JPH1094986A - アームロボット及びその組立方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ベルトとプーリとのバックラッシュまたはベ
ルトのたわみを無くし、高精度に位置決めできるように
する。 【解決手段】 アームロボットは、アーム５１の一端に
設けた固定プーリ５２に対してアーム５１を回転自在に
設け、アーム５１の他端にアーム５１に対して回転自在
に伝動プーリ５３を設ける。伝動プーリ５３と固定プー
リ５２間にベルト５４を張設し、アーム５１の回転によ
り固定プーリ５２を相対回転させ、固定プーリ５２の相
対回転がベルト５４を介して伝動プーリ５３に伝達され
て伝動プーリ５３を回転させる。伝動プーリ５３と固定
プーリ５２間に張設した２本のベルト５４の両方に均等
に張力を加える２個のアイドラ５５を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、高精度に位置決め
することのできるアームロボット及びその組立方法に係
り、特に半導体製造装置のウェハ及びカセット等の被搬
送物を搬送するアームロボットに好適なものに関する

【０００２】

【従来の技術】図８は、２本のアームを有する通称ダブ
ルアームロボットと呼ばれる搬送ロボットを示したもの
である。ダブルアームロボットは、同図に示すように、
駆動部１に第１のアーム２の一端が回転可能に設けら
れ、第１のアーム２の他端に第２のアーム３の一端が回
転自在に設けられ、第２のアーム３の他端側にウェハを
載せる基板受載板４が回転自在に設けられている。第１
アーム２を回動させると、第２アーム３は逆方向に回動
し、さらに基板受載板４は第２アーム３とは逆方向に回
動して、基板受載板４の先端は直進運動をして被搬送物
を搬送する。

【０００３】図９は、上述したダブルアームロボットの
第２アーム３の蓋を外した概略平面図を示す。アーム３
はベルト伝動により回転するようになっている。アーム
３内には固定プーリ５、伝動プーリ６、これらの間に張
設されたベルト７が設けられ、アイドラ８でベルト７の
張力を調整するようになっている。固定プーリ５を固定
し、固定プーリ５に対してアーム３を回転させることに
より、ベルト７を相対的に走行させて伝動プーリ６を回
転させる。このようなアームロボットの位置決めは、ア
ーム５１を回転させる軸５８に取り付けた位置決め棒９
を、アーム３の所定の位置に設定することによって行
う。

【０００４】図１０は、前述したアイドラを詳細に説明
するために、蓋を開けた状態の第２アームを具体的に示
した平面図である。１１はアーム、１２は固定プーリ、
１３は伝動プーリ、１４はベルト、１０はベルトの張力
調整具である。片方のベルト１４に押し付けて張力を加
えるアイドラ１６は、一端が回転中心１７となるアイド
ラブロック１５の他端に取り付けられる。ベルト１４の
張力を調整するには、調整ねじ１８を進退させる。すな
わち、アイドラ１６を保持しているアイドラブロック１
５の中間部に取り付けた調整ねじ１８をねじ込み、回転
中心１７を中心にアイドラブロック１５を反時計方向に
回転させて、アイドラ１６をベルト１４に押し込んでい
くことによりベルト１４の張力を上げる。逆に調整ねじ
１８を緩めていくことにより、アイドラブロック１５を
時計方向に回転させて、アイドラ１６をベルト１４から
後退させることによりベルト１４の張力を下げる。

【０００５】図１１は、ダブルアームロボットの要部縦
断面図である。ダブルアームロボットは、第１アーム２
１が回動すると、第２アーム１１は逆方向に回動するよ
うになっている。そうするために、軸受ハウジング２５
に対して回転自在に設けた回転入力軸２７は第１アーム
２１の一端に固着され、第１アーム２１の一端は軸受ハ
ウジング２５に対して回転自在に設けられる。第１アー
ム２１の他端側に連結軸２８を回転自在に突設し、突設
した連結軸２８の上端に第２アーム１１の一端を固着す
る。第１アーム２１の内部で連結軸２８の下端部に伝動
プーリ２３を固着し、この伝動プーリ２３と固定プーリ
２２間にベルト２４を張設する。

【０００６】第２アーム１１の一端に固定プーリ１２を
固着し、この固定プーリ１２に対して第２アーム１１を
回転自在に設ける。第２アーム１１の他端側に伝動プー
リ１３を回転自在に設け、この伝動プーリ１３と固定プ
ーリ１２間にベルト１４を張設してある。これらのベル
ト１４、２４の張力を調整するために、上述した張力調
整具１０を構成するアイドラ１６、２６がベルト１４、
２４に押し当てられる。なお、３１はメカニカルロッ
ク、３２、３３、３４、３７はベアリング、３５はキ
ー、３６はメカニカルロックである。

【０００７】回転入力軸２７により第１アーム２１を回
転させると、固定プーリ２２が相対回転し、この固定プ
ーリ２２の相対回転はベルト２４を介して伝動プーリ２
３に伝達され、伝動プーリ２３は連結軸２８を介して第
２アームを回動させる。第２アーム１１が第１アーム２
１に対して回動することで第２アーム１１と固定プーリ
１２との間で相対回転を生じ、この相対回転はベルト１
４を介して伝動プーリ１３に伝達され、伝動プーリ１３
が回転する。

【０００８】ところで、図１０または図１１に示すよう
なアームロボットを組立るには、先にアーム１１、２１
に張力調整具１０を取り付け、その後にベルト１４、２
４をプーリ１２、１３間、および２２、２３間に張設し
ている。このとき、アイドラ１６、２６が取り付けの邪
魔にならないように、調整ねじ１８を緩めてアイドラ１
６、２６をできるだけ壁面１９に寄せて、アーム１１、
２１内に十分スペースを確保してからベルト１４、２４
を取り付けている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した従来
のアームロボット及びその組立方法には、次のような問
題があった。

【００１０】(1) プーリ１２、１３間に張設された両方
向のベルト１４のうち片方向のベルトにしか張力をかけ
ていないので、正回転から逆回転に移行する際に、プー
リ１２、１３とベルト１４間に生じるバックラッシュ、
またはベルト１４のたわみ等により、アーム１１とベル
ト１４間に時間差が生じ、高精度な位置決めができな
い。

【００１１】(2) ベルト１４を片方向からのみアイドラ
１６で押し込むようにしているため、ベルト１４とプー
リ１２、１３との接触部分が少なく、また、アイドラブ
ロック１５が固定されておらず、揺動するようになって
いるため、ベルト１４が動くときにアイドラ１６がばた
ついてしまい、プーリ１２、１３からベルト１４に力が
うまく伝わらない。

【００１２】(3) 張力調整具１０は、図１０に示すａ−
ａ線に対して対称ではなく、片側からだけ張力をかけて
いるため、アーム１１を前進させる場合と後退させる場
合とでは、アーム１１の揺れかたに差があった。

【００１３】(4) ベルト１４を張設する場合、プーリ１
２、１３やアイドラ１６が存在している狭い場所でベル
ト１４を張設しなければならないため、ベルト１４に傷
を付けたり、折り目をつけたり、また、確実にプーリ１
２、１３に噛み合わなかったりする。

【００１４】上記(1) 〜(4) の問題はは、アーム２１に
ついても当てはまる。

【００１５】本発明の目的は、上述した従来技術の問題
点を解消して、ベルトとプーリとのバックラッシュまた
はベルトのたわみを無くし、高精度に位置決めできるア
ームロボットを提供することにある。また、本発明の目
的は、プーリとベルトの接触部を増加し、かつアイドラ
のばたつきを無くし、安定して動作することのできるア
ームロボットを提供することにある。

【００１６】また、本発明の目的は、狭いスペースを最
大限使用して、安全かつ確実にベルトを張設することを
可能としたアームロボットの組立方法を提供することに
ある。

【００１７】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、アームの一端に設けた固定プーリに対してアームを
回転自在に設け、アームの他端にアームに対して回転自
在に伝動プーリを設け、該伝動プーリと前記固定プーリ
間にベルトを張設し、アームの回転により固定プーリを
相対回転させ、この固定プーリの相対回転がベルトを介
して伝動プーリに伝達されて該伝動プーリを回転させる
アームロボットにおいて、前記伝動プーリと固定プーリ
間に張設したベルトの両方に均等に張力を加える２個の
アイドラを設けたことを特徴とするアームロボットであ
る。２個のアイドラにより、ベルトの両方に張力を加え
るようにしたので、プーリとベルトとの接触部分が増大
し、プーリとベルト間の伝動が確実になる。また、ベル
トの両方向に張力を均等に加えるようにしたので、正回
転から逆回転に移行する際でも、ベルトとプーリとのバ
ックラッシュ、またはベルトのたわみ等が解消され、ア
ームとベルトとの動きに時間差が生じるのを防止できる
ため、アームを高精度に位置決めできる。

【００１８】請求項２に記載の発明は、前記ベルトの張
設方向に移動ブロックを進退自在に設け、該移動ブロッ
クに前記２個のアイドラを回転自在に取り付け、移動ブ
ロックの進退によりアイドラのベルト調整位置を変えて
張力を調整できるようにした請求項１に記載のアームロ
ボットである。アイドラが移動ブロックに回転自在に取
り付けられているので、ベルトが動くときにアイドラが
ばたつくことがなく、プーリからベルトへの伝動が円滑
に行なわれる。

【００１９】請求項３に記載の発明は、前記固定プーリ
と伝動プーリの各回転中心を結ぶ線に対して前記２個の
アイドラが対称となるように取り付けられている請求項
２に記載のアームロボットである。２個のアイドラが対
称となるように取り付けられていると、アームを前進さ
せる場合と後退させる場合でもアームの揺れ方に差がな
くなり、アームのバランスがよくなる。

【００２０】請求項４に記載の発明は、アームの一端に
設けた固定プーリに対してアームを回転自在に設け、ア
ームの他端にアームに対して伝動プーリを回転自在に設
け、該伝動プーリと前記固定プーリ間にベルトを張設
し、アームの回転により固定プーリを相対回転させ、こ
の固定プーリの相対回転がベルトを介して伝動プーリに
伝達されて該伝動プーリを回転させるアームロボットに
おいて、前記伝動プーリと固定プーリ間に張設したベル
トの両方に均等に張力を加える２個のアイドラを有する
張力調整具と、前記アームを構成するアームベースと、
アームベースの上部開口を塞ぐとともに、前記ベルトを
伝動プーリと固定プーリ間に張設した後に前記２個のア
イドラを有する張力調整具を挿入して取り付けるための
開口部を有するアーム蓋とを備えたことを特徴とするア
ームロボットである。アームベースの上部開口が開いて
いる状態で、固定プーリと伝動プーリ間にベルトを張設
した後、アーム蓋を取り付ける。取り付け後、アーム蓋
の開口部から張力調整具をアーム内に挿入してベルトに
装着する。これにより傷を付けたり、折り目を付けたり
せずに、ベルトを張設できる。

【００２１】請求項５に記載の発明は、アームの一端に
設けた固定プーリに対してアームを回転自在に設け、ア
ームの他端にアームに対して伝動プーリを回転自在に設
け、該伝動プーリと前記固定プーリ間にベルトを張設
し、アームの回転により固定プーリを相対回転させ、こ
の固定プーリの相対回転がベルトを介して伝動プーリに
伝達されて該伝動プーリを回転させるアームロボットに
おいて、前記伝動プーリと固定プーリ間に張設したベル
トの両方に均等に張力を加える２個のアイドラを有する
張力調整具を備え、前記ベルトを伝動プーリと固定プー
リ間に張設した後に前記２個のアイドラを有する張力調
整具を取り付けるようにしたことを特徴とするアームロ
ボットの組立方法である。アイドラが取り付けられてい
る状態でベルトを張設するのではなく、ベルトを張設し
てからアイドラを取り付けるようにしたので、ベルトに
傷を付けたり、折り目を付けたりすることがなく、また
ベルトを確実にプーリに噛み合わせることができる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下に本発明のアームロボット及
びその組立方法を図面を用いて説明する。

【００２３】図１に示すように本発明は、アイドラ５５
を２個設け、２個のアイドラ５５によって２本のベルト
５４の両方に押し付けて、固定プーリ５２、伝動プーリ
５３間に張設されたベルト５４に張力を加えるようにし
たものである。例えばスプリングやゴムからなる弾性体
５６を介してアーム５１に支持したアイドラ５５によっ
て、両方のベルト５４に常に一定の力を外側から、また
は内側から与えることにより、ベルト５４の張力を一定
に保つ。

【００２４】両方向からベルト５４に一定の張力を加え
ることにより、ベルト５４とプーリ５２、５３とのバッ
クラッシュまたはベルト５４の撓みを解消して、位置決
め棒５７をアーム５１の所定位置に持ってくることがで
き、高精度な位置決めができる。また、ベルト張力を一
定にすることによりベルト５４に過大な力が加わりにく
くなりベルト５４の寿命が伸びる。

【００２５】図２は、ダブルアームロボットの具体例を
示したものであり、（ａ）はアーム蓋を開けた平面図、
（ｂ）はアーム蓋を閉じたｂ−ｂ線断面図である。ここ
に示すダブルアームロボットの構成は、第１アーム７１
及び第２アーム６１に取り付けてある張力調整具８０を
除いて、従来のものと同じである。張力調整具８０は、
第１アーム７１、第２アーム６１に共通するので、ここ
では、図２（ａ）に示す第２アーム６１に取り付けてあ
る張力調整具８０について説明する。

【００２６】固定プーリ６２と伝動プーリ６３との中間
部にあたるアーム６１の底部位置に、ベルト６４の張設
方向に２本の平行な溝６８を設け、その２本の溝６８に
嵌合してアーム６１に対して左右に移動する移動ブロッ
ク６６を設ける。移動ブロック６６上のベルト６４の外
周２箇所には、２個のアイドラ６５が、固定プーリ６２
と伝動プーリ６３の各回転中心を結ぶ線Ａ−Ａに対して
対称となるように、回転自在に取り付けられる。２個の
アイドラ６５は、固定プーリ６２と伝動プーリ６３間に
張設された両方向のベルト６４の外側からベルト６４を
押し込み、両方向のベルト６４に同時に張力を加えるよ
うになっている。移動ブロック６６の幅方向中央に長孔
７０が形成され、その長孔７０に溝６８間に取り付けた
固定ねじ６７が侵入するようになっており、その固定ね
じ６７を締めることで移動ブロック６６の位置をアーム
６１上に固定できるようになっている。

【００２７】ベルト６４の張力は次のように調整する。
移動ブロック６６を左側に移動して伝動プーリ６３に近
づけると、アイドラ６５は両方向のベルト６４に深く食
い込むようになるので、ベルト６４に加えられる張力は
大きくなる。移動ブロック６６を右側に移動すると、両
方向のベルト６４への食い込みは浅くなるため、ベルト
６４に加えられる張力は小さくなる。このように移動ブ
ロック６６を移動して、適正な張力となる位置で移動ブ
ロック６６をアーム６１に固定ねじ６７により固定す
る。

【００２８】２個のアイドラ６５でベルト６４を両方向
から押え込むことによって、ベルト６４とプーリ６２、
６３の接触部分が増加し、また、アイドラ６５の回転軸
６９が移動ブロック６６上に固定されてばたつかないよ
うになっているので、プーリ６２、６３からベルト６４
に、またベルト６４からプーリ６２、６３に確実に力が
伝達される。また、Ａ−Ａ線に対して対称位置にアイド
ラ６５を取り付け、ベルト６４を両方向から均等に押え
込むようにしてあるため、アーム６１を前進させる場合
と、後退させる場合とでアーム６１に揺れ方の差が生じ
ず、バランスよくロボットアームを動作させることがで
きる。移動ブロック６６を移動してねじ止めするだけ
で、両方向のベルトの張力の調整が同時にできるので、
調整作業が容易である。これによりアーム６１の動作が
安定し、位置出し精度が上がり、ウェハ及びカセットの
搬送ミスが低減する。

【００２９】図３は図２の変形例を示し、アイドラ８１
と移動ブロック８２との位置関係を上下逆にしたもの
で、（ａ）は平面図、（ｂ）はｂ−ｂ線断面図である。
すなわち、アーム６１の底部中央に突起８５を設け、そ
の突起８５上を左右移動する移動ブロック８２の下面両
側にアイドラ８１を垂下してある。突起８５上に沿って
左右移動させるために、移動ブロック８２に長孔８４を
設け、その長孔８４に複数本の固定ねじ８３を挿通し
て、突起８５にねじ止めしてある。

【００３０】図３のようなアームロボットを組立る際、
張力調整具８０を予めアームベース６１ａに取り付けた
状態で、ベルト６４を張設しようとすると、張力調整具
８０の他に１組の固定アイドラも取り付ける場合もある
ことから、取り付け場所が非常に狭いため、特に張力調
整具８０のアイドラ８１が邪魔をして、ベルト６４に傷
や折り目を付けたり、確実にプーリ６２、６３間に張設
できなかったりする。

【００３１】そこで、アーム６１にベルト６４を張設す
るときは、図４に示す様に、移動ブロック８２をはずし
ておき、アームベース６１ａ内に広いスペースを確保し
た上で、ベルト６４を固定プーリ６２と伝動プーリ６３
間に張設する。張設後、図３に示すように、移動ブロッ
ク８２を取り付け、固定ねじ８３を絞め、固定ねじ８３
は若干緩めた状態で移動ブロック８２の長孔８４に沿っ
て移動ブロック８２を動かし張力調整を行うとよい。

【００３２】このように移動ブロック８２を外してアー
ム６１に十分なスペースを確保してからベルト６４を張
設するようにすると、狭いスペースを有効に利用するこ
とができ、張設の際にベルト６４を傷付けたり、ベルト
６４に折り目をつけたりせず、しかもベルト６４を確実
にプーリ６２、６３間に張設することができる。

【００３３】上述した実施の形態のものはアーム蓋６１
ｂを閉めてしまうと、張力調整具８０は完全に内部に隠
れてしまうため、ベルト６４の張力を調整できなくな
る。しかし、アーム蓋６１ｂを閉じてから、張力調整具
８０でベルト６４の張力を調整できると、組立後も張力
を調整できるため、都合がよい。

【００３４】そこで、図５に示すものは、アームベース
９１を覆うアーム蓋１００に長孔１０２を設け、その長
孔１０２から外部に張力調整具９０の調整ねじ９７が覗
くようにし、調整ねじ９７を操作することによって、ア
ーム蓋１００を閉じた後でも、張力調整具９０を移動し
てベルト９４の張力を調整できるようにしてある。な
お、９２は固定プーリ、９３は伝動プーリ、９５はアイ
ドラ、４０は固定アイドラである。

【００３５】また、アーム蓋を１００を閉じてから、張
力調整具９０が組み込めると、アームロボットの組立作
業性が向上する。図６〜図７は、そのようなことを可能
にした実施の形態例を示したものである。アーム蓋１０
０に張力調整具９０を挿入してアームベース９１の内部
に取り付けるための開口部１０１を設ける。開口部１０
１には長孔１０２を連通しておく。一方、張力調整具９
０は、断面コ字形の移動ブロック９６、移動ブロック９
６のコ字形内に取り付けられた１組のアイドラ９５と、
移動ブロック９６上に取り付けられた取り付けねじ９７
とから構成される。

【００３６】さて、アームロボットを組立てるには、ア
ーム蓋１００、及び張力調整具９０は取り付けねじ９７
を付けた状態でアームベース９１の外部に外しておく。
上部が開口したアームベース９１に固定プーリ９２と伝
動プーリ９３とを取り付け、これらの間にベルト９４を
張設する。このとき、張力調整具９０のない状態でベル
ト９４を張設するためアームベース９１の中が広くベル
ト９４を傷つけず、折れることもない。ベルト張設後、
アーム蓋１００を閉じる。そして、アーム蓋１００の開
口部１０１から張力調整具９０をアームベース９１内に
挿入する。このとき、取り付けねじ９７が長孔１０２に
挿入されるようにする。長孔１０２に沿って張力調整具
９０を移動させて張力調整を行ない取り付けねじ９７を
締めて固定する。

【００３７】このようにアーム蓋１００をした状態で、
張力調整具９０を取り付けることができるので、組立作
業が容易になり、アームロボットの量産性が向上する。

【００３８】

【発明の効果】本発明のロボットによれば、ベルトの両
方から張力を加えるようにしたので、ベルトとプーリと
のバックラッシュまたはベルトのたわみを無くし、高精
度に位置決めすることができ、ウェハ及びカセット等の
被搬送物の搬送ミスを低減できる。また、プーリとベル
トの接触部を増加し、かつアイドラのばたつきを無くし
たので、安定した動作を確保できる。

【００３９】また、本発明の組立方法によれば、ベルト
を張設してから張力調整具を取り付けるようにしたの
で、狭いスペースを最大限使用することができ、ベルト
に傷をつけたり、折り目をつけたりせずに、安全かつ確
実にベルトを張設することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のアームロボットの原理図を示す平面図
である。

【図２】第１の実施の形態によるアームロボットを示す
図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はｂ−ｂ線断面図で
ある。

【図３】第２の実施の形態によるアームロボットを示す
図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はｂ−ｂ線断面図で
ある。

【図４】第２の実施の形態によるベルト張設の説明図で
ある。

【図５】第３の実施の形態によるアームロボットの図で
あり、（ａ）は平面図、（ｂ）は蓋を開けた状態のアー
ムベースの平面図、（ｃ）は断面図である。

【図６】第４の実施の形態によるアームロボットの平面
図である。

【図７】第４の実施の形態による張力調整具の取り付け
説明図である。

【図８】従来のロボットアームの外観図である。

【図９】従来のアームロボットの原理図を示す平面図で
ある。

【図１０】従来例によるアームロボットの平面図であ
る。

【図１１】図１０のａ−ａ線断面図である。

【符号の説明】

５１ アーム ５２ 固定プーリ ５３ 伝動プーリ ５４ ベルト

フロントページの続き (72)発明者 保井 毅 東京都中野区東中野三丁目14番20号 国際 電気株式会社内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】アームの一端に設けた固定プーリに対して
   アームを回転自在に設け、アームの他端にアームに対し
   て回転自在に伝動プーリを設け、該伝動プーリと前記固
   定プーリ間にベルトを張設し、アームの回転により固定
   プーリを相対回転させ、この固定プーリの相対回転がベ
   ルトを介して伝動プーリに伝達されて該伝動プーリを回
   転させるアームロボットにおいて、 前記伝動プーリと固定プーリ間に張設したベルトの両方
   に均等に張力を加える２個のアイドラを設けたことを特
   徴とするアームロボット。
2. 【請求項２】前記ベルトの張設方向に移動ブロックを進
   退自在に設け、該移動ブロックに前記２個のアイドラを
   回転自在に取り付け、移動ブロックの進退によりアイド
   ラのベルト調整位置を変えて張力を調整できるようにし
   た請求項１に記載のアームロボット。
3. 【請求項３】前記固定プーリと伝動プーリの各回転中心
   を結ぶ線に対して前記２個のアイドラが対称となるよう
   に取り付けられている請求項２に記載のアームロボッ
   ト。
4. 【請求項４】アームの一端に設けた固定プーリに対して
   アームを回転自在に設け、アームの他端にアームに対し
   て伝動プーリを回転自在に設け、該伝動プーリと前記固
   定プーリ間にベルトを張設し、アームの回転により固定
   プーリを相対回転させ、この固定プーリの相対回転がベ
   ルトを介して伝動プーリに伝達されて該伝動プーリを回
   転させるアームロボットにおいて、 前記伝動プーリと固定プーリ間に張設したベルトの両方
   に均等に張力を加える２個のアイドラを有する張力調整
   具と、 前記アームを構成するアームベースと、 アームベースの上部開口を塞ぐとともに、前記ベルトを
   伝動プーリと固定プーリ間に張設した後に前記２個のア
   イドラを有する張力調整具を挿入して取り付けるための
   開口部を有するアーム蓋とを備えたことを特徴とするア
   ームロボット。
5. 【請求項５】アームの一端に設けた固定プーリに対して
   アームを回転自在に設け、アームの他端にアームに対し
   て伝動プーリを回転自在に設け、該伝動プーリと前記固
   定プーリ間にベルトを張設し、アームの回転により固定
   プーリを相対回転させ、この固定プーリの相対回転がベ
   ルトを介して伝動プーリに伝達されて該伝動プーリを回
   転させるアームロボットにおいて、 前記伝動プーリと固定プーリ間に張設したベルトの両方
   に均等に張力を加える２個のアイドラを有する張力調整
   具を備え、 前記ベルトを伝動プーリと固定プーリ間に張設した後に
   前記２個のアイドラを有する張力調整具を取り付けるよ
   うにしたことを特徴とするアームロボットの組立方法。