대략 "V"자형의 홈(304c)이 형성된다.
그리고, 상기 고정구(304)의 회전핀(303) 외측에는 원심력 생성을 도와 상기 고정구(304)가 웨이퍼(301)를 더욱 안정적으로 잡을 수 있도록 하는 무게추(305)가 추가적으로 설치된다.
또한, 상기 브라켓(302)의 회전속도에 비례하여 증가하는 원심력의 일부만이 상기 고정구(304)에 의해 상기 웨이퍼(301)에 전달되도록 상기 브라켓(302)의 회전핀(303) 하부 일측에는 스토퍼(306)가 설치된다.
이와 같이 구성된 제3실시예의 작용은 다음과 같다.
먼저, 무게추(305)의 자중에 의해 A 위치(도면의 실선상태)에 있던 고정구(304)는 선형구동기(308)의 작동에 따른 플런저(309)의 전진에 의해 회전핀(303)을 중심으로 도면상 반시계 방향으로 회전하면서 웨이퍼(301)를 장착할 수 있는 B 위치(도면의 점선상태)에 이르게 된다.
이때, 웨이퍼(301)가 장착위치로 이동되고, 이어서 선형구동기(308)가 후진하여 무게추(305)에 작용하는 중력 때문에 고정구(304)는 B 위치에서 A 위치로 되돌아오고 스토퍼(306)에 의해 더 이상 내려오지 않는다.
웨이퍼(301)가 회전하면서 무게추(305)에 작용하는 원심력에 의해 웨이퍼(301)는 점점 큰 힘으로 고정되나 스토퍼(306)에 의해 회전각도가 제한되어 있어서 일정 크기의 힘 이상의 힘은 웨이퍼(301)에 전달하지 않는다.
한편, 본 발명의 제3실시예에 따른 스핀척은, 웨이퍼(301)의 측면 상하부 모서리에 선접촉하도록 안출되어 있기 때문에 웨이퍼(301) 주면의 디바이스에 손상을 주지 않으며, 구조 또한 매우 단순하다.
또한 고정구(304)의 각도가 스토퍼(306)에 의해 제한되어 있으므로 과도한 원심력이 작용하더라도 웨이퍼(301)가 보호된다.
이상에서와 같이, 본 발명의 제1 내지 제3실시예에 따른 스핀척은 웨이퍼(101)(201)(301)의 측면 혹은 측면의 상하부 모서리만을 잡아주므로 웨이퍼 양면에 약액의 공급이 가능하고 원심력에 비례하여 일정 한도까지는 클램핑력 또한 증가하므로 회전속도가 빨라져도 웨이퍼 고정상태가 양호하다.
이하, 본 발명의 제4실시예에 대해 도 6을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 6은 본 발명의 제4실시예에 따른 스핀척 구조를 나타낸 종단면도로서, 본 발명의 제4실시예에 따른 스핀척은, 구동원의 동력을 전달받아 회전가능하도록 설치되는 브라켓(402)과, 상기 브라켓(402) 상에 설치된 회전핀(403)을 중심으로 회전가능하게 설치되며 웨이퍼(401) 로딩시 회전핀(403)을 중심으로 회동하여 웨이퍼(401)의 모서리를 클램핑하게 되는 고정구(404)와, 상기 고정구(404)와 브라켓(402) 사이에 설치되어 상기 고정구(404)가 웨이퍼(401)를 클램핑하는 초기 위치로 복귀하도록 복원력을 제공하는 복귀스프링(410)과, 상기 웨이퍼(401)의 로딩시 고정구(404)를 웨이퍼(401)와의 간섭이 해소되는 위치까지 회동시키는 선형구동기(408)를 포함하여서 구성된다.
이 때, 상기 브라켓(402)에 설치되는 회전핀(403)은 웨이퍼(401) 보다 하부에 위치하도록 설치되고, 상기 고정구(404)의 외측 단부와 브라켓(402) 상단 사이에는 복귀스프링(410)인 인장스프링이 설치된다.
그리고, 상기 선형구동기(408)는 고정구(404) 상부에 위치하도록 설치됨이 바람직하다.
한편, 상기 복귀스프링(410)은 고정구(404)의 외측단부와 그 보다 하부의 브라켓(402) 일측을 연결하도록 설치되는 압축스프링일 수도 있다.
그리고, 상기 고정구(404) 상에는 웨이퍼(401)의 측면 상하단 모서리를 클램 핑할 수 있는 대략 "V"자형의 홈(404c)이 형성된다.
또한, 상기 고정구(404)의 회전핀(403) 외측에는 상에는 원심력 생성을 도와 상기 고정구(404)가 웨이퍼(401)를 더욱 안정적으로 잡을 수 있도록 하는 무게추(405)가 추가적으로 설치된다.
그리고, 상기 브라켓(402)의 회전속도에 비례하여 증가하는 원심력의 일부만이 상기 고정구(404)에 의해 상기 웨이퍼(401)에 전달되도록 상기 브라켓(402)의 회전핀(403) 상부 일측에는 스토퍼(406)가 설치된다.
이와 같이 구성된 본 발명의 제4실시예에 따른 스핀척의 작용은 다음과 같다.
먼저, 초기에는 고정구(404)가 웨이퍼(401)를 잡는 A 위치(도면의 실선상태)에 있다가 선형구동기(408)의 구동에 따른 플런저(409)의 전진에 의해 회전핀(403)을 중심으로 시계방향으로 회전하여 B 위치(도면의 점선상태)에 이르게 된다. 이때 선형구동기(408)의 힘에 의해 스프링(410)은 인장된 상태이다.
이와 같이 고정구(404)가 B 위치에 위치한 상태에서 웨이퍼(401)는 장착 위치로 이동하게 되며, 장착 완료 후에는 선형구동기(408)에 장착된 플런저(409)가 후진하여 인장되어 있던 스프링(410)이 복원하면서 고정구(404)를 A 위치로 복귀시키게 된다.
이 때, 상기 웨이퍼(401)는 그 측면 상하단 모서리가 고정구(404) 상에 형성된 "V"자형의 홈(404c)에 걸려 지지된다.
그 후, 브라켓(402)이 회전함에 따라 고정구(404) 끝부분의 무게추(405)에서 생기는 원심력에 의해 고정구(404)는 점점 큰 힘으로 웨이퍼(401)를 클램핑하게 된다. 이 경우에도 물론 스토퍼(406)에 의해 고정구(404)가 일정각도 이상은 회동하지 않으므로 웨이퍼(401)에 전달되는 클램핑력도 제한된다.
한편, 이 경우에도 고정구(404)가 웨이퍼(401) 원주를 따라 2개 이상, 통상적으로 3개 ~ 6개정도 위치함이 바람직함은 전술한 제1 내지 제3실시예에서와 마찬가지이다.
그리고, 고정구(404)가 웨이퍼(401)의 모서리에 선접촉하도록 안출되었기 때문에 웨이퍼(401) 주면의 디바이스에 손상을 주지 않으며, 스프링의 탄성력에 의해 움직일 수 있는 고정구(404)의 각도가 스토퍼에 의해 제한되어 있으므로 웨이퍼(401)가 보호됨은 전술한 제3실시예에서와 마찬가지이된다.
특히, 본 발명의 제4실시예에 따른 스핀척은 원심력에 의해 클램핑력이 작용하기 전인 초기 상태에서부터 스프링의 복원력에 의해 웨이퍼(401)가 안정된 상태로 클램핑될 뿐만 아니라, 고정구(404)에 작용하는 원심력에 비례하여 일정 한도까지는 클램핑력 또한 증가하므로 회전속도가 빨라져도 웨이퍼(401)의 클램핑 상태가 안정된 상태를 유지하게 된다.
마지막으로, 본 발명의 제5실시예에 대해 설명하면 다음과 같다.
도 7은 본 발명의 제5실시예에 따른 스핀척 구조를 나타낸 종단면도로서, 구동원의 동력을 전달받아 회전가능하도록 설치되며 하단부에 웨이퍼(501) 측면 하단 모서리를 지지하는 지지턱(510)이 구비된 브라켓(502)과, 상기 브라켓(502) 상에 설치된 회전핀(503)을 중심으로 회전가능하게 설치되며 웨이퍼(501)가 상기 지지턱 에 안착된 후 상기 회전핀(503)을 중심으로 회동하여 웨이퍼(501)의 모서리를 클램핑하게 되는 고정구(504)와, 상기 고정구(504)와 브라켓(502) 사이에 설치되어 상기 고정구(504)가 웨이퍼(501)를 클램핑하는 초기 위치로 복귀하도록 복원력을 제공하는 복귀스프링(505)과, 상기 웨이퍼(501)의 로딩시 고정구(504)를 웨이퍼(501)와의 간섭이 해소되는 위치까지 회동시키는 선형구동기(508)를 포함하여 구성된다.
이 때, 상기 브라켓(502)에 설치되는 회전핀(503)은 웨이퍼(501) 보다 상부에 위치하도록 설치되고, 상기 고정구(504)의 외측 단부와 상기 브라켓(502)의 상기 고정구(504) 상부측 사이에는 복귀스프링(505)인 인장스프링이 설치된다.
그리고, 상기 선형구동기(508)는 고정구(504) 상부에 위치하도록 설치됨이 바람직하다.
또한, 상기 복귀스프링(505)의 탄성 복원력중 일부만이 웨이퍼(501)에 전달되도록 하여 웨이퍼(501)의 손상이 방지되도록 하기 위한 스토퍼(506)가 상기 브라켓(502)의 회전핀(503) 상부 일측에 설치된다.
이와 같이 구성된 본 발명의 제5실시예에 따른 스핀척의 작용에 대해 설명하면 다음과 같다.
먼저, 초기에는 고정구(504)가 웨이퍼(501)를 잡을 수 있는 위치인 A 위치(도면의 실선상태)에 있다가, 웨이퍼 장착 또는 탈착을 위해 회전핀(503)을 중심으로 선형구동기(508)에 의해 시계방향으로 회전하여 B 위치(도면의 점선상태)에 이르게 된다.
이때는 선형구동기(508)의 플런저(509)가 미는 힘에 의해 스프링(505)이 인 장된 상태로서, 이 상태에서 웨이퍼(501)의 탈착 및 장착이 이루어지게 되는데, 웨이퍼(501)의 장착이 완료되면 새로운 웨이퍼(501)는 브라켓(502) 하단의 지지턱(510)에 걸쳐지게 된다.
그 후, 선형구동기(508)의 구동에 따라 플런저(509)가 후퇴하면, 복귀스프링(505)이 원상태로 돌아가기 위해 당겨지고, 이와 동시에 고정구(504)는 회전핀(503)을 중심으로 반시계방향으로 회전하여 A위치로 이동하게 된다. 이 때 복귀스프링(505)의 복원력에 의해 웨이퍼(501)가 손상되는 현상이 방지되도록 브라켓(502) 상에는 스토퍼(506)가 설치되어 있어 고정구(504)의 회전은 일정각도에서 멈추게 된다.
한편, 이 경우 역시 고정구(504)가 웨이퍼(501) 원주를 따라 2개 이상, 통상적으로 3개 ~ 6개정도 위치할 수 있음은 전술한 제1내지 제4실시예에서와 마찬가지이다.
그리고, 이 경우 역시, 전술한 제3 및 제4실시예에서와 마찬가지로 웨이퍼(501)의 측면의 모서리를 잡도록 안출되었기 때문에, 웨이퍼(501) 주면의 디바이스에 손상을 주지 않으며, 스프링의 탄성력에 의해 움직일 수 있는 고정구(504)의 각도가 스토퍼에 의해 제한되어 있으므로 웨이퍼(501)가 보호된다.
도 8은 각 실시예에 적용된 브라켓의 구조를 나타낸 평면도이다.
이에 도시된 바와 같이, 상기 각 실시예에서 적용된 브라켓은 구동원의 동력에 의해 구동되는 회전축 등이 결합되는 회전축결합부(705)가 중심부에 형성되고, 상기 회전축결합부(705)로부터 방사상 구조를 이루며 반경방향으로 연장되는 아암(701)과, 상기 아암(701)으로부터 상부로 연장되고 상기한 고정구가 설치되는 고정구결합부(702)로 구성되어 있다.
상기 고정구결합부(702)는 도 7의 제5실시예서와 같이 상기 아암(701)으로부터 하부로 연장될 수 있다.
또한, 상기한 아암(701)과 이로부터 연장된 고정구결합부(702)는 도 8에서는 4개로 구성되어 있지만 이에 한정되는 것이 아니라, 웨이퍼 원주를 따라 2개 이상, 통상적으로 3개 ~ 6개정도 구성할 수 있음은 전술한 바와 같다.
이와 같은 구성으로서 본 발명에 의한 브라켓은 고정구결합부(702)에 설치된 고정구에 도시되지 않은 로봇 등에 의해 반입된 웨이퍼를 고정하여, 웨이퍼의 상부로 약액을 분사하거나 웨이퍼의 하부로 상기 아암 사이로 약액을 분사할 수 있게 된다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명은 다양한 변화와 변경 및 균등물을 사용할 수 있다. 본 발명은 상기 실시예를 적절히 변형하여 동일하게 응용할 수 있음이 명확하다. 따라서 상기 기재 내용은 하기 특허청구범위의 한계에 의해 정해지는 본 발명의 범위를 한정하는 것이 아니다.
이상에서와 같이, 본 발명의 각 실시예에 따른 스핀척은 웨이퍼의 측면 혹은 측면의 모서리만을 클램핑하게 되므로 웨이퍼 양면에 약액의 공급이 가능할 뿐만 아니라, 고정구에 작용하는 원심력에 비례하여 일정 한도까지는 클램핑력 또한 증 가하므로 회전속도가 빨라지더라도 웨이퍼의 클램핑 상태가 안정적으로 유지된다.
즉, 본 발명의 제1 및 제2실시예에 따른 스핀척은 웨이퍼의 측면이 클램핑되고, 본 발명의 제3 내지 제5실시예에 따른 스핀척은 웨이퍼의 측면 상하부 모서리만을 클램핑하게 되므로 웨이퍼의 양면에 대한 약액 공급이 가능하게 된다.
또한, 본 발명의 제1 내지 제3실시예에서는 고정구에 작용하는 원심력에 비례하여 일정 한도까지는 클램핑력 또한 증가하므로 회전속도가 빨라지더라도 웨이퍼의 클램핑 상태가 안정적으로 유지된다.
그리고, 본 발명의 제5실시예에서는 복귀스프링에 의한 복원력에 의해 고정구의 클램핑력이 클램핑 초기부터 안정적으로 웨이퍼에 작용하게 된다.
한편, 본 발명의 제4실시예는 복귀스프링에 의한 복원력에 의해 고정구의 클램핑력이 클램핑 초기부터 안정적으로 웨이퍼에 작용하게 될 뿐만 아니라, 고정구에 작용하는 원심력에 비례하여 일정 한도까지는 클램핑력 또한 증가하므로 회전속도가 빨라지더라도 웨이퍼의 클램핑 상태가 안정적으로 유지될 수 있게 된다.
요컨대, 단일 매엽식 세정장치나 식각장치 등은 웨이퍼를 회전시키면서 웨이퍼 양면에 약액을 공급하는 스핀장치의 경우, 회전구동부의 회전력을 웨이퍼에 전달하여 웨이퍼를 회전시키면서 약액이 웨이퍼 전체면에 골고루 공급될 수 있도록 웨이퍼와 고정장치의 접촉면적을 최소화하여야 하는데, 본 발명의 각 실시예에 따른 스핀척은 약액 공급이 웨이퍼의 상하면에 걸쳐 가능함과 더불어 웨이퍼와 고정구와의 접촉면적이 최소화되는 효과를 가져오게 된다.

Claims (18)

  1. 구동원의 동력을 전달받아 회전가능하도록 설치되는 브라켓과,
    상기 브라켓 상에 설치된 회전핀을 중심으로 회전가능하게 설치되어 브라켓의 회전시 원심력에 의해 상기 회전핀을 중심으로 회동하여 웨이퍼의 측면을 클램핑하게 되는 고정구를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 스핀척.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 고정구 상에는,
    브라켓이 회전하기 전에는 수평상태를 유지하여 웨이퍼의 저면을 떠받치게 되는 안착면과, 상기 브라켓의 회전에 의해 소정의 원심력이 작용한 상태에서 상기 웨이퍼의 측면을 클램핑하는 클램핑면이 구비됨을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 스핀척.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 고정구의 회전핀 외측에는 원심력 생성을 도와 상기 고정구가 웨이퍼를 더욱 안정적으로 잡을 수 있도록 하는 무게추가 추가적으로 설치됨을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 스핀척.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 고정구 상에 고정구의 원심력 생성을 도와 줄 수 있도록 상기 브라켓의 회전시 양력 발생이 용이한 날개판이 설치됨을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 스핀척.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 브라켓의 회전속도에 비례하여 증가하는 원심력의 일부만이 상기 고정구에 의해 상기 웨이퍼에 전달되도록 상기 브라켓 일측에 설치되어 상기 고정구를 소정각도 이상 회동하지 못하도록 저지하는 상부 스토퍼와,
    상기 브라켓이 정지하는 경우 자중에 의해 복귀하는 고정구의 위치를 웨이퍼 로딩 및 언로딩에 적합한 위치가 되도록 상기 브라켓의 상부 스토퍼 하측에 설치되는 하부 스토퍼를 더 포함하여서 구성됨을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 스핀척.
  6. 구동원의 동력을 전달받아 회전가능하도록 설치되는 브라켓과,
    상기 브라켓 상에 설치된 회전핀을 중심으로 회전가능하게 설치되어 브라켓의 회전시 원심력에 의해 상기 회전핀을 중심으로 회동하여 웨이퍼의 모서리를 클램핑하게 되는 고정구와,
    상기 웨이퍼의 로딩 및 언로딩시 고정구를 웨이퍼와의 간섭을 피할 수 있는 위치까지 회동시키는 선형구동기를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 스핀척.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 브라켓에 설치되는 회전핀은 상기 웨이퍼 보다 상부에 설치되고, 상기 고정구의 외측 단부는 상기 회전핀보다 상부에 위치하도록 설치되고, 상기 선형구동기는 고정구의 외측단부 하측에 위치하도록 설치됨을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 스핀척.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 브라켓의 회전속도에 비례하여 증가하는 원심력의 일부만이 상기 고정구에 의해 상기 웨이퍼에 전달되도록 상기 브라켓의 회전핀 하부 일측에는 상기 고정구를 소정각도 이상 회동하지 못하도록 저지하는 스토퍼가 설치됨을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 스핀척.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 고정구와 브라켓 사이에 설치되어 상기 고정구가 웨이퍼를 클램핑하는 초기 위치로 복귀하도록 복원력을 제공하는 복귀스프링를 더욱 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 스핀척.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 브라켓에 설치되는 회전핀은 웨이퍼 보다 하부에 위치하도록 설치되고, 상기 고정구의 외측 단부와 브라켓 상단 사이에는 복귀스프링인 인장스프링이 설치되고, 상기 선형구동기는 고정구 상부에 위치하도록 설치됨을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 스핀척.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 복귀스프링은 고정구의 외측단부와 그 보다 하부의 브라켓 일측을 연결하도록 설치되는 인장스프링임을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 스핀척.
  12. 제 9 항에 있어서,
    상기 브라켓의 회전속도에 비례하여 증가하는 원심력의 일부만이 상기 고정구에 의해 상기 웨이퍼에 전달되도록 상기 브라켓의 회전핀 상부 일측에는 상기 고정구를 소정각도 이상 회동하지 못하도록 저지하는 스토퍼가 설치됨을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 스핀척.
  13. 제 6 항 또는 제 9 항에 있어서,
    상기 고정구의 상에는 웨이퍼의 측면 상하단 모서리를 클램핑할 수 있는 "V"자형의 홈이 형성됨을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 스핀척.
  14. 제 6 항 또는 제 9 항에 있어서,
    상기 고정구의 회전핀 외측에는 원심력 생성을 도와 상기 고정구가 웨이퍼를 더욱 안정적으로 잡을 수 있도록 하는 무게추가 추가적으로 설치됨을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 스핀척.
  15. 구동원의 동력을 전달받아 회전가능하도록 설치되며 하단부에 웨이퍼 측면 하단 모서리를 지지하는 지지턱이 구비된 브라켓과,
    상기 브라켓 상에 설치된 회전핀을 중심으로 회전가능하게 설치되며 웨이퍼가 상기 지지턱에 안착된 후 상기 회전핀을 중심으로 회동하여 웨이퍼의 모서리를 클램핑하게 되는 고정구와,
    상기 고정구와 브라켓 사이에 설치되어 상기 고정구가 웨이퍼를 클램핑하는 초기 위치로 복귀하도록 복원력을 제공하는 복귀스프링과,
    상기 웨이퍼의 로딩 및 언로딩시 고정구를 웨이퍼와의 간섭을 피할 수 있는 위치까지 회동시키는 선형구동기를 포함하여서 됨을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 스핀척.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 브라켓에 설치되는 회전핀은 웨이퍼 보다 상부에 위치하도록 설치되고, 상기 고정구의 외측 단부와 상기 브라켓의 고정구 상부 일측 사이에는 복귀스프링인 인장스프링이 설치되고, 상기 선형구동기는 고정구 상부에 위치하도록 설치됨을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 스핀척.
  17. 제 15 항에 있어서,
    상기 복귀스프링의 탄성 복원력중 일부만이 웨이퍼에 전달되도록 하여 웨이퍼의 손상이 방지되도록 하기 위한 스토퍼가, 상기 브라켓의 회전핀 상부 일측에 설치됨을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 스핀척.
  18. 제 1 항 또는 제 6 항 또는 제 9 항 또는 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 브라켓은 방사상 구조로 형성됨을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 스핀척.
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