JPH02135751A

JPH02135751A - 配列ピッチ変更チャック

Info

Publication number: JPH02135751A
Application number: JP63288742A
Authority: JP
Inventors: Haruo Tada; 夛田　治夫
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1988-11-17
Filing date: 1988-11-17
Publication date: 1990-05-24

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、半導体ウェーハの拡散工程や光ディスクの製
造工程等において使用する、カセット等に収容したウェ
ーハ複数を一括把持し、配列ピッチの異なる他のカセッ
トに収容するための配列ピッチ変更チャックに関する。

（従来の技術）一般に、半導体ウェーハの拡散工程等においては、屡々
、等ピッチでカセットに収容されているウェーハ複数伝
、配列ピッチが異なる他のカセットまたはボートに移し
替える作業が生ずる。

従来、その移し替えは真空ピンセットを用いて、あるい
は真空吸着チャックをもつハンドリングマシンによって
１作業者が手動によりウェーハ１枚１枚について行って
いた。また、近年は、カセットに配列されたウェーハを
、ピッチ変更ユニットに一括してチャックし、所定のピ
ッチに配列してカセッ、！・（ボート）に移す配列ピッ
チ変更チャックを使用するウェーハ移し替え装置が実用
されている。

第４図は、そのような従来のウェーハ移し替え装置を示
す斜視図である。

図においてウェーハ移し替え装置１は、複数の溝を等ピ
ッチに形成したカセット２と、そのピッチと異なる寸法
のピッチの複数の溝を形成した他のボート３を載置固定
するように構成されており。

４はカセット２に収められているボート３に移すべきウ
ェーハ、５は配列ピッチ変更チャックである。

第５図は上記配列ピッチ変更チャック５の詳細を示し、
６はウェーハ４を把持するワーク把持プレート（以下、
単に把持プレートという）、７は把持プレート６をスラ
イド可能に軸支するスライド軸、８は把持プレート６を
スライドさせ、配列ピッチを変更するための溝カムロー
ラである。また、９は把持プレート６がウェーハ４を把
持するために動く方向、ＩＯはウェーハ４の配列ピッチ
寸法の変更の際に把持プレート６が移動する方向である
。

このように構成された従来の配列ピッチ変更チャック５
．それをまずカセット２の上に移動させ（第４図）、下
からウェーハ４を押上げて配列ピッチ変更チャック５の
中に配置し、把持プレート６の対向間隔ｍを矢印９の方
向に閉じることによって、ウェーハ４を把持させる。次
に溝カムローラ８を回転させて各々の把持プレート６を
矢印１０の方向に拡げ、ウェーハ４間の間隔を拡げて配
列ピッチを変え、それをボート３の上に移動させ１把持
プレート６の対向間隔ｒｎを拡げて、−括して上記ウェ
ーハ４をボート３に収めることにより、移し替えていた
。

（発明が解決しようとする課題）しかしながら、上述従来の配列ピッチ変更チャック５で
は、それを矢印９の方向または反対に開閉するために、
把持プレート６や、溝カムローラ８等の構成部品を移動
可能に構成するので自身の形状が大きくなり、しかも特
に大きなピッチ幅に変更するには、溝カムローラ８は非
実用的な大きさになり、またピッチ寸法が小さくなると
構造上から、溝カムローラ８を強化するため本数を増や
す必要があり、さらに、溝力１１０−ラ８は溝加工が複
雑で、非常に高価な装置になって実用化阻害の要因とな
っていた。

本発明は上述した問題点を解決した配列ピッチ変更チャ
ックの提供を目的とするものである。

（課題を解決するための手段）上記の目的を本発明は、一方向にスライド可能な、ワー
ク把持のための溝を形成した複数のワーク把持ブレー１
−と、その配列ピッチを決定する、隣接ワーク把持プレ
ートに遊係合した調整可能なス１ヘツパと、上記ワーク
把持ブレー１−のスライド動作とともにスライドするロ
ーラと、このローラに挿通され、ワーク把持プレートに
チャック動作をさせる２本のローラ軸と、そのローラ軸
の回動を駆動する回転駆動部とを備え、複数のウェーハ
を一括化持し、それらの隣接間隔を変更可能に形成した
配列ピッチ変更チャックによって達成する。

（作　用）本発明は以上のように構成するから、ピッチ変更幅の設
計変更を行う場合でも、把持プレートのストッパ機構の
設定寸法の調整変更のみで可能であり、かつ、チャック
の開閉は、最小限のローラ軸とローラの揺動動作のみに
よって行えるがら。

従来に比し小形に構成でき、また、ピッチ変更幅が大き
い場合でもストッパの設定変更のみで対応可能であり、
さらに、ローラ軸の回転によリローラのスライド抵抗が
軽減され、さらに、２本の揺動ローラ軸を互いに逆方向
に回転させるからワークは回動することがないので、動
きがスムーズになる。

（実施例）以下、本発明を実施例により説明する。第１図は本発明
の一実施例の配列ピッチ変更チャックの斜視図、第２図
はそのピッチ間隔を変更して示す一部省略斜視図である
。

第１図、および第２図において、１１はウェーハを把持
する把持プレートで１本体１１ａ、把持爪１１ｂ、それ
に設けた溝１１ｃ、後述のローラと係合するローラ係合
爪ｌｉｄを有している。

■２は把持ブレーｈｌｌを、その面方向に移動させるス
ライド軸、　１３はスライドアームで把持プレート１１
の図上右端部の１枚が係合している。１４はスライド駆
動ねじ、１５はスライド駆動モータ、　１６はその減速
機、１７は前記把持プレート１１と対になってスライド
するローラ、１８はそれを回転自在に軸支するローラ軸
、１９はそれを揺動する揺動アーム、２０はその揺動軸
、２１は揺動アーム１９の駆動シリンダ、２２はローラ
軸１８の回転ベルト、２３はタイミングベルト、２４は
ローラ軸回転モータ、２５はその減速機であり、これら
ベルト２２、タイミングベルト２３、ローラ軸回転モー
タ２４および減速機２５によって回転運動駆動部２６を
構成している。

さらに、２７は減速機２５の出力軸に固着されたギヤで
、これに噛み合うギヤ２８とによって互いに逆方向にロ
ーラ軸１８を回転する反転回転部２９を構成している。

第３図は第２図要部の拡大図で、ストッパ部分を説明す
る図である。　３０．３１および３２はそれぞれ、互い
に隣接し合う把持プレート（第１図における１１）、３
３．３４は把持プレート３０．３１にそれぞれ固定され
、それぞれ把持プレート３１．３２との間隔を決めるス
トッパ、モして３５は把持プレート３２に設けたスライ
ド軸受である。ス１〜ツバのそれぞれはこの図でみるよ
うに、それが固定されている把持プレー１−に隣接の把
持プレートに遊係合して、全把持プレート間で連係した
形になされている。したがって、上記遊係合間隔を調整
することによって把持プレート間隔、したがってピッチ
間隔が変更できる。

本発明は以上のように構成され、まず駆動シリンダ２１
を伸張することにより揺動アーム１９が揺動してローラ
軸１８が半回動し、ローラ軸１８間の対向間隔で決まる
チャック間隔は開の状態になる。それにより下方からカ
セットに収容させたウェーハ４を挿入し、前記揺動アー
ム１９の駆動シリンダ２１を短縮してローラ軸１８を揺
動させると、チャック間隔は閉の状態になってウェーハ
４が一括把持される。このときウェーハ４は溝１１ｃに
収まってローラ１７の上に乗っている。

次に減速機１６を介してスライド駆動モータ１５により
スライド駆動ねじ１４を駆動すれば、スライドアーム１
３を介して他端の１枚が固定された、把持プレート１１
群の右端の１枚が引張られ、スライド軸１２上をスライ
ドして拡がる。このスライドは第３図で分るように、例
えば、把持プレート３０に固定されたストッパ３３の一
端部（図上左端）に、把持プレート３１の面が当接する
まで拡がり、他のストッパも同様に拡がる。

この拡がりはストッパ３３．３４の調整によって決まり
、したがって、その寸法まで把持プレート１１の配列ピ
ッチを変えることができる。すなわち。

この状態で前出第４図で説明したように、−括してボー
ト３にウェーハ４を移し替えることができる。なお、当
然ボート３からカセット２への移し替えは把持プレート
１１の配列ピッチを縮めて行うことになる。

以上１本発明の一実施例を説明したがローラ１７、ロー
ラ軸１８はチャックとしてフィンガの役目をしており、
ローラ１７はピッチ変更時ローラ軸１８上をスライドす
る。しかし、そのローラ１７は通常２Ｉないし４ｆｆＩ
！１程度しかスライド余地をもたないため。

故障が発生しやすく不安定である。本発明は静摩擦抵抗
より動摩擦抵抗の方が小さいことを利用して、回転運動
駆動部２６によりローラ軸１８を回転させ、ローラ１７
のスムーズなスライド動作を実現し、故障を防止してお
り、さらに反転回転部２９により互いに逆方向に回転す
る２本のローラ軸１８によリウエーハ４に働く回転力を
相殺して、ウェーハ４の配列方向を乱すことなくピッチ
変更を可能にしている。

（発明の効果）以上、詳細に説明して明らかなように本発明は、ワーク
を把持する複数の把持プレートと、その配列ピッチを決
めるストッパと１把持プレートのスライド動作に合せて
スライド可能なローラと、２本のローラ軸と、このロー
ラ軸を回転させる回転駆動部を設けて、大幅なピッチ変
更にも対応できるコンパクトで、安価な配列ピッチ変更
チャックであり−１かつ、互いに逆回転する２木のロー
ラ軸で把持プレートのワークの姿勢を安定させたまま、
ピッチ変更することが可能で、実施して大きな効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の配列ピッチ変更チャックの
斜視図、第２図はそのピッチを変更して示す一部省略斜
視図、第３図は、同じくストッパ部を示す拡大斜視図、
第４図は、従来のウェーハ移し替え装置の斜視図、第５
図は第４図の装置に使用される従来の配列ピッチ変更チ
ャックを拡大して示す斜視図である。１１・・・把持プレート、１２・・・スライド軸、１３
・・・スライドアーム、】４・・・スライド駆動ねじ、
１５・・・スライド駆動モータ、１６・・・減速機、１
７・・・ローラ、１８・・・ローラ軸、　１９・・・揺
動アーム、　２０・・・揺動軸、２１・・・駆動シリン
ダ、２６・・・回転運動駆動部、２７．２８・・・ギヤ
、２９・・・反転回転部、３０．３１．３２・・・ワー
ク把持プレート（把持プレートと略す）、　３３．３４
・・・ストッパ、３５・・・スライド軸受。３０．３１．３２−ワーク把持プレート（ｉ巴持ア↓−
トと略刺図第図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）一方向にスライド可能な、ワーク把持のための溝
を形成した複数のワーク把持プレートと、その配列ピッ
チを決定する、隣接ワーク把持プレートに遊係合した調
整可能なストッパと、上記ワーク把持プレートのスライ
ド動作とともにスライドするローラと、このローラに挿
通され、ワーク把持プレートにチャック動作を行わせる
２本のローラ軸と、そのローラ軸の回動を駆動する回転
駆動部とを備え、複数のウェーハを一括把持して、それ
らの隣接間隔を変更可能にしたことを特徴とする配列ピ
ッチ変更チャック。
（２）２本のローラ軸は互いに反対方向に回転すること
を特徴とする請求項（１）記載の配列ピッチ変更チャッ
ク。