JP2001118909A - ピッチ変換装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体ウエハーの等の薄板部材を複数枚一括
して移動する際に使用されるピッチ変換装置において、
各薄板部材間のピッチを均等に所望するピッチに変換す
ることが可能なピッチ変換装置を提供すること。 【解決手段】 複数の薄板部材を保持するとともに該保
持した複数の薄板部材間のピッチを変換するためのピッ
チ変換部（２）と、該ピッチ変換部（２）を駆動するた
めの駆動手段（３）を備え、前記ピッチ変換部（２）
は、薄板部材を保持するための溝部（５０１）をそれぞ
れに有する複数の保持部（５）と該保持部（５）のそれ
ぞれに備えられた移動子（６）と他端部が前記移動子
（６）のそれぞれに連結されたピッチ拡張用シャフト
（７）と最外郭の前記移動子に連結されたピッチ縮小用
シャフト（８）とを備えるとともに、前記ピッチ拡張用
シャフト（７）は、変換するピッチ幅に合わせその先端
部の位置を隣り合う保持部（５）に備えられた移動子
（５）に連結されたピッチ拡張用シャフト（７）の先端
部の位置と異なる位置にくるようにしてその長さを調整
したことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体ウエ
ハーの等の薄板部材を複数枚一括して移動する際に使用
されるピッチ変換装置に係り、より詳しくは、ピッチ拡
張用シャフト及びピッチ縮小用シャフトを用いることに
より、保持している複数枚の薄板部材間のピッチを正確
に変換可能なピッチ変換装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般的に、複数枚の半導体ウエハー等の
薄板部材を一括して移動する際に、その薄板部材間のピ
ッチを変換する必要が生じる場合がある。即ち、１のキ
ャリア等に収納されている複数枚の薄板部材を他のキャ
リアに移動させる際に、この１のキャリアにおける保持
部間のピッチと他のキャリアにおける保持部間のピッチ
が異なる場合には、薄い他部材の移動の際にその薄い他
部材間のピッチを変換しなければならなくなる。

【０００３】一方、半導体の製造工程においては塵等が
半導体ウエハー等に付着することを避けなければならな
いため、従来から、半導体ウエハー等の薄板部材間のピ
ッチを変換する際には、ピッチ変換装置が用いられてい
る（特開平６−１８３５１２号、実開昭６２−７０４３
７号参照）。

【０００４】例えば、図８は、前記実開昭６２−７０４
３７号公報に開示されている従来から用いられているピ
ッチ変換装置を示す平面図であり、図における左半分は
ピッチを広げた状態を示し、また図における右半分はピ
ッチが縮められた状態を示している。

【０００５】そして、この従来から用いられているピッ
チ変換装置では、半導体ウエハー等の薄板部材３６を受
け入れる溝部３２を格別に有する複数個の保持部３１の
それぞれが、伸縮リンク機構３３により連結されている
とともに、この伸縮リンク機構３３の折曲部３４が前記
保持部３１のそれぞれに取り付けられている。そして、
最外郭に位置する前記保持部３１には駆動機構３５が連
結され、この駆動機構３５を駆動することにより伸縮リ
ンク機構３３を作用させ、これにより、前記保持部３１
の溝部３２間のピッチを変換する構成としている。

【０００６】そのために、この従来から用いられている
ピッチ変換装置を用いることによって、保持している複
数枚の薄板部材間のピッチを一括して変換することが可
能となる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
たように、従来から用いられているピッチ変換装置で
は、リンク機構を用いて保持部間のピッチを変換する構
造であるために、複雑な構造を必要とする一方、各保持
部間のピッチを正確に変換することが困難であるという
問題点があった。

【０００８】即ち、リンク機構を伸縮させるためには、
前記折曲部には、伸縮させるための僅かな空間、即ち、
いわゆるガタを必要とする。そのため、使用を繰り返し
ていくうちに、このガタが大きくなるとともに、各折曲
部のガタが異なってくる。そうすると、折曲部を折曲さ
せることにより保持部間のピッチを変換した際に、各保
持部間のピッチが均等に変換されず、保持部間によりピ
ッチが異なってくるという事態が起こりうる。

【０００９】一方、一般的に、ピッチ間を変換した薄板
部材を受け入れるキャリア等においては、各薄板部材を
受け入れる受け入れ部が等間隔のピッチで形成されてい
る。

【００１０】そのため、ピッチ間が等間隔で変換されて
いない薄板部材を移動した場合においては、すべての薄
板部材を正確に受け入れ側のキャリア等に収納できない
という問題点が生じてしまう。

【００１１】そこで、本発明は、半導体ウエハーの等の
薄板部材を複数枚一括して移動する際に使用されるピッ
チ変換装置であって、各薄板部材間のピッチを均等に所
望するピッチに変換することが可能なピッチ変換装置を
提供することを課題としている。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明のピッチ変換装置
は、保持している複数枚の薄板部材間のピッチを一括し
て変更するためのピッチ変換装置であって、複数の薄板
部材を保持するとともに、該保持した複数の薄板部材間
のピッチを変換するためのピッチ変換部と、該ピッチ変
換部を駆動するための駆動手段を備え、前記ピッチ変換
部は、薄板部材を保持するための溝部をそれぞれに有す
る複数の保持部と、該保持部のそれぞれに備えられた移
動子と、他端部が前記移動子のそれぞれに連結されたピ
ッチ拡張用シャフトと、最外郭の前記移動子に連結され
たピッチ縮小用シャフトとを備えるとともに、前記ピッ
チ拡張用シャフトは、変換するピッチ幅に合わせて、そ
の先端部の位置を、隣り合う前記保持部に連結されたピ
ッチ拡張用シャフトの先端部の位置と異なる位置にくる
ようにしてその長さを調整したことを特徴とする。

【００１３】本発明のピッチ変換装置では、半導体ウエ
ハー等の薄板部材を保持するための複数個の保持部のそ
れぞれに移動子が備えられており、この複数の移動子の
それぞれには、ピッチ拡張用のシャフトの他端部が連結
されているとともに、最外郭の保持部には更に、ピッチ
縮小用シャフトの他端部が連結されている。そのため
に、押圧手段によりピッチ拡張用シャフトを押圧するこ
とにより、移動子が移動するとともに保持部が移動し、
これにより、各保持部間のピッチを変換して保持してい
る薄板部材間のピッチを変換することができる。一方、
ピッチ縮小用シャフトを引き戻すことにより、最外郭の
保持部から順番に、外側の保持部に押されながら、すべ
ての保持部が元の位置に戻ることができる。

【００１４】このように、本発明では、複雑なリンク機
構を用いることなく、移動子に連結されているピッチ拡
張用シャフトを押圧することのみにより、あるいはピッ
チ縮小用シャフトを引き戻すことのみによりピッチを変
換する構造としているため、正確に薄板部材間のピッチ
を変換することができる。

【００１５】また、前記ピッチ拡張用シャフトは、先端
部の位置を、変換するピッチ幅に合わせて、隣り合う保
持部に連結されたシャフトの先端部の位置と異なる位置
にくるようにしてその長さを調整しており、例えば、当
初７ｍｍピッチを１０ｍｍピッチに変換する場合には、
隣り合う保持部に連結されたシャフトの先端部の位置に
は、その差異である３ｍｍの差を持たせている。そのた
め、面倒な作業を用いることなく、容易に所望するピッ
チ幅に変換することが可能である。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明のピッチ変換装置は、複数
の薄板部材を保持するとともに該保持した複数の薄板部
材間のピッチを変換するためのピッチ変換部と、該ピッ
チ変換部を駆動するための駆動手段を備えている。

【００１７】そして、前記ピッチ変換部では、複数枚の
薄板部材を保持するための複数の保持部が備えられてお
り、この保持部のそれぞれには、薄板部材を保持するた
めの溝部が形成されている。

【００１８】また、前記保持部のそれぞれには、移動子
が備えられるとともに、この移動子のそれぞれには、ピ
ッチ拡張用のシャフトが連結されるとともに、最外郭の
保持部には更に、ピッチ縮小用のシャフトの他端部が連
結されている。そのため、前記ピッチ拡張用のシャフト
の先端部を押圧することにより、移動子を介して、前記
複数の保持部間のピッチを変換可能であるとともに、前
記ピッチ縮小用のシャフトを引き戻すことにより、拡張
したピッチをもとに戻すことが可能である。

【００１９】更に、前記ピッチ拡張用シャフトは、変換
するピッチ幅に合わせて、その先端部の位置を、隣り合
う前記保持部に連結されたピッチ拡張用シャフトの先端
部の位置と異なる位置にくるようにしてその長さを調整
している。

【００２０】なお、前記ピッチ変換部は１個のみにして
もよいが、より好ましくは、このピッチ変換部を一対個
備え、薄板部材を両側から保持可能とするとよく、これ
により、複数枚の薄板部材を確実に保持することができ
る。

【００２１】また、前記駆動手段は、前記ピッチ拡張用
シャフトを押圧するための押圧板と、この押圧板を前方
に押し出しあるいは後方に引き戻すための駆動機構とを
備える構造とすると良い。

【００２２】

【実施例】本発明のピッチ変換装置の実施例について図
面を参照して説明すると、図１は本実施例のピッチ変換
装置の平面を示す図であり、図において１が本実施例の
ピッチ変換装置である。

【００２３】そして、本実施例においてこのピッチ変換
装置１は、ガイド４と、このガイド４に移動自在に連結
された、半導体ウエハー等の薄板部材を複数枚保持する
とともにその保持した薄板部材間のピッチを変換可能な
ピッチ変換部２と、該ピッチ変換部２を駆動して薄板部
材間のピッチを変換するための駆動手段３とを備えてお
り、前記ピッチ変換部２は、ガイド４に沿って前方及び
後方へ移動自在となっている。

【００２４】ここで、図２は、前記ピッチ変換部２を示
す斜視図であり、このピッチ変換部２には、半導体ウエ
ハー等の薄板部材の端部を受け入れる溝部５０１をそれ
ぞれに有する保持部５が複数個並列に配置されている。

【００２５】また、この保持部５のそれぞれには、移動
子６が備えられるとともに、この移動子６のそれぞれに
は、この移動子６を移動させるためのピッチ拡張用シャ
フト７の他端が連結されている。そのため、このピッチ
拡張用シャフト７の先端部を押圧することにより、移動
子６を前方側に移動させるとともに前記保持部５を前方
側に移動させ、これにより、前記保持部５が保持してい
る薄板部材間のピッチを広げることが可能となる。な
お、本実施例においては、前記移動子６を前記ガイド４
に移動自在に連結しており、これにより、前記保持部５
がガイド４に沿って前方あるいは後方へ移動可能として
いる。

【００２６】次に、このピッチ拡張用シャフト７のそれ
ぞれの先端部の位置は、所望する変換ピッチに合わせて
差異をもたせており、より具体的には、最外郭の前記保
持部５に備えられた移動子６に連結されたピッチ拡張用
シャフト７から順番に、所望する変換ピッチに合わせ、
その先端部の位置をずらしながら配置している。例え
ば、当初７ｍｍのピッチを１０ｍｍのピッチに変換する
場合には、それぞれのピッチ拡張用シャフト７の先端部
の位置には３ｍｍづつの差異を持たせている。そのた
め、本実施例のピッチ変換装置１によれば、面倒な作業
を行うこと無く、ピッチ拡張用シャフト７の先端部を押
圧することのみにより、所望するピッチに変換すること
が可能となる。

【００２７】この関係を図を用いて説明すると、図３乃
至図６は、保持部５を６個備えたピッチ変換部２の場合
を示す図であり、図３及び図５はその平面を示し、図４
及び図６は側面を示している。また、図４及び図６にお
いて３は、ピッチ拡張用シャフト７を前方側に押圧しあ
るいは後方側へ引き戻すための押圧手段である。

【００２８】そして、この図におけるピッチ変換部２に
おいては、保持した薄板部材間のピッチを７ｍｍから１
０ｍｍ変換し、あるいは１０ｍｍから７ｍｍに変換可能
としている。

【００２９】即ち、まず、保持部５をそれぞれ接触させ
て並べた場合に、保持部５で保持する薄板部材間のピッ
チＬ１が７ｍｍになるようにして前記保持部５の幅を調
整してある（図３及び図４）。

【００３０】そして、最外郭の保持部５Ａに備えられて
いる移動子６Ａに連結されたピッチ拡張用シャフト７Ａ
から順番に、押圧手段側に向かうにしたがって、ピッチ
拡張用シャフト７Ｂ、７Ｃ、７Ｄ、７Ｅ、７Ｆの先端部
の位置を、３ｍｍづつ、非押圧手段側へずらし、隣り合
う移動子６に連結されたピッチ拡張用シャフト７の先端
部の位置の差Ｌ２を３ｍｍずつに設定してある。

【００３１】この状態において前記押圧手段３を前方側
へ移動してピッチ拡張用シャフト７を押圧していくと、
押圧手段３はまず、最外郭の保持部５Ａに備えられた移
動子６Ａに連結されたピッチ拡張等シャフト７Ａを前方
側へ押し出し、このピッチ拡張用シャフト７Ａを３ｍｍ
前方へ押し出した時点で、最外郭の保持部５に隣り合う
２番目の保持部５Ｂに備えられた移動子６Ｂに連結され
たピッチ拡張用シャフト７Ｂに接触する。そして、この
時点で、最外郭の保持部５Ａとそれに隣り合う保持部５
Ｂとのそれぞれの溝部５０１Ａと５０１Ｂとのピッチ差
は１０ｍｍになる。

【００３２】その後、更に押圧手段３を前方側へ移動す
ると、押圧手段３は、前記ピッチ拡張用シャフト７Ａと
７Ｂとを同時に前方側へ押し出すことにより、最外郭の
保持部５Ａとそれに隣り合う保持部５Ｂとのそれぞれの
溝部５０１Ａと５０１Ｂとのピッチ差（１０ｍｍ）を維
持したまま、次に、最外郭の保持部５Ａから数えて３番
目の保持部５Ｃに備えられた移動子６Ｃに連結されたピ
ッチ拡張用シャフト７Ｃに接触する。そして、この時点
で、最外郭の保持部５Ａから順番に、３番目の保持部５
Ｃまでのそれぞれの溝部５０１Ａ、５０１Ｂ、５０１Ｃ
のピッチ差は１０ｍｍになる。

【００３３】そしてその後は、最内郭の保持部５Ｆに備
えられた移動子６Ｆに連結されたピッチ拡張用シャフト
７Ｆを押し出すまで前記押圧手段３を前方側へ移動させ
ていくと、各保持部５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄ、５Ｅ、５
Ｆの溝部間のピッチが１０ｍｍに変換される。この状態
を示した図が図５及び図６である。

【００３４】このように、本実施例のピッチ変換装置１
では、押圧手段３によりピッチ拡張用シャフト７Ａ〜７
Ｆを押圧するのみで、保持部５で保持している薄板部材
間のピッチを変換することができるため、複雑なリンク
機構を用いてピッチを変換する従来のピッチ変換装置と
異なり、正確、確実にピッチを変換することが可能とな
る。

【００３５】なお、図１に示されているように、本実施
例において前記ピッチ変換部２は一対個備えており、こ
れにより、半導体ウエハー等の薄板部材を両端から保持
可能としている。そのため、本実施例のピッチ変換装置
においては、より確実に薄板部材を保持することができ
る。

【００３６】また、本実施例においては、前記押圧手段
３は、前記ピッチ拡張用シャフト７に接触してこれを押
圧するための２枚の押圧板３０１と、この２枚の押圧板
３０１を連結したアーム３０２と、このアーム３０２を
前方あるいは後方へ移動させるための駆動機構３０３と
から構成されている。

【００３７】次に、図１において８は、前述した方法に
より拡張した各溝部間のピッチを縮小するために用いら
れるピッチ縮小用シャフトであり、このピッチ縮小用シ
ャフト８は、前記最外郭の保持部５Ａに備えられた移動
子６Ａに連結されているとともに、その先端部には係合
部８０１を備えている。

【００３８】そのため、前述した方法によりピッチを拡
張した場合には、前記ピッチ縮小用シャフト８の前記係
合部８０１は、押圧板３０１との間に一定の距離を維持
したまま、最外郭の保持部５Ａの移動に伴って前方側へ
移動する。

【００３９】一方、前記押圧板３０１を後方へ移動した
場合には、前記係合部８０１が前記押圧板３０１と係合
して、これにより、前記ピッチ縮小用シャフト８は、押
圧板３０１と共に後方へ移動し、これによりこのピッチ
縮小用シャフト８が連結している最外郭の保持部５Ａも
後方へ移動する構成としている。

【００４０】そのため、ピッチを拡張した状態で前記押
圧板３０１を後方へ移動すると、係合部８０１を介し
て、まず最外郭の保持部５Ａが後方へ移動し、次に、こ
の最外郭の保持部５Ａが２番目の保持部５Ｂと接触した
後に、最外郭の保持部５Ａに押されながら、最外郭の保
持部５Ａとともに２番目の保持部５Ｂも後方へ移動して
いき、更に次に、２番目の保持部５Ｂが３番目の保持部
５Ｃと接触した後に、最外郭の保持部５Ａ及び２番目の
保持部５Ｂに押されながら、最外郭の保持部５Ａ及び２
番目の保持部５Ｂとともに３番目の保持部５Ｃも後方へ
移動していく、というように、最内郭の保持部５Ｆが後
方へ移動し、更に前記係合部８０１が元の位置に来るま
で押圧板３０１を後方へ移動させることにより、すべて
の保持部の溝部間のピッチを当初の７ｍｍピッチに戻す
ことができる。

【００４１】このように、本実施例のピッチ変換装置１
では、ピッチの拡張のみならず、拡張したピッチの縮小
をも容易に行うことができる。

【００４２】次に、このようにして構成される本実施例
のピッチ変換装置１を用いて複数枚の半導体ウエハー等
のピッチを変換する場合について説明すると、本実施例
のピッチ変換装置１を用いて半導体ウエハー等の薄板部
材間のピッチを変換する際には、例えば、まず、薄板部
材を複数枚収納可能なキャリアを備えた移載装置本体に
本実施例のピッチ変換装置を装着し、その後に、図７に
示すように、各保持部５に備えた溝部５０１により薄板
部材１０の両端を保持して、これにより複数枚の薄板部
材を本実施例のピッチ変換装置１に装着する。なおこの
際、前記ガイド４を前記移載装置本体に可動自在に設置
しておき、一対のピッチ変換部２間の距離を変更可能に
しておくとよく、これにより、キャリア内の薄板部材を
両端から容易に挟み込んで保持可能とすることができ
る。

【００４３】次に、図示しない駆動部を駆動することに
より、駆動機構３０３を介して押圧板３０１を前方側へ
移動し、これにより、前述した作用により、薄板部材間
のピッチを所望する値に拡張する。

【００４４】また、ピッチを縮小する場合には、図５及
び図６に示すように各保持部の溝部間のピッチを拡張し
た状態で半導体ウエハー等の薄板部材を保持し、その後
に前述した方法により各保持部を接触させてピッチを縮
小すれば良い。

【００４５】そしてその後は、変換したピッチにより薄
板部材を収納可能なキャリア内に薄板部材を収納すれば
良い。

【００４６】このように、本実施例のピッチ変換装置１
によれば、複雑なリンク機構を用いることなく、正確、
確実に保持している複数枚の薄板部材間のピッチを変換
することが可能である。

【００４７】なお、前述した実施例では、保持部を１２
個及び６個用いた場合について説明したが、必ずしもこ
の個数に限定されるものでは無く、保持部の個数は、保
持する薄板部材の枚数に合わせていずれの個数としても
良い。

【００４８】また、前述の説明では、すべての保持部を
接触させて配置した際の各溝部間のピッチを７ｍｍに
し、更に、拡張用シャフトの先端部の位置を３ｍｍずつ
ずらして、１０ｍｍと７ｍｍのピッチに変換可能な場合
について説明したが、本発明のピッチ変換装置は必ずし
もこのピッチに限定されるものではなく、所望する変換
ピッチに合わせて、保持部を接触した際の各溝部間のピ
ッチ、及びピッチ拡張用シャフトの先端部の位置はいず
れの寸法としても良い。

【００４９】

【発明の効果】本発明のピッチ変換装置は、以上説明し
たような形態で実施され、以下に記載するような効果を
奏する。

【００５０】本発明のピッチ変換装置は、複数の薄板部
材を保持するとともに、該保持した複数の薄板部材間の
ピッチを変換するためのピッチ変換部と、該ピッチ変換
部を駆動するための駆動手段を備え、前記ピッチ変換部
は、薄板部材を保持するための溝部をそれぞれに有する
複数の保持部と、該保持部のそれぞれに備えられた移動
子と、他端部が前記移動子のそれぞれに連結されたピッ
チ拡張用シャフトと、最外郭の前記移動子に連結された
ピッチ縮小用シャフトとを備えるとともに、前記ピッチ
拡張用シャフトは、変換するピッチ幅に合わせて、その
先端部の位置を、隣り合う前記保持部に連結されたピッ
チ拡張用シャフトの先端部の位置と異なる位置にくるよ
うにしてその長さを調整したことを特徴としており、押
圧手段によりピッチ拡張用シャフトを押圧することによ
り、移動子が移動するとともに保持部が移動し、これに
より、各保持部間のピッチを変換して保持している薄板
部材間のピッチを変換することができる。一方、ピッチ
縮小用シャフトを引き戻すことにより、最外郭の保持部
から順番に、外側の保持部に押されながら、すべての保
持部が元の位置に戻ることができる。

【００５１】このように、本発明では、複雑なリンク機
構を用いることなく、移動子に連結されているピッチ拡
張用シャフトを押圧することのみにより、あるいはピッ
チ縮小用シャフトを引き戻すことのみによりピッチを変
換する構造としているため、正確に薄板部材間のピッチ
を変換することができる。

【００５２】また、前記ピッチ拡張用シャフトは、先端
部の位置を、変換するピッチ幅に合わせて、隣り合う保
持部に連結されたシャフトの先端部の位置と異なる位置
にくるようにしてその長さを調整しており、例えば、当
初７ｍｍピッチを１０ｍｍピッチに変換する場合には、
隣り合う保持部に連結されたシャフトの先端部に、その
差異である３ｍｍの差を持たせている。そのため、面倒
な作業を用いることなく、容易に所望するピッチ幅に変
換することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のピッチ変換装置の実施例の平面を示し
た図である。

【図２】本発明のピッチ変換装置の実施例に用いられる
ピッチ変換部を示す斜視図である。

【図３】本発明のピッチ変換装置の実施例の作用を説明
するための図である。

【図４】本発明のピッチ変換装置の実施例の作用を説明
するための図である。

【図５】本発明のピッチ変換装置の実施例の作用を説明
するための図である。

【図６】本発明のピッチ変換装置の実施例の作用を説明
するための図である。

【図７】本発明のピッチ変換装置の実施例の使用方法を
説明するための図である。

【図８】従来のピッチ変換装置を説明するための図であ
る。

【符号の説明】

１ ピッチ変換装置 ２ ピッチ変換部 ３ 押圧手段 ４ ガイド ５ 保持部 ６ 移動子 ７ ピッチ拡張用シャフト ８ ピッチ縮小用シャフト

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】保持している複数枚の薄板部材間のピッチ
   を一括して変更するためのピッチ変換装置であって、 複数の薄板部材を保持するとともに該保持した複数の薄
   板部材間のピッチを変換するためのピッチ変換部（２）
   と、該ピッチ変換部（２）を駆動するための駆動手段
   （３）を備え、 前記ピッチ変換部（２）は、薄板部材を保持するための
   溝部（５０１）をそれぞれに有する複数の保持部（５）
   と、該保持部（５）のそれぞれに備えられた移動子
   （６）と、他端部が前記移動子（６）のそれぞれに連結
   されたピッチ拡張用シャフト（７）と、最外郭の前記移
   動子に連結されたピッチ縮小用シャフト（８）とを備え
   るとともに、 前記ピッチ拡張用シャフト（７）は、変換するピッチ幅
   に合わせて、その先端部の位置を、隣り合う前記保持部
   （５）に備えられた移動子（５）に連結されたピッチ拡
   張用シャフト（７）の先端部の位置と異なる位置にくる
   ようにしてその長さを調整したことを特徴とするピッチ
   変換装置。
2. 【請求項２】前記ピッチ変換部（２）を一対備え、薄板
   部材を両側から保持可能としたことを特徴とする請求項
   １に記載のピッチ変換装置。
3. 【請求項３】前記駆動手段（３）は、前記ピッチ拡張用
   シャフト（７）を押圧するための押圧板（３０１）と、
   該押圧板（３０１）を前方に押し出しあるいは後方に引
   き戻すための駆動機構（３０３）とを備えることを特徴
   とする請求項２又は請求項３に記載のピッチ変換装置。